JP5111077B2 - 自動焦点・自動非点設定方法及び自動焦点・自動非点設定プログラム - Google Patents
自動焦点・自動非点設定方法及び自動焦点・自動非点設定プログラム Download PDFInfo
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第3の方法の場合について検討する。SEM及びSTEMで一般に行われている方法は、正焦点を求めるために繰り返しによる画像の取得を行なった後に、再び非点補正を行なうために繰り返しによる画像の取得を行わねばならない。非点補正は通常x方向とy方向と2方向行なう必要があるので、正焦点を求める操作と合わせて合計3回の繰り返しを行なう必要があり、時間がかかるという問題があった。
(2)請求項2記載の発明は、前記第7の工程は、予め非点のズレ量に応じて楕円がどの方向にどれだけ変化するかを記憶させておき、楕円の長径と短径とを測定して非点隔差を求め、前記記憶されたデータとに基づいて非点補正値を求め、長径と短径の和の1/2を焦点補正値とすることを特徴とする。
(3)請求項3記載の発明は、試料を透過した電子線を走査透過電子顕微鏡の電子線検出器で検出して画像を取得する第1の工程と、取得された画像に対して所定の角度方向に対する画像積算値を角度毎に求める第2の工程と、得られた画像積算値の標準偏差を求める第3の工程と、対物レンズの励磁を所定量変更して焦点距離を変更する第4の工程と、画像を指定枚数取得したかどうかをチェックする第5の工程と、画像を指定枚数取得していない場合には第1のステップに戻り、画像を指定枚数取得した場合には、前記画像積算値の標準偏差を焦点条件に対してプロットする第6の工程と、前記第6の工程で得られた標準偏差のプロットから各角度に対する前記標準偏差の最大値を極座標とする楕円を求め、該楕円から焦点及び非点補正値を求める第7の工程と、をコンピュータで実行することを特徴とする。
(2)請求項2記載の発明によれば、焦点補正値と非点補正値を極座標で表された楕円画像から求めることができる。
(3)請求項3記載の発明によれば、対物レンズの励磁を変えて試料の像を所定の枚数取得しておけば、この所定の枚数の画像を演算処理して焦点の補正値と非点の補正値を求めることができ、焦点補正と非点補正を短時間で効率よく行なうことができる。
(Lmax+Lmin)/2
に対応する値として求まる。具体的には非点補正は、前記取得した補正データに基づいてコンピュータ7から多極子コイル系5に補正信号を印加することで行ない、焦点補正はコンピュータ7から第2の電子光学系4の対物レンズの励磁を補正することで行なう。
本発明によれば、前述した一連の工程をコンピュータ7のプログラム7bで実行させることができる。
2 第1の電子光学系
3 試料保持台
3a 試料
4 第2の電子光学系
5 非点を補正するための多極子コイル径
6 電子線検出器
7 コンピュータ
7a ディスプレイ
7b プログラム
Claims (3)
- 試料を透過した電子線を走査透過電子顕微鏡の電子線検出器で検出して画像を取得する第1の工程と、
取得された画像に対して所定の角度方向に対する画像積算値を角度毎に求める第2の工程と、
得られた画像積算値の標準偏差を求める第3の工程と、
対物レンズの励磁を所定量変更して焦点距離を変更する第4の工程と、
画像を指定枚数取得したかどうかをチェックする第5の工程と、
画像を指定枚数取得していない場合には第1のステップに戻り、画像を指定枚数取得した場合には、前記画像積算値の標準偏差を焦点条件に対してプロットする第6の工程と、
前記第6の工程で得られた標準偏差のプロットから各角度に対する前記標準偏差の最大値を極座標とする楕円を求め、該楕円から焦点及び非点補正値を求める第7の工程と、
を有して構成されることを特徴とする自動焦点・自動非点設定方法。 - 前記第7の工程は、予め非点のズレ量に応じて楕円がどの方向にどれだけ変化するかを記憶させておき、楕円の長径と短径とを測定して非点隔差を求め、前記記憶されたデータとに基づいて非点補正値を求め、長径と短径の和の1/2を焦点補正値とすることを特徴とする請求項1記載の自動焦点・自動非点補正方法。
- 試料を透過した電子線を走査透過電子顕微鏡の電子線検出器で検出して画像を取得する第1の工程と、
取得された画像に対して所定の角度方向に対する画像積算値を角度毎に求める第2の工程と、
得られた画像積算値の標準偏差を求める第3の工程と、
対物レンズの励磁を所定量変更して焦点距離を変更する第4の工程と、
画像を指定枚数取得したかどうかをチェックする第5の工程と、
画像を指定枚数取得していない場合には第1のステップに戻り、画像を指定枚数取得した場合には、前記画像積算値の標準偏差を焦点条件に対してプロットする第6の工程と、
前記第6の工程で得られた標準偏差のプロットから各角度に対する前記標準偏差の最大値を極座標とする楕円を求め、該楕円から焦点及び非点補正値を求める第7の工程と、
をコンピュータで実行することを特徴とする自動焦点・自動非点補正プログラム。
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