JP4259749B2 - 高速プロファイリングのためのエンハンスドフレーム転送周波数で駆動したライン間転送ccd - Google Patents

高速プロファイリングのためのエンハンスドフレーム転送周波数で駆動したライン間転送ccd Download PDF

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Description

【0001】
(技術分野)
本発明は、2D(2次元)イメージ・センサ、より詳しくは、高速オブジェクト・プロファイリングおよび表面形状測定に役立つ、速いフレームレートでCCDアレイ・イメージ・センサの読み出しを行うのに用いられるライン間転送式画像検知方法、装置に関する。
【0002】
(発明の背景)
代表的なソリッドステート・イメージング・センサ装置は、行、列で配置した電荷積分フォトサイトからなる。各フォトサイトは、1ピクセル分のフレーム情報に対応する電気信号を出力することによって入射放射線に応答する。ライン間転送型においては、電荷は、直ちに、垂直シフト・レジスタのパラレル構造に転送される。まず、電荷パターンが、イメージ獲得期間中に積分サイトに蓄積される。次いで、電荷パターンは、垂直シフト・レジスタとしても知られる記憶カラムに転送される。
【0003】
転送された電荷は、一度に1ラインずつ、水平読み出しレジスタへシフトされ、ここからライン・バイ・ライン式2Dビデオ出力信号が採取される。これは、従来技術において公知であり、普通、毎秒約30フレームのフレームレートで画像を撮ることができる。
【0004】
また、比較的小さい対象物(オブジェクト)の表面形状寸法点検、測定のためにオブジェクトのプロファイルを獲得する際にこのようなCCDカメラを使用することも、従来技術では公知である。これは、通常レーザーから来る高エネルギ入射光平面によってオブジェクトの表面を照射し、CCDイメージ・センサ・アレイ上の反射光をキャプチャすることによって、行われる。次いで、オブジェクトの獲得されたプロファイルは、オブジェクトの形状すなわち表面形状寸法点検のために隔離することができる。公知の技術の制約は、多くの表面部分を短時間に(たとえばアッセンブリ・ライン上で)点検しなければならないとき、公知の方法はフレーム期間毎にせいぜい1つのプロファイルを点検するだけなので、CCDの標準のフレームレートがもはや充分ではないという事実から来る。公知技術に対する種々の改良が、Nakayama et al.の米国特許4,162,126号、David Burkの米国特許第5,083,867号およびMarc Riouxの米国特許第5,177,556号に開示されている。
【0005】
他の従来の米国特許でも、CCDセンサから読み込まれるフレームレートに関する改良を行うことができる。これは、領域センサをフォトサイトのブロックにフォーマットし、より少ないセクターが読み込まれなければならないようにしたり(たとえば、James Bixbyの米国特許第4,322,752号)、または、隣り合ったピクセル電荷を加算して獲得フレームレートおよび動的イメージ範囲を同時に向上させたり(たとえば、Takashi Watanabeの米国特許第5,420,629号)することによって行われる。これら従来特許のどれもが、標準のライン間転送CCDを使用して標準の読み込み率にわたる4より大きいファクタの改良を行うことができず、たとえ改良されたとしても、捕獲されたイメージの細部または品質の犠牲の下に行われる。
【0006】
(発明の概要)
本発明によれば、表面形状寸法点検またはオブジェクト・プロファイリングのための公知のライン間転送CCDセンサを使用して要求される時間の数分の一でソリッドステート・イメージ・センサから情報を読み出すことができる方法、装置を得ることができる。
さらに、本発明によれば、このような特定の用途のためのCCD領域センサの標準読み取り率について50の係数の改良が可能である。
【0007】
本発明の広範囲にわたる特徴によれば、CCDのフォトサイトから垂直シフト・レジスタへの蓄積された電荷の転送を制御する電荷転送信号TRは、1フレーム期間当たり2度以上(たとえば、1フレーム期間当たりn回)トリガされる。ここで、nは1より大きい値であるが、従来技術方法ではnは常に1以下であった。こうして、2以上のプロファイル・ラインからなる普通は望ましくないオーバーラップしたイメージを生じる。光源周波数またはマスキングのような他の光学手段に合わせてチューンしたフィルタを使用すると、照射されているオブジェクトのプロファイル・ラインのみが本発明における領域センサ上にキャプチャされる。本方法の唯一の制限は、同じフレーム期間中にキャプチャされる連続したプロファイル・ラインがオーバーラップしないということである。或る特定の状況において、オーバーラップしたプロファイルさえ、コンピュータ計算によって隔離できる。
【0008】
本発明によれば、n本の水平ピクセル・ラインを有するライン間転送型電荷結合素子CCDセンサと、TRイメージ転送信号入力部と、ライン型あるいは垂直型転送信号入力部とを使用する高速画像処理システムを得ることができる。CCDセンサは、本質的に暗い背景を有するプロファイル・ライン・イメージを受け取るように配置される。そして、イメージ獲得制御回路を包含する。このイメージ獲得制御回路は、まず、1フレーム期間当たりn回の周波数fLを有する垂直転送入力部のための信号を生成する垂直転送信号生成器手段を包含し、次に、TRイメージ転送信号入力部のための周波数fTRを有する出力信号TRを生成するためのTR信号生成器手段を包含し、ここで、fTR周波数は1/n× fLより大きく、1フレーム期間当たり2より多いプロファイル・イメージをキャプチャする。
【0009】
したがって、本発明の目的は、ここに開示したライン間転送型CCDセンサであって、n本の水平ピクセル・ライン、TRイメージ転送信号入力部およびライン型あるいは垂直型転送信号入力部を有するライン間転送型CCDセンサを駆動する方法を提供することにある。この方法は、本質的に以下の段階からなる。すなわち、(1) 垂直型転送信号入力部のための1フレーム期間当たりn回の周波数fLの出力信号を生成し、一度に1ライン分ずつ、CCD垂直シフト・レジスタ電荷を水平シフト・レジスタに転送する段階と、(2)TRイメージ転送信号入力部のための周波数fTRを有する出力信号TRを生成する段階とを包含し、ここで、fTR周波数が1/n× fLよりも大きく、1フレーム期間当たり2以上のプロファイル・イメージをキャプチャすることを特徴とする。
【0010】
本発明は、さらに、高速プロファイリングを使用してオブジェクトを点検する方法であって、オブジェクト上へ1つの平面で光を投射し、オブジェクト上にプロファイル・ラインを創作する段階と、ライン間転送型電荷結合素子(CCD)センサを含むカメラ・システムを配置して、オブジェクトのプロファイル・ライン・イメージを得る段階であって、ここで、プロファイル・ライン・イメージが、実質的に暗い背景内に現れ、実質的にCCDセンサの水平方向に沿って延びており、また、CCDセンサがイメージ・データを出力するように垂直方向に転送される水平ラインを有する段階と、CCDセンサのイメージ転送率を制御して1フレーム期間当たり2以上のプロファイル・イメージをキャプチャする段階とを包含する方法を提供する。好ましくは、多くのプロファイル・ライン・イメージが1フレーム期間当たりにキャプチャされる。1フレーム期間当たりにキャプチャされるイメージの数は、使われているCCDセンサの垂直方向寸法、必要な露出時間あるいはイメージ獲得時間およびプロファイル・ライン形状における変動率あるいは変化率に依存する。
【0011】
添付の図面を参照することによって、本発明をより良く理解することができ、その目的および利点が当業者にとって明らかとなろう。
【0012】
【実施例の説明】
ライン間転送型CCD領域センサの動作の全般的な原理を先に説明してきたが、本発明を理解するためには、電荷結合素子カメラの全体的なメカニズム、特に、フォトサイトからの蓄積された電荷を垂直シフト・レジスタに転送するためにこのような装置で使用される方法を再検討すると役立つであろう。
【0013】
上述したように、図2に示すライン間転送型CCDイメージ・センサは、10で示す光感知要素すなわち感光要素またはフォトサイトを包含し、これらのフォトサイトは行、列に配置され、マトリックス形態を構成している。各フォトサイト10は、入射光を電荷に変換し、これらの電荷が前記フォトサイト10内に蓄積される。これらセルの各々の出力部は、1つまたはそれ以上の垂直シフト・レジスタ12の対応するセルに接続しており、これらセルは露光しないようにシールドによって隠されており、最終ビデオ・ラインを形成する前に獲得イメージを表す電荷を一時的に記憶するために使われる。垂直シフト・レジスタ12へのフォトサイト蓄積電荷の水平転送は、周波数fTRのTRと呼ばれる電気信号によって制御され、この電気信号は、各ビデオ・シーケンスの終わりでトリガされ、露光したフォトサイト10から垂直シフト・レジスタ12に電荷を転送することによって次のフレームの獲得を開始する。
【0014】
この水平転送に続いて、垂直レジスタ12内のシフトされた電荷が先に獲得されたイメージと一致する。周波数fLのクロック信号Vで、図2の下端に垂直矢印で示すように、垂直シフト・レジスタ電荷が、一度に1ラインずつ、水平シフト・レジスタ・セル14内へダウンロードされる。今や、この水平レジスタ14に含まれる電荷は最終ビデオ・ラインを形成し、この最終ビデオ・ラインは、周波数fPの信号クロックHに従って図2の水平出力矢印をたどって電子ビデオ処理回路へ出力され、順次にシフトアウトされたときに、すべてのビデオ・ラインが完全なビデオ・フレームを形成する。
【0015】
先に説明したように、このようなCCDイメージ・センサは、形状寸法点検およびオブジェクト・プロファイリングのためにも使うことができる。これらの特別な場合には、CCDカメラによってキャプチャされた最終イメージは観測されたオブジェクトのプロファイル・ラインからなる。
【0016】
表面プロファイル測定のための代表的な装置構成が図1に示してある。レーザーから来る、2で示す高強度光平面が点検されつつあるオブジェクト上に投射され、光平面2とオブジェクト表面との交差から生じる反射した明るい光線4がCCDセンサ・アレイ8上のレンズ6を経て集められる。マスキングのような他の光学手段あるいはまたは光周波数に合わせてチューンしたフィルタを用いて、隣り合った反射あるいは主光線と干渉するおそれのある他のソースから来る他の光からこの明るいラインを隔離することができる。
【0017】
この特別な用途においては、TR信号を1フレーム当たり一度だけトリガする従来技術技術を使用した結果、CCDアレイ・センサ上にキャプチャされたあらゆるイメージがただ1つのプロファイル・ラインを含むことになる。この従来技術の欠点は、たとえば、アッセンブリ・ラインで高速オブジェクト・プロファイリングのために使われたときに、従来技術のフレーム獲得率が毎秒30フレームだけであるために、1フレームあたり1つのプロファイルを獲得するだけでは不充分であるということである。この場合、フレーム期間(完全なイメージを形成するのに必要であり、従来技術においてTR制御信号の2つの連続したノンヌル値の間に含まれる時間と一致する時間間隔)は、約1/30秒であり、約30より多いオブジェクト部分を同じ秒数で点検することはできない。
【0018】
本発明の好ましい実施例は、フォトサイト10からの電荷をCCDイメージ・センサの垂直シフト・レジスタ12に転送する技術に関する。転送制御信号TRを従来技術方法におけると同様に1フレーム期間当たり一度だけトリガする代わりに、本発明の好ましい実施例では、同じイメージ組み立て期間中にTR信号をもっと多数回トリガすることができる。TR制御信号がトリガされるたびに、蓄積された電荷が感光セル10からそれらの対応する垂直シフト・レジスタ・セル12へシフトされ、図3に示すように、このときまでに水平シフト・レジスタ14により近いより少ない垂直ピクセル・ラインを得ていた、先にシフトされていた電荷に加えられる。こうして、別の獲得プロファイル・ライン・イメージ16が先に獲得されていたプロファイル・ライン・イメージ18上へ転送されてから、先のイメージ18が従来技術方法で行われていたと同様に垂直シフト・レジスタ12を去る。ここで、フォトサイト10から垂直レジスタ・セル12へ新しい電荷を転送した時点で、CCDカメラが、垂直レジスタ・セル12からの先にシフトされていた電荷を抹消することがないように構成してあることが重要である。したがって、転送の結果として、通常、望まないオーバーラップしたイメージとなる。しかし、まず、垂直シフト・レジスタ12が、また、周波数fL(ここで、図3の垂直矢印で示すように、1/n× fLはTR制御信号周波数fTRより小さい)で水平シフト・レジスタ14内へ1ラインずつダウンロードされるので、そして、次に、獲得したイメージが実質的に水平である非常に細くて、明るいプロファイル・ラインであるから、このプロファイル・ラインは先にキャプチャされているプロファイル・ラインとオーバーラップすることはない。これは、先のラインに対応する先の電荷が、新しい電荷がフォトサイト10から垂直シフト・レジスタ・セル12にシフトされるときまでに、水平シフト・レジスタ14により近い(すなわち、図3に示せば、それより下の)2、3のピクセル・ラインすでに移動させられているためである。
【0019】
1024ピクセル幅×768ピクセル高のCCD領域センサを使用するとき、たとえTR信号が768ピクセル高の各イメージ上に50本の明るいプロファイル・ラインを生じる、1フレーム期間当たり50回トリガされたとしても(これでも、図4に示すように、プロファイル・ライン、それが2本の連続したプロファイル・ライン間に約15本の垂直ピクセル分の距離を可能とする)、プロファイル・ラインの幅は15個のピクセルよりもかなり狭い。30Hzのフレームレートの場合、TR信号周波数は1500Hzとなり、これは、たいていの用途にとって、非常に速いイメージ獲得率である。明らかなように、ラインはほぼ水平であり、プロファイル・イメージにおける水平ベースラインからのいかなる偏倚も、本発明による獲得プロファイル・ライン・イメージにおいてなんらイメージのオーバーラップを生じさせず、もしくは、許容量のイメージ・オーバーラップしか生じさせないことを意味する。
【0020】
この技術の主たる用途は、本質的に暗い背景上の非常に明るいプロファイル・ラインをキャプチャすることにある。この場合(形状寸法点検およびオブジェクト・プロファイリングのために使われる)、明るいプロファイル・ラインの一部に対応するセルのフォトサイト電荷レベルは、感光セル10から垂直シフト・レジスタ・セル12へ先にシフトされている電荷に付いての付加的なプロセス中、ほんの少し変わるだけか、あるいは全然変わることがない。これは、この先に獲得された電荷が、電気的に、非常に低いかあるいはゼロの電荷レベル(図4参照)に対応するイメージの上方の暗い領域に対応するためである。暗い背景上のこの特別な操作状態により、従来技術よりもかなり高い速度で、読み込まれ得る連続した明るいプロファイル・ラインをより容易に分離できる。
【0021】
本発明は、獲得したイメージの厚みに応じて、50の係数まで、従来技術フレーム獲得よりも改良を行うことができる。本発明の技術の限界は、或る特別なイメージにとって望まれるイメージ精度および確定であり、オーバーラップする連続したプロファイルにはない。後者の場合、一般的な公知の特性を有する或る種の表面に対して、公知の表面モデルおよびコンピュータ計算を使用して連続したオーバーラップのプロファイルを分離することすら可能となろう。図4は、このような状態を示しており、この状態では、プロファイルは平坦な表面上に着座している既知直径のボールをスキャンすることによって得られ、そして、丸いボール・プロファイルが隣り合ったプロファイル点から曲率を計算するアルゴリズムを使用してフロアの平らな表面から分離されている。次いで、公称ボール直径を知ることで、対応するフロア、ボール頂部のプロファイルを対応させることは容易である。
【0022】
この技術の好ましい実施例においては、高速、順次スキャン、ライン間転送型多タップ式タップCCD、たとえば、コダックKAI−0310Mカメラのような694×496ラインを有するTVフォーマットCCD、または、コダックKAI−2090MカメラのようなHDTVフォーマット1948ピクセル×1092ライン・イメージ・センサが使用される。他のメーカーからの他のライン間転送型CCDも同様に適している。
【0023】
本発明の別の実施例では、多数のセンサまたはCCDの組み合わせを使用して速度を高めたり、観察オブジェクトの或る特定の形状寸法を獲得したりすることができる。たとえば、レーザー平面の各面に1つずつ設けた2台のCCDカメラは、スキャニング速度を高めることができるし、同時に、勾配のきついピラミッドの2つの側面をマッピングするときのように或る種の閉塞問題を回避する手段を得ることができる。横に並んだカメラの組み合わせでは、スキャニング幅を広げ、また、垂直方向の解像度を保存できる。
【0024】
本発明の別の実施例においては、トリガ作動法を使用して、他の高い縦横比(幅/高さ)のイメージ(プロファイル・ラインでなくて、無視し得ない太さを有する)を、通常の照明条件の下に、互いに上下に重ねてCCDセンサ上にキャプチャすることができる。これを行うには、CCDセンサの前方に適当なスロットのような光学手段を設ける。たとえば、CCDアレイのn本のラインのみを露光させる。この場合、TR信号をトリガすることによって、新しい露出がn本のラインのシフト毎に生じる可能性がある。その結果、イメージ率出力がかなり高くなる。この実施例は高速イベント録音に役立つ。
【0025】
本発明の別の実施例は、TR制御信号周波数を制御し、同じフレーム期間中に求められるほど多くのプロファイル・ラインのキャプチャを可能とするために本技術で使われる電子回路に関する。図6は、この好ましい実施例のブロック図を示す。ユーザ・インタフェース・ブロックは、同じフレーム上にキャプチャされることになっているプロファイル・ラインの数xを制御するようにTR信号周波数を選択するのに使用され得る任意の装置を包含する。この数値(xで示す)は、CCDアレイの垂直方向解像度および獲得されつつあるイメージの太さに応じて、1(従来技術の標準の読み込み率と一致する)から少なくとも50の範囲にあり得る。それと共に、ユーザの選択は周波数生成器22へ送られる。この周波数生成器は、受け取ったユーザ制御信号をフレームレートよりも大きい特定の周波数fTRの信号に変換する。これにより、プロファイル・ラインの選ばれた数xを同じフレーム内でキャプチャすることができる。前記カメラ・コントローラは、それぞれ周波数fLおよびfPを有する垂直クロック信号、水平クロック信号を出力する。TR周波数がフレームレートより大きいので、TR信号は1フレーム期間当たり2回以上トリガされ、同じフレーム上に2本以上のプロファイル・ラインをキャプチャすることができる。
【0026】
本発明の別の実施例は、TR信号周波数を制御するための自動手段に関する。最適獲得率を得るためにその周波数をユーザに制御させる代わりに、図7に示すように、この実施例はイメージ・アナライザ30を導入している。これはCCDカメラによってビデオ・イメージ出力をキャプチャさせ、このイメージを処理して2つの連続したプロファイル・ライン間の最小間隔に対応する値を得る。次に、この値を用いてTR周波数を制御し、プロファイル・ラインのオーバーラップなしに、可能な限り最高のTR周波数をTR周波数調整器32に出力させる。図6、7に示すシステムのビデオ出力部はデュアル出力CCDカメラを有する。すなわち、CCDの2本のラインが一緒に(ビデオ1およびビデオ2)出力され、したがって、イメージ転送率が二倍になる。このような多ライン式CCDカメラはこの技術分野では公知である。
【0027】
本発明を好ましい実施例および代替実施例に関して説明してきたが、上記の説明が単に本発明を例示しているに過ぎず、添付の特許請求の範囲に定義されている発明の範囲を制限することがないことは了解されたい。
【図面の簡単な説明】
【図1】 プロファイリングされつつあるオブジェクト上に投射した光平面を使用して表面プロファイリングを測定し、CCD平面上のレンズ平面を通じてキャプチャする代表的な従来技術装置構成を示す図。
【図2】 従来技術において知られているようなライン間転送型CCDアレイを示す図。
【図3】 本発明によって提供されるライン間転送型CCDアレイを示す図であり、ここでは、TR制御信号は1フレーム期間当たり2回以上トリガされ、多数のプロファイル・ラインがCCDセンサ上へ獲得される。
【図4】 球形の対象物(オブジェクト(ボール))の連続的なプロファイルが当初はオーバーラップしているが、コンピュータ処理されたイメージ処理を使用して切り離されたイメージの例を示す図。
【図5】 CCDカメラを制御し、ビデオ処理を実施するのに使用される主な装置からなる完全な電子回路を示すブロック図。
【図6】 カメラ・コントローラおよび本発明のCCDカメラを示すブロック図であり、そこでは、fTR周波数がユーザ・インタフェースを経由してユーザによって制御されている。
【図7】 カメラ・コントローラおよび本発明のCCDカメラを示すブロック図であり、そこでは、自動周波数調整器がfTR周波数のために設けられている。

Claims (11)

  1. ライン間転送電荷結合装置(CCD)センサを用いる高速プロファイリング画像形成システムであって、前記CCDセンサは、n個の水平ピクセルラインと、n個の電荷をストアする垂直シフトレジスタと、電荷を前記n個の水平ピクセルラインのフォトサイトから前記垂直シフトレジスタへ転送させるTRイメージ転送信号入力と、前記垂直シフトレジスタからその底部の電荷を受け取る少なくとも1つの水平読出しレジスタと、電荷を前記垂直シフトレジスタにおいて垂直に降下するように転送させるライン又は垂直転送信号入力とを有し、且つ、前記CCDセンサは本質的に暗い背景を有するプロファイルラインイメージを受け取るように配置されており、更に、画像収集コントロール回路を有する前記画像形成システムにおいて、
    前記垂直転送入力について1フレーム期間当たりn回の周波数fLを有する信号を発生する垂直転送信号発生器手段と、
    前記TRイメージ転送信号入力について、周波数fTRを有する出力信号TRを発生するTR信号発生器手段とから成り、前記周波数f TR は、n個の水平ピクセルライン当たり1より多いプロファイルラインイメージをキャプチャするように、[1/n]×[f L ]より大きい周波数である
    ことを特徴とする画像形成システム。
  2. 請求項1に記載のシステムにおいて、前記TR信号発生器に接続されて前記fTR周波数を選択するユーザインタフェース装置を包含することを特徴とするシステム。
  3. 請求項1に記載のシステムにおいて、2つの前記プロファイルラインイメージの間の最小間隔を表す入力信号によって前記TR信号周波数を調整するTR周波数調整手段を包含することを特徴とするシステム。
  4. 請求項1に記載のシステムにおいて、fTRは、少なくとも、[1/n]×[fL]の2倍より大きいことを特徴とするシステム。
  5. 請求項4に記載のシステムにおいて、fTRは、少なくとも、[1/n]×[fL]の10倍から50倍の間にあることを特徴とするシステム。
  6. 請求項1に記載のシステムにおいて、前記CCDセンサの一部であってその上の前記プロファイルラインイメージ部分はキャプチャされるべきでない部分をマスクする光学手段を包含し、画像収集には用いられない前記CCDセンサの前記マスク部分への入射光を排除して、前記プロファイルラインイメージの精度を改善しており、これによって、前記プロファイルラインを表す前記CCDセンサのフォトサイトに蓄積された電荷が、光感知セルから垂直レジスタへの水平シフトのときに、前記CCDセンサの前記マスク部分を表す電荷をゼロにするように、加えられ、CCDセンサの前記マスク部分の形状は、得られつつある前記プロファイルラインイメージの最大形状変化に依存することを特徴とするシステム。
  7. 高速プロファイリングを用いて対象物を検査する方法において、
    前記対象物上にプロファイルラインを生成するように、該対象物上の面に光を投射するステップと、
    電荷結合装置(CCD)センサを包含するカメラシステムを配置するステップであって、前記CCDセンサは、n個の水平ピクセルラインと、n個の電荷をストアする垂直シフトレジスタと、電荷を前記n個の水平ピクセルラインのフォトサイトから前記垂直シフトレジスタへ転送させるTRイメージ転送信号入力と、前記垂直シフトレジスタからその底部の電荷を受け取る少なくとも1つの水平読出しレジスタと、電荷を前記垂直シフトレジスタにおいて垂直に降下するように転送させるライン又は垂直転送信号入力とを有してしており、前記CCDセンサを用いて前記対象物のプロファイルラインイメージを得ており、前記プロファイルラインイメージは実質的に暗い背景の中に現れて前記CCDセンサの実質的に水平方向に沿って延びている、前記のカメラシステムの配置ステップと、
    前記CCDセンサのイメージ転送レートを、n個の水平ピクセルライン当たり1つより多いプロファイルラインイメージをキャプチャするように制御するステップと、
    からなることを特徴とする前記方法。
  8. 請求項7に記載の方法において、
    前記CCDセンサの一部であってその上の前記プロファイルライン部分はキャプチャされるべきでない部分をマスクするステップを包含し、前記プロファイルラインイメージの画像収集には用いられない前記CCDセンサの前記マスク部分への入射光を排除して、該プロファイルラインイメージの信号対雑音比を改善することを特徴とする方法。
  9. 請求項7又は8に記載の方法において、2より多いプロファイルイメージが1フレーム期間についてキャプチャされることを特徴とする方法。
  10. 請求項7又は8に記載の方法において、10〜50のプロファイルイメージが1フレーム期間についてキャプチャされることを特徴とする方法
  11. 請求項7〜10のいずれか1項に記載の方法において、更に、
    画像品質を判定するように前記プロファイルラインイメージを分析するステップと、
    前記画像品質と1フレーム期間当たりにキャプチャされるプロファイルラインイメージの所望の数とをバランスさせるように、1フレーム期間当たりにキャプチャされるプロファイルラインイメージの数を調整するステップと、
    から成ることを特徴とする方法。
JP2000508957A 1997-09-02 1998-09-01 高速プロファイリングのためのエンハンスドフレーム転送周波数で駆動したライン間転送ccd Expired - Fee Related JP4259749B2 (ja)

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Families Citing this family (22)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4320835B2 (ja) * 1999-04-16 2009-08-26 ソニー株式会社 固体撮像装置およびその駆動方法並びにカメラシステム
US6549647B1 (en) * 2000-01-07 2003-04-15 Cyberoptics Corporation Inspection system with vibration resistant video capture
US6593705B1 (en) 2000-01-07 2003-07-15 Cyberoptics Corporation Rapid-firing flashlamp discharge circuit
GB2375392B (en) 2000-01-07 2004-12-15 Cyberoptics Corp Phase profilometry system with telecentric projector
US7092021B2 (en) 2000-02-22 2006-08-15 Micron Technology, Inc. Frame shuttering scheme for increased frame rate
US20050185175A1 (en) * 2002-07-16 2005-08-25 Canos Avelino C. Rotary support and apparatus used for the multiple spectroscopic characterisation of samples of solid materials
US7012631B2 (en) * 2002-09-17 2006-03-14 Bojko Vodanovic Absolute position determination for a CCD-based acquisition unit
EP1465106A1 (de) * 2003-04-04 2004-10-06 Automation Technology GmbH Verfahren und Bildverarbeitungseinheit zur schnellen Auswertung digitaler Bilddaten
US7777199B2 (en) * 2004-09-17 2010-08-17 Wichita State University System and method for capturing image sequences at ultra-high framing rates
JP2007173774A (ja) * 2005-11-22 2007-07-05 Matsushita Electric Ind Co Ltd 固体撮像装置
KR100738551B1 (ko) * 2006-01-17 2007-07-11 삼성전자주식회사 화상형성기기의 히터롤러
US7591165B2 (en) * 2006-03-29 2009-09-22 Tekscan Incorporated Control circuit for sensor array and related methods
US7884871B2 (en) * 2007-06-15 2011-02-08 Aptina Imaging Corporation Images with high speed digital frame transfer and frame processing
US8059280B2 (en) 2008-01-31 2011-11-15 Cyberoptics Corporation Method for three-dimensional imaging using multi-phase structured light
CN102300056B (zh) * 2011-08-25 2013-07-10 西北核技术研究所 一种提高面阵ccd帧频的方法及高帧频ccd器件
EP2660984B1 (en) * 2011-12-01 2016-03-23 Huawei Technologies Co., Ltd. Optical signal compensation device
US8878256B2 (en) 2013-01-07 2014-11-04 Semiconductor Components Industries, Llc Image sensors with multiple output structures
US8878255B2 (en) 2013-01-07 2014-11-04 Semiconductor Components Industries, Llc Image sensors with multiple output structures
US10126252B2 (en) 2013-04-29 2018-11-13 Cyberoptics Corporation Enhanced illumination control for three-dimensional imaging
US9504620B2 (en) 2014-07-23 2016-11-29 American Sterilizer Company Method of controlling a pressurized mattress system for a support structure
CN104159043B (zh) * 2014-08-07 2017-09-29 西北核技术研究所 一种超高速双帧图像获取方法
CN112261304B (zh) * 2020-09-15 2021-10-01 中国科学院上海技术物理研究所 一种基于帧转移ccd的定帧频成像系统曝光时长调控方法

Family Cites Families (30)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4162126A (en) 1976-12-10 1979-07-24 Hitachi, Ltd. Surface detect test apparatus
US4238147A (en) 1979-05-23 1980-12-09 Solid Photography Inc. Recording images of a three-dimensional surface by focusing on a plane of light irradiating the surface
US4322752A (en) 1980-01-16 1982-03-30 Eastman Technology, Inc. Fast frame rate sensor readout
US4330796A (en) 1980-01-30 1982-05-18 Eastman Kodak Company Block readable charge coupled device
US4573076A (en) 1984-07-13 1986-02-25 Fuji Photo Film Co., Ltd. Image sensor including a repeating read function
FR2593986B1 (fr) 1986-01-24 1988-04-08 Thomson Csf Systeme de lecture rapide d'un capteur optique matriciel a transfert de charges organise en transfert de trame monocoup pour la detection video d'images breves
DE3628147C1 (de) 1986-08-19 1988-01-07 Kappa Messtechnik Gmbh Verfahren zum Aufnehmen und Speichern von Bildern in schneller Folge
US4890165A (en) * 1987-04-06 1989-12-26 Canon Kabushiki Kaisha Image pick-up apparatus for producing video signals of high information density in time base direction
US4851914A (en) * 1987-08-05 1989-07-25 Marco Scientific High-speed full frame imaging CCD camera
JPH01311775A (ja) 1988-06-10 1989-12-15 Asahi Optical Co Ltd Ccdセンサの駆動方法
US5083867A (en) 1988-11-28 1992-01-28 Allegheny Ludlum Corporation Slab surface contour monitor
US5144445A (en) 1989-12-26 1992-09-01 Sanyo Electric Co., Ltd. Solid-state image pickup apparatus having a plurality of photoelectric transducers arranged in a matrix
CA2017518A1 (en) 1990-05-24 1991-11-24 Her Majesty The Queen, In Right Of Canada, As Represented By The Ministe R Of The National Research Council Of Canada Colour-range imaging
JP2662455B2 (ja) 1990-09-13 1997-10-15 シャープ株式会社 固体撮像装置
DE69226111T2 (de) * 1991-03-16 1998-12-24 Kabushiki Kaisha Toshiba, Kawasaki, Kanagawa Farbbilderzeugungsmethode mit Steuerung der Integrationszeit
JP2703416B2 (ja) 1991-03-29 1998-01-26 シャープ株式会社 インターライン転送型ccd撮像装置の駆動方法
DE4120623A1 (de) 1991-06-22 1993-01-07 Fraunhofer Ges Forschung Schmierbildkamera und verfahren zum herstellen von schmierbildern
US5237422A (en) 1991-08-14 1993-08-17 Eastman Kodak Company High speed clock driving circuitry for interline transfer ccd imagers
US5264678A (en) 1991-09-26 1993-11-23 Applied Research, Inc. Weld-bead profilometer
KR930009132A (ko) * 1991-10-04 1993-05-22 김광호 고체 촬영 소자
JPH05236359A (ja) * 1992-02-18 1993-09-10 Sony Corp 固体撮像装置
EP0561633B1 (en) * 1992-03-18 1998-05-13 Sony Corporation Solid-state imaging apparatus
US5406372A (en) 1993-04-16 1995-04-11 Modular Vision Systems Inc. QFP lead quality inspection system and method
KR0149737B1 (ko) * 1993-07-20 1998-10-15 사토 후미오 고체촬상장치
US5668631A (en) 1993-12-20 1997-09-16 Minolta Co., Ltd. Measuring system with improved method of reading image data of an object
JP2864993B2 (ja) 1994-07-06 1999-03-08 信越半導体株式会社 表面形状測定装置
US5459510A (en) 1994-07-08 1995-10-17 Panasonic Technologies, Inc. CCD imager with modified scanning circuitry for increasing vertical field/frame transfer time
US5754229A (en) * 1995-11-14 1998-05-19 Lockheed Martin Corporation Electronic image sensor with multiple, sequential or staggered exposure capability for color snap shot cameras and other high speed applications
JP3800673B2 (ja) * 1996-06-24 2006-07-26 ソニー株式会社 固体撮像装置およびその駆動方法
US5923370A (en) * 1996-10-08 1999-07-13 Dalsa, Inc. Image smear and dark signal reduction device and method

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