CN210523637U - 一种用于多尺寸靶材的热校正平台 - Google Patents

Abstract

本实用新型属于靶材校正技术领域，具体涉及一种用于多尺寸靶材的热校正平台，包括放置靶材的校正平台和作用于靶材上的若干C型夹具，所述的校正平台包括校正基台及位于校正基台下方并与其固定连接的支撑架，所述的校正基台的两端分别对应开设有若干U型开槽，所述的校正基台上设置至少一个与U型开槽相垂直的支撑板，所述的校正基台的两端分别对称活动设置有若干垫块，所述的垫块的高度小于支撑板的高度，所述的垫块位于U型开槽的一侧或者两侧。该校正平台对长条靶和一体式宽靶都可以进行校正，也可以同时校正多块长条靶材，解决了传统校正设备效率低的问题。

Description

一种用于多尺寸靶材的热校正平台

技术领域

本实用新型属于靶材校正技术领域，具体涉及一种用于多尺寸靶材的热校正平台。

背景技术

磁空溅射过程中，靶材作为溅射源，在电子、氩原子轰击下溅射出大量的靶材原子，靶材原子沉积在基片上，已达到镀膜的目的。但是，由于靶材的热胀冷缩效应致使靶材在绑定完成后易发生不同程度的变形，导致靶材的溅射面不平整，影响溅射过程中基片上膜层的质量。因此，靶材在作为溅射源之前需要对其进行校正，以使其具有合适的平整度。目前传统的靶材校正设备不能够同时校正多块靶材，不能够满足即可以校正长条靶，也可以校正一体式宽靶的要求，生产效率低。

公告号为CN203972531的专利公开了一种热喷涂旋转靶材基管校直装置，包括安装在工作台上的导轨，其特征是：所述导轨内设有两个V型块支座，V型块支座的底端与导轨相配合、可沿导轨滑动，V型块支座的顶端设有V型块，V型块的V型槽中放置待校基管，待校靶材的两端分别设置主动回转中心和从动回转中心，待校基管的上方设有液压冲头，待校基管的下方设有数字千分表。该装置用于旋转靶材，校正时，需要将靶材两端固定，操作复杂，V型块支座，不能放置大尺寸平面的靶材。

发明内容

本实用新型的目的在于针对现有技术中存在的问题提供一种多尺寸靶材的热校正平台，该校正平台对长条靶和一体式宽靶都可以进行校正，也可以同时校正多块长条靶材，解决了传统校正设备效率低的问题。

本实用新型的技术方案是：

一种用于多尺寸靶材的热校正平台，包括放置靶材的校正平台和作用于靶材上的若干C型夹具，所述的校正平台包括校正基台及位于校正基台下方并与其固定连接的支撑架，所述的校正基台的两端端处分别开设有若干U型开槽，所述的校正基台上设置至少一个与U型开槽相垂直的支撑板，所述的校正基台的两端分别对称活动设置有若干垫块，所述的垫块的高度小于支撑板的高度，所述的垫块位于U型开槽的一侧或者两侧。

具体的，所述的校正基台的两个端处分别对称设置若干U型开槽。

具体的，多个所述的相邻U型开槽之间的间距大于等于待校正靶材的宽度。

具体的，所述的C型夹具包括C型支撑柱，所述的支撑柱的下端端部固定设置有夹具支撑块，所述的支撑柱的上端端部固定设置有卡柱，所述的卡柱内螺纹贯穿有手拧螺栓，所述的手拧螺栓的上端部开设有横向通孔，通孔内贯穿有扳手，所述的手拧螺栓的下端端部固定设置有用于夹持靶材的夹板。

具体的，所述的校正基台和支撑板均为长方体状，方便使用。

具体的，所述的卡柱内设置有与手拧螺栓相吻合的螺纹，使用手控拧紧力度，校正更加精准。

具体的，所述的扳手为套管扳手。

具体的，所述的夹板为圆盘状。

本实用新型的有益效果是：该校正平台包括放置靶材的校正平台和作用于靶材上的若干C型夹具，所述的校正基台的两端至少一端处开设有若干U型开槽，设置多个U型开槽是方便对多个靶材进行固定校正，并实现整个靶材一端或是两端翘曲同时进行校正，此时C型夹具可以穿过U型开槽将靶材夹持在校正基台上进行校正作业，校正效率大大提高；所述的校正基台上设置至少一个与U型开槽相垂直的支撑板，所述的校正基台的两端分别对称设置有若干垫块，支撑板是为了使靶材能够得到更好的平整度，垫块是为了保护靶材表面，避免磕碰靶材，所述的垫块的高度小于支撑板的高度，所述的垫块位于U型开槽的一侧或者两侧，此种设置既可以保证校正精确，也可以避免靶材表面磕碰，同时还可以避免校枉过正的问题。

本实用新型使用C型夹具对靶材进行固定夹紧进而达到校正的目的，C型夹具为自由夹持，可根据靶材翘曲部分进行对应位置放置，圆盘状夹板能够与待校正靶材紧密贴合，可有效夹紧靶材，通过不同方向旋转扳手使得手拧螺栓上下移动，实现夹紧和松开靶材的目的。

本实用新型根据需要可以将校正基台宽度加宽，在校正基台两端处设定多对U型开槽，同时热校正多条长条靶，校正效率高，此外，还可以校正一体式宽靶。本实用新型操作简单，力度大，效率高，减少了以往螺栓校正存在的人身安全隐患。

附图说明

图1是实施例1提供的校正平台的结构示意图；

图2是C型夹具的结构示意图；

图3是实施例2提供的校正平台的结构示意图。

1支撑架、2校正平台、3支撑板、4U型开槽、5垫块、6支撑柱、7手拧

螺栓、8扳手、9夹具支撑块、10夹板。

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本实用新型进行详细的描述。

实施例1

如图1所示为本实施例提供的校正平台的结构示意图，该校正平台包括放置靶材的校正平台和作用于靶材上的若干C型夹具，所述的校正平台包括校正基台2及位于校正基台2下方并与其固定连接的支撑架1，所述的校正基台2的两端处开设有四对对称设置的U型开槽4，所述的校正基台2上设置两个与U型开槽4相垂直的支撑板3，两个支撑板3平行设置，所述的校正基台2的两端分别对称设置有五个垫块5，所述的垫块5的高度小于支撑板3的高度，所述的垫块5对应设置在U型开槽4的两侧，所述的校正基台2和支撑板3均为长方体状，方便使用。

相邻的所述U型开槽4之间的间距大于等于待校正靶材的宽度，每两相邻U型开槽4之间的间距可以相等也可以不相等，根据待校正靶材的宽度进行设定，如果待校正靶材比较宽则可设定两个相邻U型开槽4之间的间距加宽以满足该靶材的宽度需要，如果待校正靶材宽度相差较大，则可设定另外的相邻U型开槽4之间的间距与其他宽度靶材宽度相适应，以满足不同尺寸靶材的需求，可同时对不同尺寸5个靶材进行校正，校正效率高，效果好。

如图2所示为所述的C型夹具的结构示意图，其包括C型支撑柱6，所述的支撑柱6的下端端部固定设置有夹具支撑块9，所述的支撑柱6的上端端部固定设置有卡柱，所述的卡柱内螺纹贯穿有手拧螺栓7，所述的手拧螺栓7的上端部开设有横向通孔，通孔内贯穿有扳手8，所述的手拧螺栓7的下端端部固定设置有用于夹持靶材的夹板10，所述的扳手8为套管扳手，所述的夹板10为圆盘状。所述的卡柱内设置有与手拧螺栓7相吻合的螺纹，使用手控拧紧力度，校正更加精准。C型夹具为自由夹持，可根据靶材翘曲部分进行对应位置放置，圆盘状夹板能够与待校正靶材紧密贴合，可有效夹紧靶材，通过不同方向旋转扳手使得手拧螺栓7上下移动，实现夹紧和松开靶材的目的。

使用本实施例提供的校正平台对绑定后靶材进行热校正的过程如下：首先对绑定的一个待校正靶材进行测量，根据翘曲度设定垫块高度，然后在校正基台2两端处分别放置垫块5，通过吊运工具将待校正靶材的两端分别放置在对应的两垫块5上，从校正基台2一端处的U型开槽4处放入一个C型夹具，将C型夹具的夹具支撑块9卡住校正基台2的下表面，然后旋转扳手8使得手拧螺栓7向下运动，进而使圆盘型夹板10与把靶材接近并顶紧靶材，同时或者之后在校正基台2的另一端对应的U型开槽4处放入另一个C型夹具，将C型夹具的夹具支撑块9卡住校正基台2的下表面，然后该C型夹具的旋转扳手8使得手拧螺栓7向下运动，进而使圆盘型夹板10与靶材接近并顶紧靶材，通过手控旋转扳手8的旋转力度对靶材两端进行单独施压或者是同时施压，直至校平，实现校正目的，此校正平台可以同时对五个靶材进行校正，提高了工作效率。

实施例2

参考图3，本实施用于绑定后靶材的热校正平台与实施例1基本相同，相同之处不重述，不同之处在于，所述的U型卡槽为两对四个，分别对称设置在校正基台2的两端，可以对较宽的靶材进行校正，使用的C型夹具与实施例1相同。在实际生产过程总，可以设置更多数量的U型卡槽，以满足校正需要。

最后应当说明的是:以上实施例仅用以说明本实用新型的技术方案而非对其限制；尽管参照较佳实施例对本实用新型进行了详细的说明，所属领域的普通技术人员应当理解：依然可以对本实用新型的具体实施方式进行修改或者对部分技术特征进行等同替换；而不脱离本实用新型技术方案的精神，其均应涵盖在本实用新型请求保护的技术方案范围当中。

Claims (8)

1.一种用于多尺寸靶材的热校正平台，包括放置靶材的校正平台和作用于靶材上的若干C型夹具，其特征在于，所述的校正平台包括校正基台（2）及位于校正基台（2）下方并与其固定连接的支撑架（1），所述的校正基台（2）的两端端处分别开设有若干U型开槽（4），所述的校正基台（2）上设置至少一个与U型开槽（4）相垂直的支撑板（3），所述的校正基台（2）的两端分别对称活动设置有若干垫块（5），所述的垫块（5）的高度小于支撑板（3）的高度，所述的垫块（5）位于U型开槽（4）的一侧或者两侧。

2.根据权利要求1所述用于多尺寸靶材的热校正平台，其特征在于，所述的校正基台（2）的两个端处分别对称设置若干U型开槽（4）。

3.根据权利要求1所述用于多尺寸靶材的热校正平台，其特征在于，多个所述的相邻U型开槽（4）之间的间距大于等于待校正靶材的宽度。

4.根据权利要求1所述用于多尺寸靶材的热校正平台，其特征在于，所述的C型夹具包括C型支撑柱（6），所述的支撑柱（6）的下端端部固定设置有夹具支撑块（9），所述的支撑柱（6）的上端端部固定设置有卡柱，所述的卡柱内螺纹贯穿有手拧螺栓（7），所述的手拧螺栓（7）的上端部开设有横向通孔，通孔内贯穿有扳手（8），所述的手拧螺栓（7）的下端端部固定设置有用于夹持靶材的夹板（10）。

5.根据权利要求1所述用于多尺寸靶材的热校正平台，其特征在于，所述的校正基台（2）和支撑板（3）均为长方体状。

6.根据权利要求4所述用于多尺寸靶材的热校正平台，其特征在于，所述的卡柱内设置有与手拧螺栓（7）相吻合的螺纹。

7.根据权利要求4所述用于多尺寸靶材的热校正平台，其特征在于，所述的扳手（8）为套管扳手。

8.根据权利要求4所述用于多尺寸靶材的热校正平台，其特征在于，所述的夹板（10）为圆盘状。

Images