JP4317472B2 - 樹脂製マイクロチャネルアレイ及び製造方法 - Google Patents
樹脂製マイクロチャネルアレイ及び製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4317472B2 JP4317472B2 JP2004079072A JP2004079072A JP4317472B2 JP 4317472 B2 JP4317472 B2 JP 4317472B2 JP 2004079072 A JP2004079072 A JP 2004079072A JP 2004079072 A JP2004079072 A JP 2004079072A JP 4317472 B2 JP4317472 B2 JP 4317472B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- resin
- substrate
- resist
- microchannel array
- blood
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
- 229920005989 resin Polymers 0.000 title claims description 113
- 239000011347 resin Substances 0.000 title claims description 113
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 14
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 116
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 39
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 39
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 16
- 238000000151 deposition Methods 0.000 claims description 7
- 238000002788 crimping Methods 0.000 claims description 2
- 239000010781 infectious medical waste Substances 0.000 claims description 2
- 238000000059 patterning Methods 0.000 claims description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 104
- 210000004369 blood Anatomy 0.000 description 92
- 239000008280 blood Substances 0.000 description 92
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 57
- 210000000601 blood cell Anatomy 0.000 description 45
- 239000000463 material Substances 0.000 description 32
- 210000000265 leukocyte Anatomy 0.000 description 31
- 238000011282 treatment Methods 0.000 description 31
- 210000001772 blood platelet Anatomy 0.000 description 29
- 239000000306 component Substances 0.000 description 24
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 23
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 22
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 20
- 210000003743 erythrocyte Anatomy 0.000 description 20
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 19
- 239000010408 film Substances 0.000 description 19
- 230000008569 process Effects 0.000 description 19
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 18
- 238000011161 development Methods 0.000 description 14
- 230000018109 developmental process Effects 0.000 description 14
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 14
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 13
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 12
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 11
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 11
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 11
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 11
- 238000001746 injection moulding Methods 0.000 description 10
- 238000002198 surface plasmon resonance spectroscopy Methods 0.000 description 10
- 239000003513 alkali Substances 0.000 description 9
- 238000003491 array Methods 0.000 description 9
- 230000008859 change Effects 0.000 description 9
- 238000000691 measurement method Methods 0.000 description 9
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 9
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 9
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 9
- PPBRXRYQALVLMV-UHFFFAOYSA-N Styrene Chemical compound C=CC1=CC=CC=C1 PPBRXRYQALVLMV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 239000013543 active substance Substances 0.000 description 8
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 8
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 8
- 238000004132 cross linking Methods 0.000 description 8
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 8
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 description 8
- 238000006116 polymerization reaction Methods 0.000 description 8
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 8
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 8
- 238000004528 spin coating Methods 0.000 description 8
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 8
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 7
- 230000036541 health Effects 0.000 description 7
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 7
- 238000000465 moulding Methods 0.000 description 7
- 238000003745 diagnosis Methods 0.000 description 6
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 6
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 6
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 6
- 239000002504 physiological saline solution Substances 0.000 description 6
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 6
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 5
- NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N acrylic acid group Chemical group C(C=C)(=O)O NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 201000010099 disease Diseases 0.000 description 5
- 208000037265 diseases, disorders, signs and symptoms Diseases 0.000 description 5
- 239000003814 drug Substances 0.000 description 5
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000011368 organic material Substances 0.000 description 5
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 5
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 description 5
- 238000004904 shortening Methods 0.000 description 5
- 229920005992 thermoplastic resin Polymers 0.000 description 5
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 5
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 5
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 4
- 239000000178 monomer Substances 0.000 description 4
- BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N platinum Chemical compound [Pt] BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229920003229 poly(methyl methacrylate) Polymers 0.000 description 4
- 239000004926 polymethyl methacrylate Substances 0.000 description 4
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 4
- 238000011160 research Methods 0.000 description 4
- 230000001629 suppression Effects 0.000 description 4
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 4
- 102000002585 Contractile Proteins Human genes 0.000 description 3
- 108010068426 Contractile Proteins Proteins 0.000 description 3
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 3
- 210000004027 cell Anatomy 0.000 description 3
- 230000021164 cell adhesion Effects 0.000 description 3
- 239000003153 chemical reaction reagent Substances 0.000 description 3
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 3
- 230000008602 contraction Effects 0.000 description 3
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 3
- 125000000524 functional group Chemical group 0.000 description 3
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 3
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 3
- 230000009477 glass transition Effects 0.000 description 3
- 230000005661 hydrophobic surface Effects 0.000 description 3
- 230000002706 hydrostatic effect Effects 0.000 description 3
- 229910010272 inorganic material Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000011147 inorganic material Substances 0.000 description 3
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 3
- 238000009832 plasma treatment Methods 0.000 description 3
- 229920003023 plastic Polymers 0.000 description 3
- 239000004033 plastic Substances 0.000 description 3
- 229920002451 polyvinyl alcohol Polymers 0.000 description 3
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 3
- 238000004506 ultrasonic cleaning Methods 0.000 description 3
- 230000000007 visual effect Effects 0.000 description 3
- VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N Chromium Chemical compound [Cr] VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- IMROMDMJAWUWLK-UHFFFAOYSA-N Ethenol Chemical compound OC=C IMROMDMJAWUWLK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 206010057249 Phagocytosis Diseases 0.000 description 2
- 239000004372 Polyvinyl alcohol Substances 0.000 description 2
- XTXRWKRVRITETP-UHFFFAOYSA-N Vinyl acetate Chemical compound CC(=O)OC=C XTXRWKRVRITETP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000009471 action Effects 0.000 description 2
- 238000004220 aggregation Methods 0.000 description 2
- 230000002776 aggregation Effects 0.000 description 2
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 2
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000003321 amplification Effects 0.000 description 2
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000010382 chemical cross-linking Methods 0.000 description 2
- HVYWMOMLDIMFJA-DPAQBDIFSA-N cholesterol Chemical compound C1C=C2C[C@@H](O)CC[C@]2(C)[C@@H]2[C@@H]1[C@@H]1CC[C@H]([C@H](C)CCCC(C)C)[C@@]1(C)CC2 HVYWMOMLDIMFJA-DPAQBDIFSA-N 0.000 description 2
- 229920006026 co-polymeric resin Polymers 0.000 description 2
- 238000012790 confirmation Methods 0.000 description 2
- 229920001577 copolymer Polymers 0.000 description 2
- 230000003013 cytotoxicity Effects 0.000 description 2
- 231100000135 cytotoxicity Toxicity 0.000 description 2
- 238000013461 design Methods 0.000 description 2
- 238000007598 dipping method Methods 0.000 description 2
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 2
- 238000001312 dry etching Methods 0.000 description 2
- 230000005284 excitation Effects 0.000 description 2
- 230000002209 hydrophobic effect Effects 0.000 description 2
- 238000002513 implantation Methods 0.000 description 2
- 230000003834 intracellular effect Effects 0.000 description 2
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 2
- 238000007726 management method Methods 0.000 description 2
- 230000005012 migration Effects 0.000 description 2
- 238000013508 migration Methods 0.000 description 2
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 2
- 238000003199 nucleic acid amplification method Methods 0.000 description 2
- 238000005457 optimization Methods 0.000 description 2
- 230000008782 phagocytosis Effects 0.000 description 2
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 2
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 2
- 229920002037 poly(vinyl butyral) polymer Polymers 0.000 description 2
- 229920005668 polycarbonate resin Polymers 0.000 description 2
- 239000004431 polycarbonate resin Substances 0.000 description 2
- -1 polyethylene terephthalate Polymers 0.000 description 2
- 239000011148 porous material Substances 0.000 description 2
- 230000003449 preventive effect Effects 0.000 description 2
- 102000004169 proteins and genes Human genes 0.000 description 2
- 108090000623 proteins and genes Proteins 0.000 description 2
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 2
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 2
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 2
- 208000010110 spontaneous platelet aggregation Diseases 0.000 description 2
- 230000001225 therapeutic effect Effects 0.000 description 2
- 238000001771 vacuum deposition Methods 0.000 description 2
- 238000001039 wet etching Methods 0.000 description 2
- HRPVXLWXLXDGHG-UHFFFAOYSA-N Acrylamide Chemical compound NC(=O)C=C HRPVXLWXLXDGHG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004925 Acrylic resin Substances 0.000 description 1
- 229920000178 Acrylic resin Polymers 0.000 description 1
- 229910000531 Co alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 102000004190 Enzymes Human genes 0.000 description 1
- 108090000790 Enzymes Proteins 0.000 description 1
- VGGSQFUCUMXWEO-UHFFFAOYSA-N Ethene Chemical compound C=C VGGSQFUCUMXWEO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000005977 Ethylene Substances 0.000 description 1
- WQZGKKKJIJFFOK-GASJEMHNSA-N Glucose Natural products OC[C@H]1OC(O)[C@H](O)[C@@H](O)[C@@H]1O WQZGKKKJIJFFOK-GASJEMHNSA-N 0.000 description 1
- HTTJABKRGRZYRN-UHFFFAOYSA-N Heparin Chemical compound OC1C(NC(=O)C)C(O)OC(COS(O)(=O)=O)C1OC1C(OS(O)(=O)=O)C(O)C(OC2C(C(OS(O)(=O)=O)C(OC3C(C(O)C(O)C(O3)C(O)=O)OS(O)(=O)=O)C(CO)O2)NS(O)(=O)=O)C(C(O)=O)O1 HTTJABKRGRZYRN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WOBHKFSMXKNTIM-UHFFFAOYSA-N Hydroxyethyl methacrylate Chemical compound CC(=C)C(=O)OCCO WOBHKFSMXKNTIM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920000305 Nylon 6,10 Polymers 0.000 description 1
- 239000002202 Polyethylene glycol Substances 0.000 description 1
- 229920000954 Polyglycolide Polymers 0.000 description 1
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FAPWRFPIFSIZLT-UHFFFAOYSA-M Sodium chloride Chemical compound [Na+].[Cl-] FAPWRFPIFSIZLT-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 208000007536 Thrombosis Diseases 0.000 description 1
- 102000003990 Urokinase-type plasminogen activator Human genes 0.000 description 1
- 108090000435 Urokinase-type plasminogen activator Proteins 0.000 description 1
- BZHJMEDXRYGGRV-UHFFFAOYSA-N Vinyl chloride Chemical compound ClC=C BZHJMEDXRYGGRV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QXZUUHYBWMWJHK-UHFFFAOYSA-N [Co].[Ni] Chemical compound [Co].[Ni] QXZUUHYBWMWJHK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000006096 absorbing agent Substances 0.000 description 1
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 1
- 230000003213 activating effect Effects 0.000 description 1
- 230000004913 activation Effects 0.000 description 1
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 1
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 1
- 230000004931 aggregating effect Effects 0.000 description 1
- 238000000137 annealing Methods 0.000 description 1
- 238000002048 anodisation reaction Methods 0.000 description 1
- 239000003963 antioxidant agent Substances 0.000 description 1
- 239000002216 antistatic agent Substances 0.000 description 1
- 239000007864 aqueous solution Substances 0.000 description 1
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 1
- 229920001400 block copolymer Polymers 0.000 description 1
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 description 1
- 230000023555 blood coagulation Effects 0.000 description 1
- 239000012503 blood component Substances 0.000 description 1
- 238000009534 blood test Methods 0.000 description 1
- CQEYYJKEWSMYFG-UHFFFAOYSA-N butyl acrylate Chemical compound CCCCOC(=O)C=C CQEYYJKEWSMYFG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000024245 cell differentiation Effects 0.000 description 1
- 230000010261 cell growth Effects 0.000 description 1
- 230000004663 cell proliferation Effects 0.000 description 1
- 238000012993 chemical processing Methods 0.000 description 1
- 239000013626 chemical specie Substances 0.000 description 1
- 235000012000 cholesterol Nutrition 0.000 description 1
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011651 chromium Substances 0.000 description 1
- 230000001112 coagulating effect Effects 0.000 description 1
- 238000004040 coloring Methods 0.000 description 1
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 238000007334 copolymerization reaction Methods 0.000 description 1
- 239000007822 coupling agent Substances 0.000 description 1
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 1
- 238000007872 degassing Methods 0.000 description 1
- 230000000994 depressogenic effect Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000000502 dialysis Methods 0.000 description 1
- 239000004205 dimethyl polysiloxane Substances 0.000 description 1
- 150000002013 dioxins Chemical class 0.000 description 1
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 1
- 238000004090 dissolution Methods 0.000 description 1
- 229940079593 drug Drugs 0.000 description 1
- 238000004043 dyeing Methods 0.000 description 1
- 235000006694 eating habits Nutrition 0.000 description 1
- 229920001971 elastomer Polymers 0.000 description 1
- 239000000806 elastomer Substances 0.000 description 1
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 1
- 239000012789 electroconductive film Substances 0.000 description 1
- 238000007772 electroless plating Methods 0.000 description 1
- 238000000635 electron micrograph Methods 0.000 description 1
- 238000009713 electroplating Methods 0.000 description 1
- 238000010828 elution Methods 0.000 description 1
- 239000000839 emulsion Substances 0.000 description 1
- 230000007613 environmental effect Effects 0.000 description 1
- 229940088598 enzyme Drugs 0.000 description 1
- 125000003700 epoxy group Chemical group 0.000 description 1
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 1
- 238000001125 extrusion Methods 0.000 description 1
- 230000005669 field effect Effects 0.000 description 1
- 239000003063 flame retardant Substances 0.000 description 1
- 239000008103 glucose Substances 0.000 description 1
- 239000001963 growth medium Substances 0.000 description 1
- 229910052736 halogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000002367 halogens Chemical class 0.000 description 1
- 239000012760 heat stabilizer Substances 0.000 description 1
- 229960002897 heparin Drugs 0.000 description 1
- 229920000669 heparin Polymers 0.000 description 1
- 125000004435 hydrogen atom Chemical group [H]* 0.000 description 1
- 229920001477 hydrophilic polymer Polymers 0.000 description 1
- 238000007654 immersion Methods 0.000 description 1
- 238000002650 immunosuppressive therapy Methods 0.000 description 1
- 238000009169 immunotherapy Methods 0.000 description 1
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 1
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 1
- 239000002440 industrial waste Substances 0.000 description 1
- 208000015181 infectious disease Diseases 0.000 description 1
- 238000010884 ion-beam technique Methods 0.000 description 1
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 1
- 238000012933 kinetic analysis Methods 0.000 description 1
- 229910052743 krypton Inorganic materials 0.000 description 1
- DNNSSWSSYDEUBZ-UHFFFAOYSA-N krypton atom Chemical compound [Kr] DNNSSWSSYDEUBZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004611 light stabiliser Substances 0.000 description 1
- 238000001459 lithography Methods 0.000 description 1
- 239000000314 lubricant Substances 0.000 description 1
- 239000012528 membrane Substances 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- 238000002715 modification method Methods 0.000 description 1
- 239000006082 mold release agent Substances 0.000 description 1
- 239000012778 molding material Substances 0.000 description 1
- 239000003921 oil Substances 0.000 description 1
- 238000012634 optical imaging Methods 0.000 description 1
- 230000008520 organization Effects 0.000 description 1
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 1
- 238000005192 partition Methods 0.000 description 1
- 238000005191 phase separation Methods 0.000 description 1
- 150000003904 phospholipids Chemical class 0.000 description 1
- 230000000704 physical effect Effects 0.000 description 1
- 239000000049 pigment Substances 0.000 description 1
- 230000010118 platelet activation Effects 0.000 description 1
- 229920000435 poly(dimethylsiloxane) Polymers 0.000 description 1
- 229920000747 poly(lactic acid) Polymers 0.000 description 1
- 229920006122 polyamide resin Polymers 0.000 description 1
- 239000004417 polycarbonate Substances 0.000 description 1
- 229920000515 polycarbonate Polymers 0.000 description 1
- 229920001225 polyester resin Polymers 0.000 description 1
- 239000004645 polyester resin Substances 0.000 description 1
- 229920001223 polyethylene glycol Polymers 0.000 description 1
- 229920000139 polyethylene terephthalate Polymers 0.000 description 1
- 239000005020 polyethylene terephthalate Substances 0.000 description 1
- 239000004633 polyglycolic acid Substances 0.000 description 1
- 229920002338 polyhydroxyethylmethacrylate Polymers 0.000 description 1
- 239000004626 polylactic acid Substances 0.000 description 1
- 229920006254 polymer film Polymers 0.000 description 1
- 239000002861 polymer material Substances 0.000 description 1
- 229920001451 polypropylene glycol Polymers 0.000 description 1
- 229920005990 polystyrene resin Polymers 0.000 description 1
- 230000002265 prevention Effects 0.000 description 1
- 238000000746 purification Methods 0.000 description 1
- 238000003908 quality control method Methods 0.000 description 1
- 230000007261 regionalization Effects 0.000 description 1
- 238000005096 rolling process Methods 0.000 description 1
- 230000028327 secretion Effects 0.000 description 1
- 229920002050 silicone resin Polymers 0.000 description 1
- 238000004088 simulation Methods 0.000 description 1
- 239000011780 sodium chloride Substances 0.000 description 1
- 230000001954 sterilising effect Effects 0.000 description 1
- 238000004659 sterilization and disinfection Methods 0.000 description 1
- 230000000638 stimulation Effects 0.000 description 1
- 239000000725 suspension Substances 0.000 description 1
- 230000002459 sustained effect Effects 0.000 description 1
- 230000005469 synchrotron radiation Effects 0.000 description 1
- 229920002725 thermoplastic elastomer Polymers 0.000 description 1
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 description 1
- 239000006097 ultraviolet radiation absorber Substances 0.000 description 1
- 229960005356 urokinase Drugs 0.000 description 1
- 230000008016 vaporization Effects 0.000 description 1
- 238000011179 visual inspection Methods 0.000 description 1
- 239000002699 waste material Substances 0.000 description 1
- 229910052724 xenon Inorganic materials 0.000 description 1
- FHNFHKCVQCLJFQ-UHFFFAOYSA-N xenon atom Chemical compound [Xe] FHNFHKCVQCLJFQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Landscapes
- Investigating Or Analysing Biological Materials (AREA)
- Investigating Or Analysing Materials By The Use Of Chemical Reactions (AREA)
- Optical Measuring Cells (AREA)
- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
- Investigating, Analyzing Materials By Fluorescence Or Luminescence (AREA)
Description
(I)基板上への第1レジスト層の形成
(ii)基板とマスクAとの位置合わせ
(iii)マスクAを用いた第1レジスト層の露光
(iv)第1レジスト層の熱処理
(v)第1レジスト層上への第2レジスト層の形成
(vi)基板とマスクBとの位置合わせ
(vii)マスクBを用いた第2レジスト層の露光
(viii)第2レジスト層の熱処理
(ix)レジスト層の現像
を行い、所望のレジストパターンを形成する。
図1に示す成形品を形成する方法に従って、レジスト塗布を2回繰り返して第1レジスト層を形成、各層に露光、熱処理を実施した後、更にレジスト塗布を1回繰り返して第2レジスト層を形成、露光、熱処理を実施した後、図3に示すような横16mm×縦8mm、厚さ1.0mmの基板に、幅10μm、深さ7μmの微細な溝15と、深さ80μmの窪みを有する樹脂製マイクロチャネルアレイを製造した。図3(b)は、図3(a)におけるP部分、Q部分の拡大上面図である。空気中にて、水に対する接触角を測定した。接触角測定装置(協和界面化学株式会社製、CA−DT・A型)を用いて測定したところ70°であった。SEMによる窪み相互を区画する壁部、及び窪み相互を連通する微小な溝の構成を図4、5、6、7に示す。
図1に示す成形品を形成する方法に従って、レジスト塗布を2回繰り返して第1レジスト層を形成、各層に露光、熱処理を実施した後、更にレジスト塗布を1回繰り返して第2レジスト層を形成、露光、熱処理を実施した後、図8に示すような横16mm×縦8mm、厚さ1.0mmの基板に、幅7μm、深さ5μmの微細な溝と、深さ80μmの窪みを有する樹脂製マイクロチャネル基板を製造した。図8(b)は、図8(a)におけるP部分、Q部分の拡大上面図である。
図1に示す成形品を形成する方法に従って、レジスト塗布を2回繰り返して第1レジスト層を形成、各層に露光、熱処理を実施した後、更にレジスト塗布を1回繰り返して第2レジスト層を形成、露光、熱処理を実施した後、図8に示すような横16mm×縦8mm、厚さ1.0mmの基板に、幅7μm、深さ5μmの微細な溝と、深さ80μmの窪みを有する樹脂製マイクロチャネルアレイを製造した。
図1に示す成形品を形成する方法に従って、レジスト塗布を1回繰り返して第1レジスト層を形成、各層に露光、熱処理を実施した後、更にレジスト塗布を1回繰り返して第2レジスト層を形成、そして更にレジスト塗布を1回繰り返して第3レジスト層を形成、露光、熱処理を実施した後、図10に示すような横16mm×縦8mm、厚さ1.0mmの基板に、幅7μm、深さ5μmの微細な溝と、深さ40μm、80μmの2段回の窪みを有する樹脂製マイクロチャネルアレイを製造した。
図1に示す成形品を形成する方法に従って、レジスト塗布を2回繰り返して第1レジスト層を形成、各層に露光、熱処理を実施した後、更にレジスト塗布を1回繰り返して第2レジスト層を形成、露光、熱処理を実施した後、図8に示すような横16mm×縦8mm、厚さ1.0mmの基板に、幅7μm、深さ5μmの微細な溝と、深さ80μmの窪みを有する樹脂製マイクロチャネルアレイを製造した。
あらかじめ、気泡の混入を防止する目的で、樹脂製マイクロチャネルアレイを生理食塩水に浸した後、測定モジュールにセットした。次に、生理食塩水、血液の順に試料を導入した。血液測定は、左端部の流入口から導入された血液試料が、窪み、微細な流路を経由して右端部の流出するまでの通過時間、及び目視による血球細胞の変形通過、付着能の確認を行った。
樹脂製基板Aと同様に、血液測定に成功した。使用した血液試料は、同じ検体を使用した。0.1mlの血液試料が、全て通過するのに要した時間は58秒であった。樹脂製基板Aよりも小さい幅7μm、深さ5μmの微細な流路とした結果、通過時間は約10秒長くなった。目視による血球細胞の変形通過では、直径8μmの赤血球が、変形通過する様子を確認することができた。更に、直径12μmの白血球が微細な流路を通過せず、固定化することが可能となり、光、表面プラズモン共鳴、電気化学的、超音波測定に対応可能であることが確認された。
樹脂製基板Aと同様に、血液測定に成功した。使用した血液試料は、同じ検体を使用した。0.1mlの血液試料が、全て通過するのに要した時間は56秒であった。目視による血球細胞の変形通過では、樹脂製基板2と同様に、直径8μmの赤血球が、変形通過する様子を確認することができた。更に、直径12μmの白血球が微細な流路を通過せず、固定化することが可能となり、光、表面プラズモン共鳴、電気化学的、超音波測定に対応可能であることが確認された。
樹脂製基板Aと同様に、血液測定に成功した。使用した血液試料は、同じ検体を使用した。0.1mlの血液試料が、全て通過するのに要した時間は49秒であった。目視による血球細胞の変形通過では、樹脂製基板2と同様に、直径8μmの赤血球が、変形通過する様子を確認することができた。更に、直径12μmの白血球が微細な流路を通過せず、固定化することが可能となり、光、表面プラズモン共鳴、電気化学的、超音波測定に対応可能であることが確認された。
樹脂製基板Aと同様に、血液測定に成功した。使用した血液試料は、同じ検体を使用した。0.1mlの血液試料が、全て通過するのに要した時間は66秒であった。目視による血球細胞の変形通過では、樹脂製基板2と同様に、直径8μmの赤血球が、変形通過する様子を確認することができた。更に、直径12μmの白血球が微細な流路を通過せず、固定化することが可能となり、光、表面プラズモン共鳴、電気化学的、超音波測定に対応可能であることが確認された。
2 第1レジスト層
3 マスクA
4 第2レジスト層
5 マスクB
6 レジストパターン
7 導電性膜
8 金属構造体
9 樹脂製プレート
10 第1の基板
11 流入口
12 流出口
13 窪み
14 壁部
15 微小な溝(微小な流路)
16 平面を有する第2の基板
Claims (7)
- 一端部に流入口を有し、他端部に流出口を有する窪みを複数配置し、且つこの窪み相互を区画する壁部に、窪み相互を連通する微小な溝を有してなる第1の基板と前記第1の基板の表面に接合ないし圧着される平面を有する第2の基板とからなり、前記第1の基板と第2の基板の接合部ないし圧着部に前記窪み及び溝によって形成される空間を流路として有する樹脂製マイクロチャネルアレイであり、
前記溝の幅、深さがそれぞれ1〜50μmの範囲内であり、かつ、該流路の幅と深さの比が1:10〜10:1の範囲内であり、窪みの深さが、多段形状で異なることを特徴とする樹脂製マイクロチャネルアレイ。 - 樹脂製マイクロチャネルアレイ表面の水に対する接触角が、0.5°以上70°以下であることを特徴とする請求項1に記載の樹脂製マイクロチャネルアレイ。
- 樹脂製マイクロチャネルアレイ表面の血小板付着箇所が、100箇所/cm2以下であることを特徴とする請求項1〜2のいずれか1項に記載の樹脂製マイクロチャネルアレイ。
- 溝内に、凹凸形状により狭隘部が設けられているいことを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載の樹脂製マイクロチャネルアレイ。
- 感染性廃棄物として、焼却処理が可能なことを特徴とする請求項1〜4のいずれか1項に記載の樹脂製マイクロチャネルアレイ。
- 前記第1の基板及び/又は第2の基板が透明であることを特徴とする請求項1〜5のいずれか1項に記載の樹脂製マイクロチャネルアレイ。
- 基板上にレジストにより、異なる深さを有する複数のレジスト層を、各層の現像液への溶解性を制御することによってパターン形成するステップと、
前記基板上に形成された前記レジストパターンにしたがって金属を付着し、金属構造体を形成するステップと、
前記金属構造体を使用して、樹脂製マイクロチャネル基板を形成するステップとを備えた請求項1〜6のいずれか1項に記載の樹脂製マイクロチャネルアレイの製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004079072A JP4317472B2 (ja) | 2004-03-18 | 2004-03-18 | 樹脂製マイクロチャネルアレイ及び製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004079072A JP4317472B2 (ja) | 2004-03-18 | 2004-03-18 | 樹脂製マイクロチャネルアレイ及び製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005265634A JP2005265634A (ja) | 2005-09-29 |
JP4317472B2 true JP4317472B2 (ja) | 2009-08-19 |
Family
ID=35090348
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004079072A Expired - Lifetime JP4317472B2 (ja) | 2004-03-18 | 2004-03-18 | 樹脂製マイクロチャネルアレイ及び製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4317472B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101535069B1 (ko) * | 2014-02-03 | 2015-07-09 | 가천대학교 산학협력단 | 폴리카보네이트 기판 표면에 친수성 또는 소수성 코팅층을 형성하는 방법 및 친수성 또는 소수성 마이크로채널을 구비한 폴리카보네이트 기판 접합체의 제조 방법 |
Families Citing this family (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US8980625B2 (en) | 2006-02-24 | 2015-03-17 | National Food Research Institute | Cell culture plate and method of manufacturing the same |
JP4984729B2 (ja) * | 2006-08-07 | 2012-07-25 | 東レ株式会社 | 帯電防止性カバーを有するマイクロアレイ |
JP4833120B2 (ja) * | 2007-03-16 | 2011-12-07 | 株式会社クラレ | 樹脂製マイクロチャネルアレイの製造方法 |
US20100260391A1 (en) | 2007-11-28 | 2010-10-14 | Konica Minolta Opto, Inc. | Blood fluidity measurement system and blood fluidity measurement method |
US20110124986A1 (en) * | 2008-07-23 | 2011-05-26 | Masaaki Takama | Microchip, Blood Analysis System and Blood Analysis Method |
JP5859425B2 (ja) * | 2009-04-09 | 2016-02-10 | コーニンクレッカ フィリップス エヌ ヴェKoninklijke Philips N.V. | 分析のための細胞を含む流体の薄層の調製 |
WO2011065176A1 (ja) * | 2009-11-26 | 2011-06-03 | コニカミノルタオプト株式会社 | マイクロチップ及び血液特性解析システム |
JP5772166B2 (ja) | 2011-04-08 | 2015-09-02 | セイコーエプソン株式会社 | 検出装置 |
JP5807373B2 (ja) | 2011-04-27 | 2015-11-10 | セイコーエプソン株式会社 | 検出装置 |
JP6169367B2 (ja) * | 2013-02-12 | 2017-07-26 | 新光電気工業株式会社 | 光学分析装置 |
JP6729026B2 (ja) * | 2016-06-15 | 2020-07-22 | ウシオ電機株式会社 | マイクロ流路チップおよび検体濃度測定装置 |
JP7339111B2 (ja) * | 2018-10-01 | 2023-09-05 | 旭化成株式会社 | マイクロ流路デバイス用感光性樹脂積層体 |
-
2004
- 2004-03-18 JP JP2004079072A patent/JP4317472B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101535069B1 (ko) * | 2014-02-03 | 2015-07-09 | 가천대학교 산학협력단 | 폴리카보네이트 기판 표면에 친수성 또는 소수성 코팅층을 형성하는 방법 및 친수성 또는 소수성 마이크로채널을 구비한 폴리카보네이트 기판 접합체의 제조 방법 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2005265634A (ja) | 2005-09-29 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4753672B2 (ja) | 樹脂製マイクロチャネルアレイの製造方法及びこれを用いた血液測定方法 | |
TWI409459B (zh) | 微導槽陣列及製法、及使用它之血液測定方法 | |
US20070202560A1 (en) | Resin microchannel array, method of manufacturing the same and blood test method using the same | |
JP3990307B2 (ja) | 樹脂成形品の製造方法、金属構造体の製造方法、チップ | |
JP4317472B2 (ja) | 樹脂製マイクロチャネルアレイ及び製造方法 | |
JP5281886B2 (ja) | 細胞培養容器およびその製造方法 | |
KR100573241B1 (ko) | 수지성형품의 제조방법 | |
RU2579311C2 (ru) | Получение тонких слоев текучей среды, содержащей клетки для анализа | |
WO2007105418A1 (ja) | 細胞培養容器およびその製造方法 | |
JP4520166B2 (ja) | 樹脂製マイクロチャネル基板及びその製造方法 | |
JP2007279048A (ja) | マイクロ粒子計数用プラスチックマイクロチップとその製造方法 | |
WO2020208229A1 (en) | Microfluidic device for measuring cell impedance and transepithelial electrical resistance | |
JP2005080607A (ja) | 細胞培養プレートおよびその製造方法 | |
US8980625B2 (en) | Cell culture plate and method of manufacturing the same | |
JP4806576B2 (ja) | 細胞培養容器、その製造方法および細胞培養方法 | |
JP4353757B2 (ja) | 樹脂成形品の製造方法及び金型の製造方法 | |
JP2015508997A (ja) | 改良されたパッチエリアの細胞付着性 | |
WO2007097273A1 (ja) | 樹脂製細胞培養容器およびその製造方法 | |
Han | Chip-based patch clamp technique using novel thin films for high electrical resistance seal |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A712 Effective date: 20060919 |
|
RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422 Effective date: 20061222 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20061226 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20090205 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20090217 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20090413 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20090512 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20090522 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4317472 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120529 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120529 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130529 Year of fee payment: 4 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130529 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140529 Year of fee payment: 5 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313117 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313117 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
EXPY | Cancellation because of completion of term |