JP4253553B2 - 荷電粒子線を用いた成膜方法と選択エッチング方法および荷電粒子線装置 - Google Patents
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Description
公知例1(特開平8−298243)には、膜を堆積させる試料表面に傾斜や孔がある場合に、FIBの照射量を,FIBが照射される実効面積に応じて変えることにより、試料に対する全体的なFIB照射量を実効的に均一にするFIBAD法が開示されている。
公知例2(特開平3−289133)には,FIBのビーム条件(加速電圧とビーム電流)応じてビームの走査条件(ビーム走査速度と走査ピッチと走査パターン)を制御し、堆積する膜厚を均一化する技術が開示されている。
また、FIBにより選択エッチングを行なう場合に、エッチングレートを均一化する技術としては、以下の先行技術がある。
公知例3(特開平9−120153)には、FIBの照射スポットを隣接照射スポットに移動する際に、隣接照射スポットに十分なエッチングガスが供給されるまでビームスポットを走査領域外に移動して所定時間遅延する技術が開示されている。この間、FIBはブランキングされ、ビームスポットの移動位置へはFIBは照射されない。そのため、照射スポットと、重なり位置でのエッチングレートが均一化される。
公知例4(特開2000−29201)には、加工部位の種類(面積、位置、形状)に応じて予めエッチングレートを求めておき、加工部位に応じてFIB照射回数を決定する技術が開示されている。
公知例1に開示された技術は、照射位置に応じてFIB照射量を変える技術であるが、FIB照射量を変えただけでは堆積する膜を均一化することはできず、従って成膜速度と均一な膜を生成することを両立することはできない。
公知例2には、ビーム条件に応じてビーム走査速度と走査ピッチと走査パターンを自動設定する技術が開示されているが、所望の走査領域に対して光学系の設定をどのように最適化すればよいのかという点について、全く開示がない。
公知例3に開示された技術では、選択比の大きな選択エッチングを行なうことが可能であるが、エッチングガスが供給されるまでビームスポットの移動が遅延する、結局、加工時間が増大する。
公知例4には、予め求めたエッチングレートを考慮して、加工部位に応じてFIB照射回数を決定する技術が開示されているが、面積、位置、形状に応じてFIBの照射量を変えるだけでは、加工速度を向上する上では不十分である。加工条件を最適化しようとすれば、FIBの照射量だけではなく、FIBのビーム条件も加工部位に応じて変える必要があり、ビーム条件を変えればエッチングレートが変わるからである。
従来、膜成長速度またはエッチングレートは、走査周期に対して単調減少するのみで、最大値ないし極大値を取りうるとは全く考えられていなかった。走査領域の面積を一定とし、加工ガスの供給量を一定にするならば、走査周期を大きくすることは、ビームの走査速度を遅くすることと同義であり、ビームの走査速度が遅くなれば、加工面積全体での加工速度が低下するのは当然だからである。
図3には、走査領域内で、荷電粒子線のビームスポットがどのように動くかを模式的に示した。1つの円が1つのビームスポットに対応し、ビームスポットは、矢印の方向に沿って走査される。ここで、「ビームスポット」とは、入射した荷電粒子線が試料表面で占める領域の大きさをいう。ビームスポットの中心を「走査格子点」と称し、図3では、引出し番号16で示される。18は走査領域を示し、図3は、走査領域内で、走査格子点を3角格子に配列した例を示している。
図7は、タングステンデポのデポレートの走査周期依存性を示す。走査周期が1msec以下でデポレートが減少する理由は,FIBにより消費されたガス分子が再度吸着して十分な量になるまでに1msec程度の時間を必要とするためである。一方,ビーム滞在時間はμsecオーダーの値であり,十分な量のガス分子を基板に吸着するには,ビーム滞在時間に比べて長い時間を必要としている。
でフィッティングすることが可能である。ここで,Y0はデポ係数,Pは走査周期23,τは緩和時間,YSPはスパッタ係数である。物理的には、式1の前半は形成される膜厚のレート、YSPがスパッタによりエッチングされる膜厚のレートを式1によるフィッティングのパラメータを求めるためには,A点34とB点35とC点36の3点程度のデポレートの実測値を求めればよい。式1より成膜速度Wは
である。ここでIpはビーム電流,Tdは最適ビーム滞在時間,Pは走査周期,dはプローブサイズである。Wの走査周期に対する最大値は、P=PdにおけるWの微分係数で示され、以下の式3で表される。
ここで,Pdはガス走査周期である。図8は式3より求めたPd/τのYSP/Y0依存性である。Pdはτに反比例し,YSP/Y0に対して増加している。このように,Pdはデポレートの走査周期依存性から決定することができる。
以上説明した成膜パラメータの決定方法をまとめると以下の通りとなる。
a.各光学系の設定に対するビーム電流とプローブサイズと最適ビーム滞在時間を記憶する。
b.各光学系の設定に対するデポレートの走査周期依存性をテーブル又は式1にして記憶する。
c.任意の走査領域に対する成膜速度を式2などにより求める。
d.成膜速度が最大値となる光学系の設定を図9などにより選択する。
e.選択した光学系の設定とプローブサイズによる走査間隔と最適ビーム滞在時間を用いて成膜をする。
の手段により成膜することを特徴とする成膜方法とする。
である。制御装置10は、ユーザインタフェースを介して設定された走査面積の設定値に近い走査面積Sを持つ光学系の設定を選択し、これにより,ビーム電流・ビーム滞在時間・走査間隔といった各成膜パラメータが自動的に設定される。なお、成膜速度に対しては、プローブサイズdが影響を与えるため,成膜前にオートフォーカスを実施して、被加工物である試料表面にビームの焦点が合うようにプローブサイズdを設定してもよい。
さらに,従来法に比べて成膜時間を短縮することもできる。
図24は,本実施例で使用する1組の成膜制御画面の例である。オペレータは選択画面から所望の成膜工程を選択し,設定画面に表示された走査領域を成膜位置に設定する。さらに,図13の登録画面に新たに走査面積を追加する。
エッチング速度の較正手段にはエッチングレートの走査周期依存性を用いる。エッチングレート(Y)は,
とほぼ一致する。ここで、YAはアシスト係数、Pは走査周期、τは緩和時間、YNはスパッタ係数である。エッチングレートの測定値に対する式5のフィッティングにより、これらの変数を求める。エッチング速度とエッチング速度差の算出に用いる。
である。ここで、Paは所望のエッチング速度差をもつ走査周期である。オペレータの設定した走査面積より所望のエッチング速度差を持つ光学系の設定を選択する。これにより,従来法ではオペレータが設定したビーム電流・ビーム滞在時間・走査間隔を自動的に設定できる。なお,FIB11のプローブサイズ14がエッチング速度に影響を与えるため,光学系の設定を選び成膜を始める前に,オートフォーカスを実施することもある。
Claims (5)
- 試料に荷電粒子線を照射し走査する照射光学系と、
前記荷電粒子線の照射により前記試料より発生する二次荷電粒子を検出する検出器と、
前記検出器で検出された二次荷電粒子像を表示する表示手段と、
前記試料にガスを吹き付ける手段と、
前記荷電粒子線の走査領域を指定できる入力手段と、
前記照射光学系を少なくとも制御する制御手段とを備え、
前記制御手段は、前記入力された前記荷電粒子線の走査領域を基に前記荷電粒子線のビーム電流値、及び前記ガスの吹き付けによる成膜速度または成膜時間を算出し、
デポレートの走査周期の依存性情報から、任意の走査領域に対する成膜速度を求め、成膜速度が最大となる荷電粒子線のビーム電流値を表示することを特徴とする荷電粒子線装置。 - 試料に荷電粒子線を照射し走査する照射光学系と、
前記荷電粒子線の照射により前記試料より発生する二次荷電粒子を検出する検出器と、
前記検出器で検出された二次荷電粒子像を表示する表示手段と、
前記試料にガスを吹き付ける手段と、
前記荷電粒子線の走査領域を指定できる入力手段と、
前記照射光学系を少なくとも制御する制御手段とを備え、
前記制御手段は、前記入力された前記荷電粒子線の走査領域を基に前記荷電粒子線のビーム電流値、及び前記ガスの吹き付けによるエッチング速度またはエッチング時間を算出し、
デポレートの走査周期の依存性情報から、任意の走査領域に対する成膜速度を求め、成膜速度が最大となる荷電粒子線のビーム電流値を表示することを特徴とする荷電粒子線装置。 - 集束された荷電粒子を所定の走査周期で試料上に走査する荷電粒子線照射光学系と、
該荷電粒子線の走査像を表示する表示装置と、
前記荷電粒子線照射光学系を制御する制御手段と、
前記試料を載置する試料ステージと、
前記試料に堆積ガスを吹き付ける手段と、
デポレートの走査周期依存性情報が格納された記憶手段と、
前記デポレートの走査周期の依存性情報から、任意の走査領域に対する成膜速度を求め、成膜速度が最大となる荷電粒子線のビーム電流値を表示する手段とを備えることを特徴とする荷電粒子線装置。 - 試料表面へ堆積ガスを吹き付け,さらに荷電粒子線照射光学系により集束した荷電粒子線を走査して試料表面に成膜する方法において,デポレートの走査周期の依存性情報から、任意の走査領域に対する成膜速度を求め、成膜速度が最大となる荷電粒子線のビーム電流値の設定を行い、荷電粒子線の走査間隔とビーム滞在時間を最適ビーム滞在時間に保ち走査を行う成膜方法。
- 荷電粒子照射光学系により荷電粒子線を集束して試料に照射し、かつ前記試料に堆積ガスを吹き付けることにより成膜を行う荷電粒子成膜装置と、該荷電粒子成膜装置の制御装置とを備えた荷電粒子線装置であって、
前記制御装置が前記成膜装置に対して、
前記試料表面に堆積ガスを吹き付ける動作と、
当該堆積ガスのデポレートの走査周期の依存性情報から、任意の走査領域に対する成膜速度を求め、成膜速度が最大となる荷電粒子線のビーム電流値の設定を行い、
前記試料に照射される前記荷電粒子線の走査間隔とビーム滞在時間とを最適ビーム滞在時間に保ちつつ当該試料上に前記荷電粒子線を走査する動作とを実行させることを特徴とする荷電粒子線装置。
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