JP4320025B2

JP4320025B2 - オゾン水濃度検出センサ

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Publication number: JP4320025B2
Application number: JP2006189669A
Authority: JP
Inventors: 博一塩田; 喜之西村
Original assignee: Nikka Micron Co Ltd
Current assignee: Nikka Micron Co Ltd
Priority date: 2006-07-10
Filing date: 2006-07-10
Publication date: 2009-08-26
Anticipated expiration: 2026-07-10
Also published as: JP2008020207A

Description

本発明は、オゾン水中のオゾン濃度を検出するオゾン水濃度検出センサに関する。

オゾン水は、清浄な殺菌剤として近年多くの分野で卓越した作用が認められ、さらに皮膚や粘膜に対する活性化などの優れた効果が年々発表され、最近では医療、介護などの分野で普及が進んでいる。このようなオゾン水の濃度は短時間で減衰することから、使用する現場においての濃度の指示と確認が強く要求されている。
従来、オゾン水の濃度を検知する方法として、煩雑なヨウ素滴定法や高価な紫外線吸収法が主流であったが、電極をオゾン水に接触させて起電させ、オゾン濃度を電気信号に変換する電極法がより簡便であるとして多く使用されるようになった。この電極法は、流動しているオゾン水流中に、第一電極と第二電極とを浸し、第一電極を金属銀又は塩化銀によって被覆された金属銀によって構成し、第二電極を、表面にオゾン酸化膜を形成したニッケル・クロム合金によって構成し、第一電極と第二電極との間に発生するオゾン水濃度変化に追従する電圧変化を検知している（例えば、特許文献１参照）。
特開平８−１３６５０１号公報

しかしながら、上記電極法を使用する場合、電極の表面とオゾン水の間に一定以上の相対速度を持たせることが必要であるため、発明者等は、電極に上下動又は水平動などを与えてオゾン水との相対速度を保つ機構を開発して実用化してきたが、これらの運動を与えた電極は、オゾン濃度が１〜５ppmといった中濃度域においては、濃度と出力電気信号がほぼ比例しているが、それ以上の高濃度域においては、濃度に比例した出力が得られないという欠点があった。また、近年では食品殺菌や治療などの目的で、さらに高い１０ppmまでの高濃度域での利用が増加してきているため、簡便な電極法でこれらの高濃度域まで正確に測れる方法が必要とされている。
本発明は、上記事情に鑑みてなされたもので、簡便な方法で、高濃度域のオゾン水濃度においてもオゾン水濃度に比例した電気信号によって、正確に測定することのできるオゾン水濃度検出センサを提供することを目的としている。

本発明者等は、振動式電極センサの高濃度域における電気信号出力の低下について、その原因を追及したところ、上下動・水平動の振動に共通しているのは、振動によってオゾン水が高速で攪拌され、特に高濃度域ではその攪拌によって電極に接触しているオゾン水がガス分離を起こし濃度低下による電気出力低下を来していることが判明した。
上記課題を解決するため、請求項１の発明は、棒状体と、
前記棒状体の一端部に設けられてオゾン水に浸される検出電極及び比較電極と、
前記棒状体の他端部に設けられて棒状体の長手方向を回転中心として回転振動する永久磁石式の直流電動機である回転式振動子と、
前記棒状体の長手方向中心位置に設けられて前記棒状体を支持する緩衝部材とを備え、
前記回転式振動子の回転振動により、前記回転式振動子と、前記検出電極及び比較電極とが前記緩衝部材を中心として互いに対称となるように前記緩衝部材を頂点とした円錐運動を行い、
前記回転式振動子と前記検出電極及び比較電極とがともに円錐運動することにより、前記検出電極及び比較電極とオゾン水との間に連続して変位接触が与えられ、両電極間にオゾン水濃度に比例した電気信号が惹起され、オゾン水のオゾン濃度に比例した強さの電気信号を得ることを特徴とする。

請求項１の発明によれば、棒状体の一端部に検出電極及び比較電極が設けられ、他端部に回転式振動子が設けられ、棒状体の長手方向中心位置が緩衝部材によって支持されているので、回転式振動子が回転振動することにより、回転式振動子と、検出電極及び比較電極とが緩衝部材を中心として互いに対称となるように緩衝部材を頂点とした円錐運動を行う。したがって、従来のように水平方向や上下方向に棒状体が振動する場合に比して、高濃度域における過剰振動によるオゾン水の減衰を防ぐことができ、濃度低下が生じることがなく、また、検出電極及び比較電極とオゾン水の接触不足も防止することができる。その結果、オゾン水濃度に比例した電気信号が惹起されて、正確に測定することができる。また、単純な構造で容易に製造することもできる。

請求項２の発明は、請求項１に記載のオゾン水濃度検出センサにおいて、
前記検出電極が、前記棒状体の一端部から長手方向に延在して設けられ、
前記比較電極は、前記検出電極の外周を囲むように前記棒状体の一端部に設けられていることを特徴とする。

請求項２の発明によれば、比較電極が検出電極の外周を囲むように設けられているので、円錐状に回転運動する検出電極及び比較電極の先端が、よりオゾン水と連続にかつ円滑に接触することができる。よって、この点においてもオゾン水濃度に比例した起電力を確実に得ることができる。

請求項３の発明は、請求項１又は２に記載のオゾン水濃度検出センサにおいて、
オゾン水が貯められた水槽の壁部に開口部が形成され、
前記緩衝部材が、前記開口部に水密に設けられたシリコンゴム板であり、
前記棒状部材が、前記水槽内に前記検出電極及び比較電極を配置するとともに前記回転式振動子を前記水槽外に配置するように前記シリコンゴム板を貫通することにより支持されていることを特徴とする。

請求項３の発明は、水槽にオゾン水濃度検出センサを簡単に組み込むことができ、また、シリコンゴム板によって水密性の高い構造とすることができる。

請求項４の発明は、請求項１〜３のいずれか一項に記載のオゾン水濃度検出センサにおいて、
前記回転式振動子が直流電動機であり、駆動電圧を印加することにより、前記検出電極とオゾン水との連続接触に最適な振動速度を調整することを特徴とする。

請求項４の発明によれば、回転式振動子が直流電動機であるので、印加電圧を変えることにより回転式振動子の振動数が変化するため、最も安定したオゾン水濃度の電気信号変換を達成することのできる最適な振動速度を調整することにより、特に高濃度域における過剰振動によるオゾン水の減衰を防ぐと同時に振動数が低いことによる検出電極及び比較電極とオゾン水の接触不足を防止することができる。

本発明によれば、棒状体の一端部における検出電極及び比較電極と、他端部における回転式振動子とが、それぞれ緩衝部材を中心に互いに対称となるように緩衝部材を頂点とした円錐運動を行うため、高濃度域のオゾン水濃度においても、オゾン水がガス分離を起こすことがなく濃度低下が生じることがない。その結果、オゾン水濃度に比例した電気信号が惹起されて、正確にオゾン水濃度を測定することができる。また、簡易な方法で製造も容易である。

以下、本発明の実施の形態について図面を参照しながら説明する。
［第一の実施の形態］
図１は、オゾン水濃度検出センサ１００の概略図である。
オゾン水濃度検出センサ１００は、長尺な棒状体１と、棒状体１の一端部１aに互いに平行に設けられ、オゾン水に浸される検出電極２及び電位測定の基準となる比較電極３と、棒状体１の他端部１bに設けられて棒状体１の長手方向を回転中心として回転振動することにより、この振動を棒状体１に伝達する回転式振動子４と、棒状体１の長手方向中心位置に設けられて棒状体１を支持する緩衝部材５とを備えている。

棒状体１は、長尺な断面円形状の細管であって、材質としてはプラスチックやアルミナセラミックなどの耐オゾン性材料が好ましい。棒状体１は、その長手方向中心位置に設けられた緩衝部材５を頂点として、一端部１a側と他端部１b側とが互いに対称の円錐形状となるように可動自在に支持されている。
緩衝部材５としては、例えば、Ｏリングなどのダンパを使用することができる。Ｏリングを使用することによって簡易に製造でき、低コストに抑えることができる。そして、緩衝部材５を取付位置６に嵌め込むことにより棒状体１を取り付けることができる。取付位置６としては、例えば、後述の水槽に形成された開口部などが挙げられ、開口部に水密に嵌め込むことができる。

検出電極２としては、例えば、オゾン濃度の変化に迅速に追従することのできる白金や金、表面にオゾン酸化膜を形成したニッケル・クロム合金、また、パラジウム（例えば、０．５％以上５％以下）を含有して表面にオゾン酸化膜を形成したニッケル・クロム・パラジウム合金等からなる電極を使用することが好ましい。特に比較的低濃度の、例えば０〜５ppmの範囲においては上記ニッケル・クロム・パラジウム合金を使用することが好ましい。
比較電極３としては、銀の表面に塩化銀被覆した電極を使用することが好ましい。検出電極２及び比較電極３は、本実施形態では棒状に形成したものを使用することができる。
また、検出電極２の一方の端部には、電流計７の正極に結線され、比較電極３の一方の端部には、電流計７の負極に結線されている。なお、電流計７としては、マイクロ・アンペア電流計を使用することができる。

回転式振動子４としては、携帯電話等の着信検知などに使用されている低電力消費のコイン型の振動モータ（永久磁石式の直流電動機）を使用することができる。このような回転式振動子４を使用することで、１．５Ｖ（ボルト）乃至３Ｖの乾電池で駆動でき、印加電圧を変えることにより回転式振動子４の振動数が変化するので、検出電極２とオゾン水との連続接触によって起電できる最適な振動速度に調整することが好ましい。
図２(a)は、回転式振動子４の平面図、(b)は、回転式振動子４の側面図、(c)は、回転式振動子４の裏面図である。回転式振動子４は、周知の不平衡回転モータであって、平面視円形状のハウジング４１をなし、その円形中心に回転軸４２が設けられている。この回転軸４２に棒状体１の他端部が挿入されて、回転軸４２の運動を阻害しないように棒状体１の内周面と回転軸４２の外周面とが接着されている。なお、符号４３は箔状リード線である。

図３は、回転式振動子４が振動した状態を模式的に示した図である。
図３に示すように、回転式振動子４に所定の直流電圧を印加すると回転式振動子４が棒状体１の長手方向を回転中心とした回転振動する。これによって、回転軸４２に接着された棒状体１の他端部１bは、緩衝部材５を頂点とした円錐状に運動し、検出電極２及び比較電極３が取り付けられた棒状体１の一端部１aは、緩衝部材５を頂点として円錐状に運動する。すなわち、棒状体１の他端部１bと一端部１aとは、緩衝部材５を中心として互いに対称となるように円錐状に運動する。したがって、このような検出電極２及び比較電極３をオゾン水に接触させると、検出電極２及び比較電極３とオゾン水との間に連続した変位接触が与えられ、両電極２，３間にオゾン水濃度に比例した電気信号が惹起され、オゾン水のオゾン濃度に比例した強さの安定した電気信号を得ることができる。

以上、本発明の実施の形態によれば、棒状体１の一端部１aに検出電極２及び比較電極３が設けられ、他端部１bに回転式振動子４が設けられており、棒状体１の長手方向中心位置が緩衝部材５によって支持されているので、回転式振動子４が回転振動することにより、回転式振動子４と、検出電極２及び比較電極３とが緩衝部材５を中心として互いに対称となるように緩衝部材５を頂点とした円錐運動を行う。したがって、従来のように水平方向や上下方向に棒状体１が振動する場合、振動によってオゾン水が高速で攪拌される結果、特に高濃度域において電極に接触しているオゾン水がガス分離を起こすことがあったが、本発明では電極の円錐運動によりガス分離が生じることもなく、オゾン水濃度に比例した電気信号が惹起されて、正確にオゾン水濃度を測定することができる。また、単純な構造で容易に製造することもできる。
また、回転式振動子４が直流電動機であるので、印加電圧を変えることにより回転式振動子４の振動数が変化するため、最も安定したオゾン水濃度の電気信号変換を達成することのできる最適な振動速度を調整することにより、特に高濃度域における過剰振動によるオゾン水の減衰を防ぐと同時に振動数が低いことによる検出電極２及び比較電極３とオゾン水の接触不足を防止することができる。

［第二の実施の形態］
図４は、オゾン水濃度検出センサ１００Ａが水槽２００Ａに取り付けられた状態を示す側断面図である。なお、図４において、検出電極２Ａ及び比較電極３Ａに結線される電流計は図面の関係上省略している。
第二の実施の形態におけるオゾン水濃度検出センサ１００Ａは、第一の実施の形態において、緩衝部材としてシリコンゴム板５Ａを使用したものであり、水槽２００Ａの開口部２０１Ａにシリコンゴム板５Ａを嵌め込んでいる。なお、その他は第一の実施の形態と同様の構成をなしているので、同様の数字に符号Ａを付して説明を省略する。
図３に示すように、オゾン水濃度検出センサ１００Ａは、オゾン水が貯められた水槽２００Ａ内の底部に取り付けられるようになっており、棒状体１Ａの長手方向中央位置にシリコンゴム板５Ａからなる緩衝部材が棒状体１Ａの長手方向に対して略垂直となるように設けられている。棒状体１Ａは、上記棒状体１よりも長さを短くすることが好ましい。
シリコンゴム板５Ａは、円板状をなし、水槽２００Ａの底部に形成された開口部２０１Ａに嵌め込まれるようにある程度の厚みを有している。また、シリコンゴム板５Ａの中央に円形状の穴５１Ａが形成されており、穴５１Ａ内に棒状部材１Ａが挿入されることによりシリコンゴム板５Ａと棒状部材１Ａとが密着している。

水槽２００Ａの底部には、シリコンゴム板５Ａが水密に嵌め込まれるような円形状の開口部２０１Ａが形成されている。そして、水槽２００Ａの内側に検出電極２Ａ及び比較電極３Ａが配置されるように、開口部２０１Ａにシリコンゴム板５Ａが嵌め込まれることによってオゾン水濃度検出センサ１００Ａが保持されている。
したがって、回転式振動子２Ａに通電すると回転式振動子２Ａが棒状体１Ａの長手方向を回転中心とした回転振動をし、これに伴って棒状体１Ａの他端部１bＡがシリコンゴム板５Ａ部分を頂点とした円錐運動をし、検出電極２Ａ及び比較電極３Ａが取り付けられた棒状体１Ａの一端部１aＡはシリコンゴム板５Ａ部分を頂点とした円錐運動をする。すなわち、棒状体１Ａの他端部１bＡと一端部１aＡとが、シリコンゴム板５Ａ部分を中心として互いに対称となるように円錐状に運動する。そして、検出電極２Ａ及び比較電極３Ａがオゾン水に接触すると、検出電極２Ａ及び比較電極３Ａとオゾン水との間に連続した変位接触が与えられ、これによって起電力が発生し、オゾン水のオゾン濃度に比例した強さの安定した電気信号を得ることができる。また、シリコンゴム板５Ａを開口部２０１Ａに嵌め込むことによってオゾン水濃度検出センサ１００Ａを水槽２００Ａに簡単に組み込むことができ、しかもシリコンゴム板５Ａによって水槽２００Ａの底部における水密も確保できる点で好ましい。

［第三の実施の形態］
図５は、オゾン水濃度検出センサ１００Ｂの検出電極２Ｂ及び比較電極３Ｂ側を示した斜視図である。
第三の実施の形態におけるオゾン水濃度検出センサ１００Ｂは、第一の実施の形態におけるオゾン水濃度検出センサ１００の比較電極３と形状の異なる比較電極３Ｂを使用している。なお、その他は同様の構成をなしているので、同様の数字に符号Ｂを付して説明を省略する。
図５に示すように、オゾン水濃度検出センサ１０Ｂの検出電極２Ｂは、棒状をなし、棒状体１Ｂの一端部１aＢに、その一端部１aＢから長手方向に沿って突出するように設けられている。比較電極３Ｂは、塩化銀被覆の銀金網等からなる円筒状をなしており、その内部に検出電極２Ｂが配置されている。棒状の検出電極２Ｂの先端は、円筒状の比較電極３Ｂから若干突出している。

図６は、オゾン水濃度検出センサ１００Ｂを使用した一例であり、オゾン水濃度検出器３００Ｂを模式的に示した図である。
図６に示すように、オゾン水濃度検出器３００Ｂは、検出器本体３０１Ｂと、検出器本体３００Ｂの下端部に下方に延在して設けられた筒状の接続管３０２Ｂと、接続管３０２Ｂ内に収容されたオゾン水濃度検出センサ１００Ｂとを備えている。
検出器本体３０１Ｂには、検出電極２Ｂ及び比較電極３Ｂの一端部にそれぞれ結線された電流計（図示しない）の測定値がオゾン水の濃度に合うように指示された濃度指示計３０４Ｂが内蔵されている。濃度指示計３０４Ｂの下方に乾電池収納部３０５Ｂが形成されている。乾電池収納部３０５Ｂに、回転式振動子４Ｂの電源となる二つの乾電池３０６Ｂが収納されている。また、乾電池収納部３０５Ｂの下方には回転式振動子４Ｂの起動又は停止を行う電源ボタン３０７Ｂが設けられている。
接続管３０２Ｂの内壁面には、オゾン水濃度検出センサ１００Ｂの棒状体１Ｂを保持するための保持部６Ｂが形成されている。保持部６Ｂは、互いに対向する内壁面に、その内壁面から棒状体１Ｂ側に突出して形成された突状をなし、棒状体１Ｂの長手方向中心位置に対応して内壁面に形成されている。そして、互いに対向する保持部６Ｂ間にＯリング等の緩衝部材５Ｂを介して棒状体１Ｂが密着支持されている。
棒状体１Ｂの一端部１aＡには上述の棒状の検出電極２Ｂ及び円筒状の比較電極３Ｂが取り付けられており、他端部１bＢには回転式振動子４Ｂが取り付けられている。検出電極２Ｂ及び比較電極３Ｂは、接続管３０２Ｂより下方に延出してオゾン水に接触できるようになっており、回転式振動子４Ｂは、接続管３０２Ｂ内に収納されており外部に露出していないので、オゾン水に接続管３０２Ｂの下端部を浸した場合でも酸化力のあるオゾン水飛沫から回転式振動子４Ｂを保護することができ、精度の低下を防止することができる。

このように構成されたオゾン水濃度検出器３００Ｂは、検出電極２Ｂ及び比較電極３Ｂを水槽２００Ｂ内のオゾン水に浸し、電源ボタン３０７ＢをＯＮとすることで、回転式振動子４Ｂが通電し、棒状体１Ｂの他端部１bＢが緩衝部材５Ｂを頂点とした円錐運動するとともに、緩衝部材５Ｂを中心として前記他端部１bＢの円錐運動と対称となるように棒状部材１Ｂの一端部１aＡが緩衝部材５Ｂを頂点とした円錐運動する。したがって、検出電極２Ｂ及び比較電極３Ｂをオゾン水に接触することで、検出電極２Ｂ及び比較電極３Ｂとオゾン水との間に連続した変位接触が与えられ、これによって起電力が発生し、オゾン水のオゾン濃度に比例した強さの安定した電気信号を得ることができる。その結果、濃度指示計３０４Ｂにより濃度が瞬時に表示される。
本実施の形態では、単三電池のような軽量の乾電池３０６Ｂで十分に駆動させることができ、長時間にわたる繰り返し使用に耐えることができる。
また、比較電極３Ｂが検出電極２Ｂの外周を囲むように設けられているので、円錐状に回転運動する検出電極２Ｂ及び比較電極３Ｂの先端が、よりオゾン水と連続にかつ円滑に接触することができる。よって、この点においてもオゾン水濃度に比例した起電力を確実に得ることができる。

なお、本発明は、上記実施の形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で適宜変更可能である。
例えば、上記実施の形態において棒状体１，１Ａ，１Ｂは断面円形状の細管としたが、円形状に限らず矩形状であっても構わない。また、シリコンゴム板５Ａは円板状としたが、矩形板としても良く、これに伴い水槽２００Ａの底部に形成された開口部２０１Ａの形状も適宜変更可能である。また、開口部２０１Ａの位置も水槽２００Ａの底部に限らず、側壁部に形成しても良い。
さらに、検出電極２，２Ａ，２Ｂ及び比較電極３，３Ａは棒状の電極としたが、例えば各種金属線をコイル状に巻いたものを使用しても良い。この場合、各電極の表面積が大きくなるので、出力が大きく安定した起電力を得ることができる。また、各電極の金属材料の使用量を少なくすることができる。その他、板状の電極としても良い。
また、振動式回転子４は上述した形状のものに限らず、適宜変更しても良い。

次に、本発明のオゾン水濃度検出センサによる効果について実施例を挙げて説明する。
［実施例］
上記第一の実施の形態の実施例として、まず、直径１２mm、厚さ３．４mmの扁平振動子（回転式振動子）を準備し、この振動数を調べた結果、直流２．５Vを印加した場合、直流電動機の回転数が毎分約８０００回転であり、毎秒約１３０回の円錐運動を行っていた。そこで、棒状体として、径６mm、長さ１２０mmのプラスチック製細管を使用し、この細管の一端部を振動子の中心部に装着し、他端部を検出電極及び比較電極を取り付けて、さらに、細管の両端部から略６０mmの細管の長手方向中心位置にシリコン製Ｏリングを介して支持した。この検出電極及び比較電極をオゾン水中に浸したところ、連続して直径２０mmくらいの円滑な円錐運動を行い、オゾン水との連続接触による起電力を生じ、オゾン水濃度の１ppm当たり１２マイクロアンペアの電気信号を取り出し、０〜１０ppmの間、濃度に比例した電気信号を得た。これに対して、比較例として、短冊状に形成された片状体に水平振動を与える振動子を、片状体の一方の端部側の表面に取り付けて検出電極及び比較電極を水平振動させた場合、オゾン水濃度が５ppm以上では電気信号の出力低下が見られた。この結果を図７に示す。図７は、オゾン水濃度［ppm］と電気信号の出力［μA］との関係を示したグラフである。
したがって、本発明のように検出電極及び比較電極に緩衝部材を頂点とした円錐運動を与えることにより、オゾン水と連続接触による起電力が生じ、高濃度においてもオゾン水濃度に比例した電気信号が得られることが認められる。

上記第二の実施の形態の実施例として、直径約１２０mmのアクリル樹脂製の水槽（２リットル）の底部に直径約２５mmの開口部を形成し、厚さ３mmのシリコンゴム板でその開口部に嵌め込んで塞ぎ、直径６mm、長さ２０mmのプラスチック製細管をシリコンゴム板を貫通させて、水槽内に検出電極及び比較電極を配置するとともに水槽外に上述の扁平振動子（回転式振動子）を配置した。そして、回転式振動子を上記条件と同様の条件で回転させた。水槽内には、異なる濃度のオゾン水を数種流入させ、濃度指示計に出力されたオゾン水濃度と電気信号の関係を調べた。一方、他の濃度検出法としては、紫外線吸収法によるオゾン水濃度検出器を用いて行った。
本発明の方法では１〜８ppmのオゾン水濃度範囲において、オゾン水濃度に比例した電気信号を得ることができ、周知の精度の高い紫外線吸収法を用いた場合と一致した指度を示した。しかし、紫外線吸収法を用いた場合では、電源を入れて２０分ほどのウォームアップ時間を必要とするのに対し、本方法では瞬時稼働でき、さらに、紫外線吸収法は濃度指示に数秒から数十秒のタイムラグを要するのに比べ、ほとんどタイムラグのない指示が出る等の特性があることがわかった。この点から本発明は紫外線吸収法より優れていると言える。

オゾン水濃度検出センサ１００の概略図である。 (a)は、回転式振動子４の平面図、(b)は、回転式振動子４の側面図、(c)は、回転式振動子４の裏面図である。回転式振動子４が振動した状態を模式的に示した図である。オゾン水濃度検出センサ１００Ａが水槽２００Ａに取り付けられた状態を示す側断面図である。オゾン水濃度検出センサ１００Ｂの検出電極２Ｂ及び比較電極３Ｂ側を示した斜視図である。オゾン水濃度検出センサ１００Ｂを使用した一例であり、オゾン水濃度検出器３００Ｂを模式的に示した図である。オゾン水濃度と電気信号の出力との関係を示したグラフである。

符号の説明

１，１Ａ，１Ｂ棒状体
１a，１aＡ，１aＢ一端部
１b，１bＡ，１bＢ他端部
２，２Ａ，２Ｂ検出電極
３，３Ａ，３Ｂ比較電極
４，４Ａ，４Ｂ回転式振動子
５，５Ｂ緩衝部材
５Ａシリコンゴム板（緩衝部材）
１００，１００Ａ，１００Ｂオゾン水濃度検出センサ
２００Ａ水槽
２０１Ａ開口部
３００Ｂオゾン水濃度検出器

Claims

棒状体と、
前記棒状体の一端部に設けられてオゾン水に浸される検出電極及び比較電極と、
前記棒状体の他端部に設けられて棒状体の長手方向を回転中心として回転振動する永久磁石式の直流電動機である回転式振動子と、
前記棒状体の長手方向中心位置に設けられて前記棒状体を支持する緩衝部材とを備え、
前記回転式振動子の回転振動により、前記回転式振動子と、前記検出電極及び比較電極とが前記緩衝部材を中心として互いに対称となるように前記緩衝部材を頂点とした円錐運動を行い、
前記回転式振動子と前記検出電極及び比較電極とがともに円錐運動することにより、前記検出電極及び比較電極とオゾン水との間に連続して変位接触が与えられ、両電極間にオゾン水濃度に比例した電気信号が惹起され、オゾン水のオゾン濃度に比例した強さの電気信号を得ることを特徴とするオゾン水濃度検出センサ。
前記検出電極が、前記棒状体の一端部から長手方向に延在して設けられ、
前記比較電極は、前記検出電極の外周を囲むように前記棒状体の一端部に設けられていることを特徴とする請求項１に記載のオゾン水濃度検出センサ。
オゾン水が貯められた水槽の壁部に開口部が形成され、
前記緩衝部材が、前記開口部に水密に設けられたシリコンゴム板であり、
前記棒状部材が、前記水槽内に前記検出電極及び比較電極を配置するとともに前記回転式振動子を前記水槽外に配置するように前記シリコンゴム板を貫通することにより支持されていることを特徴とする請求項１又は２に記載のオゾン水濃度検出センサ。
前記回転式振動子が直流電動機であり、駆動電圧を印加することにより、前記検出電極とオゾン水との連続接触に最適な振動速度を調整することを特徴とする請求項１〜３のいずれか一項に記載のオゾン水濃度検出センサ。