JP4206520B2

JP4206520B2 - リニア駆動装置

Info

Publication number: JP4206520B2
Application number: JP22232898A
Authority: JP
Inventors: 恭次村岸; 均安田
Original assignee: 神鋼電機株式会社
Priority date: 1998-07-22
Filing date: 1998-07-22
Publication date: 2009-01-14
Anticipated expiration: 2018-07-22
Also published as: JP2000041394A

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、水平方向に振動するリニア駆動装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
図９には、従来の、リニア駆動装置として振動コンベヤ１が示されている。振動コンベヤ１は、振子機構を有した複数の支持部２１によって支持された可動体としてのトラフ７と、トラフ７を振動させるための加振源であるリニアモータ１６とから構成されている。そして、トラフ７内には複数の図示しない物品が点在しており、図において矢印ｆに示すように、左方から右方へ移送される。
【０００３】
支持部２１は振子機構を有しており、トラフ７の左右に対で、複数対配設されている（図においては２対示されている）。この支持部２１は、底部２２ａを有し地上に支持された逆Ｖ字形状の支持体２２と、一端が支持体２２の頂点にピンＰ’により枢着され、他端がトラフ７の側壁にピンＰ”によって枢着されて揺動可能に吊下されている揺動板２３とから構成されている。
【０００４】
図１０はリニアモータ１６の拡大斜視図を、図１１はリニアモータ１６の作用を示す模式図を示す。リニアモータ１６は、トラフ７の底面に固定されている２次側部材１７と、この２次側部材１７上に、車輪１８ａによって支持されている１次側部材１８とから構成されている。２次側部材１７は、水平部１７ａとこの両端を支持している支持部１７ｂ、１７ｂ’とから構成され、上に開口を向けたコの字形状をしている。この水平部１７ａの上面には、図１０に示されるように、その両側部に車輪１８ａがガイドされて摺動する溝１７ａａ（これはトラフ７の長手方向に延びている）が形成され、その中央には、磁性材からなる複数の歯１７ａｂが、物品の移送方向に直角に並んで配設されている。また、１次側部材１８の車輪１８ａは図示しない軸に固定され、水平部１７ａと所定の空隙ｓを有して配設されている。従って、リニアモータ１６は設置面である地上Ｇから離れた空中に配設されている。更に、１次側部材１８は、コイル１９ａ、１９ｂ、１９ｃを巻回した３つの極Ｕ、Ｖ、Ｗを有し、この極Ｕ、Ｖ、Ｗには、図１１に示すように、薄板状の永久磁石Ｍが３枚ずつ、同極が相向くように配設されている。なお、このコイル１９ａ、１９ｂ、１９ｃは、それぞれ１２０度ずつ、異なる３相交流が供給されている。
【０００５】
また、１次側部材１８には、２次側部材１７に対する１次側部材１８の相対的位置を検出するために、磁気センサを備えたインクリメンタル型のエンコーダＥｍが設けられている。そして、２次側部材１７には、磁化されたスケールＥｓが設けられており、１次側部材１８が２次側部材１７上を移動すると、移動距離に相当するパルス信号が得られ、このパルス信号のカウント数から、１次側部材１８の２次側部材１７に対する位置の変位量が求められる。更に、１次側部材１８の側面中央部には、中央位置検出用のセンサ１５が、２次側部材１７の水平部１７ａ上の両端部にはリミットセンサ２０ａ、２０ｂがそれぞれ設けられている。
【０００６】
従来の振動コンベヤ１は以上のように構成されるが、次にこの作用について説明する。なお、リニアモータ１６は高力密度リニアモータであり、この原理は、例えば、神鋼電機技報告の１２８号ｖｏｌ．３６，Ｎｏ２（１９９１）の第８６〜９３頁に記載されているので、ここでは、その作用については図１１を参照してごく簡単に説明する。
【０００７】
例えば、極Ｕのコイル１９ａに、図１１に示す方向に電流を流すと、この電流によって下向きの磁束が発生する。そのため極Ｕにおいて、永久磁石Ｍによって発生している下向きの磁束は強められ、それと逆向きの磁束は打ち消される。このとき、極Ｖ、Ｗは、極Ｕに対してそれぞれ１２０度、２４０度位相がずれているため、コイル１９ｂ、１９ｃは図１１に示される方向に電流が流れる。そのため、極Ｖ、Ｗにおいては永久磁石Ｍによって発生している上向きの磁束は強められ、それと逆向きの磁束は打ち消されることになる。従って、極Ｕ、Ｖ、Ｗにおいて、図１１に示すような磁力線が発生し、すなわち磁気吸引力が２次側部材１７の歯１７ａｂと１次側部材１８の極Ｕ、Ｖ、Ｗとの間で発生し、１次側部材１８が左方に移動する。
【０００８】
すなわち、リニアモータ１６のコイル１９ａ、１９ｂ、１９ｃに、それぞれ位相差が１２０度ずつずれた交流電流を流すと、上述した作用により、極Ｕ、Ｖ、Ｗの順番で、代わる代わるに磁気吸引力が、歯１７ａｂと極Ｕ、Ｖ、Ｗとの間で発生し、これにより１次側部材１８が左方に移動する。このとき、１次側部材１８は車輪１８ａを介して２次側部材１７上を摺動するため、この１次側部材１８の反力を２次側部材１７の水平部１７ａが受ける。従って、２次側部材１７は、１次側部材１８の移動方向と反対側の右方に力が作用する。すなわち、２次側部材１７が取り付けられているトラフ７も、右方へと加速する。なお、このときには、トラフ７がゆっくりと加速するように、すなわちこれに反力を与える１次側部材１８がゆっくり加速されるように、コイル１９ａ、１９ｂ、１９ｃの電流を調節する。
【０００９】
次に、極Ｕ、Ｖ、Ｗに与えるコイル１９ａ、１９ｂ、１９ｃに、逆向きに電流を与える。すなわち、極Ｗ、Ｖ、Ｕの順番で、代わる代わるに磁気吸引力が、２次側部材１７の歯１７ａｂと１次側部材１８の極Ｕ、Ｖ、Ｗとの間で発生する。この磁気吸引力により１次側部材１８は右方に移動する。このときも、２次側部材１７の水平部１７ａが１次側部材１８の反力を受けるため、２次側部材１７が取り付けられているトラフ７は、１次側部材１８の移動方向と反対側の左方に移動する。このときには、トラフ７を物品の静止摩擦力に打ち勝つ力で左方に加速する（物品に対してトラフ７のみが後退する）よう、１次側部材１８を素早く加速できるように、コイル１９ａ、１９ｂ、１９ｃの電流を調節する。
【００１０】
以上の一連の動作を繰り返すことで、すなわち、トラフ７が物品の移送方向と同じ方向に移動する際には、ゆっくりと、移動方向と反対側に移動する際には、トラフ７のみが後退するようにして、振動コンベア１は振動し、トラフ７上の物品を右方へと移送する。このとき支持部１１は、図９において１点鎖線と２点鎖線で示されるように揺動して、トラフ７を支えている。
【００１１】
従来の振動コンベヤ１において、１次側部材１８の、２次側部材１７上における移動の限界は、２次側部材１７の水平部１７ａ上の両端部に設けた２つのリミットセンサ２０ａ、２０ｂにより検出している。そして、リニアモータ１６の駆動開始時、１次側部材１８の初期位置合わせ、つまりトラフ７の振動変位に関して中央位置（トラフ７に固定されている２次側１７の中心）Ｃへのセンタリングは、まず、１次側部材１８を左右どちらかの方向にゆっくりと低速で動かす。そして、リミットセンサ２０ａ又は２０ｂにより検知されると、この検知信号により、１次側部材１８の駆動方向を逆に変えて中心Ｃに向かって動かすようにする。そして、１次側部材１８が中心Ｃに至るとセンサ１５によってこの位置を検出して、１次側部材１８の駆動開始時における位置決めを行なう。
【００１２】
【発明が解決しようとする課題】
上述したように、従来は、１次側部材１８の移動限界と、２次側部材１７に対する１次側部材１８の中心位置を検出するために、３個のセンサ２０ａ、２０ｂ及び１５を用いている。このため、センサ３個分の設置スペースを必要とし、更に、コストもかさむ。また、駆動開始時の１次側部材１８のセンタリングにおいて、一度、１次側部材１８をリミットセンサの方へ動かしてから中心Ｃへと駆動させており、これはゆっくりと低速で動かすので、センタリングに時間がかかり速やかに行うことができない。
【００１３】
本発明は上述の問題に鑑みてなされ、より少ないセンサで、１次側と２次側との相対的な位置及び可動限界を検出でき、更に、駆動開始時、１次側又は２次側を速やかに可動体の振動変位に関し中央位置に位置決めすることができるリニア駆動装置を提供することを課題とする。
【００１４】
以上の課題は、可動体と、該可動体を水平方向に振動可能に支持する支持体と、前記可動体にその１次側及び２次側のうちの２次側が固定され前記可動体を加振するリニアモータとからなり、駆動開始時に、前記１次側の前記２次側に対する相対的位置を、前記可動体の振動変位に関し、中央位置に駆動させるように前記１次側又は２次側の一方に備えられたコイルに流す電流を制御するようにしたリニア駆動装置において、前記１次側に、振動許容範囲ｄの２分の１の距離をおいて取り付けられた中央位置検出用センサと他の位置センサとからなる２個の位置センサと、前記２次側に、前記振動許容範囲ｄをおいて取り付けられた一方の被検出部材と他方の被検出部材とからなる２個の被検出部材とを具備し、前記一方の被検出部材は、一端部が前記中央位置検出用センサのストローク中心位置に一致しており、他端部は前記一端部からの距離が少なくとも前記振動許容範囲ｄの２分の１以上あり、前記他方の被検出部材は、前記一方の被検出部材の一端部と対向する一端部から他端部までの距離が前記振動許容範囲ｄの２分の１以下であり、前記他の位置センサは、前記一方の被検出部材の一端部が前記中央位置検出用センサと同じ位置にある場合に、当該中央位置検出用センサと前記他方の被検出部材との間に配置されていることを特徴とするリニア駆動装置、によって解決される。
【００１５】
又は、可動体と、該可動体を水平方向に振動可能に支持する支持体と、前記可動体にその１次側及び２次側のうちの２次側が固定され前記可動体を加振するリニアモータとからなり、駆動開始時に、前記１次側の前記２次側に対する相対的位置を、前記可動体の振動変位に関し、中央位置に駆動させるように前記１次側又は２次側の一方に備えられたコイルに流す電流を制御するようにしたリニア駆動装置において、前記１次側に、振動許容範囲ｄの２分の１の距離をおいて取り付けられた中央位置検出用センサと他の位置センサとからなる２個の位置センサと、前記２次側に、一端部を前記中央位置検出用センサのストローク中心位置に一致させて取り付けられた前記振動許容範囲ｄの長さの被検出部材とを具備し、前記他の位置センサは、前記被検出部材の一端部が前記中央位置検出用センサと同じ位置にある場合に、当該中央位置検出用センサと前記被検出部材の他端部との間に配置されていることを特徴とするリニア駆動装置、によって解決される。
【００１６】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の各実施の形態について図面を参照して説明するが、上記従来例と同様な部分については同一の符号を付し、その詳細な説明は省略する。
【００１７】
本発明の第１の実施の形態による、リニア駆動装置としての振動コンベヤ１１の側面図を図１に、リニアモータ１６’の拡大斜視図を図２に示す。なお、図１及び図２は、１次側１８が、２次側１７の中心Ｃに位置している状態を示す。振動コンベヤ１１は、従来例の振動コンベヤ１と同様に、振子機構を有した複数の支持部２１によって支持された可動体としてのトラフ７と、トラフ７を振動させるための加振源であるリニアモータ１６’とから構成されている。リニアモータ１６’は従来例のリニアモータ１６と同じ高力密度リニアモータの駆動原理を有するものでありその作用も同じである。
【００１８】
リニアモータ１６’において、その１次側１８の側面中央部には位置センサ３ａが取り付けられている。位置センサ３ａは、図３に示すように下向きコ字形状を呈しており、２つの発光素子４ａ、４ｂと、これらにそれぞれ対向して２つの受光素子５ａ、５ｂとを備えている。更に、１次側１８の側面には、位置センサ３ａから、１次側１８の２次側１７上における振動許容範囲ｄの２分の１の距離をおいて、位置センサ３ａと同様の位置センサ３ｂが取り付けられている。ここで振動許容範囲ｄの説明をすると、１次側１８が２次側１７上で動ける範囲は、２次側１７の支持部１７ｂから１７ｂ’の間の範囲である（この可動範囲をＤとする）。しかし、この可動範囲Ｄで動かすと、１次側１８が２次側１７の両端の支持部１７ｂ、１７ｂ’に衝突してしまうので、実際はＤよりも小さい範囲内で駆動させるようにする。これが１次側１８の振動許容範囲ｄである。
【００１９】
一方、２次側１７には、２つの平板状の被検出部材２ａ、２ｂが、発光素子４ａ、４ｂと受光素子５ａ、５ｂとの間に介在させ得るようにして、取り付けられている。被検出部材２ａは、一端を２次側１７の中心Ｃに合わせて、振動許容範囲ｄの２分の１以上の長さを持って、２次側１７の左端の支持部１７ｂにまで延在している。被検出部材２ｂは、被検出部材２ａの中心Ｃに合わせた一端から距離ｄをおいて、２次側１７の右端の支持部１７ｂ’にまで延在している。この被検出部材２ｂの長さはｄの２分の１以下となっている。
【００２０】
そして、１次側１８が、２次側１７の中心Ｃに位置しているときのセンサ３ａと被検出部材２ａとの位置関係は、図３及び図４に示すように、被検出部材２ａが、発光素子４ａと受光素子５ａとの間のみに介在するような位置関係をとる。
【００２１】
本実施の形態による振動コンベヤ１１は以上のように構成されるが、次にこの作用について説明する。図５は、１次側１８が中心Ｃにある位置（１点鎖線で示される位置）から右側に２分のｄ動いて、丁度振動における右側の限界位置にある状態を示す。このとき、位置センサ３ｂの２対の発光、受光素子（４ａ、５ａ）、（４ｂ、５ｂ）は、（４ａ、５ａ）の方は光の透過状態にあり、（４ｂ、５ｂ）は被検出部材２ｂにふさがれて、遮光状態にある。そして、１次側１８が更に右に動いて振動許容範囲ｄを越えると、（４ａ、５ａ）、（４ｂ、５ｂ）は両方とも被検出部材２ｂにふさがれて、遮光状態となり、このとき位置センサ３ｂは、遮光状態を示す信号、例えば”０”を出力する。そして、この出力信号により、１次側１８が振動許容範囲ｄを越えてオーバーランであると判断して、直ちにリニアモータ１６’の駆動を停止させる。これにより、２次側１７の支持部１７ｂ’との衝突を避けることができ、衝突による損傷や騒音の発生を防ぐことができる。
【００２２】
また、駆動開始時、１次側１８がこの図５で示される位置にあるとき、位置センサ３ａの２対の発光、受光素子（４ａ、５ａ）、（４ｂ、５ｂ）は、両方とも光が透過状態にあり、このとき位置センサ３ａは、透過状態を示す信号、例えば”１”を出力する。そして、この出力信号により、１次側１８は２次側１７に対して右側にあると判断して、この判断結果に基づいて、１次側１８を左方へ動かしてセンタリングを行い、位置センサ３ａの出力信号が切り替わった位置を、１次側１８の２次側１７に対する中心位置として検出する。これにより、駆動開始時、１次側１８をむだな動きをさせることなく短時間でセンタリングできる。
【００２３】
図６は、１次側１８が中心Ｃにある位置（１点鎖線で示される位置）から左側に２分のｄ動いて、丁度振動における左側の限界位置にある状態を示す。このとき、位置センサ３ｂの２対の発光、受光素子（４ａ、５ａ）、（４ｂ、５ｂ）は、（４ａ、５ａ）の方は被検出部材２ａにふさがれて遮光状態にあり、（４ｂ、５ｂ）は光の透過状態にある。そして、１次側１８が更に左に動いて振動許容範囲ｄを越えると、（４ａ、５ａ）、（４ｂ、５ｂ）は両方とも被検出部材２ａにふさがれて、遮光状態となり、このとき位置センサ３ｂは、遮光状態を示す信号、例えば”０”を出力する。そして、この出力信号により、１次側１８が振動許容範囲ｄを越えてオーバーランであると判断して、直ちにリニアモータ１６’の駆動を停止させる。これにより、２次側１７の支持部１７ｂとの衝突を避けることができ、衝突による損傷や騒音の発生を防ぐことができる。
【００２４】
また、駆動開始時、１次側１８がこの図６で示される位置にあるとき、位置センサ３ａの２対の発光、受光素子（４ａ、５ａ）、（４ｂ、５ｂ）は、両方とも被検出部材２ａにふさがれて遮光状態にあり、このとき位置センサ３ａは、遮光状態を示す信号、例えば”０”を出力する。そして、この出力信号により、１次側１８は２次側１７に対して左側にあると判断して、この判断結果に基づいて、１次側１８を右方へ動かしてセンタリングを行い、位置センサ３ａの出力信号が切り替わった位置を、１次側１８の２次側１７に対する中心位置として検出する。これにより、駆動開始時、１次側１８をむだな動きをさせることなく短時間でセンタリングできる。
【００２５】
以上述べたことをまとめると表１のようになる。
【００２６】
【表１】

【００２７】
位置センサ３ａ、３ｂの両方が遮光状態であるときには、１次側１８は２次側１７の中心に対して左側に位置し且つ振動における左側の限界位置（振動許容範囲ｄ）を越えてオーバーランしているということがわかる。位置センサ３ａが遮光状態、３ｂが透過状態であるときには、１次側１８は２次側１７の中心に対して左側に位置しているが振動許容範囲ｄ内にあるいうことがわかる。位置センサ３ａ、３ｂの両方が透過状態であるときには、１次側１８は２次側１７の中心に対して右側に位置し、振動許容範囲ｄ内にあるいうことがわかる。位置センサ３ａが透過状態、３ｂが遮光状態であるときには、１次側１８は２次側１７の中心に対して右側に位置し且つ振動における右側の限界位置（振動許容範囲ｄ）を越えてオーバーランしているということがわかる。
【００２８】
また、駆動中は位置センサ３ａが透過から遮光、遮光から透過のどちらか一方へと切り替わる度に、あるいは両方のときに、エンコーダＥｍのカウンタ値を、基準値として例えば０にリセットする。これにより、１次側１８が２次側１７の中央位置を通過する度に、エンコーダＥｍの位置信号を校正することができ、長時間にわたる駆動中にエンコーダＥｍの位置信号のノイズ等の影響による１次側１８の位置の偏りを防ぐことができる。
【００２９】
以上述べたように本実施の形態によれば、１次側１８の移動限界の検出と、２次側１７に対する位置の検出を２個の位置センサ３ａ、３ｂでできるので、従来に比べて、コストを低減させることができ、更に設置スペースもコンパクトにできる。
【００３０】
次に、本発明の第２の実施の形態について説明するが、上記第１の実施の形態と同様な部分については同一の符号を付し、その詳細な説明は省略する。
【００３１】
本実施の形態においては、図７に示すように、振動許容範囲ｄの長さを有する被検出部材２’を、一端部を中心Ｃに合わせて２次側１７に取りつけている。すなわち、図４に示される第１の実施の形態とは、被検出部材のある場所、ない場所が逆になったものである。従って、１次側１８の位置とこれに対応する透過、遮光の判断が表１とは逆になる。これを表２に示す。
【００３２】
【表２】

【００３３】
従って、本第２の実施の形態においても、上記第１の実施の形態と同様な作用効果を得ることができるが、本実施の形態の方が、被検出部材は１個だけしか用いていないので、構造をより簡単なものとすることができ、設置スペースも小とすることができる。
【００３４】
以上、本発明の各実施の形態について説明したが、勿論、本発明はこれらに限定されることなく、本発明の技術的思想に基いて種々の変形が可能である。
【００３５】
例えば、以上の各実施の形態では、リニアモータとして高力密度リニアモータの駆動原理を有するリニアモータ１６’を使用したが、他のリニアモータ、例えば公知のリニアインダクションモータやリニアパルスモータ（例えば特許１４９５０６９号）などを用いてもよい。また、上記各実施の形態では、２次側１７をトラフ７に固定して、１次側１８を２次側１７に係合させて空中に配設したが、この配置関係を逆にしてもよい。更に、１次側及び２次側の一方をトラフに固定させ、他方を空中に配設するのではなく、他方を地上に配設してもよい。
【００３６】
また、上記各実施の形態では、位置センサ３ａ及び３ｂは、２個の発光素子４ａ、４ｂと２個の受光素子５ａ、５ｂとを備えているとしたが、図８に示すように、１個の発光素子６と１個の受光素子８との組み合わせによる位置センサとしてもよい。この場合には、透過状態か遮光状態かの判断は、光の透過強度によって区別する。
【００３７】
また、上記各実施の形態では、発光素子と受光素子とからなる位置センサと、平板状の被検出部材との組み合わせとしたが、位置センサを、例えばホール素子等の磁気センサとし、被検出部材を磁性体としても上記実施の形態と同様な作用を得ることができる。
【００３８】
【発明の効果】
以上述べたように、本発明のリニア駆動装置によれば、２個の位置センサのみで、１次側と２次側との相対的な振動範囲における限界と、相対的な位置関係を検出できるので、コストを低減でき、更にコンパクトな構成とすることができる。また、駆動開始時の１次側と２次側との相対的な位置決めも短時間で速やかに行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１の実施の形態による振動コンベヤの側面図である。
【図２】図１におけるリニアモータ部分の拡大斜視図である。
【図３】図２における要部の拡大斜視図である。
【図４】図１における要部の拡大図である。
【図５】１次側が２次側上での振動における右側の限界位置にある状態を示す図である。
【図６】１次側が２次側上での振動における左側の限界位置にある状態を示す図である。
【図７】本発明の第２の実施の形態による振動コンベヤのリニアモータ部分の拡大側面図である。
【図８】位置センサの変形例を示す図である。
【図９】従来例の振動コンベヤの側面図である。
【図１０】図９におけるリニアモータ部分の拡大斜視図である。
【図１１】図１０に示したリニアモータの作用を説明するための模式図である。
【符号の説明】
２ａ被検出部材
２ｂ被検出部材
３ａ位置センサ
３ｂ位置センサ
４ａ発光素子
４ｂ発光素子
５ａ受光素子
５ｂ受光素子
７トラフ
１１振動コンベヤ
１６’ リニアモータ
１７２次側
１８１次側

Claims

可動体と、該可動体を水平方向に振動可能に支持する支持体と、前記可動体にその１次側及び２次側のうちの２次側が固定され前記可動体を加振するリニアモータとからなり、駆動開始時に、前記１次側の前記２次側に対する相対的位置を、前記可動体の振動変位に関し、中央位置に駆動させるように前記１次側又は２次側の一方に備えられたコイルに流す電流を制御するようにしたリニア駆動装置において、
前記１次側に、振動許容範囲ｄの２分の１の距離をおいて取り付けられた中央位置検出用センサと他の位置センサとからなる２個の位置センサと、
前記２次側に、前記振動許容範囲ｄをおいて取り付けられた一方の被検出部材と他方の被検出部材とからなる２個の被検出部材と
を具備し、
前記一方の被検出部材は、一端部が前記中央位置検出用センサのストローク中心位置に一致しており、他端部は前記一端部からの距離が少なくとも前記振動許容範囲ｄの２分の１以上あり、
前記他方の被検出部材は、前記一方の被検出部材の一端部と対向する一端部から他端部までの距離が前記振動許容範囲ｄの２分の１以下であり、
前記他の位置センサは、前記一方の被検出部材の一端部が前記中央位置検出用センサと同じ位置にある場合に、当該中央位置検出用センサと前記他方の被検出部材との間に配置されていることを特徴とするリニア駆動装置。
可動体と、該可動体を水平方向に振動可能に支持する支持体と、前記可動体にその１次側及び２次側のうちの２次側が固定され前記可動体を加振するリニアモータとからなり、駆動開始時に、前記１次側の前記２次側に対する相対的位置を、前記可動体の振動変位に関し、中央位置に駆動させるように前記１次側又は２次側の一方に備えられたコイルに流す電流を制御するようにしたリニア駆動装置において、
前記１次側に、振動許容範囲ｄの２分の１の距離をおいて取り付けられた中央位置検出用センサと他の位置センサとからなる２個の位置センサと、
前記２次側に、一端部を前記中央位置検出用センサのストローク中心位置に一致させて取り付けられた前記振動許容範囲ｄの長さの被検出部材と
を具備し、
前記他の位置センサは、前記被検出部材の一端部が前記中央位置検出用センサと同じ位置にある場合に、当該中央位置検出用センサと前記被検出部材の他端部との間に配置されていることを特徴とするリニア駆動装置。
請求項１に記載のリニア駆動装置であって、
前記１次側又は前記２次側に取り付けられたエンコーダをさらに具備し、
前記中央位置検出用センサは、前記一方の被検出部材側に位置しており、
前記中央位置検出用センサが前記ストローク中心位置を検出した際に、前記エンコーダのカウンタ値を０又は所定の値に校正するようにしたことを特徴とするリニア駆動装置。
請求項２に記載のリニア駆動装置であって、
前記１次側又は前記２次側に取り付けられたエンコーダをさらに具備し、
前記中央位置検出用センサは、前記被検出部材の前記一端部側に位置しており、
前記中央位置検出用センサが前記ストローク中心位置を検出した際に、前記エンコーダのカウンタ値を０又は所定の値に校正するようにしたことを特徴とするリニア駆動装置。
請求項１から請求項４のうちのいずれか一項に記載のリニア駆動装置であって、
前記２個の位置センサは、一対の発光素子と受光素子とからなり、
前記被検出部材は、平板状であり、前記発光素子と前記受光素子との間に介在させ得るようにしたことを特徴とするリニア駆動装置。
請求項１から請求項４のうちのいずれか一項に記載のリニア駆動装置であって、
前記２個の位置センサは、磁気センサであり、
前記被検出部材は、磁性体であることを特徴とするリニア駆動装置。
請求項１から請求項６のうちのいずれか一項に記載のリニア駆動装置であって、
前記１次側は、前記２次側に対し移動自在に設けられていることを特徴とするリニア駆動装置。
請求項１から請求項６のうちのいずれか一項に記載のリニア駆動装置であって、
前記１次側は、地上に配設されていることを特徴とするリニア駆動装置。