JP4253288B2 - 光結合装置の製造方法 - Google Patents
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<110>オリフラと、(100)表面を有するSiウエハを準備する工程と、
前記Siウエハの裏面にエッチングストップ層を形成する工程と、
前記Siウエハの表面に耐エッチング膜層を形成する工程と、
前記Siウエハと前記面型光素子が形成されたウエハとを貼りつける工程と、
前記Siウエハ上に感光性樹脂を塗布してプリベークする工程と、
前記面型光素子のパターンを赤外線でモニターし、Si表面に前記面型光素子のパターンと所定の位置関係を有するパターンを写真製版で形成する工程と、
前記Siウエハ表面の耐エッチング膜をエッチングして所定のパターンを形成する工程と、
前記Siウエハをアルカリ性の液体で異方性エッチングしてV溝とストップ壁とを形成する工程と、
前記V溝と前記ストップ壁とが形成された前記複数の面型光素子が形成されたウエハを、単独の面型光素子に分離切断する工程と、
光伝送体を前記V溝に固定する工程と
を含むことを特徴としている。
<110>オリフラと、前記オリフラに対して(100)面から35.26°傾いた表面を有するSiウエハを準備する工程と、
前記Siウエハの裏面にエッチングストップ層を形成する工程と、
前記Siウエハの表面に耐エッチング膜層を形成する工程と、
前記Siウエハと前記面型光素子が形成されたウエハとを貼りつける工程と、
前記Siウエハ上に感光性樹脂を塗布してプリベークする工程と、
前記面型光素子のパターンを赤外線でモニターし、Si表面に前記面型光素子のパターンと所定の位置関係を有するパターンを写真製版で形成する工程と、
前記Siウエハ表面の耐エッチング膜をエッチングして所定のパターンを形成する工程と、
前記Siウエハをアルカリ性の液体で異方性エッチングしてV溝とストップ壁とを形成する工程と、
前記V溝と前記ストップ壁とが形成された前記複数の面型光素子が形成されたウエハを、単独の面型光素子に分離切断する工程と、
光伝送体を前記V溝に固定する工程と
を含むことを特徴としている。
<110>オリフラと、(100)表面を有するSiウエハを準備する工程と、
前記Siウエハの裏面にエッチングストップ層を形成する工程と、
前記Siウエハの表面に耐エッチング膜層を形成する工程と、
前記Siウエハと前記面型光素子が形成されたウエハとを貼りつける工程と、
前記Siウエハ上に感光性樹脂を塗布してプリベークする工程と、
前記面型光素子のパターンを赤外線でモニターし、Si表面に前記面型光素子のパターンと所定の位置関係を有するパターンを写真製版で形成する工程と、
前記Siウエハ表面の耐エッチング膜をエッチングして所定のパターンを形成する工程と、
前記Siウエハをアルカリ性の液体で異方性エッチングしてV溝とストップ壁とを形成する工程と、
前記V溝と前記ストップ壁とが形成された前記複数の面型光素子が形成されたウエハを、単独の面型光素子に分離切断する工程と、
光伝送体を前記V溝に固定する工程と
を含むので、後述の図2,図6に示すような光結合装置を得ることができる。
<110>オリフラと、前記オリフラに対して(100)面から35.26°傾いた表面を有するSiウエハを準備する工程と、
前記Siウエハの裏面にエッチングストップ層を形成する工程と、
前記Siウエハの表面に耐エッチング膜層を形成する工程と、
前記Siウエハと前記面型光素子が形成されたウエハとを貼りつける工程と、
前記Siウエハ上に感光性樹脂を塗布してプリベークする工程と、
前記面型光素子のパターンを赤外線でモニターし、Si表面に前記面型光素子のパターンと所定の位置関係を有するパターンを写真製版で形成する工程と、
前記Siウエハ表面の耐エッチング膜をエッチングして所定のパターンを形成する工程と、
前記Siウエハをアルカリ性の液体で異方性エッチングしてV溝とストップ壁とを形成する工程と、
前記V溝と前記ストップ壁とが形成された前記複数の面型光素子が形成されたウエハを、単独の面型光素子に分離切断する工程と、
光伝送体を前記V溝に固定する工程と
を含むので、後述の図4,図8に示すような光結合装置を得ることができる。
本発明の第1の形態は、発光機能および/または受光機能を有する面型光素子と、前記面型光素子上に設けられ、Si異方性エッチングにより形成されたV溝とストップ壁とを有する構造体と、前記構造体のV溝及びストップ壁により固定された光伝送体とを備え、前記光伝送体の少なくとも一方の端面に反射面を有し、該反射面は、前記面型光素子から前記光伝送体の側面を介して入射した光を光伝送体の導波方向に反射させる機能および/または前記光伝送体の導波方向に進む光を該光伝送体の側面を介して前記面型光素子の方向に反射させる機能を有し、前記面型光素子は、前記光伝送体の側面を介して該光伝送体と光結合されていることを特徴としている。
本発明の第2の形態は、第1の形態の光結合装置において、前記構造体は、前記面型光素子と接する底面が平坦であることを特徴としている。
本発明の第3の形態は、第2の形態の光結合装置において、前記構造体の底面平坦部は、Si異方性エッチングをストップする材料よりなることを特徴としている。
本発明の第4の形態は、第3の形態の光結合装置において、前記Si異方性エッチングをストップする材料は、SiO2又はSi3N4であることを特徴としている。
本発明の第5の形態は、第1乃至第4のいずれかの形態の光結合装置において、前記Si異方性エッチングにより形成された構造体のストップ壁は、光の出射面又は入射面に対して垂直に形成されていることを特徴としている。
本発明の第6の形態は、第1乃至第5のいずれかの形態の光結合装置において、前記光伝送体の反射面は、前記光伝送体の導波方向に対して45°の角度をなしていることを特徴としている。
本発明の第7の形態は、第1乃至第6のいずれかの形態の光結合装置において、前記光伝送体の反射面に、反射型の回折格子が形成されていることを特徴としている。
本発明の第8の形態は、第1乃至第6のいずれかの形態の光結合装置において、前記光伝送体の反射面上に反射膜が形成されていることを特徴としている。
本発明の第9の形態は、第1乃至第8のいずれかの形態の光結合装置において、前記面型光素子と前記構造物のV溝に載置された光伝送体との間に透明接着材が充填されていることを特徴としている。
本発明の第10の形態は、第9の形態の光結合装置において、前記光伝送体は光ファイバであって、前記透明接着材の屈折率が前記光ファイバのクラッド材の屈折率と同一であることを特徴としている。
本発明の第11の形態は、第1乃至第9のいずれかの形態の光結合装置において、前記面型光素子の一部に貫通孔を設け、貫通孔に導電性材料を充填し、上部電極を面型光素子下部から取り出す構造となっていることを特徴としている。
本発明の第12の形態は、第1乃至第11のいずれかの形態の光結合装置において、前記面型光素子が複数個でアレイ化されており、それに対応させて前記構造物及び光伝送体も共にアレイ化されて形成されていることを特徴としている。
本発明の第13の形態は、複数の面型光素子が形成されたウエハを準備する工程と、
<110>オリフラと、(100)表面を有するSiウエハを準備する工程と、
前記Siウエハの裏面にエッチングストップ層を形成する工程と、
前記Siウエハの表面に耐エッチング膜層を形成する工程と、
前記Siウエハと前記面型光素子が形成されたウエハとを貼りつける工程と、
前記Siウエハ上に感光性樹脂を塗布してプリベークする工程と、
前記面型光素子のパターンを赤外線でモニターし、Si表面に前記面型光素子のパターンと所定の位置関係を有するパターンを写真製版で形成する工程と、
前記Siウエハ表面の耐エッチング膜をエッチングして所定のパターンを形成する工程と、
前記Siウエハをアルカリ性の液体で異方性エッチングしてV溝とストップ壁とを形成する工程と、
各素子に分離切断する工程と、
光伝送体を前記V溝に固定する工程と
を含むことを特徴としている。
<110>オリフラと、(100)表面を有するSiウエハを準備する工程と、
前記Siウエハの裏面にエッチングストップ層を形成する工程と、
前記Siウエハの表面に耐エッチング膜層を形成する工程と、
前記Siウエハと前記面型光素子が形成されたウエハとを貼りつける工程と、
前記Siウエハ上に感光性樹脂を塗布してプリベークする工程と、
前記面型光素子のパターンを赤外線でモニターし、Si表面に前記面型光素子のパターンと所定の位置関係を有するパターンを写真製版で形成する工程と、
前記Siウエハ表面の耐エッチング膜をエッチングして所定のパターンを形成する工程と、
前記Siウエハをアルカリ性の液体で異方性エッチングしてV溝とストップ壁とを形成する工程と、
各素子に分離切断する工程と、
光伝送体を前記V溝に固定する工程と
を含むので、後述の図2,図6に示すように、第1乃至第4、第6乃至第12の形態の光結合装置を得ることができる。
本発明の第14の形態は、複数の面型光素子が形成されたウエハを準備する工程と、
<110>オリフラと、前記オリフラに対して(100)面から35.26°傾いた表面を有するSiウエハを準備する工程と、
前記Siウエハの裏面にエッチングストップ層を形成する工程と、
前記Siウエハの表面に耐エッチング膜層を形成する工程と、
前記Siウエハと前記面型光素子が形成されたウエハとを貼りつける工程と、
前記Siウエハ上に感光性樹脂を塗布してプリベークする工程と、
前記面型光素子のパターンを赤外線でモニターし、Si表面に前記面型光素子のパターンと所定の位置関係を有するパターンを写真製版で形成する工程と、
前記Siウエハ表面の耐エッチング膜をエッチングして所定のパターンを形成する工程と、
前記Siウエハをアルカリ性の液体で異方性エッチングしてV溝とストップ壁とを形成する工程と、
各素子に分離切断する工程と、
光伝送体を前記V溝に固定する工程と
を含むことを特徴としている。
<110>オリフラと、前記オリフラに対して(100)面から35.26°傾いた表面を有するSiウエハを準備する工程と、
前記Siウエハの裏面にエッチングストップ層を形成する工程と、
前記Siウエハの表面に耐エッチング膜層を形成する工程と、
前記Siウエハと前記面型光素子が形成されたウエハとを貼りつける工程と、
前記Siウエハ上に感光性樹脂を塗布してプリベークする工程と、
前記面型光素子のパターンを赤外線でモニターし、Si表面に前記面型光素子のパターンと所定の位置関係を有するパターンを写真製版で形成する工程と、
前記Siウエハ表面の耐エッチング膜をエッチングして所定のパターンを形成する工程と、
前記Siウエハをアルカリ性の液体で異方性エッチングしてV溝とストップ壁とを形成する工程と、
各素子に分離切断する工程と、
光伝送体を前記V溝に固定する工程と
を含むので、後述の図4,図8に示すように、第1乃至第12の形態の光結合装置を得ることができる。
本発明の第15の形態は、第1乃至第12のいずれかの形態の光結合装置が用いられることを特徴とする光送信モジュールである。
本発明の第16の形態は、第1乃至第12のいずれかの形態の光結合装置が用いられることを特徴とする光送受信モジュールである。
本発明の第17の形態は、第1乃至第12のいずれかの形態の光結合装置が用いられることを特徴とする光通信システムである。
Claims (2)
- 複数の面型光素子が形成されたウエハを準備する工程と、
<110>オリフラと、(100)表面を有するSiウエハを準備する工程と、
前記Siウエハの裏面にエッチングストップ層を形成する工程と、
前記Siウエハの表面に耐エッチング膜層を形成する工程と、
前記Siウエハと前記面型光素子が形成されたウエハとを貼りつける工程と、
前記Siウエハ上に感光性樹脂を塗布してプリベークする工程と、
前記面型光素子のパターンを赤外線でモニターし、Si表面に前記面型光素子のパターンと所定の位置関係を有するパターンを写真製版で形成する工程と、
前記Siウエハ表面の耐エッチング膜をエッチングして所定のパターンを形成する工程と、
前記Siウエハをアルカリ性の液体で異方性エッチングしてV溝とストップ壁とを形成する工程と、
前記V溝と前記ストップ壁とが形成された前記複数の面型光素子が形成されたウエハを、単独の面型光素子に分離切断する工程と、
光伝送体を前記V溝に固定する工程と
を含むことを特徴とする光結合装置の製造方法。 - 複数の面型光素子が形成されたウエハを準備する工程と、
<110>オリフラと、前記オリフラに対して(100)面から35.26°傾いた表面を有するSiウエハを準備する工程と、
前記Siウエハの裏面にエッチングストップ層を形成する工程と、
前記Siウエハの表面に耐エッチング膜層を形成する工程と、
前記Siウエハと前記面型光素子が形成されたウエハとを貼りつける工程と、
前記Siウエハ上に感光性樹脂を塗布してプリベークする工程と、
前記面型光素子のパターンを赤外線でモニターし、Si表面に前記面型光素子のパターンと所定の位置関係を有するパターンを写真製版で形成する工程と、
前記Siウエハ表面の耐エッチング膜をエッチングして所定のパターンを形成する工程と、
前記Siウエハをアルカリ性の液体で異方性エッチングしてV溝とストップ壁とを形成する工程と、
前記V溝と前記ストップ壁とが形成された前記複数の面型光素子が形成されたウエハを、単独の面型光素子に分離切断する工程と、
光伝送体を前記V溝に固定する工程と
を含むことを特徴とする光結合装置の製造方法。
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JP2004256472A JP4253288B2 (ja) | 2004-09-03 | 2004-09-03 | 光結合装置の製造方法 |
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