JP4324387B2 - 酸化物半導体発光素子 - Google Patents
酸化物半導体発光素子 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4324387B2 JP4324387B2 JP2003023229A JP2003023229A JP4324387B2 JP 4324387 B2 JP4324387 B2 JP 4324387B2 JP 2003023229 A JP2003023229 A JP 2003023229A JP 2003023229 A JP2003023229 A JP 2003023229A JP 4324387 B2 JP4324387 B2 JP 4324387B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- layer
- zno
- buffer layer
- oxide semiconductor
- substrate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Semiconductor Lasers (AREA)
- Led Devices (AREA)
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、発光ダイオードチップや半導体レーザチップなどの酸化物半導体発光素子に関するものである。特に、半導体結晶中の格子歪を低減し、発光素子の発光特性と信頼性に優れた酸化物半導体発光素子に関する。
【0002】
【従来の技術】
本発明に関連する先行技術文献としては次のものがある。
【0003】
【特許文献1】
特開2001−44499号公報
【特許文献2】
特開2001−44500号公報
【特許文献3】
特許第2791448号公報
【特許文献4】
国際公開第00/16411号パンフレット
【0004】
酸化亜鉛(ZnO)は、約3.4eVのバンドギャップエネルギーを有する直接遷移型半導体で、励起子結合エネルギーが60meVと極めて高く、また原材料が安価であり、環境や人体に無害、かつ成膜手法が簡便であるなどの特徴を有する。また、酸化亜鉛は、高効率・低消費電力で環境性に優れた発光デバイスを実現できる。
【0005】
なお、以下において、酸化亜鉛(ZnO)系半導体とは、ZnOおよびこれを母体としたMgZnOあるいはCdZnOなどで表される混晶を含めるものとする。
【0006】
ZnO系半導体は、III族窒化物半導体と同様のウルツ鉱型の結晶構造を有する。また、ZnO系半導体に関して、III族窒化物半導体を用いた発光素子と同様にサファイア基板やSi基板上に半導体層(エピタキシャル層)を積層して発光素子を製造する研究が行なわれている。
【0007】
例えば、前記特許文献1には、Si基板上にシリコンチッ化膜を形成し、その上にZnO系半導体薄膜を結晶成長する技術が開示されている。また、前記特許文献2には、サファイア基板のA面(11−20)を主面として用い、その上にZnO系半導体層を結晶成長する技術が開示されている。
【0008】
これら基板に用いられるSiやサファイアは、コストが低く、極めて高品質な基板結晶を得ることができるが、結晶成長されるZnO系半導体とは格子定数および熱膨張係数の差が極めて大きい。このため、基板との間に格子不整合が生じ、半導体層(エピタキシャル結晶)中に多くの結晶欠陥が発生するという欠点があった。
【0009】
そこで、このような基板との格子不整合による欠陥を低減するために、基板と半導体層の間にバッファ層を介在させて、良質な半導体層を得る技術が一般的に用いられている。
【0010】
異種基板を主としたIII族窒化物半導体の結晶成長においては、低温で結晶成長させたGaNやAlGaN混晶をバッファ層に用いる技術が開示されている(例えば、特許文献3を参照)。また、ZnO系半導体の結晶成長においても、例えば、特許文献4において、MgZnOやAl2O3、または低温で結晶成長させたZnOなどをバッファ層に用いる技術が開示されている。更に、基板の熱膨張係数とZnO系半導体の熱膨張係数との中間の値の熱膨張係数を有する材料、例えば、GaN、AlGaN、SiCなどをバッファ層に用いることで、クラックなどの結晶欠陥を大幅に低減できることが示されている。
【0011】
【発明が解決しようとする課題】
ZnO系半導体は、III族窒化物半導体(GaN系半導体)と同じく圧電効果を有し、格子歪によって応力が印加されると結晶内にピエゾ分極による電界が生じる。この意図しない電界は、結晶内の電子や光子の挙動に大きな影響を与える。したがって、良好な電気・光学特性を得るためには、ZnO系半導体層に内在する格子歪を極力低減させることが必要である。
【0012】
また、GaN系半導体とZnO系半導体は、結晶成長条件が異なる。良質な結晶を得るために必要な基板温度は、GaN系半導体では1000℃以上もの高温を必要とするのに対して、ZnO系半導体では500〜600℃である。特に、蒸気圧の低いAlGaNをバッファ層に用いると、両者の成長温度の隔差は大きくなり、たとえ熱膨張係数差が小さくとも、結晶成長後の冷却過程で導入される格子歪が増大する。
【0013】
また、ZnOの面内格子定数は、3.25Åであり、GaNの面内格子定数(3.19Å)に比べて大きく、面内格子定数が3.11ÅのAlNとの混晶からなるバッファ層を用いた場合、更に面内格子定数の隔差が大きくなる。これにより、ZnO系半導体層内の格子歪は増大する。
【0014】
そこで、本発明の目的は、前記従来の問題に鑑み、基板上にエピタキシャル成長されるZnO系半導体層の格子歪を低減し、高い信頼性と発光効率を有する酸化物半導体発光素子を提供することを課題とする。
【0015】
【課題を解決するための手段】
本発明は、異種基板上にZnO系半導体層を成長する際のバッファ層材料および構造について鋭意検討した結果、格子歪を吸収あるいは緩和させるために、InGaNを含む超格子構造または組成傾斜構造を有するバッファ層を設けることにより、前記目的を達成するものである。
【0016】
本発明に係る酸化物半導体発光素子は、前記課題を解決するための手段として、
基板上に、超格子構造を有するバッファ層が形成され、前記バッファ層はGaN層とIn x Ga 1−x N(0<x<1)層を交互に積層し、またはIn x Ga 1−x N(0<x<1)層とAl y Ga 1−y N(0<y<1)を交互に積層してなり、前記バッファ層上に、少なくともn型クラッド層、活性層、p型クラッド層からなるZnO系半導体層が形成されたものである。
【0017】
前記発明によれば、ZnOの面内格子定数は、3.25Åであり、III族窒化物半導体であるGaNの面内格子定数(3.19Å)とIII族窒化物半導体であるInNの面内格子定数(3.55Å)の間の値を有するので、InGaNをバッファ層に用いることにより、ZnOとの格子不整合が最も小さくなる。また、超格子構造を有するバッファ層を設けることにより、基板とZnO系半導体層の熱膨張係数差に起因する応力を吸収して、格子歪や結晶欠陥の極めて少ないZnO系半導体層を成長させることができる。これらのことにより、発光特性と信頼性に優れた酸化物半導体発光素子を実現できる。
【0018】
前記超格子構造が、GaN層、InxGa1−xN(0<x<1)層およびAlyGa1−yN(0<y<1)層の組み合わせからなることにより、InGaNのみで構成した場合に比べ格子定数を広い範囲で制御できるため、応力の緩和効果が大きく、格子歪および結晶欠陥をより低減することができる。
【0019】
前記超格子構造の1層当りの層厚は、0.5〜10nmであることが好ましい。超格子構造を構成する1層当りの層厚が、前記所定の範囲(0.5〜10nm)にあれば弾性臨界膜厚以下となるので、バッファ層およびその上に成長されるZnO系半導体層の結晶性が良好となる。
【0020】
本発明に係る酸化物半導体発光素子は、前記課題を解決するための他の手段として、
基板上にバッファ層が形成され、前記バッファ層は、InxGa1−xN(0<x<1)層およびAlyGa1−yN(0<y<1)層を交互に積層してなり、前記In x Ga 1−x N層はIn組成比xが成長方向に向かって連続的に増加する組成傾斜構造を有し、前記Al y Ga 1−y N層はAl組成比yが成長方向に向かって連続的に増加する組成傾斜構造を有し、前記バッファ層上に、少なくともn型クラッド層、活性層、p型クラッド層からなるZnO系半導体層が形成されたものである。
【0021】
前記発明によれば、ZnOの面内格子定数は、3.25Åであり、III族窒化物半導体であるGaNの面内格子定数(3.19Å)とIII族窒化物半導体であるInNの面内格子定数(3.55Å)の間の値を有するので、InGaNをバッファ層に用いることにより、ZnOとの格子不整合が最も小さくなる。また、組成傾斜構造を有するバッファ層を設けることにより、基板およびZnO系半導体層との間のいずれの格子不整合も緩和できる。これらのことにより、発光特性と信頼性に優れた酸化物半導体発光素子を実現できる。
【0022】
また、前記バッファ層を構成するInxGa1−xNのIn組成比は、前記ZnO系半導体層との界面において、0.1≦x≦0.2であることが好ましい。このように、バッファ層終端組成を前記所定の範囲(0.1≦x≦0.2)とすることにより、バッファ層がZnO系半導体層にほぼ完全に格子整合するので、極めて高い結晶性のZnO系半導体層が得られる。
【0023】
前記バッファ層の成長主面が、(0001)Ga面であり、前記バッファ層上に形成された前記ZnO系半導体の成長主面が(0001)Zn面であることが好ましい。バッファ層成長主面を(0001)Ga面にすることにより、ZnO系半導体の成長面方位をZn面に制御できる。Zn面が成長主面であるZnO系半導体は、特に、アクセプタドーピング特性に優れ、電気特性に優れたZnO系半導体層を得ることができる。
【0024】
また、前記基板が、サファイア基板であることにより、安価かつ透光性を有する点で好ましい。
【0025】
また、前記基板は、GaN、SiC、Si、GaAsから選択された材料からなる導電性基板であることにより、結晶性に優れたZnO系半導体層が得られるとともに、基板裏面から電極を取り出すことができるので、素子抵抗を低減することができる点で好ましい。
【0026】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を添付図面に従って説明する。
【0027】
(第1実施形態)
図1は、本発明の第1実施形態に係る酸化物半導体発光素子1の断面図である。この酸化物半導体発光素子1は、サファイアC面(0001)を主面とするサファイア基板2上に、ノンドープで厚さ40nmのIn0.15Ga0.85N/GaN超格子バッファ層3、Gaが3×1018cm−3の濃度でドープされた厚さ0.1μmのn型ZnOコンタクト層4、Gaを1×1018cm−3の濃度でドーピングした厚さ1μmのn型Mg0.1Zn0.9Oクラッド層5、ノンドープ量子井戸発光層6(活性層)、Nを5×1019cm−3の濃度でドーピングした厚さ1μmのp型Mg0.1Zn0.9Oクラッド層7、Nを1×1020cm−3の濃度でドーピングした厚さ0.3μmのp型ZnOコンタクト層8が積層されている。
【0028】
前記In0.15Ga0.85N/GaN超格子バッファ層3は、超格子構造を有しており、厚さ2nmのGaN層と厚さ2nmのIn0.15Ga0.85N層を交互に10層ずつ積層して構成されている。また、前記量子井戸発光層6は、8層の厚さ5nmのZnO障壁層と、7層の厚さ4nmのCd0.1Zn0.9O井戸層とからなり、互いに交互に積層されている。前記超格子バッファ層3は、GaN層、InxGa1−xN(0<x<1)層およびAlyGa1−yN(0<y<1)層の3種類の層を交互に積層して構成したものであってもよい。
【0029】
前記p型ZnOコンタクト層8上には、厚さ15nmのNiを積層した透光性を有するp型オーミック電極9が積層され、その上には厚さ100nmのボンディング用Auパッド電極10が積層されている。このAuパッド電極10の垂直方向から見た面積は、前記p型オーミック電極9の面積より小さい。
【0030】
また、前記n型Mg0.1Zn0.9Oクラッド層5からp型ZnOコンタクト層8までの半導体層(エピタキシャル層)の一部がエッチングされており、露出した前記n型ZnOコンタクト層4の表面には、厚さ100nmのAlを積層したn型オーミック電極11が積層されている。
【0031】
本実施形態の酸化物半導体発光素子1は、図示しないレーザ分子線エピタキシー(以下レーザMBEと称する)装置で製造した。また、レーザMBE法に限らず、固体あるいは気体原料を用いた分子線エピタキシー(MBE)法、有機金属気相成長(MOCVD)法などの結晶成長手法で製造してもよい。
【0032】
そして、前記製造された酸化物半導体発光素子1をチップ状に分割する。この酸化物半導体発光素子1のAuパッド電極10およびn型オーミック電極11をリードフレームにワイヤボンディングした後、酸化物半導体発光素子1を樹脂でモールドし、発光させたところ、発光ピーク波長410nmの青色発光が得られた。
【0033】
(比較例1)
前記第1実施形態と異なりIn0.15Ga0.85N/GaN超格子バッファ層3を形成せずに、サファイア基板2上にZnO系半導体層(n型ZnOコンタクト層4、n型Mg0.1Zn0.9Oクラッド層5、量子井戸発光層6、p型Mg0.1Zn0.9Oクラッド層7、およびp型ZnOコンタクト層8)をエピタキシャル成長して酸化物半導体発光素子を製造した。この酸化物半導体発光素子を樹脂でモールドし、20mAの動作電流で発光させたところ、発光強度が前記第1実施形態に比べて70%低下した。また、素子寿命(動作電流20mAで連続駆動し、発光強度が初期発光強度より50%に減少した時間で定義する)は、第1実施形態に比べて1/3になった。
【0034】
(比較例2)
また、前記超格子構造を有するバッファ層3をAlGaN単一層で構成したところ、20mAの動作電流における発光強度は、第1実施形態に比べて40%減少し、素子寿命は30%短かくなった。
【0035】
(比較例3)
また、バッファ層3をIn0.15Ga0.85N単一層で構成したところ、20mAの動作電流における発光強度は、第1実施形態に比べて10%減少し、素子寿命は10%短かくなった。
【0036】
以上に示したように、格子定数の異なる異種基板2上にZnO系半導体層4〜8を結晶成長するとき、III族窒化物半導体より成るバッファ層3を形成することにより、発振閾値電流が低く信頼性に優れた酸化物半導体発光素子1を得ることができる。特に、成長温度が低く、ZnOとの格子定数差が小さく、かつ弾性定数が小さいInGaNを含むバッファ層3を用いることにより、格子歪を低減でき、素子特性は格段に向上することがわかった。更に、バッファ層3を超格子構造とすることにより、基板2およびZnO系半導体層4〜8との間の格子不整合に起因する応力を緩和することができる。このとき、超格子バッファ層3を構成する1層当りの層厚は、0.5〜10nmの範囲内であればよい。このように超格子バッファ層3の層厚を前記所定の範囲(0.5〜10nm)にすると、弾性臨界膜厚以下となるので、バッファ層3およびその上に成長されるZnO系半導体層4〜8の結晶性が良好となる。
【0037】
図2に、超格子バッファ層3のIn組成比xと酸化物半導体発光素子1の発光強度(動作電流20mA)の関係を示す。発光強度は、In組成比xが、0.1〜0.2の間で強く、特に、0.15〜0.18の間で強い。これは、0.15〜0.18の範囲内のIn組成比xでは、超格子バッファ層3の面内格子定数がZnOの面内格子定数に最も近くなるため、非発光再結合やピエゾ電界による発光効率低下が起りにくいためであると考えられる。したがって、バッファ層3のIn組成比xは、ZnO系半導体層との界面において0.1〜0.2であることが好ましく、0.15〜0.18であれば更に好ましい。
【0038】
また、本実施形態においては、サファイア基板2の成長主面としてサファイアC面(0001)を用いたが、成長主面の面方位はA面(11−20)を用いてもよい。また、サファイア基板2は、絶縁性基板の中では安価かつ高品質であるので、低コストで酸化物半導体発光素子1を製造できるので好ましい。また、他に、MgAl2O4やLiGaO2、NaAlO2などの絶縁性基板を用いてもよい。一方、導電性基板では、6H−SiC基板がZnO系半導体と同じウルツ鉱型結晶であり、熱膨張係数もZnO系半導体に近いため好ましい。その他、SiやGaAs基板を用いてもよい。また、基板2に入射した発光を乱反射させるために、研磨やエッチングなどの公知の手法で基板2裏面に凹凸を形成して光取り出し効率を向上させてもよい。
【0039】
以下、本実施形態の変形例について記す。
【0040】
p型ZnO系半導体層にドーピングするアクセプタ不純物としては、I族元素のLi,Cu,AgやV族元素のN,As,Pなどを用いることが好ましく、本発明の効果を最大限に得るためには、活性化率が高いNとLiおよびAgが特に好ましい。さらに、Nをドーピングする場合、N2をプラズマ化して結晶成長中に照射する手法によって、結晶性を良好に保って高濃度ドーピングが行えるのでより好ましい。
【0041】
また、n型ZnO系半導体層にドーピングするドナー不純物としては、III族元素のB,Al,Ga,Inなどを用いることが好ましく、特に、ZnO系半導体中での活性化率が高いGaまたはAlが好ましい。
【0042】
また、キャリアの注入効率を向上させるには、本実施形態に示したようにp型MgZnOクラッド層7上にp型ZnOコンタクト層8を設け、p型ZnOコンタクト層8を介してp型オーミック電極9を形成して低抵抗化することが好ましい。p型ZnOコンタクト層8の材料には、結晶性に優れキャリア濃度を高くできるZnOを用いることが好ましい。p型ZnOコンタクト層8に過剰にアクセプタ不純物をドーピングすると結晶性劣化が顕著となり、発光効率が低下するので、5×1016〜5×1019cm−3のキャリア濃度範囲となるようにドーピング濃度を調整することが好ましい。
【0043】
n型ZnOコンタクト層4の材料には、p型ZnOコンタクト層8の場合と同様にZnOが適しており、ドナー不純物のドーピング濃度は1×1018〜1×1021cm−3の範囲が好ましく、より好ましくは5×1019〜5×1020cm−3の範囲で調整されることが好ましい。また、n型ZnOコンタクト層4の膜厚は、0.001〜1μm、好ましくは0.005〜0.5μm、より好ましくは0.01〜0.1μmの範囲内に調整されることが好ましい。
【0044】
p型オーミック電極9には、Ni、Pt、Pd、Auなどが適しており、中でも低抵抗で密着性の良いNiが好ましい。また、前記複数の金属材料Ni、Pt、Pd、Auを合金化してp型オーミック電極9を形成してもよい。
【0045】
また、p型オーミック電極9を形成した後にアニール処理を行うと、p型電極の密着性が向上するとともに接触抵抗が低減するので好ましい。ZnO結晶に欠陥を生じずにアニール効果を得るには、アニール処理時の処理温度は300〜400℃が好ましい。また、アニール処理における雰囲気は、O2あるいは大気雰囲気が好ましく、N2では逆に接触抵抗が増大する。
【0046】
リードフレームへのワイヤボンディングを簡便に行うためには、p型オーミック電極9上にワイヤボンディング用のパッド電極10を設けることが有効である。パッド電極10の材料としては、ボンディングが容易でZnO中へ拡散してもドナー不純物とならないAuが好ましい。p型オーミック電極9とAuパッド電極10との間に密着性を向上させる目的で他の金属層を設けてもよい。
【0047】
また、n型オーミック電極11には、Ti,Cr,Alなどを用いることが好ましい。特に、Alは、低抵抗かつ低コストであり好ましく、また、Tiは、密着性が優れているので好ましい。あるいは、前記金属材料Ti,Cr,Alを合金化してn型オーミック電極11を形成してもよい。その他の構成は任意であり、本実施形態によって限定されるものではない。
【0048】
(第2実施形態)
図3は、本発明の第2実施形態に係る酸化物半導体発光素子1aの断面図である。この酸化物半導体発光素子1aは、前記超格子構造を有するバッファ層3の代りに、各々厚さ20nmのAlyGa1−yN層12aとInxGa1−xN層12bからなるバッファ層12が設けられている。このAlGaN層12aは、基板2との界面からInGaN層12bとの界面まで、Al組成比yが0.3〜0へと連続的に減少している。一方、InGaN層12bは、AlGaN層12aとの界面からn型ZnOコンタクト層4との界面まで、In組成比xが0〜0.17へと連続的に増加している。このバッファ層12は、サファイア基板2との界面からn型ZnOコンタクト層4との界面に至る間、面内格子定数が3.16〜3.25Åへと傾斜的に変化する(成長方向における組成傾斜構造を有する)。なお、前記第1実施形態と同一かつ同様の作用を有する部分には、同一符号を付して詳細な説明は省略する。
【0049】
前記酸化物半導体発光素子1aをチップ状に分割し、Auパッド電極10およびn型オーミック電極11をリードフレームにワイヤボンディングした後、酸化物半導体発光素子1aを樹脂でモールドし、発光させたところ、発光ピーク波長410nmの青色発光が得られた。また、発光強度は、第1実施形態とほぼ同じであったが、素子寿命は第1実施形態に比べ30%長寿命化した。
【0050】
このように、バッファ層12の組成を傾斜させて面内格子定数を連続かつ傾斜的に変化させると、格子歪を低減し、結晶成長条件の変化を緩和することができる。また、単一組成のバッファ層に比べ酸化物半導体発光素子の特性を更に向上させることができる。
【0051】
(第3実施形態)
図4は、本発明の第3実施形態に係る酸化物半導体発光素子1bの断面図である。この酸化物半導体発光素子1bは、前記第1実施形態と異なり、サファイア基板2の代りに6H−SiC基板13を用いている。そして、この6H−SiC基板13の(0001)面上に、Gaが3×1018cm−3の濃度でドープされたn型層であるIn0.15Ga0.85N/GaN超格子バッファ層3aを形成し、さらにその上にZnO系半導体層(n型ZnOコンタクト層4、n型Mg0.1Zn0.9Oクラッド層5、量子井戸発光層6、p型Mg0.1Zn0.9Oクラッド層7、およびp型ZnOコンタクト層8)をエピタキシャル成長させたものである。また、6H−SiC基板13の裏面には、n型オーミック電極11が形成されている。なお、前記第1実施形態と同一かつ同様の作用を有する部分には、同一符号を付して詳細な説明は省略する。
【0052】
前記酸化物半導体発光素子1bをチップ状に分割し、n型オーミック電極11を銀ペーストを用いてリードフレームに取り付け固定し、Auパッド電極10をリードフレームにワイヤボンディングした後、酸化物半導体発光素子1bを樹脂でモールドし、発光させたところ、発光ピーク波長410nmの青色発光が得られた。また、20mAの動作電流における発光強度は、第1実施形態に比べて20%増加し、素子寿命は1.2倍に長くなった。また、20mAの動作電流における動作電圧は、第1実施形態に比べて0.2V低減した。
【0053】
これは、6H−SiC基板13の面内格子定数が3.09Åであり、ZnO系半導体と同じくウルツ鉱型の結晶構造を有する高品質な基板材料であるためである。また、6H−SiC基板13のバンドギャップエネルギーが約3eVで、酸化物半導体発光素子1bの発光を吸収せず、加えて導電性を有するため基板13裏面にn型オーミック電極11を形成できるという利点がある。また、導電性の異種基板13を用いた場合であっても、本発明のバッファ層3aは動作電流の低減と信頼性向上に高い効果を有する。
【0054】
(第4実施形態)
図5は、本発明の第4実施形態に係る半導体レーザ素子1cの断面図である。この半導体レーザ素子1cは、(0001)Ga面を主面とするn型GaN基板14上に、Gaが1×1019cm−3の濃度でドープされた厚さ40nmのInxGa1−xN/GaN超格子バッファ層3b、Gaを3×1018cm−3の濃度でドーピングした厚さ1μmのn型Mg0.1Zn0.9Oクラッド層5a、Gaを5×1017cm−3の濃度でドーピングした厚さ30nmのn型ZnO光ガイド層14、ノンドープ量子井戸発光層6(活性層)、Nを5×1018cm−3の濃度でドーピングした厚さ30nmのp型ZnO光ガイド層15、Nを5×1019cm−3の濃度でドーピングした厚さ1.2μmのp型Mg0.1Zn0.9Oクラッド層7a、Nを1×1020cm−3の濃度でドーピングした厚さ0.5μmのp型ZnOコンタクト層8aが積層されている。
【0055】
前記InxGa1−xN/GaN超格子バッファ層3bは、超格子構造を有しており、厚さ2nmのGaN層と厚さ2nmのInxGa1−xN層を交互に10層ずつ積層して構成されている。また、各InxGa1−xN層のIn組成比xは、0〜0.15へと連続的に増加しており、n型Mg0.1Zn0.9Oクラッド層5aとの界面で格子整合するようになっている。
【0056】
前記量子井戸発光層6は、2層の厚さ5nmのZnO障壁層と、3層の厚さ6nmのCd0.1Zn0.9O井戸層とからなり、互いに交互に積層されている。前記p型Mg0.1Zn0.9Oクラッド層7aおよびp型ZnOコンタクト層8aの一部は、リッジストライプ状にエッチング加工され、その両側にはGaを3×1018cm−3の濃度でドーピングしたn型Mg0.2Zn0.8O電流ブロック層16が埋め込まれている。
【0057】
n型GaN基板14の裏面には、n型オーミック電極11が形成されている。p型ZnOコンタクト層8aおよびn型Mg0.2Zn0.8O電流ブロック層16上には、p型オーミック電極9が形成されている。
【0058】
また、本実施形態の半導体レーザ素子1cには、リッジストライプに対して垂直なミラー端面に図示しない保護膜が真空蒸着されている。そして、300μm角のチップ状に分割した前記半導体レーザ素子1cに電流を流したところ、端面から発光ピーク波長405nmの青色発振光が得られた。また、発振閾値電流は35mAであり、光出力5mWでの動作電圧は4Vであり、素子寿命(60℃かつ光出力5mWで連続発振させ、動作電流が初期値より20%増大した時間で定義する)は5,000時間であった。
【0059】
(比較例4)
一方、InxGa1−xN/GaN超格子バッファ層3bを形成しなかった場合、発振閾値電流は50mAに増大し、素子寿命は約800時間であった。
【0060】
(比較例5)
また、InxGa1−xN/GaN超格子バッファ層3bを構成する各InxGa1−xN層のIn組成比xを、第1実施形態と同様に全てIn0.15Ga0.85Nとした場合、発振閾値電流は40mAに増大し、素子寿命は約4,000時間であった。
【0061】
(比較例6)
また、InxGa1−xN/GaN超格子バッファ層3bを構成する各InxGa1−xN層のIn組成比xを、第2実施形態と同様に連続的に増加させた場合、発振閾値電流は40mAに増大し、素子寿命は約4,000時間であった。
【0062】
(比較例7)
また、n型GaN基板14の(0001)Ga面を成長主面とする代りに、(0001)窒素面とした場合、発振閾値電流は本実施形態例と同じであったが、動作電圧が0.5V増大し、素子寿命は約4,500時間であった。
【0063】
以上より、本発明に係るバッファ層を半導体レーザ素子に適用しても発振閾値電流の低減および信頼性の向上が図れ、特に、超格子構造と組成傾斜構造を組み合わせた場合に最も効果が高いことがわかる。また、n型GaN基板14の成長主面は、(0001)Ga面の方が(0001)窒素面に比べて動作電圧が低減する。この理由は、成長主面が金属面の方がアクセプタ不純物の活性化が促進されるためと推察される。この場合、その上に成長するInGaNバッファ層3bも同様の面方位となり、ZnO系半導体層も金属(Zn)面が成長主面となる。よって、バッファ層3bの成長主面は、(0001)Ga面であることが好ましく、その上に形成されるZnO系半導体の成長主面は(0001)Zn面であることが好ましい。
【0064】
【発明の効果】
以上の説明から明らかなように、本発明に係る酸化物半導体発光素子は、基板上に、2種類以上の層を交互に積層してなる超格子構造を有するバッファ層が形成され、バッファ層はGaN層、In x Ga 1−x N(0<x<1)層およびAl y Ga 1−y N(0<y<1)層の組み合わせからなり、バッファ層上に、少なくともn型クラッド層、活性層、p型クラッド層からなるZnO系半導体層が形成されているので、ZnO系半導体層内の格子歪を低減できるとともに、ZnO系半導体層との格子不整合が最も小さくなる。また、超格子構造を有するバッファ層を設けることにより、基板とZnO系半導体層の熱膨張係数差に起因する応力を吸収して、格子歪や結晶欠陥の極めて少ないZnO系半導体層を成長させることができる。これらのことにより、発光特性と信頼性に優れた酸化物半導体発光素子を実現できる。
【0065】
また、本発明に係る酸化物半導体発光素子は、基板上に、2種類以上の層が成長方向における組成傾斜構造を有するバッファ層が形成され、バッファ層はGaN層、In x Ga 1−x N(0<x<1)層およびAl y Ga 1−y N(0<y<1)層の組み合わせからなり、バッファ層上に、少なくともn型クラッド層、活性層、p型クラッド層からなるZnO系半導体層が形成されているので、基板およびZnO系半導体層との間のいずれの格子歪も低減できる。また、組成傾斜構造を有するバッファ層を設けることにより、基板およびZnO系半導体層との間のいずれの格子不整合も緩和できる。これらのことにより、発光特性と信頼性に優れた酸化物半導体発光素子を実現できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明の第1実施形態に係る酸化物半導体発光素子の断面図である。
【図2】 超格子バッファ層のIn組成比xと酸化物半導体発光素子の発光強度(動作電流20mA)の関係を示す図である。
【図3】 本発明の第2実施形態に係る酸化物半導体発光素子の断面図である。
【図4】 本発明の第3実施形態に係る酸化物半導体発光素子の断面図である。
【図5】 本発明の第4実施形態に係る半導体レーザ素子の断面図である。
【符号の説明】
1…酸化物半導体発光素子
2…サファイア基板
3…In0.15Ga0.85N/GaN超格子バッファ層
4…n型ZnOコンタクト層
5…n型Mg0.1Zn0.9Oクラッド層
6…ノンドープ量子井戸発光層(活性層)
7…p型Mg0.1Zn0.9Oクラッド層
8…p型ZnOコンタクト層
9…p型オーミック電極
10…Auパッド電極
11…n型オーミック電極
Claims (7)
- 基板上に、超格子構造を有するバッファ層が形成され、前記バッファ層はGaN層とIn x Ga 1−x N(0<x<1)層を交互に積層し、またはIn x Ga 1−x N(0<x<1)層とAl y Ga 1−y N(0<y<1)を交互に積層してなり、前記バッファ層上に、少なくともn型クラッド層、活性層、p型クラッド層からなるZnO系半導体層が形成された酸化物半導体発光素子。
- 前記超格子構造の1層当りの層厚は、0.5〜10nmであることを特徴とする請求項1に記載の酸化物半導体発光素子。
- 基板上にバッファ層が形成され、前記バッファ層は、InxGa1−xN(0<x<1)層およびAlyGa1−yN(0<y<1)層を交互に積層してなり、前記InxGa1−xN層はIn組成比xが成長方向に向かって連続的に増加する組成傾斜構造を有し、前記AlyGa1−yN層はAl組成比yが成長方向に向かって連続的に増加する組成傾斜構造を有し、前記バッファ層上に、少なくともn型クラッド層、活性層、p型クラッド層からなるZnO系半導体層が形成された酸化物半導体発光素子。
- 前記バッファ層を構成するInxGa1−xN層のIn組成比は、前記ZnO系半導体層との界面において、0.1≦x≦0.2であることを特徴とする請求項1から3のいずれかに記載の酸化物半導体発光素子。
- 前記バッファ層の成長主面が、(0001)Ga面であり、前記バッファ層上に形成された前記ZnO系半導体の成長主面が(0001)Zn面であることを特徴とする請求項1から4のいずれかに記載の酸化物半導体発光素子。
- 前記基板が、サファイア基板であることを特徴とする請求項1から5のいずれかに記載の酸化物半導体発光素子。
- 前記基板は、GaN、SiC、Si、GaAsから選択された材料からなる導電性基板であることを特徴とする請求項1から5のいずれかに記載の酸化物半導体発光素子。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003023229A JP4324387B2 (ja) | 2003-01-31 | 2003-01-31 | 酸化物半導体発光素子 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003023229A JP4324387B2 (ja) | 2003-01-31 | 2003-01-31 | 酸化物半導体発光素子 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2004235492A JP2004235492A (ja) | 2004-08-19 |
JP4324387B2 true JP4324387B2 (ja) | 2009-09-02 |
Family
ID=32952083
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2003023229A Expired - Fee Related JP4324387B2 (ja) | 2003-01-31 | 2003-01-31 | 酸化物半導体発光素子 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4324387B2 (ja) |
Families Citing this family (17)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7212556B1 (en) * | 1999-02-17 | 2007-05-01 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Semiconductor laser device optical disk apparatus and optical integrated unit |
JP2008511154A (ja) * | 2004-08-26 | 2008-04-10 | エルジー イノテック カンパニー リミテッド | 窒化物半導体発光素子及びその製造方法 |
KR101172059B1 (ko) | 2004-12-17 | 2012-08-10 | 엘지이노텍 주식회사 | 질화물 반도체 발광소자 및 그 제조방법 |
JP2007115887A (ja) * | 2005-10-20 | 2007-05-10 | Rohm Co Ltd | 窒化物半導体素子およびその製法 |
JP4954534B2 (ja) * | 2005-11-22 | 2012-06-20 | ローム株式会社 | 窒化物半導体素子およびその製法 |
WO2007123496A1 (en) * | 2006-04-25 | 2007-11-01 | National University Of Singapore | Method of zinc oxide film grown on the epitaxial lateral overgrowth gallium nitride template |
JP5192744B2 (ja) * | 2007-07-27 | 2013-05-08 | 古河電気工業株式会社 | 半導体発光素子及びその製造方法 |
WO2008029915A1 (fr) | 2006-09-08 | 2008-03-13 | The Furukawa Electric Co., Ltd. | Dispositif d'émission de lumière à semiconducteur et son procédé de fabrication |
JP4927606B2 (ja) * | 2007-03-08 | 2012-05-09 | 古河電気工業株式会社 | 半導体発光素子 |
KR100850667B1 (ko) * | 2007-05-22 | 2008-08-07 | 서울옵토디바이스주식회사 | 발광 다이오드 및 그 제조방법 |
KR100864609B1 (ko) * | 2007-07-04 | 2008-10-22 | 우리엘에스티 주식회사 | 화합물 반도체를 이용한 발광소자 |
KR20150103291A (ko) * | 2008-01-08 | 2015-09-09 | 목스트로닉스 인코포레이티드 | 고성능 헤테로구조 발광 소자 및 방법 |
KR101662037B1 (ko) * | 2009-12-02 | 2016-10-05 | 삼성전자 주식회사 | 발광 소자 및 그 제조 방법 |
JP5409707B2 (ja) * | 2011-06-15 | 2014-02-05 | シャープ株式会社 | 半導体素子、半導体素子の製造方法、発光ダイオード、光電変換素子、太陽電池、照明装置、バックライトおよび表示装置 |
JP2013008931A (ja) * | 2011-06-27 | 2013-01-10 | Rohm Co Ltd | 半導体発光素子 |
KR101292229B1 (ko) * | 2012-01-05 | 2013-08-02 | 주식회사 엘지실트론 | 화합물 반도체 및 그 제조방법 |
DE102014111058A1 (de) * | 2014-08-04 | 2016-02-04 | Osram Opto Semiconductors Gmbh | Optoelektronisches Bauelement und Verfahren zur Herstellung |
-
2003
- 2003-01-31 JP JP2003023229A patent/JP4324387B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2004235492A (ja) | 2004-08-19 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP3374737B2 (ja) | 窒化物半導体素子 | |
JP4988179B2 (ja) | 酸化亜鉛系化合物半導体素子 | |
JP4324387B2 (ja) | 酸化物半導体発光素子 | |
JP4920298B2 (ja) | 半導体発光デバイスおよび半導体デバイスの製造方法 | |
JP4947035B2 (ja) | 窒化物半導体素子 | |
JP4212105B2 (ja) | 酸化亜鉛系化合物半導体素子 | |
KR20150103291A (ko) | 고성능 헤테로구조 발광 소자 및 방법 | |
WO2007091651A1 (ja) | 窒化物半導体素子 | |
JP4212413B2 (ja) | 酸化物半導体発光素子 | |
JP4210665B2 (ja) | 酸化亜鉛系化合物半導体発光素子 | |
JP3620292B2 (ja) | 窒化物半導体素子 | |
JP3434162B2 (ja) | 窒化物半導体素子 | |
KR101117484B1 (ko) | 반도체 발광소자 | |
JP4278399B2 (ja) | 酸化物半導体発光素子 | |
JP2007123938A (ja) | 酸化亜鉛系化合物半導体素子 | |
JP4284103B2 (ja) | 酸化物半導体発光素子 | |
JP2001291896A (ja) | 半導体発光素子 | |
JP2004095634A (ja) | 酸化物半導体発光素子およびその製造方法 | |
JP2007019526A5 (ja) | ||
JP2004153211A (ja) | 酸化物半導体発光素子 | |
JP4282332B2 (ja) | 酸化物半導体発光素子 | |
JP2002151798A (ja) | 窒化物半導体素子 | |
JP2002151798A5 (ja) | ||
JP2004247681A (ja) | 酸化物半導体発光素子 | |
KR100674888B1 (ko) | 반도체 발광소자 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20050810 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20080404 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20080415 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20080616 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20080826 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20081016 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20090127 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20090317 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20090602 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20090608 |
|
R150 | Certificate of patent (=grant) or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120612 Year of fee payment: 3 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |