JP4249570B2 - テープ貼付方法 - Google Patents
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Description
101 テープ供給装置
102 テープ繰出リール
103 テンションローラ
104 ベーステープ吸引装置
105 カバーテープ吸引装置
106 貼付上下駆動部
107 ACF切断駆動部
108,109 矢印
110 基板ステージ部
111 XYステージ駆動部
1011 挟持部材
1012 サーボモータ
200 ACFテープ
2001 ベーステープ
2002 異方導電性シート
2003 第1の切目
2004 第2の切目
300 基板照明装置
301 撮像装置
302 コントローラ
303 位置入力部
400 基板
401 境界位置
402 検査パターン
Claims (1)
- 台紙テープの一側面にダイボンドシートを貼り付けたダイボンドテープを繰り出す供給リールと、基板表面に所定の貼り付け長さのダイボンドシートを貼り付けた後、前記ダイボンドシートを剥離した台紙テープを回収する回収手段と、前記基板を保持するステージと、このステージをXY方向に駆動させるステージ駆動部と、ダイボンドテープを挟持する挟持手段およびこの挟持手段を貼り付け長さに相当する距離だけ往復移動させる駆動部を有する供給装置と、ダイボンドテープにおいてダイボンドシートのみを所定のテープ貼り付け長さにカットする切断部と、基板の上面を照らす照明装置と、基板の上面を撮像する撮像装置と、前記撮像装置からダイボンドシートの貼り付け後の撮像情報を得るためのダイボンドシート側の輝度レベルと基板側の輝度レベルの差が最大となり境界が明確になるように、基板における貼付検査位置範囲、つまり、前記ダイボンドシートと基板との境界領域全てを含む領域に設けた検査パターンと、前記ステージ駆動部を駆動制御するコントローラと、基板における正常にダイボンドシートが貼り付けられる貼付位置情報、およびこの位置情報に対する実際のダイボンドシートの貼り付け位置のずれの許容量を入力する入力部とを有するテープ貼付装置によるテープ貼付方法であって、
前記撮像装置から出力された撮像情報から前記コントローラが基板位置補正用のマークを認識し、このマークが所定の基準位置に到達するような基板位置補正量を演算によって求め、この演算結果に基づく駆動信号を前記ステージ駆動部に出力してステージを移動させることによって基板位置を補正してから基板に所定の長さのダイボンドシートを貼り付け、その後、前記入力部から入力した貼り付け位置情報に基づく駆動信号を前記コントローラから前記ステージ駆動部に出力してステージを移動させ、前記撮像装置から出力された撮像情報から実際の貼付位置を前記コントローラで算出すると共に、その算出位置結果と前記入力部で入力された貼付位置情報との比較を行い、その差が前記入力部で入力した許容量の範囲外であれば、テープ貼付装置をエラー停止させることを特徴とするテープ貼付方法。
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