JP4303068B2 - 板状部材矯正装置 - Google Patents

Description

本発明は、変形した板状部材を平坦化する矯正装置に関する。より詳細には金属電解法に用いる板状部材、さらに詳細には、電気銅製造に用いる種板をビームに吊下する為の吊下げ部材（リボンと称される）、或いはカソードに用いる板状材（種板と称される）等を矯正するのに好適である矯正装置に関する。

従来、例えば、銅電解精錬における電解工程においては、通常、長方形の電解槽が用いられている。この電解槽中には、図１に示すように、粗銅で形成したアノード（陽極板）１０１と、種板と称されるカソード（陰極板）１０２とが交互、平行となるように複数配置されている。だだし、この図１では一対のアノード１０１とカソード１０２を拡大して示し、これらが浸漬される電解槽についてはその淵部１１０、１１１のみを示している。

カソード１０２は電解槽中に吊下げるため、その上端を同じ材質の薄板で形成したループ状の取付け具１０５が２箇所に取り付けられている。この取付け具１０５は、当業界でリボンと称されている。このリボン１０５のループ中に角状のビーム（ロッドとも称される）１０７が通される。このビーム１０７によりカソード１０２が電解槽中に吊下げ、支持される。このビーム１０７は導電性を有しており、電解槽側に設けた陰極側導体１１１に接続される。また、アノード１０１は陽極側導体１１０に接続されている。

このような構成で電気分解処理を行うことにより、アノード１０１から電解槽に溶け出した銅イオンを種板となるカソード１０２上に析出、堆積させて電気銅を製造できる。

ところで、上記アノード１０１とカソード１０２とは、一般に電解槽内に５０ｍｍ程度の狭い間隔を持って配置されている。ここで、上記カソード１０２は比較的薄い板状（厚さ０．５ｍｍ程度）に形成されており反りが発生し易い。カソード１０２に反りが生じると、アノード１０１と接触したり、カソード１０２上への銅の析出状態に悪影響が出てしまう。そこで、カソード１０２を平坦に仕上げることが必要となる。そのために、カソード１０２用の銅板をプレスした後に各コーナー部の反りを検出し、検出前の反りに基づきフィードバックして、プレス時において各コーナー部の圧下荷重を個別に制御するようにしたカソード仕上げプレス制御装置の提案がある（例えば、特許文献１参照）。このようにすれば、反りを抑制した平坦なカソード１０２を得ることができる。

特開平１１−２５６３８７号公報（第２頁〜第４頁）

上記のように従来においては、主にアノード１０１とカソード１０２との配置関係や、カソード１０２の平坦化に注意が払われてきた。

しかしながら、図１で示すように、カソード１０２はリボン１０５を介して、電気供給線となるビーム１０７に電気的に接続される。このリボン１０５は、前述したようにカソードと同じ素材、電気銅等を用いて形成されている。このリボン１０５は、例えばリボン用に準備した厚み０．５ｍｍ〜１ｍｍの銅シート（種板）を切断機に掛け、所望の短冊形状９０×３５０ｍｍに個片化したリボン素材をループ状にして形成されている。ところが、上記の切断時にリボン素材は剪断力を受けるために、捩れ、撓みを有して変形してしまう場合が多い。

この変形しているリボン素材を、そのままカソード１０２に取り付けてリボン１０５としてしまうと、平坦性に欠けるのでビーム１０７面との接触が少なくなり、通電性が悪化する。その結果、消費電力が増加する結果となる。また、図１に示すカソード１０２は、組立て機械（整板機と称される）にカソード用の銅板とリボン素材とを供給してリボン１０５を有する形体に仕上げている。この整板機では、リボン素材をループ状に湾曲させ、ハト目パンチ穴を形成し、これをカシメてカソード用の銅板に固定するという加工が行われる。ここでリボン素材が平坦でなく、捩れ、撓み等があると整板機に投入した後にトラブルを誘発する。

そこで、従来から切断により変形してしまったリボン素材を平坦化させる矯正処理が実行されている。しかし、従来においては、この矯正処理に用いる装置というものは提案されていない。そのため、作業員が変形したリボン素材をハンマーで叩いて、平らに矯正するという肉体労働を行っているという実状がある。

このように、作業員による手作業とされていることについては、次のような理由があった。変形したリボン素材を矯正するには弾性域以上に変形させる必要がある。このような場合は、ローラーレベラーのように大きな変形を繰り返して与えながら修正する手法が一般に取られる。しかし、リボン素材の場合は厚みが均一でなくローラーの変位制御が大変困難であった。また、変形してしまったリボン素材を単にプレスしただけでは、完全に塑性変形させることができない。よって、プレス後に変形の戻りが生じて、平坦に矯正することができないという現実があった。よって、作業員による手作業の矯正を行わざるを得なかった。

上記の矯正作業では、平坦な台板の上に２０〜３０枚のリボン素材を置いて、木製のハンマーで叩くという単調な作業が繰り返される。このような作業のために専用の作業者を配置する必要があり、また、作業員による叩きではリボン素材を十分に平坦化することも困難であった。

このように、従来のリボン素材の矯正は作業員による手作業であり、時間を要した。また、作業員によるハンマー叩きでは、変形しているリボン素材を完全に平坦化させることは困難であった。十分に平坦化していないリボン素材を用いた場合には、前述したように後工程の整板機等でトラブルが発生する原因のとなった。

したがって、本発明の目的は、リボン素材等の変形した板状部材を矯正して、確実に平坦化できる板状部材矯正装置を提供することである。

上記目的は請求項１に記載の如く、板状部材が載置される平滑性を備えた台板と、前記台板の上方から近接及び離間することが可能な平滑性を備えた押え板と、前記台板を上下動させる昇降機と、前記押え板を振動させる振動手段と、前記台板上に前記板状部材を搬入する板状部材搬入手段及び平坦化された板状部材を搬出する板状部材搬出手段の内の少なくとも一方と、を含み、前記昇降機が上昇することにより出来る前記台板の下のスペースにスペーサを挿入すると共に、前記台板と前記押え板との間に前記板状部材を挟持しながら、前記振動手段で振動を与えて前記板状部材を平坦化し、前記台板及び前記押え板は、前記板状部材を同時に複数、挟持できる大きさを備えている板状部材矯正装置により達成できる。

本発明によると、変形している板状部材を前記台板と前記押え板との間に挟持しながら、振動を与えるので確実に平坦化できると共に、自動化を促進して、処理の効率化を図ることができる。さらに、１セットの台板及び押え板で同時に複数の板状部材矯正を実行できる。

また、前記台板及び押え板を複数並列配置するのが望ましい。このような配置により、より多数の板状部材を矯正できる。また、前記振動手段は前記台板及び押え板のセット毎に１つずつ配設されていてもよい。また、前記台板上の所定の位置に前記板状部材を載置させるための位置決め部材を備えていることが好ましい。また、前記振動手段は、前記台板及び押え板の少なくとも一方に接続されたエアー駆動式のバイブレータを採用することができる。

そして、平坦化の処理が終わった前記板状部材を前記台板上で、定位置に位置決めする位置決め装置が前記台板の近傍にさらに配置されている板状部材矯正装置であることがさらに望ましい。このような装置であれば、平坦化処理後までの工程（例えば移載時等）で板状部材が進行方向へずれた場合、でも、これを定位置に位置決めしてから搬出が行なえるので、円滑な搬出、収納が行える。この位置決め装置は、前記台板上の前記板状部材に当接する当接部と、該当接部を往復動させるアクチュエータとを含むことができる。また、前記当接部は複数の前記板状部材に同時に当接できるように櫛歯状に形成されており、前記板状部材を載置する前記台板は前記櫛歯を受入れる凹部を有している構造を採用できる。

また、前記板状部材としては、例えば金属電解用のリボンのみならず、金属電解用のカソードなども含む。

以上説明したように、本発明によれば変形している板状部材を前記台板と前記押え板との間に挟持しながら振動を与えるので確実に平坦化でき、自動化を促進して処理の効率化を図りつつ、作業員の負荷も大幅に軽減できる。

以下、図面に基づいて本発明の実施例装置を説明する。本実施例装置は、変形したリボン素材を矯正して平坦化するリボン素材矯正装置１である。図２から図４は、リボン矯正装置１の外観を示しており、図２は同装置を上から見た図、図３は同装置を正面から見た図、図４は同装置を側面から見た図である。

まず、図２を参照して本矯正装置１の大略を説明する。本矯正装置１ではパレット７を用いてリボン素材を外部から移送すると共に、搬出するようにしている。このパレット７は、複数枚のリボン素材を積層状態にして保持するコラムを並列に有している。本実施例のパレット７は、１０個のコラムを並列に有している。すなわち、パレット７は複数枚のリボン素材を積層した列を、複数並列に保持して搬送する機能を備えている。このパレット７の外観は図３で、より明確に確認できる。

本矯正装置１は、変形したリボン素材を平坦に矯正するバイブレータ装置５を中央に配置している。また、このバイブレータ装置５に向けて変形しているリボン素材８を搬入する搬入ローダ部４と、バイブレータ装置５から矯正済みのリボン素材９を搬出する搬出ローダ部６とを配備している。

変形しているリボン素材８を収納するパレット７を搬送する搬入コンベア２は、搬入ローダ部４と交差するように配設されている。搬入コンベア２上のパレット７は搬入ローダ部４の前で停止するように制御されており、搬入ローダ部４により変形リボン素材８がバイブレータ装置５に向けて供給される。図２には搬入ローダ部４の具体的な構成を図示していないが、搬入ローダ部４はパレット７内の各コラム最上面に位置する１０枚のリボン素材８を同時にピックアップする吸着手段を備えている。また、搬入ローダ部４は吸着したリボン素材８をバイブレータ装置５に移動させる搬入機構も備えている。この搬入ローダ部４の詳細は、この後に示す図３及び図４により説明する。

一方、バイブレータ装置５で平坦化された矯正済みのリボン素材９は搬出ローダ部６により反対側に搬出されるようになっている。搬出ローダ部６と交差するように、搬出コンベア３が配設されている。この搬出コンベア３は空のパレット７を搬送して、搬出ローダ部３の前で停止するように制御されている。修正済みのリボン素材９で満たされたパレット７は搬出コンベア３により、後工程に向けて搬送される。よって、図２において、リボン素材の流れは矢印Ｘ１，Ｘ２，Ｘ３のようになる。なお、本矯正装置１の制御はバイブレータ装置５の下部に設けた制御部１０により実行されている（図４参照）。

さらに、矯正装置１の正面を示す図３及び側面を示す図４を用いて説明する。前述したように図３ではパレット７の側部形状が確認できる。搬入ローダ部４と対応する位置に来たパレット７の下部には、シリンダ機構１１が配設されている。このシリンダ機構１１はパレット７内のコラム数、本実施例の場合は１０個のシリンダを有している。搬入ローダ部４の吸着手段により上から順次、リボン素材８がピックアップされると上面位置が低下する。そこで、リボン素材８の底部をシリンダ機構１１で底上げして、搬入ローダ部４によるリボン素材８の吸着が容易となるように補助するようになっている。

さらに、本矯正装置の正面を示す図３では、バイブレータ装置５の一部及び搬入ローダ部４との関係が確認できる。バイブレータ装置５は、リボン素材８を下から支持する台板５２及びリボン素材８を上から押える押え板５５とを備えている。バイブレータ装置５は、この台板５２と押え板５５との間にリボン素材８を挟持しながら振動を与えて変形を矯正して平坦化する。なお、上記台板５２及び押え板５５のリボン素材８を挟持する面は平坦化に十分な平滑性を有している。

本実施例の場合、台板５２が５組（セット）並列に配置されている。１つの台板５２には２枚のリボン素材８が載置されるようになっている。すなわち、本実施例では一枚の台板５２の面積を大きくすることで、複数のリボン素材８を同時に挟持して矯正できるようにしている。さらに、この台板５２を５セット並列に配置することで、さらに多くのリボン素材８を矯正できるように工夫されている。

上記台板５２の下部には基台５１が配設されている。この基台５１は複数の台板５２の底部を支持する大きさを有している。図３ではその構成を示していないが、後述するように各台板５２は基台５１に対して昇降可能に設定されている。

リボン素材８を上から押える押え板５５は、下側の台板５２に対応して５個配設されている。この押え板５５の上部は振動子５７に接続されている。この振動子５７は振動手段としてのエアーシリンダ駆動式のバイブレータ５９に接続されている。よって、エアー駆動式のバイブレータ５９から発生した振動は振動子５７を介して押え板５５に伝播されるようになっている。本実施例では、上記押え板５５、振動子５７及びバイブレータ５９は、台板５２に対応して５セット配置されている。これらのセットは上基台５８に固定されている。上基台５８は昇降機構（図４の４７参照）により上下動できるようになっている。よって、この上基台５８を降下させることにより上方から押え板５５を接近させて、台板５２に載置されているリボン素材８を挟み込むことができる。

リボン素材８の台板５２上への供給は、搬入ローダ部４のロード板４１と吸着パッド（吸着手段）４３により実行されている。図３ではこのロード板４１及び吸着パッド４３を確認できる。さらに、図４を参照するとこれらをより明確に確認できる。ロード板４１は移動機構４５により水平方向において移動可能に設定され、その端部に下向きの吸着パッド４３を有している。ロード板４１は、搬入コンベア２上のパレット７の上面から、リボン素材８を吸着パッド４３でピックアップしてから、バイブレータ装置５内に移動する。台板５２上での吸着パッド４３の吸引解除で、リボン素材８が台板５２上に載置される。なお、図３では、吸着パッド４３が１０枚のリボン素材８を保持し、台板５２と押え板５５との間に在る状態が示されている。

図４は前述したように、本矯正装置１の側部を示している。この図４により、搬入ローダ部４と搬入コンベア２の関係や搬出ローダ部と搬出コンベア３との位置関係を確認できる。また、この図４には、バイブレータ装置５の押え板５５を支持して上下動させる上基台を昇降させる機構４７が示されている。

また、搬出ローダ部６は、矯正処理を受け平坦化したリボン素材９をバイブレータ装置５側から、搬出コンベア３上に待機するパレット７に搬出する。この搬出ローダ部６に含まれる構成は、上記搬入ローダ部４と略同様である。搬出用のロード板７１の下部には吸着パッド７３が設けられている。この吸着パッド７３で矯正済みのリボン素材９をパレット７上に搬送する。なお、搬出ローダ部６の後段にはリボン素材９を保持するロード板７１をパレット７上に転回する、反転機構７５が設けられている。

さらに図５から図１０を用いて、バイブレータ装置５で実行されているリボン素材の矯正工程に関して更に詳細に説明する。前述したように本矯正装置１は５セットの矯正部を並列に備えている。しかし、各セットの構成は同じであるのでその内の１つを示す。また、図５から図１０は理解を容易とするために模式的に描いているが、図２から図４で示した部位と同一の部位には、同一の符号を付している。また、これらの図では、図２から４で示していない構成が含まれているのでこの点についても説明する。

図５は、搬入ローダ部４のロード板４１と吸着パッド４３により、リボン素材８をバイブレータ装置５内に搬入した状態を示している。基台５１は、リボン素材８の載置位置を規定する位置決めピン６８を面上に有している。位置決めピン６８により、吸着パッド４３の吸着が解除されリボン素材８が台板５２上の所定位置に載置されるようになっている。また、基台５１の内部には台板５２を上下動させる昇降機６５が配設されている。このような昇降機としては油圧シリンダ等を採用することができる。吸着パッド４３からリボン素材８を台板５２上に載置するときには、上記位置決めピン６８が台板５２から突出するようにしている。また、リボン素材８の載置が完了した後に台板５２を上昇させ、その下に出来たスペースには左右からスペーサ６３、６３を挿入するようにしている。このように構成することで、この後に振動子５７で上から振動を加えたときの騒音の発生を抑制でき昇降機６５を保護することができる。図６は、ロード板４１が退避し、昇降機６５により台板５２がリボン素材８を載置しながら上昇を開始する様子を示している。図７は、台板５２の上昇が完了し、左右のスペーサ６３、６３が台板５２下に向け移動を開始する様子を示している。また、図８は下側の台板５２のセッティングが完了した後に、上側の押え板５５が振動子５７と共に降下する様子が示されている。本実施例では、振動子５７が抑え板５５に固定されているので、バイブレータ５９からの振動を効率良く押え板５５に伝播できるようになっている。

図９は、台板５２上に載置されたリボン素材８を上から押え板５５で挟持しつつ、振動子５７を振動させてリボン素材８の変形を矯正している様子を示している。この振動による矯正に関しては、例えば叩き速度２５００回／分で、一枚のリボン素材に１００〜３００回の叩きを加えると略平坦に矯正できる。また、処理時間は３〜５秒程度であり、従来と比較して格段に処理時間が短縮する。本矯正装置１によると、１時間に１２００枚程度という多量のリボン矯正を処理できる。

特に、本実施例の矯正装置１では、リボン素材８を挟持しながら振動を加えるので、変形したリボン素材を塑性変形させながら平坦化している。よって、プレスにより修正をした場合のように変形が戻るという事態が発生することもない。また、台板５２と押え板５５との間にリボン素材８を挟んで叩くという構成であるで、厚みが不均一なリボン素材でも確実に平坦化できる。

図１０は、矯正されたリボン素材９が搬出ローダ部６のロード板７１の吸着パッド７３で搬出される様子を示した図である。矯正処理が終了した後は、押え板５５が上昇してリボン素材９から離れ、搬出ローダ部６のロード板７１が進入してくる。これに対応して、吸着パッド７３で処理済のリボン素材９をピックアップできるように昇降機６５が台板５２を更に上昇させる。この後、吸着パッド７３でリボン素材９を保持したロード板７１が搬出コンベア３に向けて、リボン素材９を搬出することで一連の動作が完了する。

さらに、図１１は上記矯正装置１に加えることが好ましい改善例を示した図である。この図は、平坦化処理済のリボン素材９が台板５２上で搬出を待っている状態を示している。ここで、図１１（Ａ）は台板５２の周部を平面で示した模式図であり、同（Ｂ）はこれを側面から示している。なお、、図１１（Ａ）では処理済リボン素材９を確認し易いように点線で示している。前述したように未処理のリボン素材８が台板５２に載置されるときには、位置決めピン６８により所定位置に載置される（図６参照）。そして、リボン素材８は、挟持されながら振動を受けて平坦化処理を受けるので、その位置が大きくずれることはない。しかし、ピン６８により横方向での位置決めは出来るが、進行方向での位置決めは出来ない。従って、変形したリボン素材（板状部材）がパレットから搬入ローダ部４へ移載される際、搬入ローダ部４から台板へ移載される際に進行方向にずれると、その位置ずれのまま搬出ローダ部６を経て排出コンベア上のパレット７へ払出される場合もある。その為にパレット７内の矯正後のリボン素材９（板状部材）が乱雑に収納された状態となる。折角、矯正したリボン素材９が乱雑に収納されると、曲がり、折れが生じる原因にもなる。従って、処理済のリボン素材９が位置ずれてしまった場合でも、図２で示した搬出コンベア３のパレット７へ確実に収納できるように構成しておくことがより望ましい。

そこで、図１１に示す改善例では台板５２の両側近傍に、台板５２上の処理済リボン素材９を定位置に戻す（位置決めする）ための装置８０を配置している。この位置決め装置８０は、台板５２上の処理済のリボン素材９に当接する櫛歯状の当接部８５と、この当接部８５を往復動させるアクチュエータ８１とを含むものである。この図１１で示す台板５２は、これに対応するように当接部８５の櫛歯部分８５ａを受入れる凹部５２ａが形成されている。このような構造を採用することにより、アクチュエータ８１が当接部８５を前後に往復動させると、前方に移動したときにリボン素材９の端部に当接するので位置ずれしていたものを搬出を円滑に行える定位置に戻すことができる。よって、図２で示した搬出コンベアのパレットへ確実に収納できる。なお、この図１１では、１つのアクチュエータ８１で一体に形成した当接部８５を駆動している。しかし、本改善例はこのような構造に限定するものではない。当接部８５を台板５２のそれぞれに独立して設け、複数のアクチュエータ８１によりこれらを単独駆動するようにしてもよい。

以上詳述したところから明らかなように、本矯正装置１は変形したリボン素材８を２つの平滑な板５２、５５で挟持しながら、所定強度以上の振動を与えるという構成で確実に変形を修正して平坦化できる。また、従来のように作業員による手作業でないので、作業性が著しく向上する。また、リボン素材搬送するコンベアとバイブレータ装置との間に板状部材搬入手段として搬入ローダ部４、さらに処理済みのリボン素材９を搬出する板状部材搬出手段として搬出ローダ部６を設けることで、更なる自動化が促進されおりより一層の効率化が図られている。なお、上記実施例では、搬入ローダ部４及び搬出ローダ部６の両方を設備している装置を例示したが、いずれか一方であっても効率化に十分に寄与することは明らかである。さらに、平坦化処理後のリボン素材を台板上で定位置に戻す位置決め装置を更に備えることで搬出コンベア上のパレットへ確実な収納が行なえる矯正装置となる。

また、上述した実施例では、上部の押え板５５側を振動させる例を示したが、本発明はこのような態様に限定するものではない。下側の台板５２側に振動手段を接続してもよく、押え板５５及び台板５２を振動させるようにしてもよい。振動手段はエアーシリンダに限定するものではなく、油圧による振動装置、モータ等の駆動源を用いた振動装置でもよい。

また、上記実施例ではリボン用の素材の変形を矯正する装置を例示した。しかし、これに限らず種々の板状材、例えば従来技術において指摘した、カソード用銅板の矯正に本発明を適用できることは明らかである。

カソード用銅板に適用した場合は、平板化を可能とするため銅電解に用いた場合、発生するコブが、従来未処理の場合に較べ、激減する。

この結果、銅電解でのショートが激減し、銅電解における電流効率が、現状（９６％）の１〜３％前後と上昇し、大きなコストダウンとなるばかりか、増産の効果も生み出す大きな効果が得られる。

以上詳述したところから明らかなように、本実施例装置によると、
（１）変形している板状部材を台板と押え板との間に挟持しながら、振動を与えるので確実に平坦化できる。よって、後工程においてトラブルが発生することを抑制できる。また、従来のように作業員による手作業でないので、作業性が著しく向上する。
（２）銅電解のリボン用素材に適用した場合は、平板化のため電解用のビームとの接触面積が増大し、接触抵抗が激減し、生産効率が上昇することになる。

またカソード用の銅板とリボンを接続する工程においても、リボンが平板化されているため組み立て装置である整板機でのトラブルを激減することになる。
（３）さらにカソード板に適用した場合は、平板化及び垂直平板化（カソードとして，電解槽の設置した場合、電解液に対して垂直に設置可能となる。）が可能となるため銅電解におけるコブの発生が無くなり、電流効率が上昇する。

このため生産量の増大を可能とする。

以上本発明の好ましい実施例について詳述したが、本発明は係る特定の実施形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載された本発明の要旨の範囲内において、種々の変形・変更が可能である。

電解槽中のアノードとカソードの関係を例示した図である。 実施例のリボン素材矯正装置を上から見た図である。 実施例のリボン素材矯正装置を正面から見た図である。 実施例のリボン素材矯正装置を側面から見た図である。 バイブレータ装置で実行するリボン素材の矯正工程について示す図である。 バイブレータ装置で実行するリボン素材の矯正工程について示す図である。 バイブレータ装置で実行するリボン素材の矯正工程について示す図である。 バイブレータ装置で実行するリボン素材の矯正工程について示す図である。 バイブレータ装置で実行するリボン素材の矯正工程について示す図である。 バイブレータ装置で実行するリボン素材の矯正工程について示す図である。 実施例の矯正装置に加えることが好ましい改善例を示した図である。

符号の説明

１ リボン素材矯正装置（板状部材矯正装置）
２ 搬入コンベア
３ 搬出コンベア
４ 搬入ローダ部（板状部材搬入手段）
６ 搬出ローダ部（板状部材搬出手段）
７ パレット
８ 変形したリボン素材（板状部材）
９ 矯正後のリボン素材（板状部材）
５２ 台板
５５ 押え板
５７ 振動子（振動手段）
５９ バイブレータ（振動手段）

Claims (10)

1. 板状部材が載置される平滑性を備えた台板と、前記台板の上方から近接及び離間することが可能な平滑性を備えた押え板と、前記台板を上下動させる昇降機と、前記押え板を振動させる振動手段と、前記台板上に前記板状部材を搬入する板状部材搬入手段及び平坦化された板状部材を搬出する板状部材搬出手段の内の少なくとも一方と、を含み、
   前記昇降機が上昇することにより出来る前記台板の下のスペースにスペーサを挿入すると共に、前記台板と前記押え板との間に前記板状部材を挟持しながら、前記振動手段で振動を与えて前記板状部材を平坦化し、
   前記台板及び前記押え板は、前記板状部材を同時に複数、挟持できる大きさを備えている、ことを特徴とする板状部材矯正装置。
2. 前記台板及び押え板を複数並列配置したことを特徴とする請求項１に記載の板状部材矯正装置。
3. 前記振動手段は前記台板及び押え板のセット毎に１つずつ配設されていることを特徴とする請求項２に記載の板状部材矯正装置。
4. 前記台板上の所定の位置に前記板状部材を載置させるための位置決め部材を備えていることを特徴とする請求項１に記載の板状部材矯正装置。
5. 前記振動手段は、前記台板及び押え板の少なくとも一方に接続されたエアー駆動式のバイブレータであることを特徴とする請求項１に記載の板状部材矯正装置。
6. 平坦化の処理が終わった前記板状部材を前記台板上で、定位置に位置決めする位置決め装置が前記台板の近傍にさらに配置されていることを特徴とする請求項１に記載の板状部材矯正装置。
7. 前記位置決め装置は、前記台板上の前記板状部材に当接する当接部と、該当接部を往復動させるアクチュエータとを含むことを特徴とする請求項６に記載の板状部材矯正装置。
8. 前記当接部は複数の前記板状部材に同時に当接できるように櫛歯状に形成されており、前記板状部材を載置する前記台板は前記櫛歯を受入れる凹部を有していることを特徴とする請求項７に記載の板状部材矯正装置。
9. 前記板状部材が金属電解用のリボンであることを特徴とする請求項１から８のいずれか一項に記載の板状部材矯正装置。
10. 前記板状部材が金属電解用のカソードであることを特徴とする請求項１から８のいずれか一項に記載の板状部材矯正装置。

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