JP4273241B2 - 光学装置の非点隔差測定方法、スポット径補正方法及びスポット評価装置 - Google Patents
光学装置の非点隔差測定方法、スポット径補正方法及びスポット評価装置 Download PDFInfo
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Description
図1は、本発明の実施の形態に係る非点隔差測定方法を実行するハードウェア構成を示す図である。
図2は、本発明の実施の形態に係る非点隔差測定方法の流れを示すフローチャートである。
上述した実施形態における非点隔差測定方法は、本発明の好適な形態の一例ではあるが、これに限定されるものではなく本発明の要旨を変更しない範囲において種々変形が可能である。例えば、被評価装置である光学装置としてレーザーダイオードを用い、また、集光性能評価装置としてニアフィールド測定装置を用いることで、非点収差補正用の光学素子を用いることなくニアフィールド測定装置自体の持つ非点収差を簡易に補正することが可能になる。すなわち、本発明における非点隔差測定方法は、光ピックアップ装置用のスポット評価装置に対するものには限定されず、その他の光学装置の集光性能を評価する集光性能評価装置に対しても適用が可能である。
2 光ピックアップ装置
3 計算機
Claims (3)
- 被評価装置である光学装置の集光性能を評価する集光性能評価装置が有する非点隔差を補正しつつ、前記集光性能評価装置を用いて、前記光学装置が有する非点隔差を測定する光学装置の非点隔差測定方法であって、
光学装置から発せられた光ビームのスポット径を表示するディスプレイ上には、前記光学装置の姿勢の定義が定められているX軸及びそれに直行するY軸よりなる基本軸に対応関係があり、且つ前記光学装置を前記基本軸に対して角度θだけ回転させるのに対応して前記ディスプレイ上に表示された前記スポット径が角度θだけ回転するように定められた基本軸を有し、前記光学装置から取得した前記スポット径のデータを前記ディスプレイ上に定められた前記基本軸に対して回転させながら一の角度θnにおける非点隔差R(θn)を取得するステップと、
前記非点隔差R(θn)が最大となるときの角度θmaxと、そのときの最大非点隔差R(θmax)とを用いて、前記基本軸と同方向のベクトル係数R0と、前記基本軸に対して45度の角度をなす方向のベクトル係数R45と、を算出するステップと、
フィッティング手法を用いて、前記ベクトル係数R0と前記ベクトル係数R45とから任意の角度θにおける非点隔差R(θ)を算出するステップと、
予め非点隔差がわかっている基準光学装置を前記集光性能評価装置で測定することによって、前記ベクトル係数R 0 の補正係数α 0 と補正切片β 0 とを算出するとともに、前記ベクトル係数R 45 の補正係数α 45 と補正切片β 45 とを算出するステップと、
前記補正係数α 0 と前記補正切片β 0 とを用いて前記ベクトル係数R 0 を補正するとともに、前記補正係数α 45 と前記補正切片β 45 とを用いて前記ベクトル係数R 45 を補正するステップと、
補正後のベクトル係数R0とR45とを用いて、前記光学装置の非点隔差を算出するステップと、からなることを特徴とする光学装置の非点隔差測定方法。 - 前記光学装置は光ピックアップ装置であるとともに、前記集光性能評価装置はスポット評価装置であり、前記光ピックアップ装置から取得した前記スポット径を、請求項1記載の非点隔差測定方法により算出された非点隔差に基づいて補正することを特徴とするスポット径補正方法。
- 請求項2記載のスポット径補正方法を用いて、前記スポット径を補正することを特徴とするスポット評価装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2004215491A JP4273241B2 (ja) | 2003-07-25 | 2004-07-23 | 光学装置の非点隔差測定方法、スポット径補正方法及びスポット評価装置 |
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JP2003280384 | 2003-07-25 | ||
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JP2004215491A JP4273241B2 (ja) | 2003-07-25 | 2004-07-23 | 光学装置の非点隔差測定方法、スポット径補正方法及びスポット評価装置 |
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JP2005351876A JP2005351876A (ja) | 2005-12-22 |
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JP (1) | JP4273241B2 (ja) |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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US8432944B2 (en) * | 2010-06-25 | 2013-04-30 | KLA-Technor Corporation | Extending the lifetime of a deep UV laser in a wafer inspection tool |
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A621 | Written request for application examination |
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A977 | Report on retrieval |
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