CN213001926U - 一种平面靶材的校平设备 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种平面靶材的校平设备，包括工作台，所述工作台下方连接设有支撑腿，所述工作台上对称连接设有两个连接板，两个连接板之间连接设有顶板，所述顶板下方设有滑轨，所述滑轨内滑动连接设有电动滑块，所述电动滑块下方连接设有液压气缸，所述液压气缸下方连接设有校平压块，所述工作台侧面设有空腔，所述空腔内连接设有导向轴，所述导向轴上活动套接设有活动块，所述活动块上连接设有L型架，所述L型架上连接设有平整度检测指针，所述连接板一侧连接设有控制器，所述电动滑块、液压气缸和平整度检测指针均与控制器电性连接。本实用新型与现有技术相比优点在于：结构简单、设计合理、校平效果好。
Description
技术领域
本实用新型涉及平面靶材加工技术领域，具体是指一种平面靶材的校平设备。
背景技术
平面靶材是将靶材绑定在背板上，从而形成能够实现溅射镀膜的靶材原料。在靶材与背板进行绑定时，通过将温度在金属绑定焊料熔点以上的熔融状的金属绑定焊料将靶材和背板绑定，为了在绑定过程中，金属绑定焊料保持熔融状，需要将靶材和背板加热至金属绑定焊料熔点以上的温度，在绑定操作工序完成后，靶材、背板和绑定焊料进行自然冷却，由于背板与靶材的热膨胀系数不同，在冷却过程中，沿平面靶材的长度方向会形成一定的弯曲，当弯曲高度相对于理想平面的偏差过大时，会导致靶材基片的溅射膜层均匀度不够，薄膜的成膜质量差。
所以，在进行溅射镀膜前，需要对绑定所得的平面靶材进行平面校平处理，在现有技术中，一般采用铁块施压整平，由于靶材的材质较脆或较软，在校平过程中，容易对靶材表面造成刮痕，而且在整平过程中，无法对平面靶材的平面度进行实时检测，因此很难把握下压力度，导致操作难度大，容易压坏质脆和质软的平面靶材，造成不必要的损失，形成资源浪费。
实用新型内容
本实用新型要解决的技术问题是克服以上技术问题，提供一种结构简单、设计合理、校平效果好的一种平面靶材的校平设备。
为解决上述技术问题，本实用新型提供的技术方案为：一种平面靶材的校平设备，包括工作台，所述工作台下方连接设有支撑腿，所述工作台上对称连接设有两个连接板，两个连接板之间连接设有顶板，所述顶板下方设有滑轨，所述滑轨内滑动连接设有电动滑块，所述电动滑块下方连接设有液压气缸，所述液压气缸下方连接设有校平压块，所述工作台侧面设有空腔，所述空腔内连接设有导向轴，所述导向轴上活动套接设有活动块，所述活动块上连接设有L型架，所述L型架上连接设有平整度检测指针，所述连接板一侧连接设有控制器，所述电动滑块、液压气缸和平整度检测指针均与控制器电性连接。
作为改进，所述工作台上连接设有测平板，所述测平板上设有若干等高块。
作为改进，所述校平压块下方连接设有橡胶垫。
采用以上结构后，本实用新型具有以下优点：本实用新型结构简单，设计合理，测平板的设置，为检测平面靶材的平整度提供了检测平面，使得检测的数据更加准确，活动块和导向轴的配合使用，可以控制L型架的横向移动，进而对平面靶材进行全方位的检测，平整度检测指针的设置可以对平面靶材的弯曲程度进行实时检测，使得平面靶材的校平更加准确，校平效果更好，电动滑块和滑轨的配合使用，可以控制校平压块的自动横向移动，更加方便、快捷，液压气缸的设置可以控制校平压块的上下移动，进而对平面靶材进行校平，橡胶垫的设置，不易划伤平面靶材，确保平面靶材表面的完整度，更加实用。
附图说明
图1是本实用新型一种平面靶材的校平设备的结构示意图。
图2是本实用新型一种平面靶材的校平设备测平状态下的结构示意图。
如图所示：1、工作台，2、支撑腿，3、连接板，4、顶板，5、滑轨，6、电动滑块，7、液压气缸，8、校平压块，9、空腔，10、导向轴，11、活动块，12、L型架，13、平整度检测指针，14、控制器，15、测平板，16、等高块，17、橡胶垫，18、平面靶材。
具体实施方式
在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“内”、“外”、“中心”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。
在本实用新型的描述中，还需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“设有”、“安装”、“相连”、“连接”等应做广义理解，例如、可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体式连接，可以是机械连接，也可以是电连接，可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
下面结合附图对本实用新型做进一步的详细说明。
结合附图1-2，一种平面靶材的校平设备，包括工作台1，所述工作台1下方连接设有支撑腿2，所述工作台1上对称连接设有两个连接板3，两个连接板3之间连接设有顶板4，所述顶板4下方设有滑轨5，所述滑轨5内滑动连接设有电动滑块6，所述电动滑块6下方连接设有液压气缸7，所述液压气缸7下方连接设有校平压块8，所述工作台1侧面设有空腔9，所述空腔9内连接设有导向轴10，所述导向轴10上活动套接设有活动块11，所述活动块11上连接设有L型架12，所述L型架12上连接设有平整度检测指针13，所述连接板3一侧连接设有控制器14，所述电动滑块6、液压气缸7和平整度检测指针13均与控制器14电性连接。
所述工作台1上连接设有测平板15，所述测平板15上设有若干等高块16，所述校平压块8下方连接设有橡胶垫17。
本实用新型在具体实施时，将平面靶材18的上拱面朝上，用平面度检测指针13对平面靶材18进行曲翘程度进行检测，得到曲翘度检测数据，从中选出曲翘度最大值，平面靶材18的曲翘度最大值对应的位置为校平位置，在平面靶材18两端的底面分别放置一定厚度的等高块16，等高块16设定的厚度值根据曲翘度最大值的2-4倍进行设定，通过控制器14将电动滑块6移动至校平位置上方，并设置液压气缸7的下压值，控制液压气缸7向下移动，是校平压块8对平面靶材18进行校平，平面靶材18将被校平压块8压至等高块16与测平板15之间，即平面靶材18被反向压弯，然后通过液压气缸的上移撤销对平面靶材18的挤压，平面靶材18发生回弹现象，进而被校平，对在校平过程中，通过平面度检测指针13对平面靶材18进行实时检测，当平面靶材18的平整度达到要求时即可，操作简单，下压力可用通过控制器14进行控制，更加方便，使得平面靶材的校平效果更好，实用性更高。
以上对本实用新型及其实施方式进行了描述，这种描述没有限制性，附图中所示的也只是本实用新型的实施方式之一，实际的结构并不局限于此。总而言之如果本领域的普通技术人员受其启示，在不脱离本实用新型创造宗旨的情况下，不经创造性的设计出与该技术方案相似的结构方式及实施例，均应属于本实用新型的保护范围。
Claims (3)
1.一种平面靶材的校平设备，包括工作台(1)，其特征在于：所述工作台(1)下方连接设有支撑腿(2)，所述工作台(1)上对称连接设有两个连接板(3)，两个连接板(3)之间连接设有顶板(4)，所述顶板(4)下方设有滑轨(5)，所述滑轨(5)内滑动连接设有电动滑块(6)，所述电动滑块(6)下方连接设有液压气缸(7)，所述液压气缸(7)下方连接设有校平压块(8)，所述工作台(1)侧面设有空腔(9)，所述空腔(9)内连接设有导向轴(10)，所述导向轴(10)上活动套接设有活动块(11)，所述活动块(11)上连接设有L型架(12)，所述L型架(12)上连接设有平整度检测指针(13)，所述连接板(3)一侧连接设有控制器(14)，所述电动滑块(6)、液压气缸(7)和平整度检测指针(13)均与控制器(14)电性连接。
2.根据权利要求1所述的一种平面靶材的校平设备，其特征在于：所述工作台(1)上连接设有测平板(15)，所述测平板(15)上设有若干等高块(16)。
3.根据权利要求1所述的一种平面靶材的校平设备，其特征在于：所述校平压块(8)下方连接设有橡胶垫(17)。
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