CN114749512A - 一种lcd条形靶材组件的校正方法 - Google Patents

Abstract

本发明提供了一种LCD条形靶材组件的校正方法，将LCD条形靶材组件呈U型平放在校正平台上，向所述LCD条形靶材组件的两端进行加压，然后冷却至室温再撤去压力。相比于现有技术在中心处施加压力的校正方法，本发明所述校正方法针对LCD条形靶材组件的两端进行加压，可以有效解决金属靶材因热胀冷缩效应而出现的不同程度变形问题，保证LCD条形靶材组件整体平面度在合格范围内，大大提高了校正效率，成品率较高。

Description

一种LCD条形靶材组件的校正方法

技术领域

本发明涉及液晶显示面板技术领域，具体涉及一种LCD条形靶材组件的校正方法。

背景技术

金属溅射靶材是溅射沉积技术中用做阴极的材料，在溅射机台中被带正电荷的阳离子撞击作用下，金属溅射靶材表面金属以分子、原子或离子的形式脱离阴极而在阳极表面重新沉积。由于金属溅射靶材往往采用高纯的铝、铜、钛、镍、钽等比较贵重的金属材料，并且金属溅射靶材的强度不一，在实际应用过程中，需要将符合性能要求的金属溅射靶材和具有一定强度的背板结合制成靶材组件，然后安装在溅射机台上，在磁场、电场作用下有效地进行溅射控制。背板不仅可以为金属溅射靶材起到支撑作用和冷却作用，还可以降低生产工艺的原料成本。常用的背板材料有高纯铝、高纯铜、铝合金和铜合金等。

目前，需要将金属溅射靶材和背板进行加工并焊接成型，才能保证后续溅射的成功进行。如果金属溅射靶材和背板之间的焊接结合度较差，将导致金属溅射靶材在受热条件下变形、开裂、甚至从背板上脱落，不但无法达到溅射均匀的效果，还可能会导致溅射基台损坏。

金属靶材与背板焊接完成后，由于金属靶材的热胀冷缩效应致使靶材的不同区域相对于背板会发生不同程度的变形，从而导致靶材的溅射面不平整，影响溅射过程中基片上膜层的质量。因此，金属靶材在作溅射源之前需要对其进行校正，使其具有合适的平整度。例如CN110814096A公开了一种金属靶材焊接后整形方法，所述方法通过在靶材组件的靶材上方依次设置缓冲垫和垫块后再进行加压整形，其中，所述缓冲垫的硬度为30～60HA，抗张强度为50～100kg/cm²，较好地缓解了整形过程中靶材表面瞬间承受很大压力，容易出现贯穿裂纹和开裂现象的问题，对靶材起到了较好的保护和缓冲作用，提高了靶材的良率；本发明还通过在整形之前先将靶材加热以及在靶材组件的背板下面设置垫圈，提高了整形机对靶材的整形效率和整形后靶材的平面度，具有较高的工业应用价值。

CN111468563A公开了一种钛钨方形靶材组件的校正方法，所述校正方法包括：将温度为100～120℃的钛钨方形靶材组件加压至凹陷2～2.2mm，然后冷却至室温再撤去压力。本发明所述校正方法，针对钛钨方形靶材组件的力学性能特点，依靠保持的温度和凹陷的程度之间的协同作用，采用热校正方法不仅避免了钛钨方形靶材组件开裂的情况，还可以使得钛钨方形靶材组件的平面度≤0.3mm。

CN112453623A公开了一种圆形钛靶材和背板的焊接整形一体化方法，所述一体化方法包括：分别在圆形钛靶材的焊接面和背板的焊接面上浸润熔化的焊料，并将两者的焊接面相贴合，且所述圆形钛靶材位于所述背板的上方；在所述圆形钛靶材的上方放置垫块，并在所述垫块的上方进行加压操作；经冷却后撤去所述加压操作，得到圆形钛靶材组件。本发明所述一体化方法，可以在焊接的同时对圆形钛靶材的平面度进行校正，避免了后续额外的整形操作，同时达到圆形钛靶材组件的焊接结合度要求和平面度要求，使得焊接结合度≥99％且平面度≤0.3mm，同时提高了焊接合格率和整形合格率。

可以看出，上述已经公开的靶材组件校正方法均是在中心处施加压力，从而达到金属靶材溅射面的平面度要求。但是，在目前LCD行业中，所使用的靶材都是尺寸较为庞大的条形靶材组件，而且条形靶材组件往往是由铜背板及金属材料(铝、钛、铜、钨等)焊接而成，不同金属之间的热膨胀系数差别较大，在焊接过程中靶材的端部或者中心部位会翘起，因此需要在焊接完成后对靶材进行校正处理。以液晶显示面板行业中常见的G6条形钛靶材组件为例，其靶材长度高达3000mm，宽度仅为230mm，如果在中心处施加压力进行整形，往往不能一次校正成功，大大浪费人力物力，降低校正效率。

综上所述，目前亟需开发一种新型的LCD条形靶材组件的校正方法，可以有效解决金属靶材因热胀冷缩效应而出现的不同程度变形问题，保证LCD条形靶材组件整体平面度在合格范围内，大大提高了校正效率，成品率较高。

发明内容

鉴于现有技术中存在的问题，提供了一种LCD条形靶材组件的校正方法，将LCD条形靶材组件呈U型平放在校正平台上，向所述LCD条形靶材组件的两端进行加压，然后冷却至室温再撤去压力。相比于现有技术在中心处施加压力的校正方法，本发明所述校正方法针对LCD条形靶材组件的两端进行加压，可以有效解决金属靶材因热胀冷缩效应而出现的不同程度变形问题，保证LCD条形靶材组件整体平面度在合格范围内，大大提高了校正效率，成品率较高。

为达此目的，本发明采用以下技术方案：

本发明的目的在于提供一种LCD条形靶材组件的校正方法，所述校正方法包括：将LCD条形靶材组件呈U型平放在校正平台上，向所述LCD条形靶材组件的两端进行加压，然后冷却至室温再撤去压力。

本发明所述校正方法针对LCD条形靶材组件的两端进行加压，可以有效解决金属靶材因热胀冷缩效应而出现的不同程度变形问题，保证LCD条形靶材组件整体平面度在合格范围内，大大提高了校正效率，成品率较高。

值得说明的是，由于不同LCD条形靶材组件对应的金属靶材与背板之间热胀冷缩效应区别不同。部分LCD条形靶材组件在焊接完成后会向金属靶材方向上拱，例如LCD条形钛靶材组件或LCD条形钼靶材组件，需要按照金属靶材朝下且背板朝上放置在校正平台上，才能使得LCD条形靶材组件呈U型平放在校正平台上；相比之下，部分LCD条形靶材组件在焊接完成后会向背板方向上拱，例如LCD条形铝靶材组件，需要按照金属靶材朝上且背板朝下放置在校正平台上，才能使得LCD条形靶材组件呈U型平放在校正平台上。

值得说明的是，在本发明所述校正方法实施之前，需要清除LCD条形靶材组件表面的焊料及杂质，以免造成较大误差。

作为本发明优选的技术方案，所述校正方法包括如下步骤：

(1)将LCD条形靶材组件呈U型平放在校正平台上，沿所述LCD条形靶材组件的长度方向，靠近内部且沿中心线对称设置两块第一垫块，靠近端部且沿中心线对称设置两块第二垫块，所述第一垫块与所述第二垫块均放置在所述LCD条形靶材组件与所述校正平台之间，且所述第一垫块的厚度大于所述第二垫块的厚度；

(2)对应于步骤(1)所述LCD条形靶材组件中的金属靶材的两端，在所述LCD条形靶材组件的两端的上方分别依次放置硅胶垫与压块，利用两个C型夹分别夹住所述压块与步骤(1)所述校正平台，向所述LCD条形靶材组件的两端进行加压，然后冷却至室温再撤去压力。

本发明所述校正方法针对LCD条形靶材组件长度远大于宽度的尺寸特点，需要在LCD条形靶材组件与校正平台之间放置两组且不同厚度的垫块，且厚度较大的两块第一垫块靠近内部且沿中心线对称设置，有助于后续利用C型夹对LCD条形靶材组件的两端进行加压过程中，原本向金属靶材方向上拱的金属靶材和背板均受到了反方向的作用力，进而有效解决金属靶材因热胀冷缩效应而出现的不同程度变形问题，保证LCD条形靶材组件整体平面度在合格范围内，大大提高了校正效率，成品率较高。

值得说明的是，由于本领域技术人员公知LCD条形靶材组件中的背板相较于金属靶材的长度和宽度均较大，所以本发明所述校正方法中的第一垫块与第二垫块均以LCD条形靶材组件中的金属靶材为基准均匀设置，例如G6型LCD条形钛靶材组件，钛靶材的长度为3000mm且宽度为230mm，忽略第一垫块与第二垫块的宽度，则设置两组共四块垫块中相邻两块之间的距离为500mm，两块第二垫块分别距离金属靶材的端部为750mm；而且，由于将LCD条形靶材组件呈U型平放在校正平台上，既可能是金属靶材朝上，又可能是背板朝上，因此本发明所述校正方法是基于金属靶材的两端，在所述LCD条形靶材组件的两端的上方分别依次放置硅胶垫与压块，使得两个C型夹能够同时将金属靶材和背板夹住且加压。

作为本发明优选的技术方案，所述LCD条形靶材组件中靶材包括钛靶材或钼靶材。

优选地，所述LCD条形靶材组件中背板包括铜合金背板。

优选地，所述LCD条形靶材组件的型号包括G6、G8.5、G10.5或G11中的任意一种。

作为本发明优选的技术方案，在所述校正方法中且所述冷却之前，所述LCD条形靶材组件的温度为100-120℃，例如100℃、103℃、105℃、108℃、110℃、112℃、115℃、117℃或120℃等，但并不仅限于所列举的数值，上述数值范围内其他未列举的数值同样适用。

优选地，在所述校正方法中且所述冷却之前，控制所述校正平台的温度为100-120℃，但并不仅限于所列举的数值，上述数值范围内其他未列举的数值同样适用。

值得说明的是，在实际校正过程中，往往按照LCD条形靶材组件的温度设置校正平台的温度，即，两者的温度基本相同。

作为本发明优选的技术方案，步骤(1)所述第一垫块的厚度为15-25mm，例如15mm、16mm、17mm、18mm、19mm、20mm、21mm、22mm、23mm、24mm或25mm等，但并不仅限于所列举的数值，上述数值范围内其他未列举的数值同样适用。

优选地，步骤(1)所述第一垫块的宽度为50-60mm，例如50mm、51mm、52mm、53mm、54mm、55mm、56mm、57mm、58mm、59mm或60mm等，但并不仅限于所列举的数值，上述数值范围内其他未列举的数值同样适用。

优选地，步骤(1)所述第二垫块的厚度为10-15mm，例如10mm、11mm、12mm、13mm、14mm或15mm等，但并不仅限于所列举的数值，上述数值范围内其他未列举的数值同样适用。

优选地，步骤(1)所述第二垫块的宽度为50-60mm，例如50mm、51mm、52mm、53mm、54mm、55mm、56mm、57mm、58mm、59mm或60mm等，但并不仅限于所列举的数值，上述数值范围内其他未列举的数值同样适用。

值得说明的是，经过发明人多次实验研究，限定本发明所述校正方法中第一垫块的厚度为15-25mm且第二垫块的厚度为10-15mm，可以有效保证第一垫块的厚度大于第二垫块的厚度，在后续加压过程中将LCD条形靶材组件的两端分别与校正平台相接触，可以实现过量加压操作，待冷却至室温并撤去压力后，被过量加压的两端会慢慢回弹，进而可以有效解决金属靶材因热胀冷缩效应而出现的不同程度变形问题，保证LCD条形靶材组件整体平面度在合格范围内，大大提高了校正效率，成品率较高。

作为本发明优选的技术方案，步骤(1)所述第一垫块与所述第二垫块的长度均大于所述LCD条形靶材组件中背板的宽度。

优选地，步骤(1)所述第一垫块与所述第二垫块的材质均为木材。

优选地，步骤(1)所述第一垫块与所述第二垫块的詹氏硬度值均为500-1000，例如500、550、600、650、700、750、800、850、900、950或1000等，但并不仅限于所列举的数值，上述数值范围内其他未列举的数值同样适用。

作为本发明优选的技术方案，步骤(2)所述硅胶垫的厚度为8-15mm，例如8mm、9mm、10mm、11mm、12mm、13mm、14mm或15mm等，但并不仅限于所列举的数值，上述数值范围内其他未列举的数值同样适用。

优选地，步骤(2)所述压块的材质为木材。

优选地我，步骤(2)所述压块的厚度为30-50mm，例如30mm、32mm、35mm、37mm、40mm、42mm、45mm、47mm或50mm等，但并不仅限于所列举的数值，上述数值范围内其他未列举的数值同样适用。

值得说明的是，本发明所述校正方法中将质地较软的硅胶垫和LCD条形靶材组件相接触，并将硬度较大的压块放置在硅胶垫与C型夹之间，不仅可以有效防止LCD条形靶材组件表面被压伤，还可以有效达到C型夹的加压要求。

作为本发明优选的技术方案，在步骤(2)中，通过人为操作所述C型夹进行所述加压。

优选地，步骤(2)所述加压包括将所述LCD条形靶材组件的两端分别与所述校正平台相接触。

值得说明的是，由于LCD条形靶材组件的长度较长，在加压过程中将LCD条形靶材组件的两端分别与校正平台相接触，可以实现过量加压操作，待冷却至室温并撤去压力后，被过量加压的两端会慢慢回弹，进而可以有效解决金属靶材因热胀冷缩效应而出现的不同程度变形问题，保证LCD条形靶材组件整体平面度在合格范围内，大大提高了校正效率，成品率较高。

优选地，步骤(2)所述加压的时间为1.5-3.5h，例如1.5h、1.7h、2h、2.3h、2.5h、2.7h、3h、3.3h或3.5h等，但并不仅限于所列举的数值，上述数值范围内其他未列举的数值同样适用。

优选地，步骤(2)所述冷却为自然降温。

作为本发明优选的技术方案，若步骤(2)撤去压力后，检测得到所述LCD条形靶材组件的平面度不满足±1mm，所述校正方法还包括步骤(3)。

优选地，所述步骤(3)包括：将步骤(2)冷却至室温得到的LCD条形靶材组件平放在大理石平台上，对上拱处人为施加压力进行二次校正，直至所述LCD条形靶材组件的平面度满足±1mm。

值得说明的是，人为施加压力进行二次校正的过程中，每次施加外力不能太大，保证室温下的下压量不能太大。

作为本发明优选的技术方案，所述校正方法包括如下步骤：

(1)将温度为100-120℃的LCD条形靶材组件呈U型平放在校正平台上，控制所述校正平台的温度为100-120℃，沿所述LCD条形靶材组件的长度方向，靠近内部且沿中心线对称设置两块第一垫块，靠近端部且沿中心线对称设置两块第二垫块，所述第一垫块与所述第二垫块均放置在所述LCD条形靶材组件与所述校正平台之间，且所述第一垫块的厚度大于所述第二垫块的厚度；

其中，所述LCD条形靶材组件中靶材包括钛靶材或钼靶材，背板包括铜合金背板；所述LCD条形靶材组件的型号包括G6、G8.5、G10.5或G11中的任意一种；所述第一垫块的厚度为15-25mm，宽度为50-60mm；所述第二垫块的厚度为10-15mm，宽度为50-60mm；所述第一垫块与所述第二垫块的长度均大于所述LCD条形靶材组件中背板的宽度；所述第一垫块与所述第二垫块的材质均为木材；所述第一垫块与所述第二垫块的詹氏硬度值均为500-1000；

(2)对应于步骤(1)所述LCD条形靶材组件中的金属靶材的两端，在所述LCD条形靶材组件的两端的上方分别依次放置硅胶垫与压块，所述硅胶垫的厚度为8-15mm，所述压块的材质为木材且厚度为30-50mm，利用两个C型夹分别夹住所述压块与步骤(1)所述校正平台，向所述LCD条形靶材组件的两端通过人为操作所述C型夹进行所述加压，将所述LCD条形靶材组件的两端分别与所述校正平台相接触，控制加压的时间为1.5-3.5h，然后自然降温至室温再撤去压力；

(3)若步骤(2)撤去压力后，检测得到所述LCD条形靶材组件的平面度不满足±1mm，将步骤(2)冷却至室温得到的LCD条形靶材组件平放在大理石平台上，对上拱处人为施加压力进行二次校正，直至所述LCD条形靶材组件的平面度满足±1mm。

与现有技术方案相比，本发明至少具有以下有益效果：

(1)本发明所述校正方法针对LCD条形靶材组件的两端进行加压，可以有效解决金属靶材因热胀冷缩效应而出现的不同程度变形问题，保证LCD条形靶材组件整体平面度在合格范围内，大大提高了校正效率，成品率较高；

(2)经过发明人多次实验研究，限定本发明所述校正方法中第一垫块的厚度为15-25mm且第二垫块的厚度为10-15mm，可以有效保证第一垫块的厚度大于第二垫块的厚度，在后续加压过程中将LCD条形靶材组件的两端分别与校正平台相接触，可以实现过量加压操作，待冷却至室温并撤去压力后，被过量加压的两端会慢慢回弹，进而可以保证LCD条形靶材组件整体平面度在合格范围内。

附图说明

图1是本发明所述校正方法的侧视图；

图2是本发明所述校正方法的俯视图；

图3是本发明所述校正方法采用的C型夹的结构示意图；

图中：1-金属靶材；2-背板；3-校正平台；4-第一垫块；5-第二垫块；6-硅胶垫；7-压块；8-C型夹。

具体实施方式

下面结合附图并通过具体实施方式来进一步说明本发明的技术方案。

为更好地说明本发明，便于理解本发明的技术方案，本发明的典型但非限制性的实施例如下：

如图1与图2所示，本发明所述校正方法包括如下步骤：

(1)将金属靶材1与背板2焊接后得到LCD条形靶材组件，将LCD条形靶材组件呈U型平放在校正平台3上，沿所述LCD条形靶材组件的长度方向，靠近内部且沿中心线(图1中的点划线)对称设置两块第一垫块4，靠近端部且沿中心线(图1中的点划线)对称设置两块第二垫块5，所述第一垫块4与所述第二垫块5均放置在所述LCD条形靶材组件与所述校正平台3之间，且所述第一垫块4的厚度大于所述第二垫块5的厚度；

(2)对应于步骤(1)所述LCD条形靶材组件中的金属靶材的两端，在所述LCD条形靶材组件的两端的上方分别依次放置硅胶垫6与压块7，利用两个C型夹分别夹住所述压块7与步骤(1)所述校正平台3，向所述LCD条形靶材组件的两端进行加压，然后冷却至室温再撤去压力。

值得说明的是，由于LCD条形靶材组件的长度远大于宽度，所以图1并未示出LCD条形靶材组件呈U型平放的特征；图3示出了本发明所述校正方法采用的C型夹的结构示意图，可以通过人为操作C型夹调整加压程度。

实施例1

本实施例提供了一种LCD条形靶材组件的校正方法，所述校正方法包括如下步骤：

(1)将温度为110℃的LCD条形靶材组件呈U型平放在校正平台上，控制所述校正平台的温度为110℃，沿所述LCD条形靶材组件的长度方向，靠近内部且沿中心线对称设置两块第一垫块，靠近端部且沿中心线对称设置两块第二垫块，所述第一垫块与所述第二垫块均放置在所述LCD条形靶材组件与所述校正平台之间，且所述第一垫块的厚度大于所述第二垫块的厚度；

其中，所述LCD条形靶材组件中靶材为钛靶材，背板为型号C18200的铜铬合金背板；所述LCD条形靶材组件的型号为G6；所述第一垫块的厚度为18mm，宽度为50mm；所述第二垫块的厚度为11mm，宽度为50mm；所述第一垫块与所述第二垫块的长度均大于所述LCD条形靶材组件中背板的宽度；所述第一垫块与所述第二垫块的材质均为木材；所述第一垫块与所述第二垫块的詹氏硬度值均为850；

(2)对应于步骤(1)所述LCD条形靶材组件中的金属靶材的两端，在所述LCD条形靶材组件的两端的上方分别依次放置硅胶垫与压块，所述硅胶垫的厚度为10mm，所述压块的材质为木材且厚度为40mm，利用两个C型夹分别夹住所述压块与步骤(1)所述校正平台，向所述LCD条形靶材组件的两端通过人为操作所述C型夹进行所述加压，将所述LCD条形靶材组件的两端分别与所述校正平台相接触，控制加压的时间为2h，然后自然降温至室温再撤去压力。

利用1mm塞尺进行检测，选取钛靶材两端及中心区域的六个检测点，六个检测点的平面度均在±1mm之内，即，采用本实施例所述校正方法处理后的LCD条形靶材组件整体平面度在合格范围内。

实施例2

本实施例提供了一种LCD条形靶材组件的校正方法，所述校正方法包括如下步骤：

(1)将温度为100℃的LCD条形靶材组件呈U型平放在校正平台上，控制所述校正平台的温度为100℃，沿所述LCD条形靶材组件的长度方向，靠近内部且沿中心线对称设置两块第一垫块，靠近端部且沿中心线对称设置两块第二垫块，所述第一垫块与所述第二垫块均放置在所述LCD条形靶材组件与所述校正平台之间，且所述第一垫块的厚度大于所述第二垫块的厚度；

其中，所述LCD条形靶材组件中靶材为钼靶材，背板为型号C18000的铜镍铬合金背板；所述LCD条形靶材组件的型号为G8.5；所述第一垫块的厚度为25mm，宽度为50mm；所述第二垫块的厚度为15mm，宽度为50mm；所述第一垫块与所述第二垫块的长度均大于所述LCD条形靶材组件中背板的宽度；所述第一垫块与所述第二垫块的材质均为木材；所述第一垫块与所述第二垫块的詹氏硬度值均为850；

(2)对应于步骤(1)所述LCD条形靶材组件中的金属靶材的两端，在所述LCD条形靶材组件的两端的上方分别依次放置硅胶垫与压块，所述硅胶垫的厚度为15mm，所述压块的材质为木材且厚度为50mm，利用两个C型夹分别夹住所述压块与步骤(1)所述校正平台，向所述LCD条形靶材组件的两端通过人为操作所述C型夹进行所述加压，将所述LCD条形靶材组件的两端分别与所述校正平台相接触，控制加压的时间为3.5h，然后自然降温至室温再撤去压力。

利用1mm塞尺进行检测，选取钛靶材两端及中心区域的六个检测点，六个检测点的平面度均在±1mm之内，即，采用本实施例所述校正方法处理后的LCD条形靶材组件整体平面度在合格范围内。

实施例3

本实施例提供了一种LCD条形靶材组件的校正方法，所述校正方法包括如下步骤：

(1)将温度为100℃的LCD条形靶材组件呈U型平放在校正平台上，控制所述校正平台的温度为100℃，沿所述LCD条形靶材组件的长度方向，靠近内部且沿中心线对称设置两块第一垫块，靠近端部且沿中心线对称设置两块第二垫块，所述第一垫块与所述第二垫块均放置在所述LCD条形靶材组件与所述校正平台之间，且所述第一垫块的厚度大于所述第二垫块的厚度；

其中，所述LCD条形靶材组件中靶材为铝靶材，背板为型号C46400的铜锌合金背板；所述LCD条形靶材组件的型号为G6；所述第一垫块的厚度为15mm，宽度为50mm；所述第二垫块的厚度为10mm，宽度为50mm；所述第一垫块与所述第二垫块的长度均大于所述LCD条形靶材组件中背板的宽度；所述第一垫块与所述第二垫块的材质均为木材；所述第一垫块与所述第二垫块的詹氏硬度值均为850；

(2)对应于步骤(1)所述LCD条形靶材组件中的金属靶材的两端，在所述LCD条形靶材组件的两端的上方分别依次放置硅胶垫与压块，所述硅胶垫的厚度为8mm，所述压块的材质为木材且厚度为30mm，利用两个C型夹分别夹住所述压块与步骤(1)所述校正平台，向所述LCD条形靶材组件的两端通过人为操作所述C型夹进行所述加压，将所述LCD条形靶材组件的两端分别与所述校正平台相接触，控制加压的时间为1.5h，然后自然降温至室温再撤去压力。

利用1mm塞尺进行检测，选取钛靶材两端及中心区域的六个检测点，六个检测点的平面度均在±1mm之内，即，采用本实施例所述校正方法处理后的LCD条形靶材组件整体平面度在合格范围内。

实施例4

本实施例提供了一种LCD条形靶材组件的校正方法，基于实施例1所述校正方法，区别仅在于：步骤(1)中所述第一垫块的厚度为13mm，所述第二垫块的厚度为6mm。

利用1mm塞尺进行检测，选取钛靶材两端及中心区域的六个检测点，六个检测点的平面度均不在±1mm之内，因为对LCD条形靶材组件的两端造成的变形较小，后续被过量加压的两端发生较大回弹，导致平面度不达标，本实施例所述校正方法需要人为施加压力进行二次校正，降低了校正效率。

实施例5

本实施例提供了一种LCD条形靶材组件的校正方法，基于实施例1所述校正方法，区别仅在于：步骤(1)中所述第一垫块的厚度为28mm，所述第二垫块的厚度为21mm。

利用1mm塞尺进行检测，选取钛靶材两端及中心区域的六个检测点，六个检测点的平面度均不在±1mm之内，因为对LCD条形靶材组件的两端造成的变形较大，后续被过量加压的两端无法充分回弹，导致平面度不达标，本实施例所述校正方法需要人为施加压力进行二次校正，降低了校正效率。

对比例1

本实施例提供了一种LCD条形靶材组件的校正方法，基于实施例1所述校正方法，区别仅在于：步骤(1)所述第一垫块与所述第二垫块的厚度均为11mm。

由于在C型夹对LCD条形靶材组件进行加压的过程中，LCD条形靶材组件的中部会向上翘起，导致与两块第一垫块脱离，使得LCD条形靶材组件的中部没有被有效支撑，造成LCD条形靶材组件出现开裂情况，没有必要再利用1mm塞尺进行平面度检测，大大降低了成品率。

综上所述，本发明所述校正方法针对LCD条形靶材组件的两端进行加压，可以有效解决金属靶材因热胀冷缩效应而出现的不同程度变形问题，保证LCD条形靶材组件整体平面度在合格范围内，大大提高了校正效率，成品率较高；并且，经过发明人多次实验研究，限定本发明所述校正方法中第一垫块的厚度为15-25mm且第二垫块的厚度为10-15mm，可以有效保证第一垫块的厚度大于第二垫块的厚度，在后续加压过程中将LCD条形靶材组件的两端分别与校正平台相接触，可以实现过量加压操作，待冷却至室温并撤去压力后，被过量加压的两端会慢慢回弹，进而可以保证LCD条形靶材组件整体平面度在合格范围内。

本发明通过上述实施例来说明本发明的详细结构特征，但本发明并不局限于上述详细结构特征，即不意味着本发明必须依赖上述详细结构特征才能实施。所属技术领域的技术人员应该明了，对本发明的任何改进，对本发明所选用部件的等效替换以及辅助部件的增加、具体方式的选择等，均落在本发明的保护范围和公开范围之内。

以上详细描述了本发明的优选实施方式，但是，本发明并不限于上述实施方式中的具体细节，在本发明的技术构思范围内，可以对本发明的技术方案进行多种简单变型，这些简单变型均属于本发明的保护范围。

另外需要说明的是，在上述具体实施方式中所描述的各个具体技术特征，在不矛盾的情况下，可以通过任何合适的方式进行组合，为了避免不必要的重复，本发明对各种可能的组合方式不再另行说明。

此外，本发明的各种不同的实施方式之间也可以进行任意组合，只要其不违背本发明的思想，其同样应当视为本发明所公开的内容。

Claims (10)

1.一种LCD条形靶材组件的校正方法，其特征在于，所述校正方法包括：将LCD条形靶材组件呈U型平放在校正平台上，向所述LCD条形靶材组件的两端进行加压，然后冷却至室温再撤去压力。

2.根据权利要求1所述的校正方法，其特征在于，所述校正方法包括如下步骤：

(1)将LCD条形靶材组件呈U型平放在校正平台上，沿所述LCD条形靶材组件的长度方向，靠近内部且沿中心线对称设置两块第一垫块，靠近端部且沿中心线对称设置两块第二垫块，所述第一垫块与所述第二垫块均放置在所述LCD条形靶材组件与所述校正平台之间，且所述第一垫块的厚度大于所述第二垫块的厚度；

(2)对应于步骤(1)所述LCD条形靶材组件中的金属靶材的两端，在所述LCD条形靶材组件的两端的上方分别依次放置硅胶垫与压块，利用两个C型夹分别夹住所述压块与步骤(1)所述校正平台，向所述LCD条形靶材组件的两端进行加压，然后冷却至室温再撤去压力。

3.根据权利要求1或2所述的校正方法，其特征在于，所述LCD条形靶材组件中靶材包括钛靶材或钼靶材；

优选地，所述LCD条形靶材组件中背板包括铜合金背板；

优选地，所述LCD条形靶材组件的型号包括G6、G8.5、G10.5或G11中的任意一种。

4.根据权利要求1-3任一项所述的校正方法，其特征在于，在所述校正方法中且所述冷却之前，所述LCD条形靶材组件的温度为100-120℃；

优选地，在所述校正方法中且所述冷却之前，控制所述校正平台的温度为100-120℃。

5.根据权利要求2所述的校正方法，其特征在于，步骤(1)所述第一垫块的厚度为15-25mm；

优选地，步骤(1)所述第一垫块的宽度为50-60mm；

优选地，步骤(1)所述第二垫块的厚度为10-15mm；

优选地，步骤(1)所述第二垫块的宽度为50-60mm。

6.根据权利要求2或5所述的校正方法，其特征在于，步骤(1)所述第一垫块与所述第二垫块的长度均大于所述LCD条形靶材组件中背板的宽度；

优选地，步骤(1)所述第一垫块与所述第二垫块的材质均为木材；

优选地，步骤(1)所述第一垫块与所述第二垫块的詹氏硬度值均为500-1000。

7.根据权利要求2或5-6任一项所述的校正方法，其特征在于，步骤(2)所述硅胶垫的厚度为8-15mm；

优选地，步骤(2)所述压块的材质为木材；

优选地我，步骤(2)所述压块的厚度为30-50mm。

8.根据权利要求2或5-7任一项所述的校正方法，其特征在于，在步骤(2)中，通过人为操作所述C型夹进行所述加压；

优选地，步骤(2)所述加压包括将所述LCD条形靶材组件的两端分别与所述校正平台相接触；

优选地，步骤(2)所述加压的时间为1.5-3.5h；

优选地，步骤(2)所述冷却为自然降温。

9.根据权利要求2或5-8任一项所述的校正方法，其特征在于，若步骤(2)撤去压力后，检测得到所述LCD条形靶材组件的平面度不满足±1mm，所述校正方法还包括步骤(3)；

优选地，所述步骤(3)包括：将步骤(2)冷却至室温得到的LCD条形靶材组件平放在大理石平台上，对上拱处人为施加压力进行二次校正，直至所述LCD条形靶材组件的平面度满足±1mm。

10.根据权利要求1-9任一项所述的校正方法，其特征在于，所述校正方法包括如下步骤：

(1)将温度为100-120℃的LCD条形靶材组件呈U型平放在校正平台上，控制所述校正平台的温度为100-120℃，沿所述LCD条形靶材组件的长度方向，靠近内部且沿中心线对称设置两块第一垫块，靠近端部且沿中心线对称设置两块第二垫块，所述第一垫块与所述第二垫块均放置在所述LCD条形靶材组件与所述校正平台之间，且所述第一垫块的厚度大于所述第二垫块的厚度；

其中，所述LCD条形靶材组件中靶材包括钛靶材或钼靶材，背板包括铜合金背板；所述LCD条形靶材组件的型号包括G6、G8.5、G10.5或G11中的任意一种；所述第一垫块的厚度为15-25mm，宽度为50-60mm；所述第二垫块的厚度为10-15mm，宽度为50-60mm；所述第一垫块与所述第二垫块的长度均大于所述LCD条形靶材组件中背板的宽度；所述第一垫块与所述第二垫块的材质均为木材；所述第一垫块与所述第二垫块的詹氏硬度值均为500-1000；

(2)对应于步骤(1)所述LCD条形靶材组件中的金属靶材的两端，在所述LCD条形靶材组件的两端的上方分别依次放置硅胶垫与压块，所述硅胶垫的厚度为8-15mm，所述压块的材质为木材且厚度为30-50mm，利用两个C型夹分别夹住所述压块与步骤(1)所述校正平台，向所述LCD条形靶材组件的两端通过人为操作所述C型夹进行所述加压，将所述LCD条形靶材组件的两端分别与所述校正平台相接触，控制加压的时间为1.5-3.5h，然后自然降温至室温再撤去压力；

(3)若步骤(2)撤去压力后，检测得到所述LCD条形靶材组件的平面度不满足±1mm，将步骤(2)冷却至室温得到的LCD条形靶材组件平放在大理石平台上，对上拱处人为施加压力进行二次校正，直至所述LCD条形靶材组件的平面度满足±1mm。

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