JP4241697B2 - フィルム剥離装置 - Google Patents

Description

本発明は、フィルム剥離装置に関し、特に、基板の表面に貼り付けられた偏光板等のフィルムを、その基板から剥離除去する装置に係るものである。

一般に、電気光学パネルである液晶表示パネルは、２枚の矩形状のガラス基板の間に液晶材料を注入して封止した後に、これらガラス基板と略同じ大きさのフィルムである偏光板を、前記各ガラス基板の外側表面に粘着層を介して貼り付けることによって製造される。ところが、この偏光板の貼り付け工程では、ガラス基板と偏光板との間に異物や気泡等が混入してしまうことがある。このような場合には、通常、偏光板をガラス基板から剥離除去し、新たな偏光板を貼り付けることによって、前記ガラス基板を再利用するようにしている。

そこで、偏光板を剥離ローラーで巻き取ることによって、ガラス基板から剥離させる剥離装置が知られている（例えば、特許文献１等参照）。すなわち、剥離ローラーは断面半円状の固定側ローラー及び可動側ローラーからなり、これら固定側ローラー及び可動側ローラーを互いに重ね合わせることにより、断面円状の剥離ローラーが形成されるようになっている。偏光板を剥離除去する場合には、まず、偏光板の一部を予め治具により手作業で剥がしておく。続いて、その剥がした一部を固定側ローラーと可動側ローラーとにより挟んだ状態で、前記剥離ローラーをガラス基板の表面に沿って転動させる。このことにより、偏光板を巻き取って剥離除去する。

ところで、近年では液晶表示パネルの軽量化や薄型化等を目的として、ガラス基板の厚さが従来の１０分の１程度に極めて薄く形成される傾向にある。こうしたガラス基板は強度が小さいため、上記従来のロール巻取り式の剥離装置を適用すると、剥離ローラーから加わる応力によってガラス基板が容易に損傷してしまう。また、手作業により、前記ガラス基板を損傷することなく偏光板の一部を剥離させることは、極めて難しい。さらに近年では、粘着層の粘着力が大きくなる傾向にあるので、偏光板を剥離する際に、従来よりも大きな応力がガラス基板に加わってしまう。その結果、剥離作業に伴って、ガラス基板が変形してセルギャップが不均一になる、もしくはガラス基板自体が損傷するということが問題となる。

これに対し、ガラス基板に加わる応力を低減する目的で、有機溶剤等の流体を噴射しながら剥離作業を行うことにより、粘着層の粘着力を低減することが提案されている（例えば、特許文献２等参照）。すなわち、ガラス基板と偏光板との間に刃（スクレイパー）を挿入することによって偏光板を部分的に剥離する。前記刃には流体を噴射するための噴射口が形成されている。

しかし、剥離する偏光板の幅が噴射口の幅よりも広い場合には、流体が偏光板の全体に均一に噴射されないため、剥離の際にガラス基板の表面に生じる応力の分布にムラが生じ易い。その結果、この場合にも、ガラス基板が変形してセルギャップ不良を生じる、もしくはガラス基板が損傷する虞れがある。

そこで、上記特許文献２には、複数の剥離刃のモジュールを並列にセットすることが示されているが、全てのモジュールの刃先位置をガラス基板上の剥離面に正確に位置合わせしてセットするのは難しく、位置ずれした刃先によりガラス基板が傷ついてしまうという問題もある。さらに、剥離刃のモジュールの数と同数の流体供給モジュールを設けるか、あるいは流体分岐用のマニホールド等を刃とは別に設ける必要があるので、装置コストが高くなってしまうという問題もある。

このように、前記剥離ローラーによる剥離装置や、刃から単に流体を噴射する構成では、薄型化により強度が低下しているガラス基板から、偏光板を適切に剥離除去することは困難である。

そこで、液晶表示パネルが固定されたステージに対し、先端が鋭角な刃を相対移動させる機構によって、前記液晶表示パネルのガラス基板と偏光板との間に前記刃を挿入し、偏光板を剥離除去する剥離装置が知られている（例えば、特許文献３等参照）。

しかし、上述のように、ガラス基板の厚さが偏光板の厚さに対して非常に薄い場合には、機械精度の観点から、偏光板の幅全体に亘って、ガラス基板と偏光板との間の所定位置に刃の先端を正確に挿入させることは難しい。前記所定位置からずれた位置に刃の先端が挿入された場合には、ガラス基板が損傷したり、粘着層がガラス基板表面に残ってしまうという問題が生じる。特に、当該剥離装置の機械精度は、ガラス基板と刃との平行度に依存するため、安価な汎用品のカッター刃を交換しながら使用するユーザーニーズに対応することは難しい。

これに対して、特許文献３には、液晶表示パネルの角部から刃を挿入し、刃を挿入したそのままの方向（つまり、液晶表示パネルの端辺に対して斜め方向）に刃を相対移動させることが示されている。そのことにより、刃の先端をガラス基板と偏光板との間に挿入し易くしている。
特開平１０−２８２４６３号公報 特開２００３−３３５４５４号公報 特開２００４−１９１５７６号公報

ところが、上記特許文献３の剥離装置では、矩形状の偏光板及びガラス基板に対して、その角部から斜め方向に真っ直ぐ刃を相対移動させるようにしているため、刃の先端に接触して剥離される偏光板の幅が、刃の相対移動に伴って連続的に変化してしまう。その結果、刃からガラス基板に加わる応力の分布が不均一になってしまうために、ガラス基板間のセルギャップの乱れや、ガラス基板自体の損傷といった問題が生じる。

本発明は、斯かる諸点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、刃部の先端が基板とフィルムとの間に容易に挿入されると共に、基板に加わる応力の分布を可及的に一定に維持することにより、電気光学パネルのセルギャップの乱れや、基板自体の損傷を未然に防止しようとすることにある。

上記の目的を達成するために、この発明では、基板に対する刃部の先端の傾きを変化させるようにした。

具体的に、本発明に係るフィルム剥離装置は、矩形状の基板と、該基板の表面に貼り付けられたフィルムとを有する電気光学パネルに対し、前記基板の表面から前記フィルムを剥離除去するためのフィルム剥離装置であって、前記電気光学パネルを固定支持するパネル固定機構と、前記フィルムを前記基板から剥離するための刃部と、前記刃部を固定支持する刃部固定機構と、前記刃部固定機構及びパネル固定機構を、該パネル固定機構に固定支持されている前記基板の表面と平行な方向に相対移動させることにより、前記刃部を前記基板と前記フィルムとの間に挿入させる移動機構と、前記パネル固定機構に固定支持されている前記基板の端辺に対する前記刃部の先端の傾きを変化させる傾き変化機構とを備え、
前記傾き変化機構は、前記刃部が前記基板と前記フィルムとの間に挿入される当初には、前記刃部の先端と前記基板の端辺との傾きを所定の角度に規定すると共に、前記移動機構による前記刃部固定機構の相対移動に伴って、前記刃部の先端と前記基板の端辺との傾きを、前記所定の角度からゼロに変化させることを特徴とする。

前記傾き変化機構は、カム機構を有していることが好ましい。

前記刃部の高さ位置を調節する調節機構を有していてもよい。

前記刃部固定機構は、前記刃部の先端側へ流体を供給するための流体供給部を有していることが好ましい。

前記流体供給部は、前記刃部の基端側から先端側へ放射状に延びると共に流体が流通する分岐通路を有していてもよい。

前記刃部固定機構は、前記刃部を脱着可能に固定支持することが好ましい。

−作用−
次に、本発明の作用について説明する。

電気光学パネルの基板からフィルムを剥離する場合には、まず、刃部を刃部固定機構に固定支持させると共に、電気光学パネルをパネル固定機構に固定支持させる。続いて、移動機構によって、刃部固定機構とパネル固定機構とを相対移動させる。すなわち、パネル固定機構を固定配置した状態で刃部固定機構を移動させてもよく、その逆に、刃部固定機構を固定配置した状態でパネル固定機構を移動させてもよい。

本発明に係るフィルム剥離装置には傾き変化機構が設けられているので、パネル固定機構に固定支持されている基板の端辺に対する刃部の先端の傾きを変化させることができる。すなわち、刃部が基板とフィルムとの間に挿入される当初には、前記刃部の先端を基板の端辺に対して所定の角度に傾かせることが可能となる。このことにより、矩形状の基板の角部から刃部を挿入することができるため、刃部の先端は基板とフィルムとの間に容易に挿入される。さらに、その後に、刃部の傾きを前記所定の角度からゼロに変化させることが可能となる。つまり、刃部を基板の辺方向に沿って相対移動させることができるため、刃部から基板へ加わる応力は一定に維持される。

また、傾き変化機構による刃部先端の傾きを、移動機構による刃部固定機構の相対移動に伴って変化させることにより、フィルムは基板から連続して好適に剥離除去される。

また、傾き変化機構がカム機構を有していると、刃部は簡単な構成によって相対移動する。さらに、刃部の高さを調節する調節機構を備えることにより、刃部をより正確に基板とフィルムとの間に挿入させることが可能となる。また、刃部固定機構に流体供給部を設けることにより、その流体供給部から刃の先端へ供給された流体によって、フィルムを容易に剥離することが可能となる。また、刃部固定機構を、刃部が脱着可能な構成とすることにより、比較的安価な汎用品の刃を前記刃部として適用することが可能となる。

本発明によれば、まず、刃部を基板の表面と平行な方向に移動させる移動機構を設けるようにしたので、フィルムを基板から適切に剥離させることが可能となる。そのことに加えて、刃部の挿入当初には、傾き変化機構によって刃部の先端を基板の端辺に対して所定の角度で傾けることができるため、刃部を基板の角部から容易に挿入することができる。さらに、一旦、刃部が基板とフィルムとの間に挿入された後には、傾き変化機構によって刃部の傾きをゼロにできるため、刃部を基板の辺方向に相対移動させて、刃部から基板に加わる応力を一定に維持することができる。その結果、フィルムの剥離に伴う電気光学パネルのセルギャップの乱れや、基板自体の損傷を防止することができる。

以下、本発明の実施形態を図面に基づいて詳細に説明する。尚、本発明は、以下の実施形態に限定されるものではない。

《発明の実施形態１》
図１〜図１２は、本発明の実施形態１を示している。図２は本実施形態のフィルム剥離装置Ｓを示す斜視図であり、図１は、図２における刃部６の保護カバー１２を省略して示す斜視図である。以降、理解の容易化のため、保護カバー１２の図示を省略した図面を参照して説明する。

ここで、例えば平面図である図１２において、上下方向を「前後方向」と称する一方、左右方向を「左右方向」と称する。

フィルム剥離装置Ｓは、電気光学パネルを構成する基板の表面からフィルムを剥離除去するための装置である。図３に示すように、本実施形態のフィルム剥離装置Ｓは、電気光学パネルである液晶表示パネル１を構成するガラス基板２からフィルムである偏光板３を剥離除去するように構成されている。

液晶表示パネル１は、図３に示すように、表示媒体層である液晶層（図示省略）を狭持する一対のガラス基板２を備えている。すなわち、各ガラス基板２の間には、図示省略の複数のスペーサが介在されることにより所定のセルギャップが規定され、このセルギャップ内に液晶層が設けられている。

ガラス基板２は、平面視で矩形状に形成されている。ガラス基板２の外側表面には、粘着層１６を介して偏光板３が貼り付けられている。偏光板３は、貼り付けられているガラス基板２と略同じ大きさの矩形状に形成されている。一方のガラス基板２には、図１に示すように、フレキシブルプリント基板４が接続されている。そして、偏光板３とガラス基板２との間に塵等が介在して不良が生じている場合には、フィルム剥離装置Ｓの刃部６によって、偏光板３を粘着層１６と共に剥離除去される。

図１に示すように、フィルム剥離装置Ｓは、液晶表示パネル１を固定支持するパネル固定機構５と、偏光板３をガラス基板２から剥離するための刃部６と、刃部６を固定支持する刃部固定機構７と、パネル固定機構５を刃部６に対して相対移動させる移動機構８と、刃部６の先端の傾きを変化させる傾き変化機構９とを備えている。

前記パネル固定機構５は、足つきの基台１０の上に移動機構８を介して装着され、上面に液晶表示パネル１が載置されるステージ２１と、液晶表示パネル１の後端を当接支持するストッパ部２２とを有している。

ステージ２１は、例えば図１２に示すように、平面視で、前後方向及び左右方向にそれぞれ辺が延びる略矩形板状に形成されている。ステージ２１の前端部及び後端部には、左右方向に延びるブラケット２３，２４がそれぞれ取付固定されている。これらブラケット２３，２４は、ステージ２１の左右両側端からそれぞれ外側に突出している。ステージ２１の左側に突出しているブラケット２３，２４には、前後方向に延びるガイド軸２５が挿通された状態で固定支持されている。また、各ブラケット２３，２４の左側端部は、前後方向に延びる側壁部２７を介して接続固定されている。側壁部２７には、ガイド軸２５に沿って延びるスリット２８が形成されている。一方、ステージ２１の右側に突出している各ブラケット２３，２４に付いても同様に、前後方向に延びるガイド軸２６が固定支持されている。

ストッパ部２２は、液晶表示パネル１の後端を支持する支持部３１と、フレキシブルプリント基板４を保護する保護部３２とにより構成されている。

支持部３１は、ステージ２１の上面に沿って左右方向に延びる板状部分３１ａと、その板状部分３１ａの左右両端に設けられたガイド部分３１ｂとにより構成されている。各ガイド部分３１ｂには前後方向に延びる貫通孔３３がそれぞれ形成されている。そして、各貫通孔３３に前記ガイド軸２５，２６がそれぞれ挿通されることにより、支持部３１は、保護部３２と共にガイド軸２５，２６に沿って前後方向にスライド移動するように構成されている。

保護部３２は、支持部３１の右側端部において上下に揺動可能に支持されている。そして、保護部３２は、図１に示す上方の開放位置から下方の倒伏位置へ揺動して支持部３１に重なることによって、フレキシブルプリント基板４を保護部３２と支持部３１との間に挟んで保護するようになっている。

また、支持部３１における左側のガイド部分３１ｂには、調節ねじ３４が側壁部２７の外側からスリット２８を介して螺合して設けられている。このことにより、ストッパ部２２をガイド軸２５，２６に沿って移動させ、その支持部３１が、ステージ２１上の液晶表示パネル１の後端に当接した位置で、調節ねじ３４を締めることにより、位置決めを行うようになっている。

刃部６は、分解斜視図である図７に示すように、汎用されているカッター刃により構成されている。刃部６は、刃部固定機構７により脱着可能に固定支持されている。図６は、刃部６及び刃部固定機構７の外観を示す斜視図である。

刃部固定機構７は、図７に示すように、第１刃押さえ部３６と、第２刃押さえ部３７と、これら第１及び第２刃押さえ部３６，３７により、刃部６と共に狭持される位置合わせ板３９とを備えている。第１及び第２刃押さえ部３６，３７は、先端へ向かって断面が小さくなる断面テーパ状の板部材によってそれぞれ形成されている。第１刃押さえ部３６の基端側には、後述の支持軸３５に取付固定するための２つの取付部３８が、所定の間隔をおいて形成されている。そして、当接面である上面３６ａで刃部６の下面を支持するようになっている。一方、第２刃押さえ部３７についても、当接面である下面３７ａで刃部６の上面を当接支持するように構成されている。

位置合わせ板３９は、第１及び第２刃押さえ部３６，３７に対する刃部６の位置を規定するための板状部材であり、刃部６の外形に合わせた切り欠き４０と、第１刃押さえ部３６の取付部３８の外形に合わせた２つの切り欠き４１とがそれぞれ形成されている。そうして、斜視図である図８に示すように、刃部６及び位置合わせ板３９の各上面は、第１刃押さえ部３６に装着された状態で、同じ平面を構成するようになっている。また、刃部６の先端は、刃部固定機構７に固定支持された状態で、刃部固定機構７の先端から突出している。

そして、刃部固定機構７は、図７に示すように、例えば有機溶剤等の流体を刃部６の先端側へ供給するための流体供給部４１を有している。流体供給部４１は、第１刃押さえ部３６に穿孔された通路４２と、通路４２に接続されたポート４３と、第１刃押さえ部３６の上面３６ａに形成された分岐通路４４とを有している。

通路４２は、第１刃押さえ部３６の上面３６ａの開口４２ａと、第１刃押さえ部３６の基端側側面３６ｂの開口４２ｂとを繋いでいる。開口４２ｂには、ポート４３が設けられている。分岐通路４４は、例えば３本の溝４４によって構成されており、これらの溝４４は、刃部６の基端側に配置されている開口４２ａから刃部６の先端側へ向かって放射状に延びている。各溝４４は、刃部６及び位置合わせ板３９の各下面により閉塞されることによって通路を構成する。こうして、ポート４３から通路４２へ導入された流体は、分岐通路４４を流通して、刃部６の先端側へ分散して供給される。

一方、図１に示すように、基台１０には、左右方向に向かい合う一対の支持壁４６が設けられている。この一対の支持壁４６の間には、前記刃部固定機構７を固定支持する支持軸３５が架け渡されている。支持軸３５の右側端部には、レバー４７が取付固定されている。レバー４７を上下に揺動させることにより、刃部固定機構７は、支持軸３５と一体に上下に揺動する。また、図１で左側の支持壁４６には、レバー４７によって調節された刃部固定機構７の揺動角度を固定するための固定ねじ４８が設けられている。そのことにより、刃部６の高さ位置が調節できるようになっている。すなわち、前記刃部固定機構７、支持軸３５、支持壁４６、レバー４７、及び固定ねじ４８は、刃部６の高さ位置を調節する調節機構５０を構成している。

また、側面図である図４に示すように、刃部６を新しい刃に交換する場合等には、レバー４７によって刃部固定機構７を上方に大きく揺動させる。このことにより、図４で二点鎖線で示す位置において、刃部６を容易に交換することができる。

前記移動機構８は、正面図である図５に示すように、ステージ２１の下側に無給油スライドワッシャ５２を介して配設されたハンドル部５３と、ハンドル部５３に一体に固定された台車部５４と、基台１０の上面に設けられたレール部５５とにより構成されている。

レール部５５は、前後方向に延びると共に左右外側に傾斜した２つの傾斜面５５ａを有する凸条部材により形成されている。前記各傾斜面５５ａには、前後方向に延びるレール溝５６が形成されている。レール溝５６は、ステージ２１の上面に平行な方向に延びている。

台車部５４の底部には、前記レール溝５６に嵌め込まれるベアリング５７が回転自在に設けられている。台車部５４の上部にはハンドル部５３が一体に固定され、ハンドル部は、底面図である図１０に示すように、スライドワッシャ５２に一体に固定されている。そうして、スライドワッシャ５２、ハンドル部５３及び台車部５４が一体となってレール溝５６上を前後方向に移動することにより、ステージ２１は、スライドワッシャ５２の上に配設された状態で、レール溝５６に沿って前後に移動する。

こうして、移動機構８は、パネル固定機構５をレール溝５６に沿って前方へ移動させることにより、刃部固定機構７及びパネル固定機構５を、パネル固定機構５に固定支持されている液晶表示パネル１のガラス基板２の表面と平行な方向に相対移動させる。そのことにより、刃部固定機構７に固定支持されている刃部６を、ガラス基板２と偏光板３との間に挿入させるようになっている。

そして、前記傾き変化機構９は、パネル固定機構５に固定支持されているガラス基板２の端辺に対する刃部の６先端の傾きを変化させるように構成されている。傾き変化機構９は、移動機構８による刃部固定機構７の相対移動に伴って、刃部６の先端の傾きを変化させる。

すなわち、基台１０の平面図である図９、及び図５に示すように、基台１０には、上方に突出する２つの支持ピン５８が前後方向に所定の間隔をおいて設けられている。各支持ピン５８の上部には、水平方向に延びるプレート５９が支持されている。プレート５９には、図９に示すように、カム溝６０が形成されている。一方、ステージ２１の下面には、下方に突出するピン６１が取付固定されている。ピン６１の下端部は、カム溝６０に係合している。そして、ピン６１の下端にねじ６２がフランジ状に設けられることにより、ピン６１がカム溝６０から外れないようになっている。

カム溝６０は、図９に示すように、平面視で、左斜め前方へ延びる溝部ａと、溝部ａの前端から右斜め前方へ延びる溝部ｂと、溝部ｂの前端から前方へ直線状に延びる溝部ｃとの各部分から構成されている。このように、傾き変化機構９は、カム溝６０とピン６１とからなるカム機構を有している。

一方、ステージ２１の下面には、図１０に示すように、スライドワッシャ５２の側面に接触する例えば４つのベアリング６４が回転自在に設けられている。各ベアリング６４は、スライドワッシャ５２の円周方向に所定の間隔で配置されている。そうして、各ベアリング６４がスライドワッシャ５２の側面に当接した状態で回転できることから、ステージ２１は、スライドワッシャ５２に対して回転可能になっている。

そうして、傾き変化機構９は、カム溝６０に沿ってピン６１が移動することにより、刃部６がガラス基板２と偏光板３との間に挿入される当初には、刃部６の先端とガラス基板２の端辺との傾きを所定の角度θに規定すると共に、刃部６の相対移動に伴って、刃部６の先端とガラス基板２の端辺との傾きを、前記所定の角度θからゼロに変化させるようになっている。

−偏光板の剥離除去方法−
すなわち、前記フィルム剥離装置Ｓによって液晶表示パネル１のガラス基板２から偏光板３を剥離除去する場合には、まず、パネル固定機構５のステージ２１の上に、液晶表示パネル１を載置する。続いて、パネル固定機構５の支持部３１をガイド軸２５，２６に沿って前後に移動させることにより、支持部３１を液晶表示パネル１の後端に当接させ、調節ねじ３４を締めて位置決めする。さらに、パネル固定機構５の保護部３２を下方の倒伏位置へ揺動させることにより、液晶表示パネル１のフレキシブルプリント基板４を、支持部３１と保護部３２との間に挟んで保護する。

続いて、レバー４７を上下動させて、刃部６の高さがガラス基板２と偏光板３との間に一致するように、刃部固定機構７の高さ位置を調節し、固定ねじ４８を締めて固定する。その後、移動機構８のハンドル部５３を操作して、パネル固定機構５をレール溝５６に沿って前方へ移動させる。パネル固定機構５を移動させる前（つまり、パネル固定機構５が最も後側に配置されているとき）には、ステージ２１及びガラス基板２の端辺は、刃部６の先端と平行になっている（この向きを、当初の向きと称する）。

移動機構８によるパネル固定機構５の移動に伴って、ステージ２１は、パネル固定機構５に固定されている液晶表示パネル１の端辺（つまり、ガラス基板の端辺）に対する角度が変化する。図９に示すように、ピン６１がカム溝６０の溝部ａを移動すると、そのピン６１の移動に伴って、ステージ２１は、図１１に示すように、時計回りに所定の角度θだけ回転する。溝部ａの前端にピン６１が到達したとき又はその前後のタイミングで、刃部６は、ガラス基板２の角部から、ガラス基板２と偏光板３との間に挿入される。

刃部６の先端側には、剥離開始と同時又はそれ以前から、流体供給部４１により有機溶剤等の流体が供給されている。すなわち、図示省略のポンプ等からポート４３へ供給された流体は、通路４２及び分岐通路４４を通って、刃部６の先端側へ流出する。流体には、例えば、エタノール又はアセトンを適用することが好ましい。そのことにより、粘着層１６の粘着力を低下させて、偏光板３及び粘着層１６の剥離除去を容易に行うことが可能となる。

続いて、ピン６１がカム溝６０の溝部ｂを移動すると、そのピン６１の移動に伴って、ステージ２１は前記所定の角度θだけ反時計回りに回転し、溝部ｂの前端にピン６１が到達したときに、図１２に示すように、当初の向きに戻る。

その後、ピン６１がカム溝６０の溝部ｃを移動すると、そのピン６１の移動に伴って、ステージ２１は前記当初の向きを維持した状態で、前方へ移動する。このことにより、偏光板３及び粘着層１６は、図３に示すように剥離除去されていく。

−実施形態１の効果−
したがって、本実施形態１によると、まず、刃部６をガラス基板２の表面に対して平行に相対移動させるようにしたので、刃部６からガラス基板２へ加わる応力を低減しながら、偏光板３を粘着層１６と共にガラス基板２から剥離除去することができる。さらに、傾き変化機構９を設けるようにしたので、パネル固定機構５に固定支持されているガラス基板２の端辺（言い換えれば、液晶表示パネル１の端辺）に対する刃部６の先端の傾きを変化させることができる。すなわち、刃部６がガラス基板２と偏光板３との間に挿入される当初には、図１１に示すように、刃部６の先端をガラス基板２の端辺に対して所定の角度θに傾かせることができる。このことにより、矩形状のガラス基板２の角部から刃部を挿入することができるため、刃部６の先端をガラス基板２と偏光板３との間に容易に挿入することができる。さらに、刃部６を刃部固定機構７から脱着可能に構成したので、汎用品のカッター刃であっても、刃部６として好適に使用することができる。

そのことに加え、その後さらに、傾き変化機構９によって、刃部６の傾きを所定の角度θからゼロに変化させることができる。つまり、ガラス基板２の前側の端辺と刃部６の先端とが平行になるようにして、刃部６をガラス基板２の左右方向の端辺方向に沿って相対移動させることができる。その結果、薄型化されたガラス基板２であっても、刃部６の先端に接触して剥離される偏光板３の幅が、ガラス基板２の左右方向の幅と同じ大きさで、刃部６の相対移動に拘わらず一定に維持されるため、刃部６からガラス基板２へ加わる応力を一定に維持でき、液晶表示パネル１のセルギャップの乱れや、ガラス基板２自体の損傷を防止することができる。

さらに、傾き変化機構９による刃部６先端の傾きを、移動機構８による刃部固定機構７の相対移動に伴って変化させるようにしたので、偏光板３をガラス基板２から連続して好適に剥離除去できる。

また、傾き変化機構９がカム溝６０及びピン６１からなるカム機構を有しているので、刃部６の傾きを簡単な構成によって連続的に変化させることができる。さらに、刃部６の高さを調節する調節機構５０を備えるようにしたので、刃部６をより正確にガラス基板２と偏光板３との間に挿入させることが可能となる。

さらにまた、刃部固定機構７に流体供給部４１を設けたので、流体供給部４１から刃部６の先端へ供給された流体によって、偏光板３を容易に剥離することができる。さらに、流体供給部４１が分岐通路４４を有するようにしたので、流体を刃部６の先端側に分散して供給できるため、粘着層１６を偏光板３と共に確実に剥離除去することが可能となる。さらに、分岐通路４４を刃部６自体ではなく、第１刃押さえ部３６に形成したので、刃部６については汎用品のカッター刃を適用することが可能となる。

《発明の実施形態２》
図１３及び図１４は、本発明の実施形態２を示している。尚、以下の実施形態では、図１〜図１２と同じ部分については同じ符号を付して、その詳細な説明を省略する。

本実施形態は、上記実施形態１では第１刃押さえ部３６に形成した流体供給部４１の分岐通路４４を、別途設けた板部材４０に形成するようにしたものである。

すなわち、図１３に示すように、本実施形態の刃部固定機構７は、第１刃押さえ部３６と、第２刃押さえ部３７と、板部材４０とにより構成されている。第１刃押さえ部３６の先端部には段差部分が形成され、この段差部分に刃部６が装着される。刃部６が装着されることにより、第１刃押さえ部３６の段差は解消され、刃部６の上面と第１刃押さえ部３６の上面とが同一の平面を構成する。また、第１刃押さえ部３６には、図１３及び断面図である図１４に示すように、流体ポンプ（図示省略）に接続されるポート４５が設けられている。

板部材４０は、例えば３つの分岐通路４４がスリット状に形成されている。分岐通路４４は、第１刃押さえ部３６の基端側から先端側へ向かって放射状に延びている。そして、板部材４０は、刃部６及び第１刃押さえ部３６の上面に重ね合わされる。さらに、第２刃押さえ部３７が、板部材４０の上面に重ね合わされてボルト等により締結固定されている。

そのことにより、スリット状の分岐通路４４は、第１刃押さえ部３６及び刃部６の各上面と、第２刃押さえ部３７の下面とにより区画されて通路を構成する。そして、流体ポンプから供給された有機溶剤等の流体が、ポート４５から分岐通路４４へ導入され、分岐通路４４の先端から刃部６の先端側へ供給される。このことによっても、上記実施形態１と同様に、偏光板３を容易に剥離除去することができる。

《その他の実施形態》
本発明は、上記実施形態１について、傾き変化機構９がカム機構を有しない構成としてもよい。すなわち、支持ピン５８と、カム溝６０が形成されたプレート５９と、ピン６１及びねじ６２とを省略し、ハンドル部５３にではなくステージ２１自体にハンドルを設けることが可能である。

すなわち、使用者は、ステージ２１に設けたハンドルを前後方向に移動させることにより、レール溝５６に沿ってステージ２１を移動させることができると共に、前記ハンドルを左右方向に移動させることにより、ステージ２１をスライドワッシャ５２周りに回転させることができる。したがって、刃部６の液晶表示パネル１への挿入当初にはステージ２１の前端を刃部６に対して所定の角度θで傾けることができ、その後に、ステージ２１の傾きを解消し、真っ直ぐ前方へステージ２１を移動させることができる。その結果、上記実施形態１と同様に、セルギャップの乱れや、ガラス基板２自体の損傷を防止することが可能となる。

また、ステージ２１に、真空ポンプに接続された複数の吸着口を形成し、液晶表示パネル１をこれらの各吸着口により吸着固定するようにしてもよい。このことにより、液晶表示パネル１を確実に固定支持できる点で好ましい。

さらに、レバー４７と支持軸３５との間に減速ギアを介在させ、例えば減速比を８：１程度に設定してもよい。そのことにより、刃部６の位置を容易に微調整することができる。

また、上記各実施形態では、刃部固定機構７を固定配置する一方、パネル固定機構５を移動させるようにしたが、本発明はこれに限定されず、パネル固定機構５を固定配置する一方、刃部固定機構７を移動させるような装置構成としてもよい。

以上説明したように、本発明は、基板の表面に貼り付けられた偏光板等のフィルムを、その基板から剥離する装置について有用であり、特に、刃部の先端を基板とフィルムとの間に容易に挿入すると共に、電気光学パネルのセルギャップの乱れや、基板自体の損傷を未然に防止する場合に適している。

保護カバーを取り外した状態のフィルム剥離装置の外観を示す斜視図である。 保護カバーを取り付けた状態のフィルム剥離装置の外観を示す斜視図である。 剥離除去される偏光板及び粘着層を示す断面図である。 フィルム剥離装置の要部を示す側面図である。 フィルム剥離装置の外観を示す正面図である。 刃部及び刃部固定機構を示す斜視図である。 刃部固定機構の構造を示す分解斜視図である。 第１刃押さえ部に装着された刃部６及び位置合わせ板を示す斜視図である。 基台及びプレートのカム溝を示す平面図である。 スライドワッシャ、ベアリング及びステージを示す底面図である。 刃部に対して角度θ傾いたステージを示す平面図である。 刃部に対する傾きがゼロに戻ったステージを示す平面図である。 実施形態２の刃部及び刃部固定機構を示す分解斜視図である。 実施形態２の刃部及び刃部固定機構を示す断面図である。

符号の説明

Ｓ フィルム剥離装置
θ 所定の角度
１ 液晶表示パネル（電気光学パネル）
２ ガラス基板（基板）
３ 偏光板（フィルム）
５ パネル固定機構
６ 刃部
７ 刃部固定機構
８ 移動機構
９ 傾き変化機構
１６ 粘着層
２１ ステージ
２２ ストッパ部
２５，２６ ガイド軸
３１ 支持部
３２ 保護部
３５ 支持軸（調節機構）
３６ 第１刃押さえ部
３７ 第２刃押さえ部
３９ 位置合わせ板
４１ 流体供給部
４２ 通路
４２ａ，４２ｂ 開口
４３ ポート
４４ 分岐通路、溝
４７ レバー（調節機構）
５０ 調節機構
５２ スライドワッシャ
５３ ハンドル部
５４ 台車部
５５ レール部
５８ 支持ピン
６０ カム溝（カム機構）
６１ ピン（カム機構）
６４ ベアリング

Claims (6)

1. 矩形状の基板と、該基板の表面に貼り付けられたフィルムとを有する電気光学パネルに対し、前記基板の表面から前記フィルムを剥離除去するためのフィルム剥離装置であって、
   前記電気光学パネルを固定支持するパネル固定機構と、
   前記フィルムを前記基板から剥離するための刃部と、
   前記刃部を固定支持する刃部固定機構と、
   前記刃部固定機構及びパネル固定機構を、該パネル固定機構に固定支持されている前記基板の表面と平行な方向に相対移動させることにより、前記刃部を前記基板と前記フィルムとの間に挿入させる移動機構と、
   前記パネル固定機構に固定支持されている前記基板の端辺に対する前記刃部の先端の傾きを変化させる傾き変化機構と、
   を備え、
   前記傾き変化機構は、前記刃部が前記基板と前記フィルムとの間に挿入される当初には、前記刃部の先端と前記基板の端辺との傾きを所定の角度に規定すると共に、前記移動機構による前記刃部固定機構の相対移動に伴って、前記刃部の先端と前記基板の端辺との傾きを、前記所定の角度からゼロに変化させることを特徴とするフィルム剥離装置。
2. 請求項１において、
   前記傾き変化機構は、カム機構を有していることを特徴とするフィルム剥離装置。
3. 請求項１において、
   前記刃部の高さ位置を調節する調節機構を有していることを特徴とするフィルム剥離装置。
4. 請求項１において、
   前記刃部固定機構は、前記刃部の先端側へ流体を供給するための流体供給部を有していることを特徴とするフィルム剥離装置。
5. 請求項４において、
   前記流体供給部は、前記刃部の基端側から先端側へ放射状に延びると共に流体が流通する分岐通路を有していることを特徴とするフィルム剥離装置。
6. 請求項１において、
   前記刃部固定機構は、前記刃部を脱着可能に固定支持することを特徴とするフィルム剥離装置。

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