JP4202683B2 - 発光ダイオードの光量測定方法及び光量測定装置 - Google Patents

発光ダイオードの光量測定方法及び光量測定装置 Download PDF

Info

Publication number
JP4202683B2
JP4202683B2 JP2002182249A JP2002182249A JP4202683B2 JP 4202683 B2 JP4202683 B2 JP 4202683B2 JP 2002182249 A JP2002182249 A JP 2002182249A JP 2002182249 A JP2002182249 A JP 2002182249A JP 4202683 B2 JP4202683 B2 JP 4202683B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
light
bias
signal
led
signals
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP2002182249A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2004031460A (ja
Inventor
芳男 湊
Original Assignee
株式会社テクノローグ
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 株式会社テクノローグ filed Critical 株式会社テクノローグ
Priority to JP2002182249A priority Critical patent/JP4202683B2/ja
Publication of JP2004031460A publication Critical patent/JP2004031460A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP4202683B2 publication Critical patent/JP4202683B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Images

Landscapes

  • Led Devices (AREA)
  • Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
  • Photometry And Measurement Of Optical Pulse Characteristics (AREA)

Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、発光ダイオード(以下LEDという)の光量測定方法及びそれに用いられる装置に関するもので、特に複数のLEDを同時に発光させ、多量のLEDを高速に測定する方法及び装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
LEDの自動化製造ラインの検査工程において、LEDの発光出力を測定するためには、通常LEDと受光センサを1対1で対峙させ、LEDの発光量を受光センサで電気量に変換して測定する方法が行われている。
しかしながら、LEDの発光面に比し、受光センサの受光面が広いので、受光センサに外部光の混入が避けられず、それを防ぐための遮光機構が複雑にならざるを得ないので、それが装置の小型化や簡略化の溢路にもなっている。
特に大量生産工程において、テストステーション上に密集して並べられた複数のLEDを同時並列的に検査しようとするときは、各系列間相互の遮光の問題に加え、各系列間の電気的雑音の遮断や、受光センサを含めた各電気回路系統の特性が均一になるような維持管理をしなくてはならないという問題があり、検査工程の効率化の妨げとなっていた。
【0003】
検査の速度を上げる方法としては、通常発光光量測定と同時に測定している正・逆両方向の電流,電圧測定などを別工程に移すことなどによって、測定時間の短縮化をはかっているが、基本的な問題解決には到っていない。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、従来の方法及び装置における外部光の影響を無くすることにより、遮光手段を省略し、測定装置を小型簡略化しようとするものである。
また、各系列間の電気的雑音の干渉や回路特性の相違による測定結果の誤差を低減し、全体として測定工程における測定時間の短縮を計るものである。
【0005】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するため、本発明の方法及び装置においては複数のLEDを同時に発光させ、その総光量を一個の受光センサで測定するようにしたものである。
総光量から個々のLEDの発光量を抽出するためには、発光側において発光信号に、各LED毎の識別信号を加え、受光側においてこれを分離することにより個々のLEDの発光量を測定しようとするものである。
【0006】
【実施例】
図3は従来の複数の(図示の場合は2個の)LEDを測定する装置の概略を説明する図である。
図3において、1はDCバイアス基準レベル発生器で、バイアスレベル調整部2によってレベルを最適な値に調整された後、二系統に分離され夫々の印加電流出力部3,3´に加えられる。
印加電流出力部3,3´の出力は、被測定LED4,4´に印加され、LED4,4´を発光させる。
【0007】
受光センサ5にはLED4の,受光センサ5´にはLED4´の発光光量に比例した電流が生じ、電流/電圧変換機6,6´により出力信号EX1,EX2に変換される。
7はスキャナー付A/D変換機の如き、多チャンネル電圧測定器で出力信号EX1,EX2を測定する。
【0008】
以上の如き従来の装置においては、LED4及び受光センサ5の系統とLED4´及び受光センサ5´の系統間は完全に遮光されていなければならず、更にそれ以外の外部入射光からも完全に遮光されている必要があり、それが従来の装置を小型化する上での障害となっていた。
また、両系統の回路特性の整合,電気的雑音の遮弊などが必要なことも上述のとおりである。
【0009】
図1は、本発明の装置及び方法を説明するブロック図である。
図示の例では、説明上2個のLEDを同時に測定する場合について表わしているが、同一回路を追加することによって、その数に応じた複数個のLEDを同時に測定できることは言うまでもない。
図1に示す装置は大別して二部分から構成されている。
LEDを発光させる信号源から、LEDに到る発光バイアス印加セクションA(図中央点線の上部)と、光量検出測定セクションB(図中央点線の下部)である。
【0010】
以下、先ず発光バイアス印加セクションAの動作から説明する。
ACBはACベース信号発生器で、一定振巾,一定周波数(周波数fb)の正弦波ACベース信号を発生する。
この信号の一部はバイアス変調器BM1に加えられ、ここで識別信号発生器ID1の識別信号(周波数f1)によって、振巾変調,周波数変調或いは位相変調等の変調を受けACバイアス信号となる。(以下振巾変調の場合を例に説明する)
同様にACベース信号の一部は、バイアス変調器BM2に加えられ、ここで識別信号発生器ID2の識別信号(周波数f2)によって同様の変調を受けACバイアス信号となる。
f1とf2は異なる周波数なので、各ACバイアス信号の波形もそれに応じて異なってくる。
【0011】
バイアス変調器BM1,BM2の出力は、夫々アナログ加算機で代表されるバイアス信号合成器BC1,BC2に加えられ、ここでDCバイアス基準レベル発生器DCBの直流バイアス電圧に一定の比率で重疊される。
この比率は、後に述べるように受光側でACバイアス信号による発光成分が忠実に現われるように設定することが重要で、0.1≦ACバイアス/DCバイアス≦0.9の範囲の比率が最適である。
バイアス信号合成器BC1,BC2の出力信号の波形の一例を図4に示す。
【0012】
次いでこの信号は、D/A変換器の機能を有するバイアスレベル調整部BL1,BL2によって、所定のバイアスレベルに調整される。BL1,BL2にLEDの諸測定条件が予めプログラムとして入力されていれば、それに応じたバイアスレベルを設定することができる。
【0013】
この信号を印加電流出力部IP1,IP2に駆動指令信号として与えると、この駆動指令信号に比例した電流がバイアス電流として被測定LEDであるLED1,LED2に印加される。
このバイアス電流の波形は、図4の波形に示す如く、DCバイアス電流の基準レベル上に識別信号によって振巾変調されたACバイアス電流が一定比率で重疊した波形なので、LED1,LED2の発光出力もこれに応じた固有の発光出力となる。
【0014】
次に図1の光量検出測定セクションBの動作について説明する。
PDは、ホトダイオード,光電管のような受光センサで、一個の受光センサPDによってLED1,LED2の発光量の和の光量を同時に受光するようになっている。
従って、LED1とLED2間の光の遮弊は全く不要である。
また、LED1とLED2の発光出力以外の本来は測定の妨害となる外部入射光があっても後述のとおりこれを排除出来る。
【0015】
受光センサPDは、入射光総量にほぼ比例した電流変化を発生し、I/V変換アンプ等と呼ばれる電流電圧変換器IVCにより、電圧の変化に変換される。
この出力成分を分析すれば大凡次の四成分からなっている。
(a) 各LEDの発光に共通して含まれるDCバイアス成分の総和に相当する電圧(以下DC受光分電圧と言う。)
(b) DC受光分電圧に重疊された、ACバイアス信号成分の総和に相当する電圧(以下AC受光分電圧と言い、ACベース信号の周波数成分fbを含む)
なお、AC受光分電圧に含まれるACベース信号の周波数fbは、ここに到る間の信号変換の過程で位相に多少のずれが生じることがあり、厳密には周波数fbでない場合もあるが、説明を簡単にするため、ACベース信号の位相と、AC受光分電圧の位相は同相関係に調整されているものとし、また両信号は回路特性不完全性に基づく歪みが無視できるものとする。
AC受光分電圧は、振巾変調が行われている場合は図5のような波形が系統数分合成された波形となり、周波数変調の場合は図6のような波形が系統数分合成された波形となる。
(c) 外部入射光に相当する不規則変動電圧(以下不要光分電圧と称し、その周波数をfpで表わす)
(d) 測定系周辺に存在する電源から拾った電気的雑音(以下電気的雑音分電圧と称し、その周波数をfnで表わす)
【0016】
以上、四成分を含む出力電圧を高域フィルターHPFに入力し、まず上記(a)のDC受光分電圧を取り除く。
DC受光分電圧取り除いても、各LEDの光量情報は(b)のAC受光分電圧に比例的に含まれているので、測定に支障は生じない。
【0017】
高域フィルターHPFの出力は、乗算機能を有する位相検知器PSD0に入力される。
同時に位相検知器PSD0には、ACベース信号発生器ACBからACベース信号(周波数fb)が加えられ、両信号は乗算される。
【0018】
すると、高域フィルターHPFの交流出力の周波数成分は、
ACバイアス信号の周波数をfb,識別信号周波数をf1,f2とすると,fb,上側波帯成分fb+f1,fb+f2,及び下側波帯成分fb−f1,fb−f2とからなる。
この内ACバイアス信号と位相、タイミングが一致するのはfb成分のみということになる。
【0019】
従って、位相検知器PSD0出力には、下記周波数成分の電圧が現れる。
(1) 高域フィルターHPFの出力に、ACベース信号の位相と完全に同相な信号が存在する場合にのみ現れる零Hzの電圧、即ち直流で、その電圧レベルは前記(b)のAC受光分電圧中のACベース信号成分のレベルに比例する。
(2) fb+fb=2fbの周波数で、振巾は上記(b)のAC受光分電圧レベルに比例する電圧
(3) f1,f2で、振巾は識別信号の振巾に比例する電圧
(4) fb+fb+f1=2fb+f1,fb+fb+f2=2fb+f2,振巾は各識別信号の振巾に比例する。
(5) fb+fp1,fb+fp2、振巾は不要光分電圧(c)に比例する。
(6) fb−fp1、fb−fp2、振巾は不要光分電圧(c)に比例する。
(7) fb+fn1,fb+fn2、振巾は電気的雑音分電圧(d)に比例する。
(8) fb−fn1,fb−fn2、振巾は電気的雑音分電圧(d)に比例する。
【0020】
fbは他の周波数(f1,f2,fp1,fn1)に対して十分高く設定されているので、位相検知器PSD0の出力を遮断周波数がfbより+分低く設定されている低域フィルターLPF0に通すことにより、高域成分が取り除かれ、低域フィルターLPF0の出力には上記(1)と(3)のみが現れる。
また、低域フィルターLPF0を通過帯域周波数が零Hz≪通過帯域周波数≪fbとなるような帯域フィルタに置換すれば、上記(3)の成分のみが通過する。
この信号は、識別信号の総和の信号である。
【0021】
こうして得られた(1),(3)の成分のみの信号,或いは(3)の成分のみからなる信号を位相検知器PSD0とほぼ同様の乗算機能を有する位相検知器PSD1,PSD2に供給する。
一方、発光バイアス印加セクションAの各識別信号発生器ID1,ID2からは、各系統に対応した識別信号と同成分の信号が位相検知器PSD1,PSD2に供給される。
【0022】
その結果、位相検知器の出力点には次のような周波数成分の電圧が現れる。
(イ) 低域フィルターLPF0の出力に識別信号と同様の成分が存在するときは、周波数零Hz、即ち直流電圧で、振巾は識別信号による発光によって生じた電圧に比例する。
(ロ) f1+f1=2f1。振巾は識別信号による発光により生じた電圧に比例する
(ハ) f1+f2。振巾は(ロ)以外の各識別信号による発光により生じた電圧に比例する。
(ニ) f1−f2。振巾は(ロ)以外の各識別信号による発光により生じた電圧に比例する。
(ホ) f1。振巾はAC受光分電圧中のACベース信号電圧により生じた電圧に比例する。
【0023】
上記周波数成分からなる信号を遮断周波数を識別信号周波数f1、f2より低くした低域フィルターLPF1,LPF2に加えると、高域成分が取り除かれ(イ)、即ち識別信号による発光により生じた直流電圧ED1,ED2が得られる。
このED1,ED2を、2チャンネル以上のスキャナ付のA/D変換器ADCに入力し、これを時分割選択して測定値を得る。
【0024】
なお、実施例は発光バイアス印加セクションのバイアス変調器BM1,BM2において、振巾変調を行った場合について説明したが、周波数変調,位相変調を行った場合でも同様に適用できる。
図2は周波数変調を行った場合の光量検出測定セクションBの構成を示し、この場合図1に示す位相検出器PSD0、低域フィルターLPF0は省略することができる。
【0025】
【発明の効果】
本発明の方法及び装置によれば、複数のLEDを同時発光させ、その総光量に基づいて個々のLED発光量の測定を行うので、各LED間の遮光手段を省略し得るばかりでなく、外部入射光や電気的雑音の影響も無くすることができる。
従って、装置を小型化できるばかりでなく、同時大量の検査が可能になる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明のLED発光量測定装置を表わすブロック図
【図2】 本発明のLDE発光量測定装置の光量検出測定セクションの他の実施例を表すブロック図
【図3】 従来のLEDの発光量測定装置を表わすブロック図
【図4】 図1の装置で使用されるACバイアス信号の波形を説明する図
【図5】 図1の装置で使用されるAC受光分電圧の波形を説明する図
【図6】 図2の装置で使用されるAC受光分電圧の波形を説明する図
【符号の説明】
BM1,BM2・・・・バイアス変調器
BC1,BC2・・・・バイアス信号合成器
BL1,BL2・・・・バイアスレベル調整部
IP1,IP2・・・・印加電流出力部
ACB・・・・・・・・ACベース信号発生器
ID1,ID2・・・・識別信号発生器
DCB・・・・・・・・DCバイアス基準レベル発生器
LED1,LED2・・被測定LED
PSD1,PSD2・・位相検知器
LPF1,LPF2・・低域フィルター
ED1,ED2・・・・直流電圧
ADC・・・・・・・・スキャナー付A/D変換器
LPF0・・・・・・・低域フィルター又は帯域フィルター
PSD0・・・・・・・位相検知器
HPF・・・・・・・・高域フィルター
IVC・・・・・・・・電流/電圧変換器
PD・・・・・・・・・受光センサ
1・・・・・・・・・・DCバイアス基準レベル発生器
2・・・・・・・・・・バイアスレベル調整部
3,3´・・・・・・・印加電流出力部
4,4´・・・・・・・LED
5,5´・・・・・・・受光センサ
6,6´・・・・・・・電流/電圧変換器
7・・・・・・・・・・多チャンネル電圧測定器
EX1,EX2・・・・出力信号

Claims (3)

  1. 交流ベース信号を、
    被測定LEDの数に対応する複数の周波数の異なる識別信号で変調し複数の交流バイアス信号を作り、
    前記複数の交流バイアス信号を基準レベルの直流バイアス電流に重疊して複数のLED発光用信号を作り、
    前記複数のLED発光用信号で複数の被測定LEDを同時に発光させ、
    発光した光の総量を単一の受光センサで受光して電気信号に変換し、
    得られた前記電気信号の中から前記識別信号の電圧を取り出し、
    個々のLED発光量を計測するようにした複数のLEDの光量同時測定方法。
  2. 請求項1記載の方法において、
    受光センサで変換して得られた複数のLEDの総光量に相当する電気信号の中から、
    まず基準レベルの直流バイアス電流で発光した成分を除去し、
    次いで識別信号で変調される前の交流ベース信号成分を除去し、
    残った総識別信号光成分を個別識別信号で分離後時分割することにより、個々の識別信号別の発光量を計測する複数LEDの光量同時測定方法。
  3. 一定周波数の交流信号を発生する交流ベース信号発生器、
    被測定LEDの数に対応する異なる周波数の識別信号を発生する複数の識別信号発生器、
    前記交流ベース信号を前記複数の識別信号で変調し、複数の交流バイアス信号に変換する複数のバイアス変調器
    前記複数の交流バイアス信号を基準レベルの直流バイアス電流に重疊する複数のバイアスレベル調節器、
    前記バイアスレベル調節器の出力で、複数のLEDを同時発光させるようにした複数LEDの発光バイアス印加装置、
    前記複数のLEDの発光を同時に受光する一個の受光センサ、
    前記受光センサの出力電流信号を電圧に変換する電流/電圧変換器、
    前記電流/電圧変換器の出力から直流バイアス電圧による発光成分を除去する高域フィルター
    前記高域フィルターを通過した交流信号成分から個々の識別信号を分離する装置からなる複数のLEDの発光量から個々のLEDの発光量を計測するLEDの光量測定装置。
JP2002182249A 2002-06-21 2002-06-21 発光ダイオードの光量測定方法及び光量測定装置 Expired - Fee Related JP4202683B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2002182249A JP4202683B2 (ja) 2002-06-21 2002-06-21 発光ダイオードの光量測定方法及び光量測定装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2002182249A JP4202683B2 (ja) 2002-06-21 2002-06-21 発光ダイオードの光量測定方法及び光量測定装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2004031460A JP2004031460A (ja) 2004-01-29
JP4202683B2 true JP4202683B2 (ja) 2008-12-24

Family

ID=31178817

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2002182249A Expired - Fee Related JP4202683B2 (ja) 2002-06-21 2002-06-21 発光ダイオードの光量測定方法及び光量測定装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP4202683B2 (ja)

Families Citing this family (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2010016110A (ja) * 2008-07-02 2010-01-21 Fujitsu Component Ltd アレイ型発光素子の検査装置及び検査方法
WO2010034140A1 (zh) * 2008-09-27 2010-04-01 中茂电子(深圳)有限公司 具有太阳能电池组的发光元件检测机台及其检测方法
JP5375184B2 (ja) * 2009-02-26 2013-12-25 日本精工株式会社 トルク検出装置及び電動パワーステアリング装置
JP2012227201A (ja) * 2011-04-15 2012-11-15 Citizen Holdings Co Ltd 半導体発光装置の検査装置及び検査方法
JP7222923B2 (ja) * 2018-01-22 2023-02-15 株式会社カネカ 不織布の製造方法

Also Published As

Publication number Publication date
JP2004031460A (ja) 2004-01-29

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US8547544B2 (en) Multichannel photometric measurement apparatus
US7062307B2 (en) Oversampling pulse oximeter
US7329858B2 (en) Optical encoder and electronic equipment having same
TWI595227B (zh) Semiconductor element inspection apparatus and semiconductor element inspection method
JPH069030B2 (ja) 高速論理回路の試験装置
JP4202683B2 (ja) 発光ダイオードの光量測定方法及び光量測定装置
JP2008020380A (ja) 吸光度測定装置
US6967718B1 (en) Method and apparatus for monitoring WDM channels and for analyzing dispersed spectrum of light
WO2014038090A1 (ja) 測定装置及び成膜装置
JP5042701B2 (ja) 光サンプリング装置および光サンプリング方法
US10600837B2 (en) Electric field imaging device
JP2002340676A (ja) 多チャンネル変調分光計測方法及び多チャンネル変調分光計測装置
JP2685107B2 (ja) レーザレーダ装置
CN109557015B (zh) 流式细胞仪光谱重叠信号数字处理方法
JPH02102425A (ja) 光スペクトラムアナライザ用光干渉計
SU1520373A1 (ru) Способ контрол качества изображени оптических и оптико-электронных систем
JPS6280507A (ja) 路面ひびわれ測定方法
JP4608528B2 (ja) 光スペクトルモニタ
JP2004101478A (ja) 複数の光を用いた同時光学的測定方法およびその装置
SU1684599A1 (ru) Устройство дл измерени смещени светового п тна
JPH0664121B2 (ja) 受光素子の特性測定装置
JPS58500455A (ja) 糸およびワイヤの光学的測定部材
SU1317335A2 (ru) Фотоэлектрический дефектоскоп
JP2009294148A (ja) 分析装置
JPH11118709A (ja) 光ヘテロダイン法分光分析装置

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20050408

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20080220

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20080507

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20080701

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20080930

A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20081009

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111017

Year of fee payment: 3

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111017

Year of fee payment: 3

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121017

Year of fee payment: 4

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20141017

Year of fee payment: 6

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees