JP4216582B2 - 不揮発性強誘電体メモリ装置 - Google Patents

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Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、不揮発性強誘電体メモリ装置に関し、より詳しくはチップイネーブル信号の遷移時点によりセル動作を行わず、アドレス遷移時点、リセット信号遷移時点及び書き込みイネーブル時点でのみセル動作を行って全体のチップ動作の回数を減少させ、全体のチップ動作を行わずにセンスアンプにラッチされたデータを出力することができるため、セル信頼性を向上させて電力の消耗を減少させることができる不揮発性強誘電体メモリ装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
一般に、不揮発性強誘電体メモリ(Ferroelectric Random Access Memory;FRAM)はディラム(Dynamic Random Access Memory;DRAM)と類似するデータ処理速度を有し、電源のオフ(off)時にもデータが保存される特性(不揮発性)のため次世代記憶素子として注目されている。
FRAMは、DRAMと殆ど類似した構造を有する記憶素子であり、キャパシタの材料に強誘電体を用いて強誘電体の特性である高い残留分極を利用したものである。このような残留分極特性により電界を除去してもデータが消失されない。
【0003】
図1は、一般的な強誘電体のヒステリシス曲線を示すグラフである。
強誘電体のヒステリシス曲線は、電界により誘起された分極が電界を除去しても残留分極(又は自発分極)の存在により消滅せず、一定量(d、a状態)を保持しているのを示している。
不揮発性強誘電体メモリセルは、図1のd、a状態をそれぞれ1、0に対応させて記憶素子に貯蔵されたデータに応用したものである。
【0004】
以下、従来の技術に係る不揮発性強誘電体メモリ装置を、図面を参照して説明する。
図2は、従来の技術に係る不揮発性強誘電体メモリの単位セルを示す図である。
不揮発性強誘電体メモリの単位セルは、一方向に形成されたビットラインBLと、ビットラインBLと直角に交差する方向に形成されたワードラインWLと、ワードラインWLと一定の間隔を置いてワードラインWLと同一の方向に形成されたプレートラインPLと、ゲートがワードラインWLに連結され、ドレーンはビットラインBLに連結されるトランジスタT1と、2つの端子のうち1つの端子が前記トランジスタT1のソースに連結され、他の端子がプレートラインPLに連結される強誘電体キャパシタFC1を含んで構成されている(例えば、特許文献1参照)。
【0005】
このような構成を有する従来の技術に係る不揮発性強誘電体メモリ装置のデータ入出力動作を、図面を参照して説明すると次の通りである。
図3(a)は、従来の技術に係る不揮発性強誘電体メモリ装置の書き込みモード(write mode)の動作を示すタイミング図である。
先ず、書き込みモードの場合、外部から印加されるチップイネーブル信号CEBがハイレベルからローレベルに活性化され、次いで、入力されたアドレスがディコーティングされ、該当ワードラインWLがイネーブルされ、すなわち、ワードラインWLの電位がローレベルからハイレベルに遷移してセルが選択される。このように、ワードラインWLがハイレベル状態を保持している間、該当プレートラインPLには順次一定区間のハイレベル信号と一定区間のローレベル信号が印加される。
そして、選択されたセルに論理1又は0値を書き込むため、該当ビットラインBLにハイレベル又はローレベルの入力されたデータ信号DINを印加する。
すなわち、ビットラインBLにハイレベル信号を印加し、ワードラインWLに印加される信号がハイレベル状態の区間で、プレートラインPLに印加される信号がローレベルであれば強誘電体キャパシタFC1には論理1値が書き込まれる。
そして、ビットラインBLにローレベル信号を印加し、プレートラインPLに印加される信号がハイレベル信号であれば、強誘電体キャパシタFC1には論理0値が書き込まれる。
【0006】
図3(b)は、従来の技術に係る不揮発性強誘電体メモリ装置の読み出しモード(read mode)の動作を示すタイミング図である。
外部でチップイネーブル信号CEBをハイレベルからローレベルに活性化させると、全てのビットラインBLはローレベル電圧に等電位化される。
そして、各ビットラインBLを活性化させた後アドレスをディコーティングし、ディコーディングされたアドレスにより該当ワードラインWLがイネーブルされ、すなわち、ワードラインWLの電位がローレベルからハイレベルに遷移されてセルが選択される。
選択されたセルのプレートラインPLにハイレベル信号を印加し、強誘電体メモリに貯蔵された論理1値に対応するデータを破壊させる。
若し、強誘電体メモリに論理0値が貯蔵されていれば、それに対応するデータは破壊されない。
このように破壊されたデータと破壊されていないデータは、前述のヒステリシス曲線の原理により互いに異なる値を出力することになり、センスアンプは論理1値又は論理0値をセンシングすることになる。
すなわち、データが破壊された場合は図1のヒステリシス曲線でのようにdからfに変更される場合であり、データが破壊されない場合はaからfに変更される場合である。
したがって、一定時間が経過した後センスアンプイネーブル信号SENが活性化されてセンスアンプがイネーブルされると、データが破壊された場合は増幅されて論理0値を出力する。
このように、センスアンプでデータを出力した後は元のデータに復元しなければならないため、該当ワードラインWLにハイレベル信号を印加した状態でプレートラインPLをハイレベルからローレベルに非活性化させる。
【0007】
図4は、従来の技術に係る不揮発性強誘電体メモリ装置でセル動作を行うためのチップ制御信号が発生するブロック図を示す図である。
チップイネーブル信号バッファ1は、チップイネーブルパッドに入力された信号CEBPADを受信してチップイネーブル信号CEBを出力する。
アドレスバッファ2は、アドレスバッドに入力されたアドレスADDPAD<m:0>を受信してアドレスADD<m:0>を出力する。
チップイネーブル信号遷移検出部3は、チップイネーブル信号CEBを受信してチップイネーブル信号CEBの遷移時点を検出し、チップイネーブル信号遷移検出信号CTDを出力する。
アドレス遷移検出部4は、アドレスADD<m:0>を受信してアドレスADD<m:0>の遷移時点を検出し、アドレス遷移検出信号ATDを出力する。
合成部5は、チップイネーブル信号遷移検出信号CTD及びアドレス遷移検出信号ATDを利用して合成された遷移検出信号TDSを出力する。
チップ制御信号発生部6は、チップイネーブル信号CEBに応じて合成された遷移検出信号TDSを利用してチップ制御信号等を出力する。
ここで、アドレスバッファ2から出力されたアドレスADD<m:0>はディコーダ7によりディコーディングされ、ワードライン又はビットラインを選択する。
【0008】
【特許文献1】
特開平11−121705号公報
【0009】
【発明が解決しようとする課題】
このように、従来の技術に係る不揮発性強誘電体メモリ装置はチップイネーブル信号CEBがハイレベルからローレベルに遷移する度にチップ全体が動作するが、強誘電体キャパシタに貯蔵されたデータを読み出すときキャパシタが破壊モード(destructive mode)で動作するので強誘電体膜の疲労(ferroelectric material fatigue)現象に弱く、キャパシタに貯蔵されたデータを読み出した後は必ず元のデータを書き込まなければならないので制御の複雑性とアクセス時間が遅延し、消費電流が増加するという問題点がある。
【0010】
前記の問題点を解決するための本発明の目的は、チップイネーブル信号の遷移時点でセル動作を行わず、リセット信号遷移時点及び書き込みイネーブル信号の遷移時点でセル動作を行って全体チップが動作する回数を減少させるので、セル信頼性を向上させて電力の消耗を減少させることにある。
【0011】
【課題を解決するための手段】
前記目的を達成するため、本発明に係る不揮発性強誘電体メモリ装置は、ワードライン及びプレートラインにより選択され、ビットラインを介してデータを格納するか格納されたデータを読み取る複数の強誘電体メモリセルを含むセルアレイを備えており、
前記ワードライン及び前記ビットラインを選択するため、アドレスパッドを介して入力されたアドレスをチップ動作が行われる区間に入力され、チップ動作が行われない区間の間にラッチするアドレスラッチ、リセット動作とチップ動作が全て行われる開始時点を検出してリセット信号遷移検出信号を出力するリセット信号遷移検出手段、書き込み動作が開始される時点を検出して書き込みイネーブル信号遷移検出信号を出力する書き込みイネーブル信号遷移検出手段、前記アドレスラッチにより選択的にラッチされたアドレスの遷移時点を検出したアドレス遷移検出信号、前記リセット信号遷移検出信号及び前記書き込みイネーブル信号遷移検出信号を合成して遷移合成信号を出力する合成手段、及び前記遷移合成信号を利用してチップ制御信号を発生するチップ制御信号発生手段を含み、外部制御信号パッドを介して入力されたチップイネーブル信号を臨時貯蔵するバッファ手段を追加して含むことを特徴としている
【0012】
ここで、前記アドレスラッチは、チップ動作区間の間前記アドレスを受信し、チップ動作が行われない区間の間受信した前記アドレスをラッチする第1ラッチ手段、セル動作が行われない区間の間前記第1ラッチ手段にラッチされたアドレスを受信し、セル動作区間の間入力された前記第1ラッチ手段にラッチされたアドレスをラッチする第2ラッチ手段、及び前記第2ラッチ手段にラッチされたアドレスを駆動するバッファ手段を含むことが望ましい。
【0013】
また、前記第1ラッチ手段は、チップイネーブル信号により制御され、前記アドレスパッドを介して入力されたアドレスを選択的に転送する第1転送手段を含むことが望ましい。
また、前記第2ラッチ手段は、前記セル動作区間の間ハイレベルを保持し、前記チップイネーブル信号がハイレベルの区間の間ハイレベルを保持するアドレス遷移制御信号により制御され、前記第1ラッチ手段によりラッチされたアドレスを選択的に転送する第2転送手段を含むことが望ましい。
【0014】
また、前記リセット信号遷移検出手段は、リセット信号とチップイネーブル信号が全てローレベルになる時点を検出する検出手段、及び前記検出手段の出力信号の遷移する時点でパルスを発生するパルス発生手段を含むことが望ましい。
【0015】
また、前記検出手段は、前記リセット信号を反転させる反転手段、前記リセット信号及び前記チップイネーブル信号を論理和する論理ゲート、前記反転手段の出力信号に応じて出力端子をプールアップさせるプールアップ手段、及び前記論理ゲートの出力信号に応じて前記出力端子をプールダウンさせるプールダウン手段を含むことが望ましい。
また、前記検出手段は、前記出力端子の電位をラッチするラッチ手段を含むことが望ましい。
【0016】
また、前記チップ制御信号中のセンスアンプイネーブル信号に応じて貯蔵されたデータをセンシング及び増幅して出力するセンスアンプを追加して含むが、前記センスアンプは前記センスアンプイネーブル信号により制御され、前記センスアンプの入出力端子を等電位に均等化させる均等化手段を含むことが望ましい。
【0017】
また、前記アドレス遷移検出信号は、前記アドレスラッチ手段から出力されたアドレス中でローアドレスの遷移時点を検出した信号であることが望ましい。
また、前記アドレスは、上位ビット領域にローアドレスを配置し、下位ビット領域にカラムアドレスを配置することが望ましい。
【0018】
また、前記アドレス遷移検出信号は、前記アドレスラッチ手段から出力されたアドレス中でブロック選択アドレスの遷移時点を検出した信号であることが望ましい。
また、前記アドレスは、上位ビット領域にブロック選択アドレスを配置し、下位ビット領域にカラムアドレスを配置することが望ましい。
【0019】
また、前記アドレスラッチは、前記第2ラッチ手段にラッチされたアドレスを駆動するバッファ手段をさらに含むことが望ましい。
【0020】
また、前記リセット信号遷移検出手段は、チップ動作区間内でリセット動作が開始される時点で、パルスの形の前記リセット信号遷移検出信号を出力することが望ましい。
また、前記リセット信号遷移検出手段は、リセット動作を行った後にチップ動作を行い始める時点で、パルスの形の前記リセット信号遷移検出信号を出力することが望ましい。
また、前記リセット信号遷移検出手段は、リセット動作が行われた以後最初のチップ動作時にはパルスの形の前記リセット信号遷移検出信号を発生するが、その以後のチップ動作時にはパルスの形の前記リセット信号遷移検出信号が発生しないことが望ましい。
【0021】
また、前記合成手段は、前記アドレス遷移検出信号のパルス、リセット信号遷移検出信号のパルス、及び書き込みイネーブル信号遷移検出信号のパルスを全て含む前記遷移合成信号を発生することが望ましい。
【0022】
【発明の実施の形態】
前述の目的及びその他の目的と、本発明の特徴及び利点は図面と関連した次の詳細な説明を介してより明らかになる。
以下、図面を参照して本発明の実施の形態を詳しく説明すると、次の通りである。
図5は、本発明に係る不揮発性強誘電体メモリ装置でチップ制御信号を発生するためのブロック図を示す図である。
チップイネーブル信号バッファ10は、チップイネーブルパッドに入力された信号CEBPADを受信し、アドレスラッチ20はアドレスパッドに入力されたアドレスADDPADを受信する。
アドレス遷移検出部30は、アドレスラッチ20から出力されたアドレスADD<m:0>が入力され、アドレスADD<m:0>の遷移時点を検出してアドレス遷移検出信号ATDを出力する。
リセット信号遷移検出部40は、リセット信号RESET及びチップイネーブルバッファ10から出力されたチップイネーブル信号CEBが全てローレベルになる時点を検出してリセット信号遷移検出信号RTDを出力する。
【0023】
書き込みイネーブル信号遷移検出部50は、書き込みイネーブル信号WEBの遷移時点を検出して書き込みイネーブル信号遷移検出信号WTDを出力する。
合成部60は、リセット信号遷移検出信号RTD、書き込みイネーブル信号遷移検出信号WTD及びアドレス遷移検出信号ATDを合成し、合成された遷移検出信号TDSを出力する。
チップ制御信号発生部70は、遷移検出信号TDSを利用してチップの動作を制御するためのチップ制御信号等を出力する。
ここで、アドレスバッファ20から出力されたアドレスADDLAT<m:0>は、ディコーダ80によりディコーディングされてワードライン又はカラムを選択することになる。
【0024】
以下、本発明に係る不揮発性強誘電体メモリ装置の動作を、図面を参照して説明する。
図6は、チップイネーブル信号CEBがローレベルに遷移した後リセット信号RESETがローレベルに遷移してリセット信号遷移検出信号RTDが発生する場合の、図5に示す不揮発性強誘電体メモリ装置の動作タイミング図である。
パワーオンした後、第1のアドレスのチップ動作時にはリセット信号RESET及びチップイネーブル信号CEBの組合せにより、リセット信号遷移検出信号RTDが発生する。すなわち、チップイネーブル信号CEBがローレベルを保持する間リセット信号RESETがハイレベルからローレベルに遷移するとき、リセット信号遷移検出信号RTDがパルスの形に発生する。
さらに、リセット信号RESETがローレベルに遷移した後チップイネーブル信号CEBがハイレベルからローレベルに遷移する場合も、リセット信号遷移検出信号RTDがパルスの形に発生する。
したがって、リセット信号RESET及びチップイネーブル信号CEBが全てローレベルになる時点でリセット信号遷移検出信号RTDが発生する。
ここで、リセット信号遷移検出信号RTDが発生する条件は、チップイネーブル信号CEBの処理方法に従いCEBを利用してリセット信号遷移検出信号RTDの発生時点を調整するか、又はリセット信号RESETを利用してリセット信号遷移検出信号RTDの発生時点を調整する。
【0025】
第2のアドレスのチップ動作後は、リセット信号RESETがローレベル状態を保持した状態でチップイネーブル信号CEBがハイレベルからローレベルに遷移しても、リセット信号遷移検出信号RTDが発生しない。
さらに、チップイネーブル信号CEBによりアドレスラッチ部20が動作するため、アドレスが予め遷移してもチップイネーブル信号CEBがハイレベルからローレベルに遷移するとき、該遷移したアドレス信号が伝達されるように構成する。
したがって、チップイネーブル信号CEBの遷移により遷移されたアドレスがアドレスラッチ部20に入力され、アドレス遷移検出部30はアドレスラッチ部20からアドレスADDを受信してアドレス遷移時点を検出したアドレス遷移検出信号ATDを発生する。
【0026】
基本的に、メモリセル自体の動作はアドレス遷移検出信号ATD及びリセット信号遷移検出信号RTDにより発生するため、アドレス遷移検出信号ATDが発生しなければメモリセル動作は発生しない。
しかし、チップイネーブル信号CEBを受信する他のチップ制御動作とセンスアンプ動作は引き続き活性化されることにより、データの読み出し/書き込み動作は正常に発生する。
【0027】
読み出し動作の場合、メモリセルが動作しなくてもセンスアンプは引き続き活性化されて以前のアドレスによる動作で複数のアドレスデータを保持しているため、該当アドレスのデータをセンスアンプが直ちに出力パッドを介して出力することができる。
さらに、書き込み動作の場合、書き込みイネーブル信号がハイレベルからローレベルに遷移して書き込み命令が発生し、書き込みイネーブル信号の遷移時点を感知して発生した書き込みイネーブル信号遷移検出信号により、該当メモリセルに書き込み動作が行われることにより正常の書き込み動作が行われる。
【0028】
センスアンプは、常に以前のアドレスの動作でのデータを引き続き貯蔵するため、アドレスが遷移して新たなメモリセル動作が開始される前まで常に活性化状態を保持する。すなわち、アドレスが遷移してアドレス遷移検出信号ATDが発生したときのみセンスアンプを初期化させ、新たなアドレスによる動作のための準備状態を保持する。
このとき、センスアンプはセンスアンプイネーブル信号SENにより活性化状態が制御される。
したがって、センスアンプイネーブル信号SENがハイレベルに活性化状態を保持される間、出力イネーブル信号又はチップイネーブル信号CEBを利用してセンスアンプが外部にデータを出力することができる。
【0029】
図7は、チップイネーブル信号CEBがローレベルを保持する間アドレスADDが遷移する場合の、図5に示す不揮発性強誘電体メモリ装置の動作タイミング図である。
チップイネーブル信号CEBがローレベルを保持しているため、アドレスADDの遷移時点で発生したアドレス遷移検出信号ATDと、初期のリセット信号遷移検出信号RTDが合成された信号TDSに同期され、チップ制御信号(例えば、プリチャージ信号PCG、センスアンプイネーブル信号SEN等)が発生する。
【0030】
図8は、リセット信号RESETがローレベルに遷移した後チップイネーブル信号CEBがローレベルに遷移してアドレスADDが変化しない場合の、図5に示す不揮発性強誘電体メモリ装置の動作タイミング図である。
リセット信号RESETがローレベルに遷移し、ローレベルを保持した状態でチップイネーブル信号CEBがローレベルに遷移すれば、チップイネーブル信号CEBがローレベルに遷移する時点でリセット信号遷移検出信号RTDが発生する。
したがって、リセット信号遷移検出信号RTDにより合成された信号TDSが発生し、合成された信号TDSに応じてワードラインWL及びプレートラインPLを駆動する。このとき、アドレスADDは変化しないためアドレス遷移検出信号ATDは発生しない。
【0031】
一方、センスアンプイネーブル信号SENはチップイネーブル信号CEBがハイレベルのプリチャージ区間でも引き続きハイレベルを保持して活性化状態を表わす。
さらに、出力データDOUTはチップイネーブル信号CEBがローレベルに活性化された区間で出力され、ハイレベルの区間ではプリチャージされることを表わす。
【0032】
図9は、チップイネーブル信号CEBがローレベルに遷移した後リセット信号RESETがローレベルに遷移し、リセット信号遷移検出信号RTDが発生してアドレスADDが変化しない場合の、図5に示す不揮発性強誘電体メモリ装置の動作タイミング図である。
チップイネーブル信号CEBがローレベルに遷移した後リセット信号RESETがローレベルに遷移すると、リセット信号RESETがローレベルに遷移する時点でリセット信号遷移検出信号RTDが発生する。
したがって、リセット信号遷移検出信号RTDにより合成された信号TDSが発生し、合成された信号TDSに応じてワードラインWL及びプレートラインPLを駆動する。このとき、アドレスADDは変化しないためアドレス遷移検出信号ATDは発生しない。
【0033】
一方、センスアンプイネーブル信号SENはチップイネーブル信号CEBがハイレベルのプリチャージ区間でも引き続きハイレベルを保持して活性化された状態を表わす。
さらに、出力データDOUTはチップイネーブル信号CEBがローレベルに活性化された区間で出力され、ハイレベルの区間ではプリチャージされることを表わす。
【0034】
図10は、チップイネーブル信号CEBと出力イネーブル信号OEBがローレベルを保持する場合の、図5に示す不揮発性強誘電体メモリ装置の動作タイミング図である。
チップイネーブル信号CEBがローレベルを保持するとき新たなアドレスADDPADが入力されると、アドレスラッチ部20は入力されたアドレスADDPADをラッチする。
したがって、アドレス遷移検出部30はアドレス遷移検出信号ATDを発生させ、合成部60は合成された信号TDSを発生してメモリセルのワードラインWL及びプレートラインPLを駆動する。
【0035】
図11は、チップイネーブル信号CEBがローレベルを保持して出力イネーブル信号が一定時間後にハイレベルに遷移する場合の、図5に示す不揮発性強誘電体メモリ装置の動作タイミング図である。ここでは、出力イネーブル信号OEBがハイレベルに遷移して出力データDOUTがプリチャージされる場合である。チップイネーブル信号CEBがローレベルを保持するとき新たなアドレスADDPADが入力されると、アドレスラッチ部20は入力されたアドレスADDPADをラッチする。
したがって、アドレス遷移検出部30はアドレス遷移検出信号ATDを発生させ、合成部60は合成された信号TDSを発生してメモリセルのワードラインWL及びプレートラインPLを駆動する。
【0036】
図12は、書き込みイネーブル信号WEBがハイレベルからローレベルに遷移して書き込み命令を発生すると、書き込みイネーブル信号遷移検出部50は書き込みイネーブル信号WEBの遷移時点を検出して書き込みイネーブル信号遷移検出信号WTDを発生する場合の、図5に示す不揮発性強誘電体メモリ装置の動作タイミング図である。このとき、アドレスADDPADは変化しない場合を例に挙げて説明する。
合成部60は、書き込みイネーブル信号遷移検出信号WTDを利用して合成された信号TDSが発生し、該当メモリセルに対し正常の書き込み動作を行う。
【0037】
センスアンプは、常に以前のアドレスのデータを貯蔵するため書き込みイネーブル信号遷移検出信号WTDが発生し、新たなメモリセルに対する書き込み動作が開始される前まで活性化状態に保持される。すなわち、書き込みイネーブル信号WEBがハイレベルからローレベルに遷移し、書き込みイネーブル信号遷移検出信号WTDが発生するときのみセンスアンプは初期化され、新たなアドレスにより新たなメモリセルに対する書き込み動作のための準備作業を行う。
書き込みイネーブル信号遷移検出信号WTDにより合成された遷移信号TDSが発生し、該当するメモリセルのワードラインWL及びプレートラインPLを駆動する。
入力データDINは、書き込み動作区間で該当メモリセルに新たなデータを書き込むため入力されたデータである。
【0038】
図13は、図5に示す不揮発性強誘電体メモリ装置でアドレスラッチの詳細回路を示す図である。
アドレスラッチ20は、チップイネーブル信号CEBに応じてアドレスパッドを介し入力されたアドレス信号ADDPADを選択的にラッチする選択ラッチ部21と、アドレス制御信号ATDCONに応じて選択ラッチ部21から出力された信号を選択的にラッチする選択ラッチ部22と、選択ラッチ部22から出力された信号をバッファリングしてアドレスADDを出力するバッファ部23を含んで構成されている。
【0039】
選択ラッチ部21は、チップイネーブル信号CEB及びインバータINV3により反転された信号により制御され、アドレスパッドを介して入力されるアドレス信号ADDPADを選択的に転送する転送ゲートTG1と、転送ゲートTG1により選択的に転送された信号を反転ラッチする2つのインバータINV1及びINV2と、チップイネーブル信号CEB及びインバータINV3により反転された信号により制御され、インバータINV2の出力信号をインバータINV1の入力端子に選択的に転送する転送ゲートTG2を含む。
【0040】
選択ラッチ部22は、アドレス遷移制御信号ATDCON及びインバータINV6により反転された信号により制御され、選択ラッチ部21の出力信号を選択的に転送する転送ゲートTG3と、転送ゲートTG3により選択的に転送された信号を反転ラッチする2つのインバータINV4及びINV5と、アドレス遷移制御信号ATDCON及びインバータINV6により反転された信号により制御され、インバータINV5の出力信号をインバータINV4の入力端子に選択的に転送する転送ゲートTG4を含む。
【0041】
バッファ部23は、選択ラッチ部22の出力信号を反転させてアドレスADDを出力するインバータINV7と、インバータINV7の出力信号を反転させてアドレスラッチ信号ADDLATを出力するインバータINV8と、インバータINV7の出力信号を順次反転させて反転アドレスラッチ信号/ADDLATを出力する2つのインバータINV9及びINV10を含む。
ここで、アドレス遷移制御信号ATDCONがハイレベルであればメモリセル動作が進められている状態であり、ローレベルであれば次のアドレスを受信する状態である。
さらに、アドレス遷移制御信号ATDCONはメモリセル動作活性化に従い状態が決定される信号である。
【0042】
図14は、チップイネーブル信号CEBがローレベルを保持する場合の、図13に示すアドレス遷移制御信号ATDCONを示すタイミング図である。
アドレス遷移制御信号ATDCONは、メモリセル動作区間が開始される時点でハイレベルに遷移し、メモリセル動作区間が終了する時点で自動的にローレベルに遷移する。
【0043】
図15は、チップイネーブル信号CEBのレベルが遷移する場合の、図13に示すアドレス遷移制御信号ATDCONを示すタイミング図である。
アドレス遷移制御信号ATDCONは、チップイネーブル信号CEBがハイレベルの区間でもハイレベルになり、チップイネーブル信号CEBがハイレベルである間新たなアドレスが入力されても選択ラッチ部22に入力されないようにする。
次いで、チップイネーブル信号CEBがローレベルになるとアドレス制御信号ATDCONはローレベルになり、選択ラッチ部21にラッチされたアドレスを受信する。したがって、アドレス制御信号ATDCONはメモリセル活性化区間、及びチップイネーブル信号CEBがハイレベルの区間でハイレベルになり、新たなアドレスが選択ラッチ部22に入力されないようにする。
【0044】
図16は、図5に示す不揮発性強誘電体メモリ装置でリセット信号遷移検出部の詳細回路を示す図である。
リセット信号遷移検出部40は、リセット信号RESET及びチップイネーブル信号CEBを利用して最初のリセット信号RESET及びチップイネーブル信号CEBの活性化時点を検出する検出部41と、検出部41の出力信号DETを利用してリセット信号遷移検出信号RTDを出力するパルス発生部42を含んで構成されている。
【0045】
検出部41は、リセット信号RESET及びチップイネーブル信号CEBを否定論理和するNORゲートNR1と、リセット信号RESETを反転させるインバータINV11と、電源電圧VSSと接地電圧VSSとの間に直列に連結されてゲートにインバータINV11及びNORゲートNR1の出力信号がそれぞれ印加されるPMOSトランジスタMP1及びNMOSトランジスタMN1と、2つのインバータINV12及びINV13で構成されPMOSトランジスタMP1及びNMOSトランジスタMN1の共通ドレーンの電位を反転ラッチするラッチ部43を含む。
【0046】
パルス発生部42は、直列に連結された3つのインバータINV14、INV15及びINV16で構成されて検出部41の出力信号DETを一定時間遅延させる反転・遅延部44と、検出部41の出力信号DET及び反転・遅延部44の出力信号を否定論理積するNANDゲートND1と、NANDゲートND1の出力信号を反転させてリセット信号遷移検出信号RTDを出力するインバータINV17を含む。
【0047】
図17は、図16に示すリセット信号遷移検出部の動作を示すタイミング図である。ここでは、チップイネーブル信号CEBがローレベルを保持する場合の動作を示すタイミング図である。
チップイネーブル信号CEBがローレベルを保持した状態で、電源電圧VCCが一定レベルになるまでの初期状態ではリセット信号RESETが電源電圧VCCと同様に上昇する。
このとき、NORゲートNR1の出力信号はローレベルになりNMOSトランジスタMN1はターンオフされ、インバータINV11の出力信号はローレベルになりPMOSトランジスタMP1がターンオンされる。
したがって、ラッチ部43の出力信号DETはローレベルを保持する。
【0048】
次いで、電源電圧VCCが上昇して一定電圧に達すると、リセット信号RESETはローレベルに遷移する。
したがって、PMOSトランジスタMP1はターンオフされ、NMOSトランジスタMN1はターンオンされてラッチ部43の出力信号DETはハイレベルに遷移する。
次いで、パルス発生部42はラッチ部43の出力信号DETがハイレベルに遷移する時点でリセット信号遷移検出信号RTDのパルスを発生する。
検出部41のPMOSトランジスタMP1は、リセット信号がローレベルを保持する間ターンオフされているため、チップイネーブル信号CEBがハイレベルに遷移してNMOSトランジスタMN1がターンオフされても、ラッチ部43にラッチされた信号を変換することはできない。
【0049】
図18は、図16に示すリセット信号遷移検出部の動作を示すタイミング図である。ここでは、リセット信号RESETがローレベルに遷移した後チップイネーブル信号CEBがローレベルに遷移する場合の動作を示すタイミング図である。
リセット信号RESETがローレベルに遷移して一定時間Tの間チップイネーブル信号CEBがハイレベルを保持すると、検出部41の出力信号DETは初期状態のローレベルを保持する。
このとき、チップイネーブル信号CEBがローレベルに遷移するとNORゲートNR1の出力信号がハイレベルになり、NMOSトランジスタMN1をターンオンさせて検出部41の出力信号DETはハイレベルに遷移する。
したがって、パルス発生部42は検出部41の出力信号DETがハイレベルに遷移する時点でリセット信号遷移検出信号RTDのパルスを発生する。
【0050】
図19は、図5に示す不揮発性強誘電体メモリ装置でセンスアンプの詳細回路を示す図である。ここでは、ラッチ型センスアンプを用いる場合を例に挙げて説明する。
センスアンプ90は、センスアンプイネーブル信号SEN及びインバータINV21により反転された信号がゲートにそれぞれ印加されるNMOSトランジスタMN2及びPMOSトランジスタMP2と、PMOSトランジスタMP2及びNMOSトランジスタMN2のドレーンの間に連結されてゲートがクロスカップルド連結されビットラインBL上のデータを、レファレンスラインREF上の電位と比べセンシング及び増幅するPMOSトランジスタMP3、MP4及びNMOSトランジスタMN3、MN4と、インバータINV21の出力信号により制御されてビットラインBLとレファレンスラインREFを接地電圧VSSに等電位化する均等化部91を含んで構成されている。
【0051】
均等化部91は、インバータINV21の出力信号により制御されてビットラインBLとレファレンスラインREFをそれぞれ接地電圧VSSにプールダウンする2つのNMOSトランジスタMN5及びMN6と、ビットラインBLとレファレンスラインREFとの間に連結されてインバータINV21の出力信号により制御され、ビットラインBLとレファレンスラインREFを等電位にするNMOSトランジスタMN7を含む。
【0052】
センスアンプイネーブル信号SENがハイレベルになると均等化部91は非活性化され、センスアンプ90は活性化されてビットラインBL上のデータをレファレンスラインREFの電位と比べてセンシングし増幅する。
一方、センスアンプイネーブル信号SENがローレベルになるとセンスアンプ90は非活性化され、均等化部91のNMOSトランジスタMN5、MN6及びMN7が全てターンオンされてビットラインBLとレファレンスラインREFを接地電圧VSSに等電位化する。
【0053】
図20は、図19に示す不揮発性強誘電体メモリ装置でセンスアンプの動作を示すタイミング図である。
センスアンプイネーブル信号SENは、チップイネーブル信号CEBの遷移時点と係わりなくアドレス遷移検出信号ATD、リセット信号遷移検出信号RTD及び書き込みイネーブル信号遷移検出信号WTDが合成部60により合成された信号TDSにより状態が決定される。
センスアンプ90は、合成された信号TDSのパルス期間の間のみ均等化部91により初期化され、残留区間ではチップイネーブル信号CEBがハイレベルのプリチャージ区間で活性化状態を保持するため、以前のメモリセル動作でラッチされたデータは何時でもチップイネーブル信号CEB及び出力イネーブル信号OEBを利用して出力することができる。
【0054】
図21は、本発明に係る不揮発性強誘電体メモリ装置でチップ制御信号を発生するための回路の他の実施の形態を示すブロック図である。ここでは、ローアドレスRADDの遷移時点でのみアドレス遷移検出信号ATDが発生するように構成する。
チップイネーブル信号バッファ100は、チップイネーブルパッドに入力された信号CEBPADを受信し、カラムアドレスラッチ210はカラムアドレスパッドに入力されたカラムアドレスCADDPADをラッチする。
カラムディコーダ810は、カラムアドレスラッチ210から出力されたカラムアドレスCADDLATを利用してカラム選択信号を発生する。
ローアドレスラッチ220は、ローアドレスパッドに入力されたローアドレスRADDPADをラッチする。
【0055】
アドレス遷移検出部300は、ローアドレスラッチ220から出力されたローアドレスRADDの遷移時点を検出してアドレス遷移検出信号ATDを出力する。
リセット信号遷移検出部400は、リセット信号RESET及びチップイネーブルバッファ100から出力されたチップイネーブル信号CEBが、全てローレベルになる時点を検出してリセット信号遷移検出信号RTDを出力する。
書き込みイネーブル信号遷移検出部500は、書き込みイネーブル信号WEBの遷移時点を検出して書き込みイネーブル信号遷移検出信号WTDを出力する。合成部600は、リセット信号遷移検出信号RTD、書き込みイネーブル信号遷移検出信号WTD及びアドレス遷移検出信号ATDを合成して合成された遷移検出信号TDSを出力する。
チップ制御信号発生部700は、遷移検出信号TDSを利用してチップ制御信号等を出力する。
ここで、ローディコーダ820はローアドレスラッチ220から出力されたローアドレスRADDLATをディコーディングして該当するワードラインを駆動する。
【0056】
図22は、図21に示す本発明に係る不揮発性強誘電体メモリ装置でチップ制御信号を発生するための回路の他の実施の形態においてアドレス領域を示す概念図である。
メモリ装置が動作するとき下位アドレス領域でのアドレスが動作する確率が高いため、ブロック選択アドレス又はローアドレスRADD領域は上位ビットMSB領域に割り当て、カラムアドレスCADD領域は下位ビットLSB領域に割り当てる。
したがって、ブロック選択アドレスBS又はローアドレスRADDが遷移するときにのみアドレス遷移検出信号ATDが発生してメモリセル動作が行われ、カラムアドレスCADDが遷移する場合アドレス遷移検出信号ATDが発生しないためメモリセル動作が行われず、センスアンプにラッチされたデータが直ちに出力される。
【0057】
【発明の効果】
前述のように、本発明に係る不揮発性強誘電体メモリ装置はチップイネーブル信号によりセル動作が行われず、アドレス遷移検出信号、リセット信号遷移検出信号及び書き込みイネーブル遷移検出信号を合成した信号によりセル動作が行われるので、セル動作の回数を減少させてセル信頼性を向上させ、電力の消耗を減少させることができるという効果がある。
さらに、従来の技術で用いられるアドレスバッファを用いずアドレスラッチを用い、センスアンプにセンスアンプイネーブル信号により制御される均等化手段を備え、チップイネーブル信号に係わりなくプリチャージ区間で全体のチップ動作を行わずにセンスアンプにラッチされたデータを出力することができるので、電力の消耗を減少させるという効果がある。
さらに、カラムアドレスが遷移するときはアドレス遷移検出信号を発生せず、ローアドレスの遷移時点でのみアドレス遷移検出信号を発生して全体のチップ動作を行わずに局部的な動作でセル動作が可能であるので、セル信頼性を向上させて電力の消耗を減少させるという効果がある。
【0058】
本発明について、好ましい実施の形態を基に説明したが、これらの実施の形態は、例を示すことを目的として開示したものであり、当業者であれば、本発明に係る技術思想の範囲内で、多様な改良、変更、付加等が可能である。このような改良、変更等も、特許請求の範囲に記載した本発明の技術的範囲に属することは言うまでもない。
【図面の簡単な説明】
【図1】一般的な強誘電体のヒステリシス曲線を示すグラフである。
【図2】従来の技術に係る不揮発性強誘電体メモリ装置の単位セルを示す回路図である。
【図3】 (a)は、従来の技術に係る不揮発性強誘電体メモリ装置の書き込みモードの動作を示すタイミング図、(b)は、従来の技術に係る不揮発性強誘電体メモリ装置の書き込みモードの動作を示すタイミング図である。
【図4】従来の技術に係る不揮発性強誘電体メモリ装置でチップ制御信号を発生するためのブロック図である。
【図5】本発明に係る不揮発性強誘電体メモリ装置でチップ制御信号を発生するためのブロック図である。
【図6】図5に示す不揮発性強誘電体メモリ装置の動作タイミング図である。
【図7】チップイネーブル信号がローレベルを保持してアドレスが遷移する場合の、図5に示す不揮発性強誘電体メモリ装置の動作を示すタイミング図である。
【図8】リセット信号がローレベルに遷移した後チップイネーブル信号がローレベルに遷移する場合の、図5に示す不揮発性強誘電体メモリ装置の動作タイミング図である。
【図9】チップイネーブル信号がローレベルに遷移した後リセット信号がローレベルに遷移する場合の、図5に示す不揮発性強誘電体メモリ装置の動作タイミング図である。
【図10】チップイネーブル信号がローレベルを保持する場合の、図5に示す不揮発性強誘電体メモリ装置の動作タイミング図である。
【図11】出力イネーブル信号OEBがハイレベルに遷移して出力データDOUTがプリチャージされる場合の、図5に示す不揮発性強誘電体メモリ装置の動作タイミング図である。
【図12】書き込みイネーブル信号遷移検出信号が発生した場合の、図5に示す不揮発性強誘電体メモリ装置の動作タイミング図である。
【図13】図5に示す不揮発性強誘電体メモリ装置でアドレスラッチの詳細回路図である。
【図14】図5に示す不揮発性強誘電体メモリ装置でアドレスラッチの動作を示すタイミング図である。
【図15】図5に示す不揮発性強誘電体メモリ装置でアドレスラッチの動作を示すタイミング図である。
【図16】図5に示す不揮発性強誘電体メモリ装置でリセット信号遷移検出部の詳細回路図である。
【図17】チップイネーブル信号がローレベルを保持する場合の、図16に示すリセット信号遷移検出部の動作を示すタイミング図である。
【図18】リセット信号がローレベルに遷移した後チップイネーブル信号がローレベルに遷移する場合の、図16に示すリセット信号遷移検出部の動作を示すタイミング図である。
【図19】図5に示す不揮発性強誘電体メモリ装置でセンスアンプの詳細回路図である。
【図20】図19に示す不揮発性強誘電体メモリ装置でセンスアンプの動作を示すタイミング図である。
【図21】本発明に係る不揮発性強誘電体メモリ装置でチップ制御信号を発生するための回路の他の実施の形態を示すブロック図である。
【図22】本発明に係る不揮発性強誘電体メモリ装置でチップ制御信号を発生するための回路の他の実施の形態においてアドレス領域を示す概念図である。
【符号の説明】
10、100 チップイネーブル信号バッファ
20 アドレスラッチ部
21、22 選択ラッチ部
23 バッファ部
30、300 アドレス遷移検出部
40、400 リセット信号遷移検出部
41 検出部
42 パルス発生部
43 ラッチ部
44 反転・遅延部
50、500 書き込みイネーブル信号遷移検出部
60、600 合成部
70、700 チップ制御信号発生部
80 ディコーダ
90 センスアンプ
91 均等化部
210 カラムアドレスラッチ
220 ローアドレスラッチ
810 カラムディコーダ
820 ローディコーダ

Claims (17)

  1. ワードライン及びプレートラインにより選択され、ビットラインを介してデータを貯蔵するか、又は貯蔵されたデータを読み出す複数の強誘電体メモリセルを含むセルアレイを備えた不揮発性強誘電体メモリ装置において、
    前記ワードライン及び前記ビットラインを選択するため、アドレスパッドを介して入力されたアドレスをチップ動作が行われる区間に入力され、チップ動作が行われない区間の間にラッチするアドレスラッチ、
    リセット動作とチップ動作が全て行われる最初時点を検出してリセット信号遷移検出信号を出力するリセット信号遷移検出手段、
    書き込み動作が開始される時点を検出して書き込みイネーブル信号遷移検出信号を出力する書き込みイネーブル信号遷移検出手段、
    前記アドレスラッチにより選択的にラッチされたアドレスの遷移時点を検出したアドレス遷移検出信号、前記リセット信号遷移検出信号及び前記書き込みイネーブル信号遷移検出信号を合成して遷移合成信号を出力する合成手段、及び
    前記遷移合成信号を利用してチップ制御信号を発生するチップ制御信号発生手段を含み、
    前記アドレスラッチは、
    チップ動作区間の間前記アドレスを受信し、チップ動作が行われない区間の間受信した前記アドレスをラッチする第1ラッチ手段、
    セル動作が行われない区間の間前記第1ラッチ手段にラッチされたアドレスを受信し、セル動作区間の間入力された前記第1ラッチ手段にラッチされたアドレスをラッチする第2ラッチ手段、を含むことを特徴とする不揮発性強誘電体メモリ装置。
  2. 外部制御信号パッドを介して入力されたチップイネーブル信号を、臨時貯蔵するバッファ手段を追加して含むことを特徴とする請求項1に記載の不揮発性強誘電体メモリ装置。
  3. 前記第1ラッチ手段は、
    チップイネーブル信号により制御され、前記アドレスパッドを介して入力されたアドレスを選択的に転送する第1転送手段を含むことを特徴とする請求項に記載の不揮発性強誘電体メモリ装置。
  4. 前記第2ラッチ手段は、
    前記セル動作区間の間ハイレベルを保持し、前記チップイネーブル信号がハイレベルの区間の間ハイレベルを保持するアドレス遷移制御信号により制御され、前記第1ラッチ手段によりラッチされたアドレスを選択的に転送する第2転送手段を含むことを特徴とする請求項に記載の不揮発性強誘電体メモリ装置。
  5. 前記リセット信号遷移検出手段は、
    リセット信号とチップイネーブル信号が全てローレベルになる時点を検出する検出手段、及び
    前記検出手段の出力信号の遷移する時点でパルスを発生するパルス発生手段を含むことを特徴とする請求項1に記載の不揮発性強誘電体メモリ装置。
  6. 前記検出手段は、
    前記リセット信号を反転させる反転手段、
    前記リセット信号及び前記チップイネーブル信号を論理和する論理ゲート、
    前記反転手段の出力信号に応じて出力端子をプールアップさせるプールアップ手段、及び
    前記論理ゲートの出力信号に応じて前記出力端子をプールダウンさせるプールダウン手段を含むことを特徴とする請求項に記載の不揮発性強誘電体メモリ装置。
  7. 前記検出手段は、前記出力端子の電位をラッチするラッチ手段を含むことを特徴とする請求項に記載の不揮発性強誘電体メモリ装置。
  8. 前記チップ制御信号中のセンスアンプイネーブル信号に応じて貯蔵されたデータをセンシング及び増幅して出力するセンスアンプを追加して含むが、
    前記センスアンプは前記センスアンプイネーブル信号により制御され、前記センスアンプの入出力端子を等電位に均等化させる均等化手段を含むことを特徴とする請求項1に記載の不揮発性強誘電体メモリ装置。
  9. 前記アドレス遷移検出信号は、
    前記アドレスラッチ手段から出力されたアドレス中でローアドレスの遷移時点を検出した信号であることを特徴とする請求項1に記載の不揮発性強誘電体メモリ装置。
  10. 前記アドレスは、上位ビット領域にローアドレスを配置し、下位ビット領域にカラムアドレスを配置することを特徴とする請求項に記載の不揮発性強誘電体メモリ装置。
  11. 前記アドレス遷移検出信号は、
    前記アドレスラッチ手段から出力されたアドレス中でブロック選択アドレスの遷移時点を検出した信号であることを特徴とする請求項1に記載の不揮発性強誘電体メモリ装置。
  12. 前記アドレスは、上位ビット領域にブロック選択アドレスを配置し、下位ビット領域にカラムアドレスを配置することを特徴とする請求項11に記載の不揮発性強誘電体メモリ装置。
  13. 前記アドレスラッチは、
    前記第2ラッチ手段にラッチされたアドレスを駆動するバッファ手段をさらに含むことを特徴とする請求項1に記載の不揮発性強誘電体メモリ装置。
  14. 前記リセット信号遷移検出手段は、
    チップ動作区間内でリセット動作が開始される時点で、パルスの形の前記リセット信号遷移検出信号を出力することを特徴とする請求項1に記載の不揮発性強誘電体メモリ装置。
  15. 前記リセット信号遷移検出手段は、
    リセット動作を行った後にチップ動作を行い始める時点で、パルスの形の前記リセット信号遷移検出信号を出力することを特徴とする請求項1に記載の不揮発性強誘電体メモリ装置。
  16. 前記リセット信号遷移検出手段は、
    リセット動作が行われた以後最初のチップ動作時にはパルスの形の前記リセット信号遷移検出信号が発生するが、その以後のチップ動作時にはパルスの形の前記リセット信号遷移検出信号が発生しないことを特徴とする請求項1に記載の不揮発性強誘電体メモリ装置。
  17. 前記合成手段は、
    前記アドレス遷移検出信号のパルス、リセット信号遷移検出信号のパルス、及び書き込みイネーブル信号遷移検出信号のパルスを全て含む前記遷移合成信号を発生することを特徴とする請求項1に記載の不揮発性強誘電体メモリ装置。
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