JPH0664121B2 - 受光素子の特性測定装置 - Google Patents
受光素子の特性測定装置Info
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- JPH0664121B2 JPH0664121B2 JP61295910A JP29591086A JPH0664121B2 JP H0664121 B2 JPH0664121 B2 JP H0664121B2 JP 61295910 A JP61295910 A JP 61295910A JP 29591086 A JP29591086 A JP 29591086A JP H0664121 B2 JPH0664121 B2 JP H0664121B2
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- Japan
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- receiving element
- measurement
- measured
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- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02E—REDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
- Y02E10/00—Energy generation through renewable energy sources
- Y02E10/50—Photovoltaic [PV] energy
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- Testing Of Optical Devices Or Fibers (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
- Photovoltaic Devices (AREA)
- Light Receiving Elements (AREA)
- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、受光素子の特性のうち、特に量子効率と増倍
率の測定装置に関する。
率の測定装置に関する。
従来の量子効率，増倍率の測定装置では、図３のように
単一波長帯の光源40と被測定用受光素子42に前記光源か
らの光信号を入射させるための光学系41および被測定用
受光素子の出力を検出するための装置45より構成してい
た。なお、図３において43は受光素子用バイアス電源で
ある。
単一波長帯の光源40と被測定用受光素子42に前記光源か
らの光信号を入射させるための光学系41および被測定用
受光素子の出力を検出するための装置45より構成してい
た。なお、図３において43は受光素子用バイアス電源で
ある。
上述した従来の特性測定装置では、単一の波長帯のみし
か測定できないため、複数の波長帯における量子効率あ
るいは増倍率を測定する場合、各波長帯毎に測定せねば
ならない。このとき、それぞれ被測定受光素子に光信号
が入るように、光学系を調整しなければならず、また、
各波長帯毎に独立に操作が必要となるため、測定時間が
かかるという欠点がある。
か測定できないため、複数の波長帯における量子効率あ
るいは増倍率を測定する場合、各波長帯毎に測定せねば
ならない。このとき、それぞれ被測定受光素子に光信号
が入るように、光学系を調整しなければならず、また、
各波長帯毎に独立に操作が必要となるため、測定時間が
かかるという欠点がある。
この目的を達成するために、本発明の測定装置は、光源
として複数の波長帯を有し、かつ、それぞれの波長帯で
は互いに異なる周波数の正弦波で振幅変調された光信号
とした光源と、これによる受光素子の出力信号において
各波長帯において振幅変調周波数毎に検する装置を有し
ている。
として複数の波長帯を有し、かつ、それぞれの波長帯で
は互いに異なる周波数の正弦波で振幅変調された光信号
とした光源と、これによる受光素子の出力信号において
各波長帯において振幅変調周波数毎に検する装置を有し
ている。
本発明による装置の動作原理を次の実施例で詳細に説明
する。
する。
第１図は、本発明の実施例１を示す。
５は被測定用受光素子で、６はそのバイアス電源であ
る。１と２は互いに波長（それぞれの波長をλ１，λ２
とする）の異なる光源で、かつ相異なる周波数（それぞ
れの周波数を１，２、かつ、１＜２とする）で
振幅変調されている。変調周波数は被測定用受光素子の
量子効率・増倍率が一定な領域、すなわち数MHz以下に
設定する。
る。１と２は互いに波長（それぞれの波長をλ１，λ２
とする）の異なる光源で、かつ相異なる周波数（それぞ
れの周波数を１，２、かつ、１＜２とする）で
振幅変調されている。変調周波数は被測定用受光素子の
量子効率・増倍率が一定な領域、すなわち数MHz以下に
設定する。
３は光源1,2の光信号の合波器である。光学系４は合波
器３の出力光が、被測定用受光素子５の受光面に集光す
るように調整されているものとする。なお集光された波
長λ１およびλ２の光のスポットサイズは、受光面より
充分小さいものとする。11は、低域フィルターで周波数
１の信号を透過し、周波数２の信号を遮断する。15
は高域フィルターで、周波数２の信号を透過し、周波
数１の信号を遮断する。13と17は交流電圧計で増幅器
12あるいは16を通して波器11あるいは15の出力を測定
する。
器３の出力光が、被測定用受光素子５の受光面に集光す
るように調整されているものとする。なお集光された波
長λ１およびλ２の光のスポットサイズは、受光面より
充分小さいものとする。11は、低域フィルターで周波数
１の信号を透過し、周波数２の信号を遮断する。15
は高域フィルターで、周波数２の信号を透過し、周波
数１の信号を遮断する。13と17は交流電圧計で増幅器
12あるいは16を通して波器11あるいは15の出力を測定
する。
今、被測定用受光素子５に、光信号が入射すると、光信
号に対応し、光電流が発生し、周波数１と２を含ん
だ交流電流が流れる。この交流電流は低域フィルター11
と高域フィルター15により各周波数に分離され指示器13
あるいは17によりそれぞれの周波数成分の電流値が測定
できる。
号に対応し、光電流が発生し、周波数１と２を含ん
だ交流電流が流れる。この交流電流は低域フィルター11
と高域フィルター15により各周波数に分離され指示器13
あるいは17によりそれぞれの周波数成分の電流値が測定
できる。
したがって、量子効率と増倍率は次のような手順で測定
できることになる。量子効率の測定においては、あらか
じめ合波された光信号において被測定用受光素子５へ入
射する波長λ１と波長λ２の交流成分電力は測定されて
いるものとし、それぞれＰ１,P２とする。まず、被測定
用受光素子５には規定のバイアス電圧を印加する。次
に、光電流において周波数１および２成分の電流は
上述した方法により測定し、それぞれＩ１,I２とする。
できることになる。量子効率の測定においては、あらか
じめ合波された光信号において被測定用受光素子５へ入
射する波長λ１と波長λ２の交流成分電力は測定されて
いるものとし、それぞれＰ１,P２とする。まず、被測定
用受光素子５には規定のバイアス電圧を印加する。次
に、光電流において周波数１および２成分の電流は
上述した方法により測定し、それぞれＩ１,I２とする。
この時、波長λ１，λ２における量子効率Ｎ１,N２は
１）式および２）式で算出される。
１）式および２）式で算出される。
とする。
増倍率の測定は、まず増倍率１となるバイアス電圧条件
下における周波数１と２成分の光電流Io１,Io２を
測定する。次に規定の増倍領域となるバイアス電圧を印
加し同様にこのときの周波数１と２成分の光電流Ip
１,Ip２を測定する。
下における周波数１と２成分の光電流Io１,Io２を
測定する。次に規定の増倍領域となるバイアス電圧を印
加し同様にこのときの周波数１と２成分の光電流Ip
１,Ip２を測定する。
この時、波長λ１，λ２における増倍率Ｍ１,M２は３）
式および４）式で算出される。
式および４）式で算出される。
〔実施例２〕 第２図は本発明の実施例２を示す。23は被測定用受光素
子で24はそのバイアス電源である。18,19と20は波長の
異なる光源（それぞれの波長をλ18，λ19，λ20とす
る）で、かつ、相異なる周波数（それぞれ18，19，
20とし、18＜19＜20とする）で振幅変調されて
いる。変調周波数は実施例１と同様、被測定用受光素子
の量子効率・増倍率が一定な領域とする。
子で24はそのバイアス電源である。18,19と20は波長の
異なる光源（それぞれの波長をλ18，λ19，λ20とす
る）で、かつ、相異なる周波数（それぞれ18，19，
20とし、18＜19＜20とする）で振幅変調されて
いる。変調周波数は実施例１と同様、被測定用受光素子
の量子効率・増倍率が一定な領域とする。
21は光源18,19,20の光信号の合波器である。29,33,37は
それぞれ低域フィルター，帯域フィルター，高域フィル
ターでそれぞれ周波数１，２，３の光電流成分を
抽出するためのフィルターである。31,35,39はそれら電
流成分を測定するための指示器である。測定は実施例１
と同様で次のようになる。
それぞれ低域フィルター，帯域フィルター，高域フィル
ターでそれぞれ周波数１，２，３の光電流成分を
抽出するためのフィルターである。31,35,39はそれら電
流成分を測定するための指示器である。測定は実施例１
と同様で次のようになる。
波長λ18，λ19，λ20における量子効率Ｎ18,N19,N20は
５）式,6）式および７）式で算出される。
５）式,6）式および７）式で算出される。
ここで、Ｐ18,P19,P20は波長λ18，λ19，λ20における
被測定用受光素子への光入力の交流成分である。Ｉ18,I
19,I20は光電流において周波数18，19および20成
分の電流値である。
被測定用受光素子への光入力の交流成分である。Ｉ18,I
19,I20は光電流において周波数18，19および20成
分の電流値である。
波長λ18，λ19，λ20における増倍率Ｍ18,M19,M20は
８）式,9）式,10）式で算出される。
８）式,9）式,10）式で算出される。
ここで、Io18,Io19,Io20は増倍率１となるバイアス電圧
条件下における周波数18，19，20成分の光電流、
Ip18,Ip19,Ip20は規定増倍領域となるバイアス電圧印加
時での周波数18，19，20成分の光電流である。こ
の実施例では光波長が３条件の下での特性が測定可能で
ある利点がある。
条件下における周波数18，19，20成分の光電流、
Ip18,Ip19,Ip20は規定増倍領域となるバイアス電圧印加
時での周波数18，19，20成分の光電流である。こ
の実施例では光波長が３条件の下での特性が測定可能で
ある利点がある。
以上説明したように、本発明は、複数の波長帯における
量子効率あるいは増倍率が同時に測定出来、測定操作の
簡略化が実現できる。
量子効率あるいは増倍率が同時に測定出来、測定操作の
簡略化が実現できる。
第１図は本発明の実施例１、第２図は本発明の実施例２
を示す。第３図は従来の装置構成図である。 1,2,18,19,20,40……光源、3,21……合波器、4,22,41…
…光学系、5,23,41……被測定用受光素子、6,24,43……
直流電源、7,8,25,26,44……抵抗、9,10,14,27,28,32,3
6……コンデンサ、11,29……低域フィルター、15,37…
…高域フィルター、33…帯域フィルター、12,16,30,34,
38……増幅器、13,17,31,35,39……交流電圧計、45……
電流計。
を示す。第３図は従来の装置構成図である。 1,2,18,19,20,40……光源、3,21……合波器、4,22,41…
…光学系、5,23,41……被測定用受光素子、6,24,43……
直流電源、7,8,25,26,44……抵抗、9,10,14,27,28,32,3
6……コンデンサ、11,29……低域フィルター、15,37…
…高域フィルター、33…帯域フィルター、12,16,30,34,
38……増幅器、13,17,31,35,39……交流電圧計、45……
電流計。
Claims (1)
- 【請求項１】被測定用受光素子と、その光源として複数
の異なる波長帯を有し、かつそれぞれ異なる周波数の正
弦波で振幅変調された光源および各周波数帯毎に受光素
子の出力回路より構成され、受光素子の量子効率，増倍
率の測定を可能とした受光素子の特性測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61295910A JPH0664121B2 (ja) | 1986-12-12 | 1986-12-12 | 受光素子の特性測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61295910A JPH0664121B2 (ja) | 1986-12-12 | 1986-12-12 | 受光素子の特性測定装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63149578A JPS63149578A (ja) | 1988-06-22 |
| JPH0664121B2 true JPH0664121B2 (ja) | 1994-08-22 |
Family
ID=17826725
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61295910A Expired - Fee Related JPH0664121B2 (ja) | 1986-12-12 | 1986-12-12 | 受光素子の特性測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0664121B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2939026B2 (ja) * | 1991-10-18 | 1999-08-25 | シャープ株式会社 | 半導体ウエハの検査装置および検査方法 |
| JP4663155B2 (ja) * | 2001-05-29 | 2011-03-30 | 三菱電機株式会社 | 太陽電池の内部量子効率測定装置および方法 |
| CN107076668A (zh) * | 2014-08-01 | 2017-08-18 | 新港公司 | 相干地同时接收基于光的电信号 |
-
1986
- 1986-12-12 JP JP61295910A patent/JPH0664121B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS63149578A (ja) | 1988-06-22 |
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