CN115901767A - 一种成像系统和成像方法、检测系统和检测方法 - Google Patents

Abstract

本发明实施例提供了一种成像系统和成像方法、检测系统和检测方法，成像系统包括：光源组件，用于向待测目标出射检测光，检测光经待测目标形成信号光；探测组件，探测组件至少包括探测器件和第一处理器件；探测器件的探测面上具有N个光学采集模块；N个光学采集模块分别根据信号光获得待测目标的检测图像，并在各自的输出周期内输出检测图像；N个光学采集模块的输出周期的开始时间依次相差1/N个输出周期；第一处理器件用于将N个光学采集模块的检测图像融合，获得待测目标的亚像素图像，即获得像素间距为检测图像像素间距的1/N的亚像素图像，从而可以提高图像的像素密度，提高探测器件的采样率，进而可以提高光学检测的分辨率和灵敏度。

Description

一种成像系统和成像方法、检测系统和检测方法

技术领域

本发明实施例涉及光学检测技术领域，具体涉及一种成像系统和成像方法、检测系统和检测方法。

背景技术

晶圆表面若存在缺陷，将导致以该晶圆作为基底的芯片失效。常用的手段是在芯片制备前或制备过程中，对晶圆表面的缺陷以及缺陷位置进行检测。目前，表面缺陷检测常用的技术是光学检测技术。其中一种光学检测方法是先获得晶圆表面的图像，再根据图像获得晶圆表面的缺陷等信息。而为了满足日益增长的对更小尺寸缺陷进行检测的需求，光学检测的分辨率有待进一步提高。

发明内容

有鉴于此，本发明实施例提供一种成像系统和成像方法、检测系统和检测方法，以进一步提高光学检测的分辨率。

为解决上述问题，本发明实施例提供如下技术方案：

一种成像系统，包括：

光源组件，用于向待测目标出射检测光，所述检测光经所述待测目标形成信号光；

探测组件，所述探测组件至少包括探测器件和第一处理器件；所述探测器件的探测面上具有N个光学采集模块，N为大于或等于2的自然数；所述N个光学采集模块分别根据所述信号光获得所述待测目标的检测图像，并在各自的输出周期内输出所述检测图像；所述N个光学采集模块具有相同的输出周期，但所述N个光学采集模块的输出周期的开始时间依次相差1/N个输出周期；

所述第一处理器件用于将所述N个光学采集模块的检测图像融合，获得所述待测目标的亚像素图像。

可选的，每个所述光学采集模块包括第一采集单元至第M采集单元，M为大于或等于2的自然数；

在扫描方向上，所述N个光学采集模块依次等间距排列，所述扫描方向为对所述待测目标进行扫描的方向；

在所述扫描方向上，每个所述光学采集模块内的第一采集单元至第M采集单元依次等间距排列。

可选的，每个所述光学采集模块包括第一采集单元至第M采集单元，M为大于或等于2的自然数；

在扫描方向上，所述N个光学采集模块彼此等间距嵌入设置，所述扫描方向为对所述待测目标进行扫描的方向；

在所述扫描方向上，所述N个光学采集模块的第i采集单元依次排列，i为1至M之间的任一自然数，包括1和M。

可选的，在垂直于所述扫描方向的方向上，所述N个光学采集模块对齐排列。

可选的，在垂直于所述扫描方向的方向上，所述N个光学采集模块依次错位排列；

并且，D1＝D/N；

其中，D1为任意两个相邻的光学采集模块在垂直于所述扫描方向的方向上的错位距离，D为任意两个相邻的光学采集模块在垂直于所述扫描方向的方向上的间距。

可选的，v/f＝D/A；

其中，v为对所述待测目标进行扫描的扫描速度，f为所述光学采集模块内的第一采集单元至第M采集单元的逐行驱动频率，D为任意两个相邻的光学采集模块在垂直于所述扫描方向的方向上的间距，A为所述待测目标和所述探测器件之间的光学成像模组的放大倍率。

可选的，所述探测器件包括时间延迟积分探测器。

一种成像方法，应用于如上任一项所述的成像系统，所述成像方法包括：

向待测目标出射检测光，所述检测光经所述待测目标形成信号光；

使所述探测器件的探测面上的N个光学采集模块分别根据所述信号光获得所述待测目标的检测图像，并在各自的输出周期内输出所述检测图像；所述N个光学采集模块具有相同的输出周期，但所述N个光学采集模块的输出周期的开始时间依次相差1/N个输出周期；

将所述N个光学采集模块的检测图像融合，获得所述待测目标的亚像素图像。

可选的，所述光学采集模块包括第一采集单元至第M采集单元，则使所述探测器件的探测面上的N个光学采集模块分别根据所述信号光获得所述待测目标的检测图像包括：

对每个光学采集模块中的第一采集单元至第M采集单元依次逐行驱动，以对所述第一采集单元至所述第M采集单元的电荷进行积分，并根据积分后的电荷获得所述检测图像。

一种检测系统，包括成像系统和第二处理器件；

所述成像系统为如上任一项所述的成像系统；

所述第二处理器件用于根据所述成像系统获得的亚像素图像，获得所述待测目标的检测信息。

一种检测方法，应用于如上所述的检测系统，所述检测方法包括：

向待测目标出射检测光，所述检测光经所述待测目标形成信号光；

使所述探测器件的探测面上的N个光学采集模块分别根据所述信号光获得所述待测目标的检测图像，并在各自的输出周期内输出所述检测图像；所述N个光学采集模块具有相同的输出周期，但所述N个光学采集模块的输出周期的开始时间依次相差1/N个输出周期；

将所述N个光学采集模块的检测图像融合，获得所述待测目标的亚像素图像；

根据所述亚像素图像，获得所述待测目标的检测信息。

本发明实施例提供的成像系统和成像方法、检测系统和检测方法，探测器件的探测面上具有N个光学采集模块，N个光学采集模块可以分别根据信号光形成待测目标的检测图像，并在各自的输出周期内输出检测图像。由于N个光学采集模块的输出周期的开始时间依次相差1/N个输出周期，因此，将N个光学采集模块的检测图像融合之后，可以获得待测目标的亚像素图像，即可以获得像素间距为单个检测图像像素间距的1/N的亚像素图像，从而可以提高图像的像素密度，提高探测器件的采样率，进而可以提高光学检测的分辨率和灵敏度。

附图说明

为了更清楚地说明本申请实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据提供的附图获得其他的附图。

图1为本发明一个实施例提供的成像系统的结构示意图；

图2为本发明一个实施例提供的N个光学采集模块的结构示意图；

图3为本发明一个实施例提供的光学采集模块的检测图像的示意图；

图4为本发明一个实施例提供的N个光学采集模块的输出周期的时序图；

图5为本发明一个实施例提供的亚像素图像的示意图；

图6为本发明一个实施例提供的采集单元的结构示意图；

图7为本发明另一个实施例提供的采集单元的结构示意图；

图8为本发明另一个实施例提供的采集单元的结构示意图；

图9为本发明另一个实施例提供的采集单元的结构示意图；

图10为本发明另一个实施例提供的亚像素图像的示意图；

图11为本发明另一个实施例提供的成像方法的流程图；

图12为本发明另一个实施例提供的检测方法的流程图。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

本发明实施例提供了一种成像系统，用于采集待测目标的图像，该待测目标可以是晶圆或玻璃基板等。如图1所示，该成像系统包括光源组件10和探测组件，探测组件至少包括探测器件11和第一处理器件(图中未示出)。

本发明实施例中，光源组件10用于向待测目标S出射检测光，检测光经待测目标S形成信号光。如，检测光经待测目标S反射或散射形成信号光。可选地，光源组件10为激光器或发光二极管等。

如图2所示，探测器件11的探测面M上具有N个光学采集模块J₁至J_N，N为大于或等于2的自然数。N个光学采集模块J₁至J_N分别根据信号光获得待测目标S的检测图像，并在各自的输出周期内输出检测图像。并且，第一处理器件用于将N个光学采集模块J₁至J_N的检测图像融合，获得待测目标S的亚像素图像。

其中，每个光学采集模块都会对待测目标S单独成像，并单独输出检测图像的数据，以便获得N个光学采集模块各自对应的检测图像。如图3所示，每个检测图像的像素点P之间的间距即像素间距都为D。并且，如图4所示，N个光学采集模块J₁至J_N都具有相同的输出周期T。但是，如图4所示，N个光学采集模块J₁至J_N的输出周期的开始时间依次相差1/N个输出周期，即N个光学采集模块J₁至J_N的输出周期的开始时间依次相差T/N。

需要说明的是，本发明一些实施例中，相同的输出周期T包括相同的周期时长，当然，在另一些实施例中，相同的输出周期T还可以包括相同的周期个数。还需要说明的是，本发明实施例中的输出周期仅指高电平时段，输出周期T不包括低电平时段，即低电平时段不输出图像。当然，本发明并不仅限于此，在另一些实施例中，也可以仅在低电平时段输出图像，即输出周期T仅包括低电平时段，在此不再赘述。

由于N个光学采集模块J₁至J_N的输出周期的开始时间依次相差T/N，因此，将N个光学采集模块J₁至J_N的检测图像融合之后，N个光学采集模块J₁至J_N的检测图像的像素点会依次错位D/N，从而可以使得融合后获得的图像为亚像素图像，即获得在错位方向上的像素间距为单个检测图像像素间距的1/N的亚像素图像，进而可以使得图像的像素密度提高N-1倍，使探测器件11的采样率提高了N倍。

如图5所示，以N等于2为例，第一个光学采集模块的检测图像的像素点P₁与第二光学采集模块的检测图像的像素点P₂错位D/2，从而可以使得融合后获得的图像为亚像素图像，使得图像的像素密度提高1倍，使探测器件11的采样率提高了2倍。

本发明一些实施例中，如图1所示，光源组件10和待测目标S之间的光路上还具有分光组件12和第一透镜13。第一透镜13用于对检测光进行扩束。分光组件12用于反射检测光和透射信号光，并使该检测光沿垂直于待测目标S表面的方向入射至待测目标S，使信号光沿垂直于探测器件11探测面M的方向入射至探测器件11。探测器件11和分光组件12之间还具有第二透镜14。第二透镜14用于将信号光会聚至探测器件11。分光组件12和待测目标S之间还具有第三透镜15。第三透镜15用于将检测光会聚至待测目标S。

当然，在另一些实施例中，当检测光倾斜入射至待测目标S时，检测光和信号光的光路不会重叠，则不需要分光组件12对检测光和信号光进行分光。需要说明的是，本发明实施例中，可以根据实际需求设置分光组件12、第一透镜13、第二透镜14和第三透镜15等光学元件，在此不再赘述。

本发明实施例中，每个采集单元包括多个感光单元。也就是说，本发明实施例中，将探测器件11的探测面M上的多个感光单元分成了多个采集单元，又将多个采集单元分成了多个光学采集模块，并令各个光学采集模块对待测目标S单独成像，令各个光学采集模块输出检测图像的时间相差1/N个输出周期，以使融合后的图像为亚像素图像，使得图像的像素间距缩小了1/(N-1)倍，使像素密度提高N-1倍，使探测器件11的采样率提高了2倍。

基于此，本发明实施例中，在不改探测器件11尺寸以及不改变成像光路性能的情况下，使最终获得的图像为亚像素图像，即使得图像的像素密度提高了N-1倍，使探测器件11的采样率提高了N倍。由于光学检测系统的分辨率和检测效率由成像光路和探测器件11的采样率决定，因此，本发明实施例中，可以在不改变探测器件11尺寸和不改变成像光路性能的情况下，提高光学检测系统的分辨率和灵敏度。需要说明的是，本发明实施例中的成像光路包括分光组件12、第一透镜13、第二透镜14和第三透镜15等光学元件。

本发明实施例中，探测器件11和待测目标S需相对移动，以使探测器件11对待测目标S进行扫描，并对待测目标S的各个区域进行成像。本发明一些实施例中，可以通过使探测器件11固定不动，使待测目标S沿X方向或Y方向移动，来实现探测器件11和待测目标S的相对移动。当然，本发明并不仅限于此，在另一些实施例中，还可以通过使待测目标S固定不动，使探测器件11沿X方向或Y方向移动，来实现探测器件11和待测目标S的相对移动。其中，待测目标S或探测器件11的移动方向，即为对待测目标S进行扫描的扫描方向。

本发明一些实施例中，N个光学采集模块依次排列，如图2所示，N个光学采集模块J₁至J_N在Y方向上依次排列。本发明一些实施例中，对待测目标S进行扫描的扫描方向与N个光学采集模块的排列方向相同。其中，N个光学采集模块在X方向的长度L1大于N个光学采集模块在Y方向上的长度L2。

本发明一些实施例中，每个光学采集模块都包括第一采集单元至第M采集单元，M为大于或等于2的自然数。在扫描方向上，N个光学采集模块依次等间距排列。在扫描方向上，每个光学采集模块内的第一采集单元至第M采集单元依次等间距排列。需要说明的是，这里的扫描方向是指对待测目标S进行扫描的扫描方向。

如图6所示，光学采集模块J₁包括第一采集单元Y₁₁至第五采集单元Y₁₅，光学采集模块J₂也包括第一采集单元Y₂₁至第五采集单元Y₂₅。图6中以每个采集单元包括一行感光单元G为例进行说明，但是，本发明并不仅限于此，在另一些实施例中，每个采集单元可以包括多行感光单元G。

光学采集模块J₁和光学采集模块J₂在扫描方向Y上依次排列，且光学采集模块J₁和光学采集模块J₂之间的间距与其他任意两个相邻的光学采集模块之间的间距相等。第一采集单元Y₁₁至第五采集单元Y₁₅在扫描方向Y上依次排列，第一采集单元Y₂₁至第五采集单元Y₂₅在扫描方向Y上依次排列，并且，任意两个采集单元之间的间距都相等。

本发明一些实施例中，在垂直于扫描方向Y的方向X上，N个光学采集模块对齐排列。如图6所示，光学采集模块J₁和光学采集模块J₂在扫描方向Y上对齐排列。当然，本发明并不仅限于此，在另一些实施例中，在垂直于扫描方向的方向上，N个光学采集模块依次错位排列。

并且，D1＝D/N；

其中，D1为任意两个相邻的光学采集模块在垂直于扫描方向的方向上的错位距离，D为任意两个相邻的光学采集模块在扫描方向上的间距。

如图7所示，在方向X上，光学采集模块J₁和光学采集模块J₂错位排列，并且，错位距离为D1＝D/2。当然，图7中仅以两个光学采集模块为例进行说明，若光学采集模块大于等于3个，则第三个光学采集模块在光学采集模块J₂的基础上，再向右错位D/N，以此类推，在此不再赘述。

本发明另一些实施例中，每个光学采集模块包括第一采集单元至第M采集单元，M为大于或等于2的自然数。在扫描方向上，N个光学采集模块彼此等间距嵌入设置。在扫描方向上，N个光学采集模块的第i采集单元依次排列，i为1至M之间的任一自然数，包括1和M。同样，这里的扫描方向是指对待测目标S进行扫描的扫描方向。

如图8所示，光学采集模块J₁包括第一采集单元Y₁₁至第五采集单元Y₁₅，光学采集模块J₂也包括第一采集单元Y₂₁至第五采集单元Y₂₅。光学采集模块J₁和光学采集模块J₂在扫描方向Y上彼此等间距嵌入设置，光学采集模块J_1的第一采集单元Y₁₁和光学采集模块J₂的第一采集单元Y₂₁依次排列，光学采集模块J_1的第二采集单元Y₁₂和光学采集模块J₂的第二采集单元Y₂₂依次排列，光学采集模块J_1的第三采集单元Y₁₃和光学采集模块J₂的第三采集单元Y₂₃依次排列，以此类推。

当然，本发明并不仅限于此，在另一些实施例中，N个光学采集模块还可以采用其他方式彼此嵌入设置，如N个光学采集模块的采集单元两两一组互相嵌入，在此不再一一赘述。

本发明一些实施例中，在垂直于扫描方向的方向上，N个光学采集模块对齐排列。如图8所示，在垂直于扫描方向Y的方向X上，光学采集模块J₁和光学采集模块J₂在扫描方向Y上对齐排列。当然，本发明并不仅限于此，在另一些实施例中，在垂直于扫描方向的方向上，N个光学采集模块依次错位排列。

并且，D1＝D/N；

其中，D1为任意两个相邻的光学采集模块在垂直于扫描方向的方向上的错位距离，D为任意两个相邻的光学采集模块在扫描方向上的间距。

如图9所示，在方向X上，光学采集模块J₁和光学采集模块J₂错位排列，并且，错位距离为D1＝D/2。当然，图9中也是仅以两个光学采集模块为例进行说明，若光学采集模块大于等于3个，则第三个光学采集模块在光学采集模块J₂的基础上，再向右错位D/N，以此类推，在此不再赘述。

需要说明的是，在图6和图8所示结构的基础上，N个光学采集模块的检测图像的像素点仅在扫描方向Y上依次错位D/N，获得的图5所示的亚像素图像，其仅在扫描方向Y上像素密度提高N-1倍。但是，在图7和图9所示的结构的基础上，N个光学采集模块的检测图像的像素点不仅在扫描方向Y上依次错位D/N，而且在垂直于扫描方向Y的方向X上，也依次错位D/N，获得图10所示的亚像素图像，其不仅在扫描方向Y上像素密度提高N-1倍，而且在方向X上像素密度提高N-1倍。

在上述任一实施例的基础上，本发明一些实施例中，探测器件11包括时间延迟积分探测器，其中，时间延迟积分探测器包括时间延迟积分相机。当然，本发明并不仅限于此，在另一些实施例中，探测器件11还可以是CCD图像传感器等，在此不再赘述。

在时间延迟积分探测器工作的过程中，每个光学采集模块都会对内的感光单元逐行进行驱动，并沿着驱动方向进行电荷的积分，在一个输出周期T内将积分后的电荷量输出后即可获得检测图像的一行像素点P。

本发明一些实施例中，如探测器件11包括时间延迟积分探测器时，需保证v/f＝D/A。其中，v为对待测目标S的扫描速度，f为光学采集模块内的第一采集单元至第M采集单元的逐行驱动频率，D为任意两个相邻的光学采集模块在垂直于扫描方向的方向上的间距，A为待测目标和探测器件之间的光学成像模组的放大倍率。这里的光学成像模组可以包括第一透镜13、第二透镜14和第三透镜15等光学元件。

本发明实施例还提供了一种成像方法，应用于如上任一实施例提供的成像系统，如图11所示，该成像方法包括：

S110：向待测目标出射检测光，检测光经待测目标形成信号光；

S111：使探测器件的探测面上的N个光学采集模块分别根据信号光获得待测目标的检测图像，并在各自的输出周期内输出检测图像；N个光学采集模块具有相同的输出周期，但N个光学采集模块的输出周期的开始时间依次相差1/N个输出周期；

S112：将N个光学采集模块的检测图像融合，获得待测目标的亚像素图像。

参考图1，光源组件10向待测目标S出射检测光，检测光经待测目标S散射或反射后形成信号光。探测器件11的探测面M上的N个光学采集模块J₁至J_N分别根据信号光获得待测目标S的检测图像，并在各自的输出周期内输出检测图像。第一处理器件将N个光学采集模块J₁至J_N的检测图像融合，获得待测目标S的亚像素图像。

由于N个光学采集模块J₁至J_N的输出周期的开始时间依次相差T/N，因此，将N个光学采集模块J₁至J_N的检测图像融合时，N个光学采集模块J₁至J_N的检测图像的像素点会依次错位D/N，从而可以使得融合后获得的图像为亚像素图像，即使得融合后的图像在错位方向上的像素间距为单个检测图像像素间距的1/N，进而可以使得最终获得的图像的像素密度提高N-1倍，使探测器件11的采样率提高了N倍。

本发明一些实施例中，光学采集模块包括第一采集单元至第M采集单元，则使探测器件的探测面上的N个光学采集模块分别根据信号光获得待测目标的检测图像包括：

对每个光学采集模块中的第一采集单元至第M采集单元依次逐行驱动，以对第一采集单元至第M采集单元的电荷进行积分，并根据积分后的电荷获得检测图像。

本发明实施例还提供了一种检测系统，该检测系统包括成像系统和第二处理器件。该成像系统为如上任一实施例提供的成像系统。第二处理器件用于根据成像系统获得的亚像素图像，获得待测目标的检测信息。其中，检测信息包括膜厚表面三维形貌、缺陷、线宽等信息中的一者或多者的组合。

由于成像系统可以在不改探测器件11尺寸以及不改变成像光路性能的情况下，使图像的像素间距缩小了1/(N-1)倍，使像素密度提高N-1倍，使探测器件11的采样率提高了2倍，因此，可以在不改探测器件11尺寸以及不改变成像光路性能的情况下，提高光学检测系统的分辨率和灵敏度。

本发明实施例还提供了一种检测方法，应用于如上实施例提供的检测系统，如图12所示，该检测方法包括：

S120：向待测目标出射检测光，检测光经待测目标形成信号光；

S121：使探测器件的探测面上的N个光学采集模块分别根据信号光获得待测目标的检测图像，并在各自的输出周期内输出检测图像；N个光学采集模块具有相同的输出周期，但N个光学采集模块的输出周期的开始时间依次相差1/N个输出周期；

S122：将N个光学采集模块的检测图像融合，获得待测目标的亚像素图像；

S123：根据亚像素图像，获得待测目标的检测信息。

参考图1，光源组件10向待测目标S出射检测光，检测光经待测目标S散射或反射后形成信号光。探测器件11的探测面M上的N个光学采集模块J₁至J_N分别根据信号光获得待测目标S的检测图像，并在各自的输出周期内输出检测图像。第一处理器件将N个光学采集模块J₁至J_N的检测图像融合，获得待测目标S的亚像素图像。第二处理器件根据亚像素图像，获得待测目标的检测信息。其中，检测信息包括膜厚表面三维形貌、缺陷、线宽等信息中的一者或多者的组合。

本说明书中各个实施例采用递进的方式描述，每个实施例重点说明的都是与其他实施例的不同之处，各个实施例之间相同相似部分互相参见即可。对于实施例公开的装置而言，由于其与实施例公开的方法相对应，所以描述的比较简单，相关之处参见方法部分说明即可。

对所公开的实施例的上述说明，使本领域专业技术人员能够实现或使用本发明。对这些实施例的多种修改对本领域的专业技术人员来说将是显而易见的，本文中所定义的一般原理可以在不脱离本发明的精神或范围的情况下，在其它实施例中实现。因此，本发明将不会被限制于本文所示的这些实施例，而是要符合与本文所公开的原理和新颖特点相一致的最宽的范围。

Claims (11)

1.一种成像系统，其特征在于，包括：

光源组件，用于向待测目标出射检测光，所述检测光经所述待测目标形成信号光；

探测组件，所述探测组件至少包括探测器件和第一处理器件；所述探测器件的探测面上具有N个光学采集模块，N为大于或等于2的自然数；所述N个光学采集模块分别根据所述信号光获得所述待测目标的检测图像，并在各自的输出周期内输出所述检测图像；所述N个光学采集模块具有相同的输出周期，但所述N个光学采集模块的输出周期的开始时间依次相差1/N个输出周期；

所述第一处理器件用于将所述N个光学采集模块的检测图像融合，获得所述待测目标的亚像素图像。

2.根据权利要求1所述的成像系统，其特征在于，每个所述光学采集模块包括第一采集单元至第M采集单元，M为大于或等于2的自然数；

在扫描方向上，所述N个光学采集模块依次等间距排列，所述扫描方向为对所述待测目标进行扫描的方向；

在所述扫描方向上，每个所述光学采集模块内的第一采集单元至第M采集单元依次等间距排列。

3.根据权利要求1所述的成像系统，其特征在于，每个所述光学采集模块包括第一采集单元至第M采集单元，M为大于或等于2的自然数；

在扫描方向上，所述N个光学采集模块彼此等间距嵌入设置，所述扫描方向为对所述待测目标进行扫描的方向；

在所述扫描方向上，所述N个光学采集模块的第i采集单元依次排列，i为1至M之间的任一自然数，包括1和M。

4.根据权利要求2或3所述的成像系统，其特征在于，在垂直于所述扫描方向的方向上，所述N个光学采集模块对齐排列。

5.根据权利要求2或3所述的成像系统，其特征在于，在垂直于所述扫描方向的方向上，所述N个光学采集模块依次错位排列；

并且，D1＝D/N；

其中，D1为任意两个相邻的光学采集模块在垂直于所述扫描方向的方向上的错位距离，D为任意两个相邻的光学采集模块在垂直于所述扫描方向的方向上的间距。

6.根据权利要求2或3所述的成像系统，其特征在于，v/f＝D/A；

其中，v为对所述待测目标进行扫描的扫描速度，f为所述光学采集模块内的第一采集单元至第M采集单元的逐行驱动频率，D为任意两个相邻的光学采集模块在垂直于所述扫描方向的方向上的间距，A为所述待测目标和所述探测器件之间的光学成像模组的放大倍率。

7.根据权利要求1所述的成像系统，其特征在于，所述探测器件包括时间延迟积分探测器。

8.一种成像方法，其特征在于，应用于权利要求1～7任一项所述的成像系统，所述成像方法包括：

向待测目标出射检测光，所述检测光经所述待测目标形成信号光；

使所述探测器件的探测面上的N个光学采集模块分别根据所述信号光获得所述待测目标的检测图像，并在各自的输出周期内输出所述检测图像；所述N个光学采集模块具有相同的输出周期，但所述N个光学采集模块的输出周期的开始时间依次相差1/N个输出周期；

将所述N个光学采集模块的检测图像融合，获得所述待测目标的亚像素图像。

9.根据权利要求8所述的成像方法，其特征在于，所述光学采集模块包括第一采集单元至第M采集单元，则使所述探测器件的探测面上的N个光学采集模块分别根据所述信号光获得所述待测目标的检测图像包括：

对每个光学采集模块中的第一采集单元至第M采集单元依次逐行驱动，以对所述第一采集单元至所述第M采集单元的电荷进行积分，并根据积分后的电荷获得所述检测图像。

10.一种检测系统，其特征在于，包括成像系统和第二处理器件；

所述成像系统为权利要求1～7任一项所述的成像系统；

所述第二处理器件用于根据所述成像系统获得的亚像素图像，获得所述待测目标的检测信息。

11.一种检测方法，其特征在于，应用于权利要求10所述的检测系统，所述检测方法包括：

向待测目标出射检测光，所述检测光经所述待测目标形成信号光；

使所述探测器件的探测面上的N个光学采集模块分别根据所述信号光获得所述待测目标的检测图像，并在各自的输出周期内输出所述检测图像；所述N个光学采集模块具有相同的输出周期，但所述N个光学采集模块的输出周期的开始时间依次相差1/N个输出周期；

将所述N个光学采集模块的检测图像融合，获得所述待测目标的亚像素图像；

根据所述亚像素图像，获得所述待测目标的检测信息。

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