JP4255518B2 - プラズマ表面処理装置 - Google Patents
プラズマ表面処理装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4255518B2 JP4255518B2 JP55004299A JP55004299A JP4255518B2 JP 4255518 B2 JP4255518 B2 JP 4255518B2 JP 55004299 A JP55004299 A JP 55004299A JP 55004299 A JP55004299 A JP 55004299A JP 4255518 B2 JP4255518 B2 JP 4255518B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- plasma
- surface treatment
- treatment apparatus
- shaft
- vortex
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Images
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
- B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
- B29C59/00—Surface shaping of articles, e.g. embossing; Apparatus therefor
- B29C59/14—Surface shaping of articles, e.g. embossing; Apparatus therefor by plasma treatment
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05D—PROCESSES FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05D3/00—Pretreatment of surfaces to which liquids or other fluent materials are to be applied; After-treatment of applied coatings, e.g. intermediate treating of an applied coating preparatory to subsequent applications of liquids or other fluent materials
- B05D3/14—Pretreatment of surfaces to which liquids or other fluent materials are to be applied; After-treatment of applied coatings, e.g. intermediate treating of an applied coating preparatory to subsequent applications of liquids or other fluent materials by electrical means
- B05D3/141—Plasma treatment
- B05D3/142—Pretreatment
- B05D3/144—Pretreatment of polymeric substrates
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05H—PLASMA TECHNIQUE; PRODUCTION OF ACCELERATED ELECTRICALLY-CHARGED PARTICLES OR OF NEUTRONS; PRODUCTION OR ACCELERATION OF NEUTRAL MOLECULAR OR ATOMIC BEAMS
- H05H1/00—Generating plasma; Handling plasma
- H05H1/24—Generating plasma
- H05H1/26—Plasma torches
- H05H1/32—Plasma torches using an arc
- H05H1/44—Plasma torches using an arc using more than one torch
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- Plasma Technology (AREA)
- Treatments Of Macromolecular Shaped Articles (AREA)
- Nozzles (AREA)
Description
このような前処理は、合成樹脂の表面が通常では液体で湿らすことができず、それ故に、印刷用インキまたは粘着剤を受け付けないことから、必要である。この前処理により、合成樹脂の表面構造を変化させ、その結果として、比較的大きな表面張力を持つ液体に対する濡れ性が良くなる。その表面を濡らし続けることができる液体の表面張力は、前処理の品質を示す指標となる。
合成樹脂表面の前処理のための十分に確立された方法としては、コロナ放電に基づくものがある。この方法では、処理すべき樹脂は、典型的には、セラミック材料が被覆された二つの電極間を通され、これら電極に高周波の高電圧が供給され、その結果、合成樹脂材料を通してコロナ放電が生じることになる。しかしながら、この方法は、たとえばプラスチック薄片などの平坦な表面を持つ薄いワークピースのみに対して有益である。
ドイツ国特許出願公開公報DE19532112A号公報には、プラズマジェットを用いた表面前処理装置が開示してある。そのプラズマノズルの特殊な構造により、比較的冷たく、それにも拘わらず比較的高反応性のプラズマジェットが得られ、そのジェットは、ロウソクの炎のような形と寸法を持ち、その結果、比較的深い複数の凹部を持つプロファイル形状を持つ前処理を可能としている。高反応性のプラズマジェットにより、短い前処理時間で十分であり、そのため、ワークピースは、比較的高速度でプラズマジェットに沿って通させればよい。このように比較的低温度のプラズマジェットの結果、熱感応性プラスチック材料の前処理も可能である。ワークピースの背面に対向電極を必要としないので、任意の厚いブロック状のワークピース、中空体およびこれに類するものの表面を処理することができる。大面積の表面を均一に前処理するために、前記の公報では、互い違いに配置された複数のプラズマノズルの配列を開示している。しかしながら、この場合には、この装置備品のために比較的に高い費用が必要となる。
本発明の目的は、比較的大面積を、素早く且つ効率的に前処理することができ、装置備品が低コストであるプラズマ表面処理装置を提供することである。
この目的は、請求項1に示す特徴によって達成される。
本発明の装置は、回転軸に対し少なくとも一つの偏心して配置されたプラズマノズルを持つ回転ヘッドを有し、前記プラズマノズルが、プラズマジェットを、回転軸に対して平行な向きに生成するようになっていることを特徴とする。
高速回転数で回転する回転ヘッドに対してワークピースを相対移動させることで、プラズマジェットは、ワークピースのストライプ状の表面ゾーンを掃射し、そのゾーンの幅は、回転するプラズマノズルにより規定された円の直径に対応する。このようにして比較的大面積の表面が合理的な方法で前処理される。
この発明では、掃射されるべきストライプ上の前処理の強度は、必ずしも完全に均一ではないことも許容される。前処理されたストライプ内のどの箇所においてもワークピースにおける十分な濡れ性が達成でき、しかも最も強く前処理されたゾーンにおいて熱的損傷が材料に生じない限りにおいて、前処理におけるパラメータ、特に回転ヘッドの回転速度、および回転ヘッドに対するワークピースの相対移動速度は、常に広い範囲で選択することができる。プラズマジェットの範囲が長いために、ワークピースの前処理表面は、曲線にすることも、あるいは輪郭形状にすることも可能である。このように、本発明の装置は、プラスチック製の窓やドア、プラスチック瓶またはバケツ、およびこれに類するもののための枠輪郭形状の前処理などに適切に用いられる。
本発明に係る装置にとって、ヘッドの回転、およびプラズマジェットの対応する回転が、結果として、渦の中心内に低圧力域が形成されると言うことが、特に有益であることが分かった。この低圧力域は、プラズマジェットの半径方向の逃げ場として反作用し、プラズマジェットをワークピースの表面に対して引き込む作用を有し、その結果、ワークピースの表面に対して親密な接触を引き起こすことになる。
本発明の好適な実施形態は、従属する請求項2〜8に示されている。
好ましくは、二つまたはそれ以上のプラズマノズルが、回転軸回りに略同一半径に略均等角度間隔で配置してあり、そのために、少なくとも二つのプラズマジェットが動作し、それに対応して、処理時間の短縮が図られている。このような配置により、プラズマノズルが対称に配置され、そのために回転ヘッドが実質的にバランスされるという利点が生じる。
たとえば1000回転/分またはそれ以上での回転ヘッドの高速度回転のために、コリオリ力およびこれに類するものの作用により、別々のプラズマノズルから吐出される複数のプラズマジェットによる渦巻きを導くことになる。さらに、各プラズマノズルは、プラズマジェットの安定化と集束とを確保するために、独自の渦巻き機構を持っている。回転ヘッドの回転の向きは、この場合には、個別のプラズマノズル内での渦巻き動作の向きに適合させるべきである。
以下、本発明の実施形態を図面に基づき詳細に説明する。ここにおいて、
図1は回転ヘッドの軸方向断面図、
図2は回転ヘッドの正面図、
図3は図1に示すIII−III線に沿う装置全体の軸方向断面図である。
図1に示すように、回転ヘッド10は、図1において垂直軸である中心軸回りに回転するようになっており、しかも、保護シールドとして機能する静止シリンダ12により囲まれている。その回転ヘッド10は、直径方向に向き合う二つのプラズマノズル14を持ち、それらノズルは、環状分配ブロック16に対して装着してあり、回転軸に対して略平行な方向にプラズマジェット18を出射するように配置してある。図1に示す図の平面に対して垂直な方向に、ヘッド10がワークピース20の表面に対して相対的に移動し、高速で回転する際に、プラズマジェット18は、ワークピースの表面上で、たとえば8cm程度の幅Wを持つストライプ上を比較的均一に掃射する。
プラズマノズルの口22は、フェース板24内の共通平面上に配置され、そのフェース板は、二つの棒26により分配ブロック16で共回転するように保持してある。それらの棒26は、これらプラズマノズル14の平面に対して垂直な平面内に配置してあり、フェース板24にて交差部材28により相互に連結してある。
各プラズマノズル14は、実質的に筒状の金属ケーシング30を持ち、そのケーシングは、口22に向けてテーパ状となっており、しかも口22に向けて円錐状にテーパ状となっている渦チャネル32を形成している。プラズマノズルの口22は、渦チャネル32の内部横断面に比較して、かなり制限されている。ケーシング30の上流側端は、分配ブロック16内に埋め込んである金属製アダプタ34に対して剛的に連結してある。セラミックチューブ36が、アダプタ34およびそれに近接するケーシング端の内部に同芯状に配置してあり、アダプタ34およびケーシング30に対して電気的に絶縁してある渦巻きリング38を収容している。その渦巻きリング38は、渦チャネル32の内部に突出して渦巻きオリフィス42の頂部により囲まれた電極ピン40を形成している。アダプタ34および分配ブロック16には、プラズマノズルに対して作動ガスを供給するためガス通路44が形成してある。アダプタ34および分配ブロック16は、さらに、図示しない高電圧ケーブルのためのケーブル通路46を有し、それらのケーブルによりそれぞれ接続された渦巻きリング38および電極ピン40に対して電圧を供給するようになっている。
装置の動作状態では、ガス通路44を介して作動ガスとして圧力空気が供給される。その圧力空気は、渦巻きリング38の渦巻きオリフィス42を通過することにより渦巻き、そのために、その圧力空気は、電圧チャネル32を通してプラズマノズルの口22へと渦を巻いた状態で流れ込む。たとえば20kHzの周波数を持つ数kVの交流(AC)電圧が電極ピン40に対して供給され、一方、プラズマノズルのケーシング30は分配リング16を介して接地される。電源がスイッチ・オンされると、最初に、渦巻きリング38と、誘電体として機能するセラミックチューブ36との間に、高周波によりコロナ放電が生成される。このコロナ放電は、次に、電極ピン40とケーシング30との間のアーク放電を誘発する。その電気アークは、電極ピン40からケーシング30の周囲壁へと半径方向には通らず、その代わりに、渦巻きガスの流れに乗せられ、ガス渦の芯内を通り、電極ピン40から渦チャネル32の中心軸に沿って直線状に口22へと至り、その時に初めて、口22の縁へ向けて半径方向に枝分かれする。そのことは、高反応性で十分に集束されたプラズマジェットが形成されるという好結果をもたらし、それにも拘わらず、そのプラズマジェットは、比較的に冷たく、加えて、その渦巻き動作により、ワークピース20の表面に都合良くマッチする。
図2は分配ブロック16の内部でのガス通路44の配置を示す。ガス通路は、相互に交差する孔の集まりで形成され、それらの外側端部がプラグ48によりそれぞれ閉塞され、それぞれが、各軸方向入り口通路50を、プラズマノズル14の関連する一つに接続してある。
図3に示すように、分配ブロック16は、軸受ハウジング54の内部に回転自在に支持してあるシャフト52の大径側端部に対して装着してある。軸受ハウジング54は、入り口ポート56を持ち、その入り口ポート56は、圧力空気を、シャフト52が通過するところの圧力チャンバ58へと導くようになっている。圧力チャンバ58は、シャフト52のための軸受の圧力密封構造により気密にシールされる。シャフト52は、回転軸に対し二つの偏心した軸方向ガス通路60を持ち、それら通路の一端が圧力チャンバ58に対して連絡してあり、他端が、分配ブロック60の上述した軸方向通路50へと連絡してある。このようにして圧力空気は、入り口ポート56を介して回転ヘッド10のプラズマノズル14へと供給される。
圧力チャンバ58の内部では、シャフト52が集電極リング62を保持し、集電極リングがワイパー接触部材64に対して滑動可能に係合している。このワイパー接触部材は、シャフト52および分配ブロック16の接地、さらに、それに接続してあるプラズマノズル14のケーシングをも接地することを確保している。
コネクタハウジング66が、軸受ハウジング54における回転ヘッド10の反対側に結合してあり、プラズマノズル14への高電圧供給のための二つの絶縁されたワイパー接触部材68を収容している。コネクタハウジング66へと突出しているシャフト52の延長部は、二つの集電極リング72が配置されている絶縁部材70を保持し、それらリングは、それぞれ、ワイパー接触部材68の一つに摺接してある。それらの集電極リング72は、相互に電気的に絶縁してあり、しかも、シャフト52およびコネクタハウジング66からも絶縁部材70により絶縁してあり、その絶縁部材には、半径方向に突出するディスク74が形成してある。さらに、絶縁部材70は、二つの軸方向ケーブル通路76を持ち、それら通路が、それぞれ、集電極リング72のうちの一つからシャフト52の肩部に係合する絶縁部材70の端面まで延びている。この肩部内に形成してある凹部78は、ケーブル通路76をシャフト52の中央孔80にまで連絡する。この中央孔80の反対側端部は、半径方向凹部82により、図1に示す分配ブロック16のケーブル通路46にまで連絡される。このようにして、上述した高電圧ケーブルを用いて、集電極リング72を渦巻きリング38およびプラズマノズル14の電極ピン40に対して電気的に接続することができる。二つのプラズマノズルのための分離された電気供給ラインは、分離された高電圧源から、それぞれのプラズマノズルへの高電圧の供給を可能とする。このことは、一方のプラズマノズルにおいて既にアーク放電が生成されている時でさえも、他のプラズマノズルを起動させるために必要な起動電圧を供給することができるためには本質的に重要なことである。
Claims (8)
- 回転軸に対し少なくとも一つの偏心して配置されたプラズマノズル(14)を持つ回転ヘッド(10)を有し、前記プラズマノズルが、プラズマジェット(18)を、回転軸に対して平行な向きに生成するようになっていることを特徴とするプラズマ表面処理装置。
- 複数の前記プラズマノズル(14)が、前記回転軸回りに略同一半径に略均等角度間隔で配置してあることを特徴とする請求項1に記載のプラズマ表面処理装置。
- 前記各プラズマノズル(14)が、渦巻きプラズマジェットを生成するための渦巻きシステム(38)を有していることを特徴とする請求項1または2に記載のプラズマ表面処理装置。
- 前記各プラズマノズル(14)が、接地電極として機能する拡張されたケーシング(30)を有し、前記ケーシングには、前記渦巻きシステム(38)を収容する拡張された渦チャネル(32)が形成してあり、前記ケーシングの一端には高電圧電極(40)が形成してあり、前記ケーシングの他端にある口(22)に向けてテーパ状に細くなっており、前記高電圧電極(40)からの電気アーク放電が、前記渦チャネル(32)の中心軸に沿って延びる渦心内を通り、口(22)へと到達して初めて半径方向へと枝分かれするように、前記渦巻きシステム(38)および渦チャネル(32)が配置してあることを特徴とする請求項3に記載のプラズマ表面処理装置。
- 前記プラズマノズル(14)には高周波電圧が供給されることを特徴とする請求項1〜4のいずれかに記載のプラズマ表面処理装置。
- 前記プラズマノズル(14)が、当該プラズマノズルの電極(30,40)から相互に分離された誘電体部材(36)を持ち、アーク放電を誘発するコロナ放電の生成を許容するようになっていることを特徴とする請求項5に記載のプラズマ表面処理装置。
- 前記プラズマノズル(14)が分配ブロック(16)に設置してあり、前記分配ブロックが、作動ガスを供給するためのガス通路(44)と、前記プラズマノズルへ作動電圧を供給するためのケーブル通路(46)とを持ち、前記分配ブロック(16)が、前記作動ガスが供給される圧力チャンバ(58)を通して延びるシャフト(52)の一端に対して装着してあり、前記シャフトが、コネクタハウジング(66)の内部を通して延び、前記コネクタハウジング(66)の内部では集電極リング(72)が前記シャフトの延長部が保持する絶縁部材(70)に具備してあり、前記シャフトは、前記分配ブロック(16)内の対応する通路に対して連絡するための軸方向のガス通路(60)およびケーブル通路(80)を持ち、前記絶縁部材(70)は、ケーブル通路(76)を持つことを特徴とする請求項1〜6のいずれかに記載のプラズマ表面処理装置。
- 前記シャフト(52)が、前記圧力チャンバ(58)を形成する軸受ハウジング(54)内に軸受支持され、しかも、前記シャフト(52)の延長部が前記軸受ハウジング(54)における前記回転ヘッド(10)の反対側に配置される前記コネクタハウジング(66)内部に突出していることを特徴とする請求項7に記載のプラズマ表面処理装置。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE29805999.1 | 1998-04-03 | ||
DE29805999U DE29805999U1 (de) | 1998-04-03 | 1998-04-03 | Vorrichtung zur Plasmabehandlung von Oberflächen |
PCT/EP1999/002256 WO1999052333A1 (de) | 1998-04-03 | 1999-04-01 | Vorrichtung zur plasmabehandlung von oberflächen |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2002500818A JP2002500818A (ja) | 2002-01-08 |
JP4255518B2 true JP4255518B2 (ja) | 2009-04-15 |
Family
ID=8055183
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP55004299A Expired - Lifetime JP4255518B2 (ja) | 1998-04-03 | 1999-04-01 | プラズマ表面処理装置 |
Country Status (7)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US6265690B1 (ja) |
EP (1) | EP0986939B1 (ja) |
JP (1) | JP4255518B2 (ja) |
AT (1) | ATE270028T1 (ja) |
DE (2) | DE29805999U1 (ja) |
ES (1) | ES2224644T3 (ja) |
WO (1) | WO1999052333A1 (ja) |
Families Citing this family (81)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE29805999U1 (de) * | 1998-04-03 | 1998-06-25 | Agrodyn Hochspannungstechnik G | Vorrichtung zur Plasmabehandlung von Oberflächen |
DE29911974U1 (de) | 1999-07-09 | 2000-11-23 | Agrodyn Hochspannungstechnik G | Plasmadüse |
DE19946785A1 (de) | 1999-09-29 | 2001-04-26 | Henkel Kgaa | Verfahren zum Herstellen eines Schuhs |
DE29919142U1 (de) | 1999-10-30 | 2001-03-08 | Agrodyn Hochspannungstechnik G | Plasmadüse |
DE10007143B4 (de) * | 2000-02-17 | 2005-09-15 | A-Z Formen- Und Maschinenbau Gmbh | Runderneuerungsverfahren |
DE10011275A1 (de) | 2000-03-08 | 2001-09-13 | Wolff Walsrode Ag | Verfahren zur Oberflächenaktivierung bahnförmiger Werkstoffe |
DE10011276A1 (de) | 2000-03-08 | 2001-09-13 | Wolff Walsrode Ag | Verwendung eines indirrekten atomosphärischen Plasmatrons zur Oberflächenbehandlung oder Beschichtung bahnförmiger Werkstoffe sowie ein Verfahren zur Behandlung oder Beschichtung bahnförmiger Werkstoffe |
US6281468B1 (en) * | 2000-03-13 | 2001-08-28 | Essilor International, Compagnie Generale D'optique | Method and apparatus for producing a marking on an ophthalmic lens having a low surface energy |
US6846467B1 (en) * | 2000-06-27 | 2005-01-25 | Mikhail Rudolfovich Predtechensky | Plasma-chemical reactor |
EP1170066A1 (de) | 2000-07-05 | 2002-01-09 | Förnsel, Peter | Verfahren und Vorrichtung zum Reinigen von Walzen oder Bänder |
DE10201190A1 (de) * | 2002-01-14 | 2003-07-31 | Henkel Kgaa | Thermische Aktivierung von Folien |
AU2003229286A1 (en) * | 2002-05-24 | 2003-12-12 | Sig Technology Ltd. | Method and device for the plasma treatment of workpieces |
US20050161919A1 (en) * | 2002-06-04 | 2005-07-28 | Johann Berger | Airbag and method of producing an airbag |
FR2840826B1 (fr) * | 2002-06-17 | 2005-04-15 | Rhodia Chimie Sa | Procede de traitement de surface d'un article comportant du silicone reticule par polyaddition |
FR2840910B1 (fr) * | 2002-06-17 | 2004-08-27 | Rhodia Chimie Sa | Composition silicone pour la realisation d'un ensemble comprenant plusieurs elements en silicone reticules par polyaddition adherant fermement les uns aux autres |
FR2840911B1 (fr) * | 2002-06-18 | 2005-09-30 | Rhodia Chimie Sa | Composition silicone utile notamment pour la realisation de vernis anti-friction, procede d'application de ce vernis sur un support et support ainsi traite |
FR2840912B1 (fr) * | 2002-06-18 | 2005-10-21 | Rhodia Chimie Sa | Emulsion silicone aqueuse pour le revetement de supports fibreux tisses ou non |
KR100464856B1 (ko) * | 2002-11-07 | 2005-01-05 | 삼성전자주식회사 | 표면 식각 방법 및 실리콘 기판 이면 식각 방법. |
DE10326757A1 (de) * | 2003-06-13 | 2005-01-13 | Bst Berger Safety Textiles Gmbh & Co. Kg | Verfahren zur Herstellung eines Luftsacks |
JP4604591B2 (ja) * | 2004-07-28 | 2011-01-05 | パナソニック株式会社 | プラズマ処理方法 |
DE102005002962A1 (de) * | 2005-01-21 | 2006-08-03 | Bst Safety Textiles Gmbh | Personenrückhaltesystem |
DE102005004280A1 (de) | 2005-01-28 | 2006-08-03 | Degussa Ag | Verfahren zur Herstellung eines Verbundes |
US20060172081A1 (en) * | 2005-02-02 | 2006-08-03 | Patrick Flinn | Apparatus and method for plasma treating and dispensing an adhesive/sealant onto a part |
CN101151340A (zh) * | 2005-02-11 | 2008-03-26 | Sika技术股份公司 | 空气-等离子体处理过的热塑性塑料的粘合 |
DE102005018926B4 (de) | 2005-04-22 | 2007-08-16 | Plasma Treat Gmbh | Verfahren und Plasmadüse zum Erzeugen eines mittels hochfrequenter Hochspannung erzeugten atmosphärischen Plasmastrahls umfassend eine Vorrichtung jeweils zur Charakterisierung einer Oberfläche eines Werkstückes |
DE102005020511A1 (de) | 2005-04-29 | 2006-11-09 | Basf Ag | Verbundelement, insbeondere Fensterscheibe |
US20070044894A1 (en) * | 2005-08-31 | 2007-03-01 | The Goodyear Tire & Rubber Company | Tire preparation using plasma technology |
WO2007071720A1 (de) * | 2005-12-20 | 2007-06-28 | Plasmatreat Gmbh | Verfahren und vorrichtung zur desinfektion von gegenständen |
DE102005061351A1 (de) * | 2005-12-21 | 2007-07-05 | Bst Safety Textiles Gmbh | Gewebe und Verfahren zum Herstellen desselben |
DE102006007827A1 (de) * | 2006-02-17 | 2007-08-30 | Focke & Co.(Gmbh & Co. Kg) | Verfahren zur Herstellung und/oder Verpackung von Produkten (Zigarettenschachteln) aus Zuschnitten sowie Fertigungseinheit zur Durchführung des Verfahrens |
DE102006021082A1 (de) * | 2006-05-05 | 2007-11-15 | Bst Safety Textiles Gmbh | Nahtkonstruktion für ein Gewebe |
US7547861B2 (en) | 2006-06-09 | 2009-06-16 | Morten Jorgensen | Vortex generator for plasma treatment |
US20070284342A1 (en) * | 2006-06-09 | 2007-12-13 | Morten Jorgensen | Plasma treatment method and apparatus |
DE102006043937B4 (de) † | 2006-09-14 | 2008-09-18 | Hydrometer Gmbh | Zählergehäuse zum Einsetzen in eine Rohrleitung, insbesondere Wasserzählergehäuse, ein solches Zählergehäuse umfassender Zähler, sowie Verfahren zur Herstellung eines solchen Zählergehäuses |
DE102006060942A1 (de) | 2006-12-20 | 2008-06-26 | Plasma Treat Gmbh | Vorrichtung und Verfahren zur Erzeugung eines Plasmastrahls |
DE102007011235A1 (de) | 2007-03-06 | 2008-09-11 | Plasma Treat Gmbh | Verfahren und Vorrichtung zur Behandlung einer Oberfläche eines Werkstückes |
US20110056966A1 (en) * | 2007-03-21 | 2011-03-10 | Reinhard | Fuel Tank Attachment And Method For Producing A Fuel Tank Attachment |
DE102007024090A1 (de) | 2007-05-22 | 2008-11-27 | Diener, Christof, Dipl.-Ing. | Plasmabehandlungsvorrichtung |
JP4719184B2 (ja) * | 2007-06-01 | 2011-07-06 | 株式会社サイアン | 大気圧プラズマ発生装置およびそれを用いるワーク処理装置 |
DE102007037406A1 (de) * | 2007-08-08 | 2009-06-04 | Neoplas Gmbh | Verfahren und Vorrichtung zur plasmagestützten Oberflächenbehandlung |
DE102008051801A1 (de) * | 2008-04-18 | 2009-10-22 | Plasma Treat Gmbh | Vorrichtung zum Behandeln einer inneren Oberfläche eines Werkstücks |
DE202008013560U1 (de) | 2008-10-15 | 2010-03-04 | Raantec Verpachtungen Gmbh & Co. Kg | Vorrichtung zur Erzeugung eines Plasmastrahls |
DE102008052102B4 (de) * | 2008-10-20 | 2012-03-22 | INPRO Innovationsgesellschaft für fortgeschrittene Produktionssysteme in der Fahrzeugindustrie mbH | Vorrichtung zum Vor- und/oder Nachbehandeln einer Bauteiloberfläche mittels eines Plasmastrahls |
CH700049A2 (fr) * | 2008-12-09 | 2010-06-15 | Advanced Machines Sarl | Procédé et dispositif de génération d'un flux de plasma. |
TWI380743B (en) * | 2008-12-12 | 2012-12-21 | Ind Tech Res Inst | Casing and jet type plasma system |
CN101754563B (zh) * | 2008-12-22 | 2012-10-10 | 财团法人工业技术研究院 | 壳体及应用其的喷射式等离子体系统 |
TWI407842B (zh) * | 2008-12-31 | 2013-09-01 | Ind Tech Res Inst | 大氣電漿大幅寬處理裝置 |
DE102009058360A1 (de) | 2009-12-15 | 2011-06-16 | Reinhard Feichtinger | Kraftstoffleitung |
US8617675B2 (en) | 2009-12-15 | 2013-12-31 | Reinhard Feichtinger | Fuel tank attachment and method for producing a fuel tank attachment |
DE202009016927U1 (de) | 2009-12-15 | 2010-04-29 | Feichtinger, Reinhard | Kraftstoffanbauteil |
KR101581046B1 (ko) * | 2009-12-16 | 2015-12-30 | 주식회사 케이씨씨 | 플라즈마 아크토치의 위치조절장치 |
CN101778525B (zh) * | 2010-01-22 | 2012-06-06 | 芜湖荣事达塑胶有限责任公司 | 气动旋转空气等离子射流源 |
DE102010011643B4 (de) | 2010-03-16 | 2024-05-29 | Christian Buske | Vorrichtung und Verfahren zur Plasmabehandlung von lebendem Gewebe |
WO2011142125A1 (ja) | 2010-05-13 | 2011-11-17 | パナソニック株式会社 | プラズマ処理装置及び方法 |
JP5766495B2 (ja) * | 2010-05-18 | 2015-08-19 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 熱処理装置 |
FR2962004B1 (fr) * | 2010-06-24 | 2013-05-24 | Nci Swissnanocoat | Dispositif pour la generation d'un jet de plasma |
CN102387653B (zh) | 2010-09-02 | 2015-08-05 | 松下电器产业株式会社 | 等离子体处理装置及等离子体处理方法 |
JP5626994B2 (ja) * | 2011-01-30 | 2014-11-19 | 日鐵住金溶接工業株式会社 | インサートチップおよびプラズマトーチ |
CN103094038B (zh) | 2011-10-27 | 2017-01-11 | 松下知识产权经营株式会社 | 等离子体处理装置以及等离子体处理方法 |
JP5617817B2 (ja) | 2011-10-27 | 2014-11-05 | パナソニック株式会社 | 誘導結合型プラズマ処理装置及び誘導結合型プラズマ処理方法 |
US10115565B2 (en) | 2012-03-02 | 2018-10-30 | Panasonic Intellectual Property Management Co., Ltd. | Plasma processing apparatus and plasma processing method |
DE102013103259A1 (de) | 2013-04-02 | 2014-10-02 | Plasmatreat Gmbh | Desinfektionsmodul für eine Serienprozessanlage |
ITPD20130310A1 (it) | 2013-11-14 | 2015-05-15 | Nadir S R L | Metodo per la generazione di un getto o jet di plasma atmosferico e dispositivo minitorcia al plasma atmosferico |
US10028338B1 (en) * | 2014-04-22 | 2018-07-17 | Contractors & Industrial Supply Company, Inc. | Electrode torque lift |
US9850105B1 (en) | 2015-05-04 | 2017-12-26 | Contractors & Industrial Supply Company, Inc. | Vertical automatic addition tong apparatus |
EP3434488A1 (en) | 2015-10-12 | 2019-01-30 | Agfa Nv | A moving gantry flatbed table inkjet printer |
DE102015121252A1 (de) | 2015-12-07 | 2017-06-08 | Plasmatreat Gmbh | Vorrichtung zur Erzeugung eines atmosphärischen Plasmastrahls und Verfahren zur Behandlung der Oberfläche eines Werkstücks |
DE102016203413A1 (de) | 2016-03-02 | 2017-09-07 | Tesa Se | Erhöhung der Abzugskraft durch selektive Plasmavorbehandlung |
DE102016204449A1 (de) * | 2016-03-17 | 2017-09-21 | Plasmatreat Gmbh | Vorrichtung zur Umformung metallischer Bauteile sowie damit durchgeführtes Verfahren |
WO2018020434A1 (en) | 2016-07-26 | 2018-02-01 | BORISSOVA, Anastasiia Olegovna | Tissue tolerable plasma generator and method for the creation of protective film from the wound substrate |
DE102016213905A1 (de) * | 2016-07-28 | 2018-02-01 | Thyssenkrupp Ag | Applikationseinheit zum Anbringen eines Dichtungsprofils und Verfahren |
BE1025328B1 (nl) * | 2017-12-08 | 2019-01-23 | Saverde Bvba | Werkwijze voor het bedrukken van kunststoffolie met eetbare inkt |
EP3751967A1 (de) | 2019-06-14 | 2020-12-16 | FRONIUS INTERNATIONAL GmbH | Verfahren zur behandlung der oberfläche von werkstücken mit hilfe eines plasmastrahls und plasmabrenner zur durchführung eines solchen verfahrens |
TWI786417B (zh) * | 2020-07-14 | 2022-12-11 | 大氣電漿股份有限公司 | 常壓電漿產生裝置 |
CN113068295A (zh) * | 2021-03-17 | 2021-07-02 | 电子科技大学 | 等离子体射流装置及等离子体切割系统 |
WO2022251156A1 (en) * | 2021-05-24 | 2022-12-01 | Somnio Global Holdings, Llc | Free radical generation device and methods thereof |
DE102021115020A1 (de) | 2021-06-10 | 2022-12-15 | Plasmatreat Gmbh | Vorrichtung zum erzeugen eines atmosphärischen plasmastrahls zur behandlung einer oberfläche eines werkstücks |
CN114040560A (zh) * | 2021-11-19 | 2022-02-11 | 国网重庆市电力公司电力科学研究院 | 一种可旋转式等离子体射流发生装置 |
KR102375409B1 (ko) * | 2021-11-23 | 2022-03-16 | 한국섬유소재연구원 | 연속식 상압플라즈마 장치를 이용한 섬유원단의 표면처리방법 |
DE102022103854A1 (de) | 2022-02-18 | 2023-08-24 | ThiM network factory GmbH | Plasmabehandlung vor dem Einfüllen von partikelförmigen Kunststoffpolymeren in das Formwerkzeug |
CN114953413A (zh) * | 2022-05-11 | 2022-08-30 | 南京苏曼等离子科技有限公司 | 一种智能化射流等离子体处理滚筒内壁设备 |
Family Cites Families (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4912296A (en) * | 1988-11-14 | 1990-03-27 | Schlienger Max P | Rotatable plasma torch |
US4969432A (en) * | 1988-12-28 | 1990-11-13 | Eaton Corporation | Torch ignitor for lean burn engines |
US5043554A (en) * | 1989-03-23 | 1991-08-27 | Brother Kogyo Kabushiki Kaisha | Plasma-arc cutting apparatus having means for deflecting plasma arc |
US4896016A (en) * | 1989-04-24 | 1990-01-23 | Century Mfg. Co. | Plasma arc metal cutting apparatus with actuation spring |
FI86038C (fi) * | 1991-02-25 | 1992-07-10 | Rotaweld Oy | Plasmabraennare. |
US5317126A (en) * | 1992-01-14 | 1994-05-31 | Hypertherm, Inc. | Nozzle and method of operation for a plasma arc torch |
JP3203754B2 (ja) * | 1992-03-30 | 2001-08-27 | 住友電気工業株式会社 | ダイヤモンドの製造法および製造装置 |
US5548611A (en) * | 1993-05-19 | 1996-08-20 | Schuller International, Inc. | Method for the melting, combustion or incineration of materials and apparatus therefor |
DE19532412C2 (de) | 1995-09-01 | 1999-09-30 | Agrodyn Hochspannungstechnik G | Vorrichtung zur Oberflächen-Vorbehandlung von Werkstücken |
DE29805999U1 (de) | 1998-04-03 | 1998-06-25 | Agrodyn Hochspannungstechnik G | Vorrichtung zur Plasmabehandlung von Oberflächen |
-
1998
- 1998-04-03 DE DE29805999U patent/DE29805999U1/de not_active Expired - Lifetime
-
1999
- 1999-04-01 EP EP99919177A patent/EP0986939B1/de not_active Expired - Lifetime
- 1999-04-01 WO PCT/EP1999/002256 patent/WO1999052333A1/de active IP Right Grant
- 1999-04-01 JP JP55004299A patent/JP4255518B2/ja not_active Expired - Lifetime
- 1999-04-01 US US09/445,016 patent/US6265690B1/en not_active Expired - Lifetime
- 1999-04-01 AT AT99919177T patent/ATE270028T1/de active
- 1999-04-01 DE DE59909795T patent/DE59909795D1/de not_active Expired - Lifetime
- 1999-04-01 ES ES99919177T patent/ES2224644T3/es not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US6265690B1 (en) | 2001-07-24 |
ATE270028T1 (de) | 2004-07-15 |
EP0986939A1 (de) | 2000-03-22 |
EP0986939B1 (de) | 2004-06-23 |
ES2224644T3 (es) | 2005-03-01 |
JP2002500818A (ja) | 2002-01-08 |
WO1999052333A1 (de) | 1999-10-14 |
DE29805999U1 (de) | 1998-06-25 |
DE59909795D1 (de) | 2004-07-29 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4255518B2 (ja) | プラズマ表面処理装置 | |
JP4111659B2 (ja) | プラズマノズル | |
US6677550B2 (en) | Plasma nozzle | |
JP3291503B2 (ja) | 静電噴霧装置 | |
US10555411B2 (en) | Device for generating an atmospheric plasma beam, and method for treating the surface of a workpiece | |
USRE38526E1 (en) | Electrostatic rotary atomizing spray device with improved atomizer cup | |
KR101791844B1 (ko) | 정전식 분무장치의 전극 조립체 | |
KR930004010B1 (ko) | 정전기 도장장치 | |
US6896735B2 (en) | Integrated charge ring | |
US3610528A (en) | Spray guns | |
JPH0655106A (ja) | 液状コーティング剤の静電塗装用回転アトマイザヘッドを有する装置 | |
US20110220143A1 (en) | Device for Treating an Inner Surface of a Work Piece | |
CA1242001A (en) | Plasma arc torch | |
KR100738570B1 (ko) | 두가지의 타입으로 구별하여 사용할 수 있는 정전도장기 | |
US3182176A (en) | Arc plasma generator | |
US20030001032A1 (en) | High-speed rotation atomiser for application of powder paint | |
CN114286489A (zh) | 一种双射流等离子旋转喷枪 | |
RU154326U1 (ru) | Устройство для подачи смазочно-охлаждающего технологического средства | |
CN216700419U (zh) | 一种双射流等离子旋转喷枪 | |
KR101479767B1 (ko) | 아크제트 플라스마 발생기 | |
CN113275327B (zh) | 一种旋风式等离子清洗方法 | |
RU764598C (ru) | Электродуговой плазмотрон | |
JPS5931325Y2 (ja) | 粉体塗装々置 | |
SU1607967A1 (ru) | Электростатический распылитель | |
JPS6014960A (ja) | 回転霧化静電塗装装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20040218 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20070320 |
|
RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422 Effective date: 20070329 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20070618 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20070807 |
|
A313 | Final decision of rejection without a dissenting response from the applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A313 Effective date: 20071226 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20080205 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20080605 |
|
A911 | Transfer to examiner for re-examination before appeal (zenchi) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911 Effective date: 20080717 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20081118 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20081120 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20090106 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20090128 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120206 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130206 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140206 Year of fee payment: 5 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
EXPY | Cancellation because of completion of term |