JP4293109B2 - 炭化珪素単結晶の製造方法 - Google Patents
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Description
以下、本発明を具体化した第1の実施形態を図面に従って説明する。
図1には、本実施形態における炭化珪素単結晶の製造装置の概略断面を示す。
前述の凹部8の側面部には排気管13が接続され、排気管13は貯留室R1と連通している。排気管13にはパーティクルコレクタ14を介して排気ポンプ15が接続されている。排気ポンプ15により真空容器1内のガスが真空容器1の外部に排出される。このとき、パーティクルコレクタ14により、ガス中のパーティクル等の異物が捕捉される。
加熱コイル17よりも外側においてX線源18とカメラ19が対向するように配置され、X線源18から反応容器6内での上部(主に、種結晶7の配置箇所およびその下方)に対しX線が照射されるとともにカメラ19にてX線による像が捉えられる。これにより、炭化珪素種結晶7の厚さと炭化珪素種結晶7から成長する結晶の厚さを測定することができるようになっている。
図2は、種結晶温度(成長雰囲気温度)、水素流量、キャリアガス流量、原料ガス流量についての時間的変化を示すタイムチャートである。この図2を用いて炭化珪素単結晶の製造方法について説明していく。SiCの結晶成長温度は2000℃以上である。
結晶成長温度雰囲気下において原料ガス(モノシランとプロパン)を炭化珪素種結晶7に供給して炭化珪素種結晶7から炭化珪素単結晶20を成長させる場合、次の第1〜第3工程を経るようにする。まず、第1工程として、炭化珪素種結晶7への原料ガスの供給により炭化珪素種結晶7から結晶21が成長するようにして成長雰囲気温度を結晶成長温度にまで昇温する。そして、第2工程として、成長雰囲気温度を結晶成長温度に保持しつつ原料ガスに加えて炭化珪素種結晶7に対し供給したエッチングガスにより少なくとも炭化珪素種結晶7から成長した結晶21を除去して炭化珪素種結晶7の清浄面を露出させる。さらに、第3工程として、成長雰囲気温度を結晶成長温度に保持しつつ原料ガスに加えて供給しているエッチングガスを徐々に減量していき炭化珪素種結晶7の清浄面から結晶成長を開始させる。
(第2の実施の形態)
次に、第2の実施の形態を、第1の実施の形態との相違点を中心に説明する。
図2においては昇温過程後の一定温度に達した後においてエッチバックしたが、図6の本実施形態においては昇温過程(一定温度に達するまでの期間)においてエッチバックしている。
昇温過程(t1〜t5の期間)において、t2のタイミングでキャリアガスとしてのアルゴンまたはヘリウムを流して(キャリアガスの供給を開始して)パージを行う。さらに、昇温過程において、雰囲気温度が1800℃になる前のt3のタイミングでエッチングガスとしての水素ガスの供給を開始する。また、t4のタイミングで原料ガス(モノシランとプロパン)の供給を開始する。昇温過程において、エッチングガスとしての水素ガスにより種結晶7の表面がゆっくりとエッチングされる。詳しくは、図7(a)に示すように種結晶7に対し原料ガスに加えて水素を供給することにより、図7(b)に示すように、種結晶7の成長面をエッチングする。このとき、X線源18とカメラ19により炭化珪素種結晶7の厚さを測定しながらエッチング量を制御する(例えばエッチングガスの流量をコントロールする)。
第1工程として、原料ガス(モノシランとプロパン)に加えて炭化珪素種結晶7に対し供給したエッチングガスにより炭化珪素種結晶7の表面をエッチングして清浄面を露出させながら成長雰囲気温度を結晶成長温度にまで昇温する。そして、第2工程として、成長雰囲気温度を結晶成長温度に保持しつつ原料ガスに加えて供給しているエッチングガスを徐々に減量していき炭化珪素種結晶7の清浄面から結晶成長を開始させる。よって、第1工程において、昇温時に原料ガスに加えエッチングガスを供給して種結晶7の表面をエッチングして清浄面を露出させるので、種結晶7は原料ガスの供給時の温度変化や昇温時の成長条件の変化に伴う品質劣化の影響を受けず高品質な炭化珪素単結晶を成長させることが可能となる(高品質な炭化珪素単結晶を製造することができる)。
Claims (7)
- 結晶成長温度雰囲気下において原料となるガスを炭化珪素種結晶(7)に供給して当該炭化珪素種結晶(7)から炭化珪素単結晶(20)を成長させる炭化珪素単結晶の製造方法において、
炭化珪素種結晶(7)への原料となるガスの供給により炭化珪素種結晶(7)から結晶(21)が成長するようにして成長雰囲気温度を結晶成長温度にまで昇温する第1工程と、
成長雰囲気温度を結晶成長温度に保持しつつ原料となるガスに加えて炭化珪素種結晶(7)に対し供給したエッチングガスにより少なくとも炭化珪素種結晶(7)から成長した結晶(21)を除去して炭化珪素種結晶(7)の清浄面を露出させる第2工程と、
成長雰囲気温度を結晶成長温度に保持しつつ原料となるガスに加えて供給している前記エッチングガスを徐々に減量していき前記炭化珪素種結晶(7)の清浄面から結晶成長を開始させる第3工程と、
を有することを特徴とする炭化珪素単結晶の製造方法。 - 前記第1工程において、炭化珪素種結晶(7)の表面を清浄面とした状態で、前記原料となるガスの供給により炭化珪素種結晶(7)から結晶(21)が成長するようにしたことを特徴とする請求項1に記載の炭化珪素単結晶の製造方法。
- 結晶成長温度雰囲気下において原料となるガスを炭化珪素種結晶(7)に供給して当該炭化珪素種結晶(7)から炭化珪素単結晶(20)を成長させる炭化珪素単結晶の製造方法において、
原料となるガスに加えて炭化珪素種結晶(7)に対し供給したエッチングガスにより炭化珪素種結晶(7)の表面をエッチングして清浄面を露出させながら成長雰囲気温度を結晶成長温度にまで昇温する第1工程と、
成長雰囲気温度を結晶成長温度に保持しつつ原料となるガスに加えて供給している前記エッチングガスを徐々に減量していき前記炭化珪素種結晶(7)の清浄面から結晶成長を開始させる第2工程と、
を有することを特徴とする炭化珪素単結晶の製造方法。 - 前記エッチングガスを徐々に減量する際におけるエッチングガスの流量を、雰囲気温度の変化が5℃/分以下になるように、徐々に変化させるようにしたことを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載の炭化珪素単結晶の製造方法。
- 前記第2工程においてエッチングガスにより少なくとも炭化珪素種結晶(7)から成長した結晶(21)を除去して炭化珪素種結晶(7)の清浄面を露出させる際に、炭化珪素種結晶(7)の厚さ、および、炭化珪素種結晶(7)から成長した結晶(21)の厚さの少なくとも一方をX線を用いて測定しながらエッチング量を制御するようにしたことを特徴とする請求項1,2,4のいずれか1項に記載の炭化珪素単結晶の製造方法。
- 前記第1工程においてエッチングガスにより炭化珪素種結晶(7)の表面をエッチングして清浄面を露出させながら成長雰囲気温度を結晶成長温度にまで昇温する際に、炭化珪素種結晶(7)の厚さをX線を用いて測定しながらエッチング量を制御するようにしたことを特徴とする請求項3または4に記載の炭化珪素単結晶の製造方法。
- 加熱される空間における、炭化珪素種結晶(7)へのエッチングガスの供給通路に、エッチングガスが接して流れる蓄熱部材(12,37)を設け、蓄熱部材(12,37)により、エッチングガスの減量時に雰囲気温度を変化しにくくしたことを特徴とする請求項1〜6のいずれか1項に記載の炭化珪素単結晶の製造方法。
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