JPS63149578A - 受光素子の特性測定装置 - Google Patents
受光素子の特性測定装置Info
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- JPS63149578A JPS63149578A JP61295910A JP29591086A JPS63149578A JP S63149578 A JPS63149578 A JP S63149578A JP 61295910 A JP61295910 A JP 61295910A JP 29591086 A JP29591086 A JP 29591086A JP S63149578 A JPS63149578 A JP S63149578A
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- JP
- Japan
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- measured
- light
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- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 7
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 12
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000001615 p wave Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02E—REDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
- Y02E10/00—Energy generation through renewable energy sources
- Y02E10/50—Photovoltaic [PV] energy
Landscapes
- Photovoltaic Devices (AREA)
- Light Receiving Elements (AREA)
- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
- Testing Of Optical Devices Or Fibers (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、受光素子の特性のうち、特に量子効率と増倍
率の測定装置に関する。
率の測定装置に関する。
従来の量子効率、増倍率の測定装置では、図３のように
単一波長帯の光源４０と被測定用受光素子４２に前記光
源からの光信号を入射させるだめの光学系４１および被
測定用受光素子の出力を検出するための装置４５よ多構
成していた。なお、図３において４３は受光素子用バイ
アス電源である。
単一波長帯の光源４０と被測定用受光素子４２に前記光
源からの光信号を入射させるだめの光学系４１および被
測定用受光素子の出力を検出するための装置４５よ多構
成していた。なお、図３において４３は受光素子用バイ
アス電源である。
上述した従来の特性測定装置では、単一の波長帯のみし
か測定できないため、複数の波長帯における量子効率あ
るいは増倍率を測定する場合、各波長帯毎に測定せねば
なら々い。このとき、それぞれ被測定受光素子に光信号
が入るように、光学系を調整しなければならず、また、
各波長帯毎に独立に操作が必要となるため、測定時間が
かかるという欠点がある。
か測定できないため、複数の波長帯における量子効率あ
るいは増倍率を測定する場合、各波長帯毎に測定せねば
なら々い。このとき、それぞれ被測定受光素子に光信号
が入るように、光学系を調整しなければならず、また、
各波長帯毎に独立に操作が必要となるため、測定時間が
かかるという欠点がある。
この目的を達成するために、本発明の測定装置は、光源
として複数の波長帯を有し、かつ、それぞれの波長帯で
は互いに異なる周波数の正弦波で振幅変調された光信号
とした光源と、これによる受光素子の出力信号において
各波長帯において振幅変調周波数毎に検する装置を有し
ている。
として複数の波長帯を有し、かつ、それぞれの波長帯で
は互いに異なる周波数の正弦波で振幅変調された光信号
とした光源と、これによる受光素子の出力信号において
各波長帯において振幅変調周波数毎に検する装置を有し
ている。
本発明による装置の動作原理を次の実施例で詳細に説明
する。
する。
第１図は、本発明の実施例１を示す。
５は被測定用受光素子で、６はそのバイアス電源である
。１と２は互いに波長（それぞれの波長をλ１．λ２と
する）の異なる光源で、かつ相異なる周波数（それぞれ
の周波数をｆＩ ＋ ｆ２ｓかつ、ｆｌ〈ｆ２とする）
で振幅変調されている。変調周波数は被測定用受光素子
の−ｌ子効率・増倍率が一定な領域、すなわち数ＭＨｚ
以下に設定する。
。１と２は互いに波長（それぞれの波長をλ１．λ２と
する）の異なる光源で、かつ相異なる周波数（それぞれ
の周波数をｆＩ ＋ ｆ２ｓかつ、ｆｌ〈ｆ２とする）
で振幅変調されている。変調周波数は被測定用受光素子
の−ｌ子効率・増倍率が一定な領域、すなわち数ＭＨｚ
以下に設定する。
３は光源１，２の光信号の合波器である。光学系４は合
波器３の出力光が、被測定用受光素子５の受光面に集光
するように調整されているものとする。なお集光された
波長λ１およびλ２の光のスポットサイズは、受光面よ
シ充分小さいものとする。
波器３の出力光が、被測定用受光素子５の受光面に集光
するように調整されているものとする。なお集光された
波長λ１およびλ２の光のスポットサイズは、受光面よ
シ充分小さいものとする。
１１は、低域フィルターで周波数ｆｌの信号を透過し、
周波数ｆ２の信号を遮断する。１５は高域フィルターで
、周波数ｆ２の信号を透過し、−周波数ｆｌの信号を遮
断する。１３と１７は交流電圧計で増幅器１２あるいは
１６を通してｐ波器１１あるいは１５の出力を測定する
。
周波数ｆ２の信号を遮断する。１５は高域フィルターで
、周波数ｆ２の信号を透過し、−周波数ｆｌの信号を遮
断する。１３と１７は交流電圧計で増幅器１２あるいは
１６を通してｐ波器１１あるいは１５の出力を測定する
。
今、被測定用受光素子５に、光信号が入射すると、光信
号に対応し、光電流が発生し、周波数ｆｌとちを含んだ
交流電流が流れる。この交流電流は低域フィルター１１
と高域フィルター１５により各周波数に分離され指示器
１３あるいは１７によりそれぞれの周波数成分の電流値
が測定できる。
号に対応し、光電流が発生し、周波数ｆｌとちを含んだ
交流電流が流れる。この交流電流は低域フィルター１１
と高域フィルター１５により各周波数に分離され指示器
１３あるいは１７によりそれぞれの周波数成分の電流値
が測定できる。
したがって、量子効率と増倍率は次のような手順で測定
できることになる。量子効率の測定においては、あらか
じめ合波された光信号において被測定用受光素子５へ入
射する波長λ１と波長４の交流成分電力は測定されてい
るものとし、それぞれｐ、、ｐ２とする。まず、被測定
用受光素子５には規定のバイアス電圧を印加する。次に
、光電流において周波数ｆ！およびｆ２２式の電流は上
述した方法により測定し、それぞれＩ、、Ｉ、とする。
できることになる。量子効率の測定においては、あらか
じめ合波された光信号において被測定用受光素子５へ入
射する波長λ１と波長４の交流成分電力は測定されてい
るものとし、それぞれｐ、、ｐ２とする。まず、被測定
用受光素子５には規定のバイアス電圧を印加する。次に
、光電流において周波数ｆ！およびｆ２２式の電流は上
述した方法により測定し、それぞれＩ、、Ｉ、とする。
この時、波長λ１．λ２における量子効率Ｎ、、Ｎ２は
０式および２）式で算出される。
０式および２）式で算出される。
とする。
増倍率の測定は、まず増倍率１となるバイアス電圧条件
下における周波数１里とｆ２２式の光電流Ｉｏ１． Ｉ
ｏ２を測定する。次に規定の増倍領域となるバイアス電
圧を印加し同様にこのときの周波数ｆ１とｆ２２式の光
電流Ｉｐｌ、 Ｉｐｚを測定する。
下における周波数１里とｆ２２式の光電流Ｉｏ１． Ｉ
ｏ２を測定する。次に規定の増倍領域となるバイアス電
圧を印加し同様にこのときの周波数ｆ１とｆ２２式の光
電流Ｉｐｌ、 Ｉｐｚを測定する。
この時、波長λ１．λ２における増倍率Ｍ、、Ｍ２は３
）式および４）式で算出される。
）式および４）式で算出される。
〔実施例２〕
第２図は本発明の実施例２を示す。２３は被測定用受光
素子で２４はそのバイアス電源である。
素子で２４はそのバイアス電源である。
１８．１９と２０は波長の異なる光源（それぞれの波長
をλ誌、λ１９＋λ２ｏとする）で、かつ、相異なる周
波数（それぞれ’ＩＩＩ＋ ｆ１９＋ ’２０とし、ｆ
ｓｓ ＜ ｆｌｓ ＜ ｆｍとする）で振幅変調されて
いる。変調周波数は実施例１と同様、被測定用受光素子
の量子効率拳増倍率が一定な領域とする。
をλ誌、λ１９＋λ２ｏとする）で、かつ、相異なる周
波数（それぞれ’ＩＩＩ＋ ｆ１９＋ ’２０とし、ｆ
ｓｓ ＜ ｆｌｓ ＜ ｆｍとする）で振幅変調されて
いる。変調周波数は実施例１と同様、被測定用受光素子
の量子効率拳増倍率が一定な領域とする。
２１は光源１８，１９．２０の光信号の合波器である。
２９，３３．３７はそれぞれ低減フィルター、帯域フィ
ルター、高域フィルターでそれぞれ周波数ｆ、、 ｆ、
、 ｆ３の充電流成分を抽出するためのフィルターであ
る。３１，３５．３９はそれら電流成分を測定するため
の指示器である。測定は実施例１と同様で次のようにな
る。
ルター、高域フィルターでそれぞれ周波数ｆ、、 ｆ、
、 ｆ３の充電流成分を抽出するためのフィルターであ
る。３１，３５．３９はそれら電流成分を測定するため
の指示器である。測定は実施例１と同様で次のようにな
る。
波長λ１８・λ！９・λ加における量子効率Ｎｉ８・Ｎ
１９・Ｎ２゜は５）式、６）式および７）式で算出され
る。
１９・Ｎ２゜は５）式、６）式および７）式で算出され
る。
ここで、Ｐ１Ｂ＋ Ｐ１９＋ Ｐ２Ｏは波長λ、８．λ
１１．λ２ｏＫおける被測定用受光素子への光入力の交
流成分である。
１１．λ２ｏＫおける被測定用受光素子への光入力の交
流成分である。
■＋８＋ １１９＋ Ｉｌ）は光電流において周波数’
Ｉｎ＋ ｆ１９およびｆ２ｏ成分の電流値である。
Ｉｎ＋ ｆ１９およびｆ２ｏ成分の電流値である。
波長λ、８．λ１０．λゎにおける増倍率Ｍ、、、 Ｍ
、、、 ｈｉ２ｏは８）式、９）式、１０）式で算出さ
れる。
、、、 ｈｉ２ｏは８）式、９）式、１０）式で算出さ
れる。
ここで、” ｉｌｌ ｐ ” １９ ｔ 工０２０は増
倍率１となるバイアス電圧条件下における周波数ｆＩＬ
’ＩＬ ’２０成分の光電流、Ｉｐ＋ｓ＋ 工ｐ１９
＋ Ｉｐ２０は規定増倍領域となるバイアス電圧印加時
での周波数ｆＩ！ｌ＋ ｆ１９＋ ’２０成分の光電流
である。この実施例では光波長が３条件の下での特性が
測定可能である利点がある。
倍率１となるバイアス電圧条件下における周波数ｆＩＬ
’ＩＬ ’２０成分の光電流、Ｉｐ＋ｓ＋ 工ｐ１９
＋ Ｉｐ２０は規定増倍領域となるバイアス電圧印加時
での周波数ｆＩ！ｌ＋ ｆ１９＋ ’２０成分の光電流
である。この実施例では光波長が３条件の下での特性が
測定可能である利点がある。
以上説明したように、本発明は、複数の波長帯における
量子効率あるいは増倍率が同時に測定出来、測定操作の
簡略化が実現できる。
量子効率あるいは増倍率が同時に測定出来、測定操作の
簡略化が実現できる。
第１図は本発明の実施例１、第２図は本発明の実施例２
を示す。第３図は従来の装置構成図である。 １、２．１８．１９．２０．４０・・・・・・光源、３
．２１・・・・・・合波器、４．２２．４１・・・・・
・光学系、５．２３．４１・・・・・・被測定用受光素
子、 ６．２４．４３・・・・・・直流電源、７゜８
、２５．２６．４４・・・・・・抵抗、９．１０．１４
．２７．２８゜３２．３６・・・・・・コンデンサ、１
１．２９・・・・・・低域フィルター、１５，３７・・
・・・・高域フィルター、３３°川・・帯域フィルター
、１２．１６．３０．３４．３８・・・・・・増幅器、
１３、１７．３１．３５．３９・・・・・・交流電圧計
、４５・・・・・・電流計。 一七丑（］ 形 Ｖ
を示す。第３図は従来の装置構成図である。 １、２．１８．１９．２０．４０・・・・・・光源、３
．２１・・・・・・合波器、４．２２．４１・・・・・
・光学系、５．２３．４１・・・・・・被測定用受光素
子、 ６．２４．４３・・・・・・直流電源、７゜８
、２５．２６．４４・・・・・・抵抗、９．１０．１４
．２７．２８゜３２．３６・・・・・・コンデンサ、１
１．２９・・・・・・低域フィルター、１５，３７・・
・・・・高域フィルター、３３°川・・帯域フィルター
、１２．１６．３０．３４．３８・・・・・・増幅器、
１３、１７．３１．３５．３９・・・・・・交流電圧計
、４５・・・・・・電流計。 一七丑（］ 形 Ｖ
Claims (1)
- 被測定用受光素子と、その光源として複数の異なる波長
帯を有し、かつそれぞれ異なる周波数の正弦波で振幅変
調された光源および各周波数帯毎に受光素子の出力回路
より構成され、受光素子の量子効率、増倍率の測定を可
能とした受光素子の特性測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61295910A JPH0664121B2 (ja) | 1986-12-12 | 1986-12-12 | 受光素子の特性測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61295910A JPH0664121B2 (ja) | 1986-12-12 | 1986-12-12 | 受光素子の特性測定装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63149578A true JPS63149578A (ja) | 1988-06-22 |
| JPH0664121B2 JPH0664121B2 (ja) | 1994-08-22 |
Family
ID=17826725
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61295910A Expired - Fee Related JPH0664121B2 (ja) | 1986-12-12 | 1986-12-12 | 受光素子の特性測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0664121B2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH05109855A (ja) * | 1991-10-18 | 1993-04-30 | Sharp Corp | 半導体ウエハの検査装置および検査方法 |
| JP2002353474A (ja) * | 2001-05-29 | 2002-12-06 | Mitsubishi Electric Corp | 太陽電池の内部量子効率測定装置および方法 |
| KR20170039236A (ko) * | 2014-08-01 | 2017-04-10 | 뉴포트 코포레이션 | 광학 기반 전기 신호 동시 일관 수신 시스템 및 방법 |
-
1986
- 1986-12-12 JP JP61295910A patent/JPH0664121B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH05109855A (ja) * | 1991-10-18 | 1993-04-30 | Sharp Corp | 半導体ウエハの検査装置および検査方法 |
| JP2002353474A (ja) * | 2001-05-29 | 2002-12-06 | Mitsubishi Electric Corp | 太陽電池の内部量子効率測定装置および方法 |
| JP4663155B2 (ja) * | 2001-05-29 | 2011-03-30 | 三菱電機株式会社 | 太陽電池の内部量子効率測定装置および方法 |
| KR20170039236A (ko) * | 2014-08-01 | 2017-04-10 | 뉴포트 코포레이션 | 광학 기반 전기 신호 동시 일관 수신 시스템 및 방법 |
| JP2017523422A (ja) * | 2014-08-01 | 2017-08-17 | ニューポート コーポレイション | 同時光学電気信号の可干渉性受信 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0664121B2 (ja) | 1994-08-22 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
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