JP4281378B2 - 炭化珪素ショットキー障壁ダイオード - Google Patents

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Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は炭化珪素ショットキー障壁ダイオードに関し、特に、高い逆方向耐圧あるいは低い逆方向リーク電流等の良好な整流特性を有する炭化珪素ショットキー障壁ダイオードに関する。
【0002】
【従来の技術】
炭化珪素(SiC)は、DRAMに代表される半導体装置の結晶材料として用いられる珪素(Si)に比べて、結晶のバンドギャップエネルギーが大きい、あるいは高温でも安定している等の特有の性質を有している。かかる性質を活かすべく、高い逆方向耐圧を要求されるショットキーダイオードへの適用が検討されている一方、炭化珪素結晶特有の問題も生じている。
【0003】
炭化珪素ショットキー障壁ダイオードでは、一般的に用いられるシリコンショットキー障壁ダイオードと比較して、一層電界強度が高いことに起因する炭化珪素ショットキー障壁ダイオード特有の問題、すなわち、逆方向耐圧特性上の問題とともに、逆電圧印加時のトンネル効果による逆方向リーク電流の発生も問題となる。特に、ショットキー電極端部は電界集中により電界強度が大きくなる結果、逆方向リーク電流が顕著となる。
【0004】
従来の炭化珪素ショットキー障壁ダイオードでは、逆方向耐圧特性向上のために、ショットキー電極の端部における電界集中の緩和を目的とした素子構造として、イオン注入により形成したガードリング構造や、高抵抗領域の適用が試みられていた。例えば、非特許文献1に開示されるように、従来のショットキー障壁ダイオードではショットキー電極の端部にアルミニウム(Al)イオン注入領域で構成されたガードリングを備えた構造を有していた。かかるp型領域からなるガードリング構造では電界強度の最大点はガードリングとドリフト領域との境界に形成されるpn接合となって、ショットキー電極端部での電界集中は緩和される結果、逆方向耐圧が向上した。
【0005】
しかし、n型炭化珪素半導体層へのp型不純物のイオン注入によりp型領域で構成されたガードリング構造を形成する場合、p型不純物のイオン注入自体が炭化珪素結晶に結晶欠陥等の損傷を与えてしまう問題と、イオン注入後に不純物をアクセプタ化するために必要な不純物活性化熱処理時の高温処理によってショットキー障壁が形成される炭化珪素半導体層の表面に凹凸形状の損傷が生じて、ショットキー電極と炭化珪素半導体層との界面における逆方向リーク電流が著しく増大する問題が生じ、これらの要因により実用上充分な素子特性が得られなかった。
【0006】
一方、ショットキー障壁における逆方向リーク電流自体の低減を目的として、例えば、特許文献1に開示されているように、耐圧層とショットキー電極の間に相対的に不純物濃度の低い中間層を設ける構造が提案されている。しかしながら、特許文献1による素子構造(特許文献1の図1)では、ショットキー電極端部での電界集中を緩和する構造はなんら開示されておらず、逆方向リーク電流は低減するものの、逆方向耐圧が依然低いという問題があった。
【0007】
従来のp型領域からなるガードリング構造および特許文献1の素子構造でそれぞれ生じる諸問題を解決するために、例えば、特許文献2ではn型炭化珪素結晶成長層の表面層にアルミニウムイオンのような逆導電型であるp型不純物をショットキー電極の端部を含むリング状の領域にイオン注入した後、不純物活性化熱処理を行い、エピタキシャル結晶成長層に本来ドーピングされているn型不純物とイオン注入されたp型不純物を相殺させてn型不純物濃度を意図的に減少させることにより、n型炭化珪素結晶成長層と同じ導電型であるn型の低不純物濃度領域を形成する端部構造が提案されている。ガードリング構造作製に必要なp型イオン注入量の低減と不純物活性化熱処理温度の低温化により、上述の炭化珪素半導体結晶内の損傷あるいは炭化珪素半導体層表面への損傷を減少させる効果があるからである。しかし、かかる素子構造でも電界集中が一番問題となるショットキー電極端部にイオン注入がなされているので、イオン注入時に発生する結晶欠陥により逆方向耐圧の劣化、逆方向リーク電流の増加等が充分解決されていなかった。
【0008】
【特許文献1】
特開2000−133819号公報
【特許文献2】
特開2000-188406号公報
【非特許文献1】
Roland Rupp他6名, "Performance and Reliability Issues of SiC-Schottky Diodes", Material Science Forum、2000年、338-342巻、1167-1170ページ
【0009】
【発明が解決しようとする課題】
上述のガードリング領域をイオン注入および不純物活性化熱処理で形成する構造では、電界集中により電界強度が大きくなる部分がイオン注入の損傷を受けた領域と一致する問題があった。イオン注入による結晶欠陥等の損傷はある程度高温での不純物活性化熱処理で大部分は回復するものの、依然若干の損傷は残存し、逆方向耐圧の低下、及び、逆方向リーク電流の増加を招来する。特に、電界集中により電界強度が大きくなるガードリング領域では、かかるイオン注入に起因する損傷の影響が顕著となって、素子特性を著しく劣化させる。
【0010】
特に、不純物活性化熱処理時の高温工程が炭化珪素半導体層の表面に与える損傷を避ける目的で、不純物活性化熱処理温度を低温化した場合、イオン注入領域における損傷の回復が不十分となる問題もあった。
【0011】
本発明は、以上の問題点を解決するためになされたもので、逆方向耐圧の低下、及び、逆方向リーク電流の増加等の素子特性の劣化を引き起こさないような電界集中緩和構造を具備し、整流特性等の良好な素子特性を具備する炭化珪素ショットキー障壁ダイオードを提供するものである。
【0012】
【課題を解決するための手段】
本発明に係る炭化珪素ショットキー障壁ダイオードは、n型炭化珪素半導体基板と、上記n型炭化珪素半導体基板上に形成され第1不純物濃度Nを有するn型第1炭化珪素半導体層と、上記n型第1炭化珪素半導体層上に形成され第2不純物濃度Nを有するn型第2炭化珪素半導体層と、上記n型第2炭化珪素半導体層上に形成されたショットキー電極と、上記ショットキー電極の下部の上記n型第2炭化珪素半導体層内に設けられ第3不純物濃度Nを有するn型不純物イオン注入領域と、を備え、上記各不純物濃度がN>N>Nの関係を満たすこととした。
【0013】
【発明の実施の形態】
実施の形態1.
本発明の実施の形態1の炭化珪素ショットキー障壁ダイオードの断面図を図1に示す。図中、1はn型炭化珪素半導体基板、2はエピタキシャル結晶成長で形成され上記n型炭化珪素半導体基板1より不純物濃度が低いn型第1炭化珪素半導体層、3はエピタキシャル結晶成長で形成され上記n型第1炭化珪素半導体層2よりさらに不純物濃度が低いn型第2炭化珪素半導体層、4は例えばチタンからなるショットキー電極、5はショットキー電極端部、6はニッケル(Ni)からなる裏面n側電極、7は例えば窒素イオン等のn型不純物のイオン注入によりショットキー電極4直下のn型第2炭化珪素半導体層3中に形成されたn型不純物イオン注入領域、8はn型不純物イオン注入領域7の端部、9は炭化珪素ショットキー障壁ダイオードに逆方向電圧を印加した場合の空乏層の拡がりの先端部、10はイオン注入マスク、をそれぞれ示す。
【0014】
先ず、本実施の形態の炭化珪素ショットキー障壁ダイオードの製造方法を図2に基づき説明する。n型炭化珪素半導体基板1上にシランおよびプロパンガス等を原料としたCVD結晶成長法によって、例えば1.2×1016cm−3の不純物濃度を有し層厚10μm程度のn型第1炭化珪素半導体層2と、上記n型第1炭化珪素半導体層2より不純物濃度が低い、例えば3×1015cm−3の不純物濃度で層厚1μm程度のn型第2炭化珪素半導体層3と、を順次エピタキシャル結晶成長する(図2(a))。
【0015】
公知のフォトリソグラフィ技術によって、エピタキシャル結晶成長後のウエハ上にイオン注入マスク10として機能するレジストパターンを形成して、炭化珪素半導体結晶中でn型の導電性を示す、例えば窒素のような不純物をn型第2炭化珪素半導体層3中にイオン注入して、n型不純物イオン注入領域7を形成する(図2(b))。なお、イオン注入マスク10の開口部は、後工程でショットキー電極4を形成する領域にほぼ一致している。かかる開口部を通してn型第2炭化珪素半導体層3中に5×1015cm−3の濃度に相当する不純物のイオン注入を行い、元々含まれていた不純物と併せて8×1015cm−3の不純物濃度のn型不純物イオン注入領域7を形成する。イオン注入後、イオン注入マスク10を除去して、不純物活性化熱処理を例えば1100℃で10分間行う。
【0016】
上述の不純物活性化熱処理後、スパッタ成膜法によりn型炭化珪素半導体基板1の裏面側に膜厚0.5μm程度のニッケル膜を成膜して裏面n側電極6を形成し、さらに、オーミック電極化のため例えば真空中で950℃、1分間の熱処理を実施する。
【0017】
最後に、スパッタ成膜法によりウエハの上面側、すなわちエピタキシャル結晶成長層が形成されている側に、例えばチタンを膜厚0.5μm程度成膜した後、公知のフォトリソグラフィ技術とウエットあるいはドライエッチング技術によってショットキー電極4をパターン形成すると、図1に示した断面構造を呈する炭化珪素ショットキー障壁ダイオードが完成する。
【0018】
本実施の形態の炭化珪素ショットキー障壁ダイオードで重要なn型第1炭化珪素半導体層2、n型第2炭化珪素半導体層3およびn型不純物イオン注入領域7間の不純物濃度の関係について以下に説明する。なお、不純物濃度とはドナーとして寄与する不純物の濃度を意味する。n型不純物イオン注入領域7の不純物濃度をn型第2炭化珪素半導体層3の不純物濃度より高く、かつn型第1炭化珪素半導体層2の不純物濃度より小さくなるように設定する。
【0019】
すなわち、n型第1炭化珪素半導体層2の不純物濃度をN、n型第2炭化珪素半導体層3の不純物濃度をN、n型不純物イオン注入領域7の不純物濃度をNとした場合、前記各不純物濃度がN>N>Nを満たす関係にある。さらに、各層および領域毎の不純物濃度について説明する。
【0020】
(1)n型第1炭化珪素半導体層2
n型第1炭化珪素半導体層2の不純物濃度Nとして、目標逆方向耐圧に対応した不純物濃度、つまり、空乏層の伸びで決まる膜厚と最大電界強度の積の2分の1が逆方向耐圧に等しくなる不純物濃度が好適である。例えば、炭化珪素ショットキー障壁ダイオードに要求される目標逆方向耐圧が1.2kVの場合は、最大電界強度として2MV/cmが想定され、n型第1炭化珪素半導体層2の膜厚を15μmとすると、不純物濃度Nは8.84×1015cm−3が好適である。
【0021】
(2)n型第2炭化珪素半導体層3
n型第2炭化珪素半導体層3の不純物濃度Nとして、n型第1炭化珪素半導体層2の不純物濃度Nに対して10%から50%の濃度範囲が好適である。つまり、0.1N≦N≦0.5Nの範囲が望ましい。例えば、n型第1炭化珪素半導体層2の不純物濃度Nが8.84×1015cm−3の場合に対しては、n型第2炭化珪素半導体層3の不純物濃度Nは8.84×1014cm−3から4.42×1015cm−3の範囲が好適である。不純物濃度Nが不純物濃度Nに対して50%以下では空乏層が水平方向に充分広がって所望の効果が得られる一方、不純物濃度Nに対して10%以上では不純物濃度の低下による順方向抵抗の増加が問題ない程度だからである。
【0022】
(3)n型不純物イオン注入領域7
n型不純物イオン注入領域7の不純物濃度Nとしては、n型第2炭化珪素半導体層3の不純物濃度Nの1.5倍以上で、ショットキー障壁での逆方向リーク電流を定格以下にする濃度、すなわち、不純物濃度Nの5倍以下の範囲が好適である。つまり、1.5N≦N≦5.0Nの範囲が望ましい。
【0023】
例えば、n型第2炭化珪素半導体層3の不純物濃度Nが8.84×1014cm−3の場合は、n型不純物イオン注入領域7の不純物濃度Nとして1.33×1015cm−3以上1×1016cm−3以下の範囲が好適であり、n型第2炭化珪素半導体層3の不純物濃度Nが4.42×1015cm−3の場合は、n型不純物イオン注入領域7の不純物濃度Nとして6.63×1015cm−3以上5×1016cm−3以下の範囲が好適である。
【0024】
次に、本実施の形態の炭化珪素ショットキー障壁ダイオードの動作を説明する。ショットキー電極4に負電圧を印加した場合、ショットキー電極4の下部に形成される電位障壁によって電子が遮断されることにより、主にn型第1炭化珪素半導体層2に形成される空乏層に負電圧が印加され、ダイオードとしての整流特性を示す。
【0025】
上述したようにショットキー電極4下部のn型不純物イオン注入領域7の不純物濃度Nに比べてn型第2炭化珪素半導体層3の不純物濃度Nが低いため、空乏層への負電圧印加時にはウエハ主面に対して水平方向へ空乏層が広がる。よって、空乏層の拡がりの先端部9もウエハ主面に対して水平方向に拡張される結果、従来構造に比べてショットキー電極端部5と空乏層の拡がりの先端部9の間隔も一層広くなる。したがって、ショットキー電極端部5での電界集中がより緩和され逆方向耐圧が向上する効果をもたらす。また、n型第2炭化珪素半導体層3の不純物濃度Nが相対的に低いため、特に電界強度が大きく逆方向リーク電流が問題となるショットキー電極端部5の近傍でショットキー障壁の厚みが増加することにより、逆方向リーク電流が低減する効果も生じる。
【0026】
さらに、空乏層の拡がりの先端部9がウエハ主面に対して水平方向に拡張するに伴い、位置に対する電界強度の傾きも一層ゆるやかとなり、ショットキー障壁の厚みが増加して逆方向リーク電流が低減するため、同程度の不純物濃度の耐圧層、つまりn型第1炭化窒素層2に対して、逆方向リーク電流を抑制できる。
【0027】
以上、本実施の形態の炭化珪素ショットキー障壁ダイオードの構成によると、逆方向耐圧が高くかつ逆方向リーク電流が低い良好な素子特性を有する炭化珪素ショットキー障壁ダイオードが容易に得られる。
【0028】
実施の形態2.
図3は本発明の実施の形態2の炭化珪素ショットキー障壁ダイオードの断面図である。図中、図1と同一の符号を付したものは、同一またはこれに相当するものである。
【0029】
先ず、本実施の形態に示した炭化珪素ショットキー障壁ダイオードの製造方法を以下に説明する。n型炭化珪素半導体基板1上へのn型第1炭化珪素半導体層2およびn型第2炭化珪素半導体層3の形成は、実施の形態1と同様である。公知のフォトリソグラフィ技術によって、エピタキシャル結晶成長後のウエハ上にイオン注入マスク10として機能するレジストパターンを形成して、炭化珪素半導体結晶中でn型の導電性を示すような例えば窒素のような不純物をn型第2炭化珪素半導体層3中にイオン注入して、n型不純物イオン注入領域7を形成する。なお、イオン注入マスク10の開口部は、後工程でショットキー電極を形成する領域にほぼ一致している。この時、例えば100keV以下の低イオン注入エネルギーでのイオン注入を行わないことにより、n型第2炭化珪素半導体層3の表面から0.2μmの距離までは不純物がイオン注入されないように、つまり、イオン注入されない領域の不純物濃度をn型第2炭化珪素半導体層3の不純物濃度と同程度に維持する。イオン注入後、イオン注入マスク10を除去して、不純物活性化熱処理を例えば1100℃で10分間行う。裏面n側電極6を形成する工程、及び、ショットキー電極4を形成する工程は実施の形態1と同様である。
【0030】
上述の説明ではn型第2炭化珪素半導体層3の表面側で不純物がイオン注入されない部分の層厚、言い換えれば、ショットキー電極4とn型不純物イオン注入領域7の間隙の層厚を0.2μmにする例を示したが、イオン注入時の損傷が表面に及ばない範囲の間隙の層厚以上で、かつ順方向抵抗の増加を招来しない間隙の層厚以下の範囲であるならば良く、例えば、0.1μmから1μmの範囲が好適である。要するに、上述の間隙の層厚をdとすると、0.1μm≦d≦1.0μmを満たす範囲が好適である。
【0031】
本実施の形態の炭化珪素ショットキー障壁ダイオードにおけるn型第1炭化珪素半導体層2、n型第2炭化珪素半導体層3およびn型不純物イオン注入領域7間の不純物濃度の関係は実施の形態1と同様である。つまり、n型第1炭化珪素半導体層2の不純物濃度をN、n型第2炭化珪素半導体層3の不純物濃度をN、n型不純物イオン注入領域7の不純物濃度をNとした場合、前記各不純物濃度がN>N>Nを満たす関係にある。
【0032】
本実施の形態の炭化珪素ショットキー障壁ダイオードでは、実施の形態1と同様、ショットキー電極4下部のn型不純物イオン注入領域7の不純物濃度Nに比べてn型第2炭化珪素半導体層3の不純物濃度Nが低いため、ウエハ主面に対して水平方向に空乏層が広がりやすくなる。よって、空乏層の拡がりの先端部9もウエハ主面に対して水平方向に拡張される結果、従来構造に比べてショットキー電極端部5と空乏層の拡がりの先端部9の間隔はより広くなって、逆方向耐圧が高くかつ逆方向リーク電流が低い良好な素子特性が得られる点は実施の形態1の素子構造と同様である。
【0033】
本実施の形態の炭化珪素ショットキー障壁ダイオードでは、実施の形態1の素子構造に対して、ショットキー電極4下部のn型不純物イオン注入領域7はショットキー電極4と接していない構造を備えている。一般に、逆方向に高電圧を印加して空乏層が水平方向に広がった状態では、炭化珪素半導体基板1主面に対して垂直方向、つまり層厚方向におけるショットキー電極4とn型第2炭化珪素半導体層3との界面で電界強度が最大となって絶縁破壊が生じ得るが、本実施の形態の炭化珪素ショットキー障壁ダイオードでは、かかる最大電界強度の位置においてイオン注入による結晶欠陥等の損傷が少ない結果、絶縁破壊を一層生じにくくする作用が生じる。つまり、欠陥密度の高いn型不純物イオン注入領域7がショットキー電極4と接していないため、欠陥損傷の影響を受けにくいからである。よって、損傷の影響による歩留まりの低下もなく、逆方向耐圧が高くかつ逆方向リーク電流が低い良好な素子特性を有する炭化珪素ショットキー障壁ダイオードが容易に得られる。
【0034】
実施の形態3.
図4は本発明の実施の形態3の炭化珪素ショットキー障壁ダイオードの断面図である。図中、図1と同一の符号を付したものは、同一またはこれに相当するものである。
【0035】
先ず、本実施の形態に示した炭化珪素ショットキー障壁ダイオードの製造方法を以下に説明する。n型炭化珪素半導体基板1上へのn型第1炭化珪素半導体層2およびn型第2炭化珪素半導体層3の形成は実施の形態1と同様である。公知のフォトリソグラフィ技術によって、エピタキシャル結晶成長後のウエハ上にイオン注入マスク10として機能するレジストパターンを形成して、炭化珪素半導体結晶中でn型の導電性を示すような例えば窒素のような不純物をn型第2炭化珪素半導体層3中にイオン注入して、n型不純物イオン注入領域7を形成する。この時、例えば100keV以下の低イオン注入エネルギーでのイオン注入を行わないことにより、n型第2炭化珪素半導体層3の例えば表面から0.2μmの距離には不純物がイオン注入されないように、つまり、イオン注入されない領域の不純物濃度をn型第2炭化珪素半導体層3の不純物濃度と同程度に維持する。イオン注入後の不純物活性化熱処理、裏面n側電極6を形成する工程も実施の形態1と同様である。
【0036】
裏面n側電極6の形成後、ウエハ主面上にショットキー電極4をパターン形成する。例えば、チタンをスパッタ成膜法により膜厚0.5μm程度形成した後、公知のパターニング法およびウエットあるいはドライエッチング法によりショットキー電極4を形成する。この工程において、ショットキー電極端部5がn型不純物イオン注入領域端部8に対して内側に位置するように、ショットキー電極4に対応したフォトリソグラフィ用マスクを予め設計しておく。この結果、図4に示す断面形状を呈するショットキー障壁ダイオード、つまりショットキー電極4のn型不純物イオン注入領域7に対する投影面がn型不純物イオン注入領域7をなす面に対して内側に位置する素子構造が完成する。
【0037】
本実施の形態の炭化珪素ショットキー障壁ダイオードにおけるn型第1炭化珪素半導体層2、n型第2炭化珪素半導体層3およびn型不純物イオン注入領域7間の不純物濃度の関係は実施の形態1と同様である。つまり、n型第1炭化珪素半導体層2の不純物濃度をN、n型第2炭化珪素半導体層3の不純物濃度をN、n型不純物イオン注入領域7の不純物濃度をNとした場合、前記各不純物濃度がN>N>Nを満たす関係にある。
【0038】
上記ショットキー電極端部5とn型不純物イオン注入領域端部8の位置関係をさらに具体的に説明すると、ショットキー電極4のn型不純物イオン注入領域7に対する投影面とn型不純物イオン注入領域7をなす面との端部間の間隔をsとし、n型第2炭化珪素半導体層3の層厚をdとすると、0.1d≦s≦5.0dの範囲とすれば、炭化珪素ショットキー障壁ダイオードの逆方向耐圧と逆方向リーク電流特性を良好に維持することが可能である。
【0039】
本実施の形態の炭化珪素ショットキー障壁ダイオードでは実施の形態1と同様、ショットキー電極4下部のn型不純物イオン注入領域7の不純物濃度Nに比べn型第2炭化珪素半導体層3の不純物濃度Nが低いため、ウエハ主面に対して水平方向に空乏層が広がりやすくなる。よって、空乏層の拡がりの先端部9もウエハ主面に対して水平方向に拡張される結果、従来構造に比べてショットキー電極端部5と空乏層の拡がりの先端部9の間隔はより広くなって、逆方向耐圧が高くかつ逆方向リーク電流が低い良好な素子特性が得られる点は実施の形態1の素子構造と同様である。
【0040】
さらに、本実施の形態の炭化珪素ショットキー障壁ダイオードでは、実施の形態1の素子構造に加え、ショットキー電極4の下部のn型不純物イオン注入領域7はショットキー電極4と接していない構造を備えているため、イオン注入時の結晶欠陥等の損傷の影響による歩留まりの低下もなく、逆方向耐圧が高くかつ逆方向リーク電流が低い良好な素子特性が実現できる点は実施の形態2の素子構造と同様である。
【0041】
実施の形態1及び2の素子構造では、逆方向に高電圧を印加し空乏層が広がった状態では、ショットキー電極4の下部近傍のn型不純物イオン注入領域7では外側のn型第2炭化珪素半導体層3に比べて空乏層の層厚方向への拡がりが小さいことにより、ショットキー電極4の端部5近傍の下部で空乏層の拡がりの先端部9が形成する面が下方向に凸の形状を呈して、局所的な電界集中を生み出す場合がある。
【0042】
一方、本実施の形態の素子構造では、n型不純物イオン注入領域端部8は上記ショットキー電極端部5に対して外側に位置するため、空乏層の層厚方向への拡がりは外側に向かうに従い徐々に小さくなっていくので、空乏層の拡がりの先端部9が形成する面が層厚方向に凸の形状をなすことがなく、ショットキー電極の端部5の下部で一層電界集中の生じにくい空乏層の拡がりが得られる。よって、同程度の不純物濃度の耐圧層、つまりn型第1炭化珪素半導体層2に対して、高絶縁破壊電圧が得られる効果がある。すなわち、一層逆方向耐圧が高くかつ逆方向リーク電流が低い良好な素子特性を有する炭化珪素ショットキー障壁ダイオードが容易に得られる。
【0043】
実施の形態4.
図5は本発明の実施の形態4の炭化珪素ショットキー障壁ダイオードの断面図である。図中、図1と同一の符号を付したものは、同一またはこれに相当するものである。
【0044】
先ず、本実施の形態に示した炭化珪素ショットキー障壁ダイオードの製造方法を以下に説明する。n型炭化珪素半導体基板1上へのn型第1炭化珪素半導体層2およびn型第2炭化珪素半導体層3の形成は、実施の形態1と同様である。公知のフォトリソグラフィ技術によって、エピタキシャル結晶成長後のウエハ上にイオン注入マスク10として機能するレジストパターンを形成して、炭化珪素半導体結晶中でn型の導電性を示すような例えば窒素のような不純物をn型第2炭化珪素半導体層3中にイオン注入して、n型不純物イオン注入領域7を形成する。例えば、かかる開口部を通してn型第2炭化珪素半導体層3中に5×1015cm−3の濃度に相当する不純物のイオン注入を行い、n型不純物イオン注入領域7を形成する。イオン注入後の不純物活性化熱処理、裏面n側電極6を形成する工程も実施の形態1と同様である。
【0045】
裏面n側電極6形成後、ウエハ主面上にショットキー電極4を形成する。例えば、チタンをスパッタ成膜法により膜厚0.5μm程度形成した後、公知のパターニング法およびウエットあるいはドライエッチング法によりショットキー電極4をパターン形成する。この工程において、n型不純物イオン注入領域端部8がショットキー電極端部5より内側に位置するようにショットキー電極4に対応したフォトリソグラフィ用マスクを予め設計しておく。この結果、図5に示す断面形状を呈するショットキー障壁ダイオード、つまり、n型不純物イオン注入領域端部8がショットキー電極4の内側に位置する素子構造が完成する。
【0046】
本実施の形態の炭化珪素ショットキー障壁ダイオードにおけるn型第1炭化珪素半導体層2、n型第2炭化珪素半導体層3およびn型不純物イオン注入領域7間の不純物濃度の関係は実施の形態1と同様である。つまり、n型第1炭化珪素半導体層2の不純物濃度をN、n型第2炭化珪素半導体層3の不純物濃度をN、n型不純物イオン注入領域7の不純物濃度をNとした場合、前記各不純物濃度がN>N>Nを満たす関係にある。
【0047】
上述のショットキー電極端部5とn型不純物イオン注入領域端部8の位置関係を具体的に説明する。ショットキー電極端部5とn型不純物イオン注入領域端部8との間隔をsとし、n型第2炭化珪素半導体層3の層厚をdとすると、0.1d≦s≦5.0dの範囲とすれば、炭化珪素ショットキー障壁ダイオードの逆方向耐圧と逆方向リーク電流特性を良好に維持することが可能である。
【0048】
本実施の形態の炭化珪素ショットキー障壁ダイオードでは、実施の形態1の素子構造と同様な原理で、逆方向耐圧が高くかつ逆方向リーク電流が低い良好な素子特性を有する炭化珪素ショットキー障壁ダイオードが容易に得られる。
【0049】
加えて、本実施の形態の炭化珪素ショットキー障壁ダイオードでは、上述したようにn型不純物イオン注入領域端部8はショットキー電極端部5よりも内側にあって、結果的にショットキー電極端部5はイオン注入を行わない部分に位置して、ショットキー電極端部5で電界強度が最大になる領域はイオン注入による結晶欠陥等の損傷の影響を全く受けないため、絶縁破壊が発生しにくくなる。この結果、一層逆方向耐圧が高くかつ逆方向リーク電流が低い良好な素子特性を有する炭化珪素ショットキー障壁ダイオードが容易に得られる。
【0050】
なお、上述の各実施の形態では、各エピタキシャル結晶成長層及びn型イオン注入領域のn型不純物として窒素を例示したが、炭化珪素に対する他のn型不純物、例えば燐等でも同様な効果が得られる。
【0051】
また、上述の各実施の形態では、ショットキー電極としてチタンを例示したが、順方向電圧と逆方向リーク電流の仕様に応じて仕事関数の異なる金、ニッケル、白金、銅等の金属材料でショットキー障壁を形成しても同様な効果が得られる。
【0052】
上述の各実施の形態では、ショットキー障壁ダイオード単体から形成される炭化珪素ショットキー障壁ダイオードの例を示したが、本発明は他のpnダイオードとショットキー障壁ダイオードを組み合わせた半導体装置や、スイッチ素子とショットキー障壁ダイオードを組み合わせた半導体装置にも同様に適用可能である。
【0053】
上述の各実施の形態では、ショットキー電極の形成方法としてエッチングを例示したが、他のリフトオフ、メタルマスク等の電極パターニング方法でも同様に適用可能である。
【0054】
【発明の効果】
本発明に係る炭化珪素ショットキー障壁ダイオードでは、n型炭化珪素半導体基板と、上記n型炭化珪素半導体基板上に形成され第1不純物濃度Nを有するn型第1炭化珪素半導体層と、上記n型第1炭化珪素半導体層上に形成され第2不純物濃度Nを有するn型第2炭化珪素半導体層と、上記n型第2炭化珪素半導体層上に形成されたショットキー電極と、上記ショットキー電極の下部の上記n型第2炭化珪素半導体層内に設けられ第3不純物濃度Nを有するn型不純物イオン注入領域と、を備え、上記各不純物濃度がN>N>Nの関係を満たすこととしたので、逆方向耐圧が高くかつ逆方向リーク電流が低い良好な素子特性を有する炭化珪素ショットキー障壁ダイオードが容易に得られる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 実施の形態1の炭化珪素ショットキー障壁ダイオードの断面図及び、逆方向電圧を印加した場合の空乏層の形状を示したものである。
【図2】 実施の形態1の炭化珪素ショットキー障壁ダイオードの製造方法を示す図である。
【図3】 実施の形態2の炭化珪素ショットキー障壁ダイオードの断面図及び、逆方向電圧を印加した場合の空乏層の形状を示したものである。
【図4】 実施の形態3の炭化珪素ショットキー障壁ダイオードの断面図及び、逆方向電圧を印加した場合の空乏層の形状を示したものである。
【図5】 実施の形態4の炭化珪素ショットキー障壁ダイオードの断面図及び、逆方向電圧を印加した場合の空乏層の形状を示したものである。
【符号の説明】
1 n型炭化珪素半導体基板、 2 n型第1炭化珪素半導体層、 3 n型第2炭化珪素半導体層、 4 ショットキー電極、 5 ショットキー電極端部、 6 ニッケルからなる裏面n側電極、 7 n型不純物イオン注入領域、 8 n型不純物イオン注入領域端部、 9 逆方向電圧を印加した場合の空乏層の拡がりの先端部、 10 イオン注入マスク。

Claims (9)

  1. n型炭化珪素半導体基板と、
    前記n型炭化珪素半導体基板上に形成され第1不純物濃度Nを有するn型第1炭化珪素半導体層と、
    前記n型第1炭化珪素半導体層上に形成され第2不純物濃度Nを有するn型第2炭化珪素半導体層と、
    前記n型第2炭化珪素半導体層上に形成されたショットキー電極と、
    前記ショットキー電極の下部の前記n型第2炭化珪素半導体層内に設けられ第3不純物濃度Nを有するn型不純物イオン注入領域と、を備え、
    前記各不純物濃度がN>N>Nの関係を満たすことを特徴とする炭化珪素ショットキー障壁ダイオード。
  2. 前記第1不純物濃度Nと前記第2不純物濃度Nが、さらに0.1N≦N≦0.5Nの関係を満たすことを特徴とする請求項1記載の炭化珪素ショットキー障壁ダイオード。
  3. 前記第2不純物濃度Nと前記第3不純物濃度Nが、さらに1.5N≦N≦5.0Nの関係を満たすことを特徴とする請求項1記載の炭化珪素ショットキー障壁ダイオード。
  4. 前記ショットキー電極と前記n型第2炭化珪素半導体層内のn型不純物イオン注入領域とが層厚方向に対して層厚dの間隙を有することを特徴とする請求項1記載の炭化珪素ショットキー障壁ダイオード。
  5. 前記間隙の層厚dが、0.1μm≦d≦1.0μmの範囲であることを特徴とする請求項4記載の炭化珪素ショットキー障壁ダイオード。
  6. 前記ショットキー電極の前記n型不純物イオン注入領域に対する投影面が、前記n型不純物イオン注入領域をなす面の内側に位置することを特徴とする請求項4または5記載の炭化珪素ショットキー障壁ダイオード。
  7. 前記ショットキー電極の前記n型不純物イオン注入領域に対する投影面と前記n型不純物イオン注入領域をなす面との端部間の間隔sが、前記n型第2炭化珪素半導体層の層厚をdとするとき、0.1d≦s≦5.0dの範囲であることを特徴とする請求項6記載の炭化珪素ショットキー障壁ダイオード。
  8. 前記n型第2炭化珪素半導体層内のn型不純物イオン注入領域と前記ショットキー電極とが接し、かつ前記n型不純物イオン注入領域をなす面が前記ショットキー電極をなす面の内側に位置することを特徴とする請求項1記載の炭化珪素ショットキー障壁ダイオード。
  9. 前記ショットキー電極と前記n型不純物イオン注入領域との端部間の間隔sが、前記n型第2炭化珪素半導体層の層厚をdとするとき、0.1d≦s≦5.0dの範囲であることを特徴とする請求項8記載の炭化珪素ショットキー障壁ダイオード。
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