JPH069030B2 - 高速論理回路の試験装置 - Google Patents

高速論理回路の試験装置

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JPH069030B2
JPH069030B2 JP61155916A JP15591686A JPH069030B2 JP H069030 B2 JPH069030 B2 JP H069030B2 JP 61155916 A JP61155916 A JP 61155916A JP 15591686 A JP15591686 A JP 15591686A JP H069030 B2 JPH069030 B2 JP H069030B2
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    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
    • G01R31/28—Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
    • G01R31/302—Contactless testing
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  • Test And Diagnosis Of Digital Computers (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は高速デジタル試験装置、特に高速超ＬＳＩチッ
プの試験に係る。
超高速デジタル・システム、例えばＶＨＳＩＣシステム
及びその他の高速超ＬＳＩ（ＶＬＳＩＣ）チップなどの
試験はデバイスまたは回路の製造に要する全時間に著し
く影響を与える。この種の回路は多数の入出力線または
並列ビット位置を含むのが普通であるから、特定の入力
信号またはビット・パターンごとに特定の出力信号また
はビット・パターンが形成される。出力信号の可能な組
合わせを全部試験することにより、被験回路またはデバ
イスが正しく動作しているかどうかを判定することがで
きる。出力信号の組合わせのいくつかが試験をパスしな
い場合、そのデバイスが欠陥製品であるとの判定を下す
か、より条件のゆるい用途、低い動作速度、または正規
の動作速度において必ずしもすべての出力が正しくなく
てもよいような動作条件の用途に転用するかを判断すれ
ばよい。
試験に必要な種々の条件は原則として公知のデジタル電
子技術を利用することによって間に合う。ところが、大
容量、高速のメモリ及びシフトレジスタ（100MHz）を
必要とすること、達成可能な相似の程度、極めて高いク
ロック周波数（＞500MHz）にまで適応する可能性、及び
コストの点でこの方法には種々の問題がある。
最近の超ＬＳＩは多くの場合最大限３２の並列入力線と
３２の並列出力を有する。このようなチップを考え得る
すべての入力及び出力の組み合わせごとに試験すること
は大変な仕事であり、多くの時間を必要とする。そこ
で、実際には所定のパターンまたは入力信号セットで回
路を試験することが多い。大抵はそれだけでチップが満
足な製品か、欠陥製品かを充分に判定できる。また、実
際の動作条件下でのチップの性能を正確に知るためには
正規の動作速度でチップを検査しなければならない。さ
らにまた、出力信号中のエラーの存在を検知するだけで
なく、検知されたエラーの場所及び不正確な論理レベル
の状態を指示することが望ましい。
本発明の主要目的は満足すべきシステム動作を表わす単
数または複数組の入力ベクトルで高速論理システムを試
験し、システム中にエラーがあればその場所及び状態に
関する情報を指示することのできる試験装置を提供する
ことにある。
上記目的を本発明は、被験回路を少なくとも１組の入力
ベクトルで駆動する手段及びパルス光信号発生手段を含
む高速論理回路の試験装置において、パルス光信号を受
信する第１空間光変調器と、被験回路からの出力信号を
構成する経時的な２進値を第１空間光変調器に所定個数
だけロードする手段と、変調器にロードされた２進値に
よって変調された光信号の空間的な光の強さを検知する
手段と、検知された光信号の強さを分析する手段と、駆
動、パルス光信号発生、検知及び分析手段の動作を同期
化させて、入力ベクトルで駆動した結果生じた出力信号
の２進値が所定個数だけ空間光変調器にロードされたの
ち、光信号パルスをオンさせる同期手段を含むことを特
徴とする高速論理回路の試験装置によって達成する。
以下、添付図面を参照して本発明の実施例を詳細に説明
する。
第１図には本発明の１実施例をブロックダイヤグラムで
示した。被験回路１０は入力信号１４から出力信号１２
を予測できる電子論理デバイスなどのようなものでもよ
く、例えば、被験回路１０として、３２ビット並列出力
を有し、そのビットパターンが３２ビット並列入力信号
に対応して経時的に変化する超ＬＳＩ（ＶＬＳＩＣ）が
考えられる。３２ビット並列入力信号は入力ベクトルと
呼び、入力ベクトル発生器１６から得られる。回路１０
が正常であるか、欠陥製品であるか、あるいはもっと条
件のゆるい用途に格下げすべきかを充分判定できる多様
なパターンでこの回路１０を試験するのに上記ベクトル
・セットを利用する。通常は複雑な専用高速論理回路に
よってリアルタイムで１組の入力ベクトルを発生させ
る。
回路１０からの出力信号は空間光変調器（ＳＬＭ）２０
を駆動する空間光変調器ドライバ１８に送られる。空間
光変調器としては、出力データをロードできる多数の独
立チャンネルを有する音響／光学セルが考えられる。出
力信号が３２ビットの場合なら、空間光変調器２０は３
２チャンネルを含むことが好ましい。ＳＬＭ２０にロー
ドされる情報は論理出力チャンネルの信号１及び０から
成る。用途によっては、類似た論理レベルを区別するた
め、ロードされる信号の各ビットのあとに論理０を挿入
すればよい。
パルス・レーザのようなパルス光源２２をシステム・シ
ンクロナイザ２４によって制御し、被験回路１０からの
データのビットの流れが空間光変調器２０にロードされ
たら、パルス光源２２をターンオンして光２６を発生さ
せる。空間光変調器２０を通過する光２８は空間変調さ
れており、検知器列３０上に結像される。検知器列３０
は空間変調器２０にロードされる各信号ビットの光の強
さを測定するのに充分な数の画素または個別検知セルを
含む。検知器列３０が光の強さを示すデータを取得した
ら、このデータは、出力信号が特定入力ベクトルに対応
して適正であるかどうかを判定するため比較電子回路に
ダウンロードされる。この実施例の比較部には公知の低
速電子回路を利用することができる。
第２図は第１図に示した実施例の斜視図である。パルス
・レーザ２２′は指令に応答してコヒーレントな光を発
生し、このコヒーレントな光はレンズ３６により、平行
光の形で空間光変調器２０′に入射する。空間光変調器
２０′は被験回路からの出力を矢印３８で示すようにＹ
軸沿いにロードされる複数チャンネルを備えた音響／光
学セルである。空間光変調器２０′に結像した光は空間
変調され、レンズ４０、４２及びフィルタ４４を通って
検知器列３０′に到達する。レンズ４０、４２及びフィ
ルタ４４は空間光変調器２０′を通過する光信号の非変
調部分を除去する。現実のシステムでは、レンズ４０、
４２はＳＬＭ２０′からの変調光線を残らず回析させる
のに充分な大きさを備えることになる。
検知器列３０′はそれぞれが空間光変調器２０′にロー
ドされる出力ビット数に等しい数の画素を提供するのに
充分な解像力を有する複数の個別チャンネルを有する２
次元アレイである。
第１及び２図に示すシステムの動作を第３図のタイミン
グダイヤグラムで示した。入力ベクトルが被験回路に供
給され、被験回路からの出力信号が第３図中のブロック
４８で示すように空間光変調器にロードされる。最近の
空間光変調器は超高速集積回路のクロック速度と適合可
能な周波数で出力データを受信することができる。空間
光変調器にロードできる各並列チャンネルのデータ・ビ
ット数は変調器の画素またはセルの数に応じて異なる。
例えば、第２図に示す空間光変調器２０′がそれぞれの
画素解像度が２５６である３２の個別チャンネルを含む
場合、信号ビット間の間隔ゼロとして必要なビットを別
とすれば、出力信号から２５６×３２ビットの情報が空
間光変調器にロードされる。ローディングが完了する
と、入力ベクトルがターンオフされ、レーザがパルス・
オンされて空間光変調器を照射し、検知器列に対して空
間変調された光を提供する。第３図中のブロック５０で
示すように、レーザがパルス・オンされたのち、ブロッ
ク５２で示すように、検知器列のデータがダウンロード
される。ダウンロードされたデータをブロック５４で示
すように通常のデジタル装置によって比較して、出力信
号にエラーが含まれていたかどうかを検出し、検出され
たエラーの場所及び状態を確認する。本発明のこの構成
を利用することにより、被験回路からの高速出力信号を
正規の動作速度で、公知の低速デジタル電子回路によっ
て利用されるビット・パターンを、他のデバイスと協働
して光学的に記憶するデバイスに供給することができ
る。
第４図は第５及び６図に示す本発明の実施例に現われる
種々の波形を示す。波形５６は被験回路からの出力信号
のデジタル論理値を表わす。波形５６から明らかなよう
に、出力の論理値は経時的に変化し、入力ベクトルに応
じて異なる。被験デバイスの多くはこのような並列出力
波形を、例えば、３２ビット並列出力デバイスなら３２
個含む。波形５６はセグメント５８で示す高論理レベル
とセグメント６０で示す低論理レベルとの間に現れる出
力変化を示す。波形６２は被験デバイスから予測される
適正な波形を表わし、同様に、波形６４は波形６２の補
数を表す波形である。
第４図から明らかなように、実際の出力波形５６は予測
される、または適正な波形６２と一致しない。波形６２
のセグメント６６、６８に相違がある。第５及び６図に
示す実施例によって用いられる加算プロセスにより、補
数波形６４を実際の出力波形５６と光学的に加算するこ
とにより、波形７０を得る。論理値は光の強さに変換さ
れているから、この加算プロセスの結果、単一の高論理
レベルで表わされる光の強さの２倍に相当する光の強さ
が得られる。例えばセグメント７２は出力波形５６から
の単一高論理レベル強さに対応する光の強さの２倍に等
しい光の強さに相当する。
第４図の波形を分析すれば明らかなように、波形７０は
出力波形５６が予測される、または適正な波形６２と同
じであれば、レベル１に相当する一定の明るさを有す
る。換言すると、出力信号が適正なら、波形５６と６４
を加算することで明るさレベル１が得られる。出力信号
が適正でなければ、波形７０の明るさ値はセグメント７
１及び７２でそれぞれ示すように、０または２となる。
波形７０のセグメント７１、７２は出力波形が不適正で
あることを示すだけでなく、両セグメントはその位置に
よって不適正出力信号の場所及び状態を示す。
第５図は第４図に略示した加算による信号の比較方法を
採用する本発明の実施例を示すブロックダイヤグラムで
ある。第５図に示すように、入力ベクトルは入力ベクト
ル発生器７４によって形成され、被験回路７６に供給さ
れる。被験回路７６からの出力信号は第１空間光変調器
８０を駆動する空間光変調器ドライバ７８に供給され
る。即ち、空間光変調器８０は第４図に示した出力波形
５６に対応する、被験回路出力からのデジタル・データ
を含む。
基準信号発生器８２は第４図の波形６４に対応する予測
される出力信号の補数を提供する。予測される信号は第
２空間光変調器８４に供給またはロードされる。基準信
号発生器８２としては、空間光変調器８４へのロードに
必要な高速で動作できる公知のデジタル回路、または被
験回路と同様の、かつ出力が適正であることがわかって
いる「パーフェクト・チップ」を使用することができ
る。
空間光変調器８０、８４にそれぞれのデータをロードし
たら、システム・シンクロナイザ８６によってパルス光
源８８をターン・オンする。光源８８からの光はスプリ
ッタ９０によって分割され、適当なレンズ系によって空
間光変調器８０、８４に結像させられる。空間光変調器
８０、８４を通過して空間変調された光は検知器列９２
に結像し、明るさ検知器９４が第４図の波形７０に対応
する検知器列９２の検知光量を測定できるようにダウン
ロードされる。従って、明るさ検知器９４は適正出力信
号の補数と適正出力信号とを組み合わせて得られる光の
強さとは異なる光の強さを監視する。検知器列９２に固
有の加算能力により、高論理レベルの出力信号のエラー
は適正信号の強さの２倍となる。同様に、低論理状態に
おける出力信号のエラーは適正値以下の明るさのレベル
となる。公知の電子回路によってこのデータを適当に操
作することにより、エラーの存在、その場所及び状態を
指示することができる。
第６図は第５図にブロックで示した実施例の斜視図であ
る。第６図では、光源８８′は光ビーム９６をスプリッ
タ９０′に入射させるパルス・レーザ系である。コリメ
ータ・レンズ９８、１００はスプリット光を空間光変調
器８０′、８４′に入射させる。図面では光源を、その
光ビームが２成分に分割される単一レーザ源として示し
てあるが、それぞれの空間光変調器ごとに１つづつ２つ
の別々の光源を使用してもよい。
被験回路からの出力信号は、この実施例の場合には多重
チャンネル音響／光学セルである空間光変調器８０′に
ロードされる。第５図の基準信号発生器８２から得られ
る予測される補数出力信号は第６図に示す多重チャンネ
ル音響／光学セル８４′にロードされる。変調器の双方
にそれぞれのデータがロードされると、レーザ８８′が
パルス・オンされて空間光変調器及びレンズ１０２、１
０４、１０６、１０８及びフィルタ１１０、１１２に光
ビームを送る。第２図に関連して述べたように、第６図
に示すレンズ及びフィルタは空間光変調器と協働するこ
とにより、変調器を通過する光の非変調成分を除去し、
空間変調された光ビームだけを２次元検知器列９２′に
結像させることを可能にする。
第６図に示す装置の変形例を第７図の部分斜視図で示し
た。第７図に示す空間光変調器８４″は磁気／光学セル
であり、アナライザ１１４を利用して、所期の空間変調
信号として偏光が適切でない光を磁気／光学セル８４″
から除去する。この実施例は基準信号の発生速度が音響
／光学セルよりも応答速度の低い空間変調器の使用を可
能にするような状況において利用することができる。第
７図に示すこの実施例では第６図に示す成分８０′、８
４′、１０２、１０４、１０６、１０８、１１０及び１
１２に代えて磁気／光学空間光変調器８４″及びアナラ
イザ１１４を用いる。
第８図は第５及び６図に示した試験装置の操作に利用で
きるステップのシーケンスを示すタイミングダイヤグラ
ムである。ブロック１１６に示すように、データが２つ
の空間光変調器にロードされ、次いで、ブロック１１８
に示すようにレーザがパルス・オンされる。レーザから
の変調光が検知器列によって検知され、ブロック１２０
で示すように、システム中の連携の電子回路にダウンロ
ードされる。ブロック１２２で示すように、公知の電子
回路を利用し、公知の方法で検知器列からのデータを分
析することにより、複合検知信号中のエラー・セグメン
トの存在及び極性を検出する。即ち、第４図に示した波
形７０のエラー・セグメントを検出し、位置及び状態を
確認する。検知器列からダウンロードされるデータは被
験回路の本来の出力信号よりも低い速度で処理できるか
ら、検知器列出力中のエラー・セグメント検出に必要な
確認及び比較を行うのに公知の低速電子回路を使用する
ことができる。
第９図に示すように、光ビーム信号の基準部分に磁気／
光学空間光変調器を使用すると、レーザをパルス・オン
する前に空間光変調器をロードするのに必要な時間量が
増大する。第９図のブロック１２４、１２６、１２８で
示すように、２つの空間光変調器にデータをロードし、
次いでレーザをパルス・オンして検知器列に光を結像さ
せる。ダウンロードされたデータを、第９図にブロック
１３０、１３２で示すように上述の態様で分析する。第
９図では空間光変調器のローディングを逐次動作として
示してあるが、空間変調器のローディング時間を節約す
るため、これらの動作の一部を同時に進行させてもよ
い。また、検知器をダウンロードし、データを分析する
段階を、空間光変調器のいずれか一方または双方へ新し
いデータをロードする時間の一部にわたって実施するこ
とも可能である。
加算プロセスまたはアルゴリズムを２つの論理値の和と
して表わすことによって、本発明の動作を数学的に説明
する。例えばSEiが被験回路のｉ番目出力チャンネルの
予測論理値を、SOiがこの同じ出力チャンネルの実論理
値をそれぞれ表わすとする。SEiもSOiも論理値０または
１を取ることができる。双方が同じ値を取れば、所与の
チャンネルのｉ番目の状態は適正であり、SEi≠SOiな
ら、出力が不適正である。この定義を利用すれば、加算
アルゴリズムを次の２つの段階で形成することができ
る。
ステップ１：SEiの補数を形成する： Ｅｉ＝1-SEi ステップ２：ＥｉとSOiの和を形成する： 出力＝OP＝SOi+1-SEi OP＝SOi+Ｅｉ ステップ２から得られる出力OPは表１に示す必要な試験
情報のすべてを含む。
表１から明らかなように、出力は３通りの値、即ち、
０、１、２を取ることができる。出力が１なら、試験は
エラーが発生しなかったことを示す。OP＝0なら、出力
試験は特定のエラーが発生したこと、即ち、被験回路の
ｉ番目のチャンネルが論理１ではなく、論理０であるこ
とを示す。同様に、OP＝2ならば、被験回路は出力０で
はなく出力１を与えたことが判明する。尚、SEi及びSOi
の和の２乗を形成しても同様の情報が得られる。この場
合、出力は値０、１及び４を取る。
音響／光学(AO)セルはこのAOセルの動作パラメータを決
定する中心周波数fc及び帯域幅(BW)を持つ。３２個の出
力チャンネルを有する被験デバイスの場合、出力S
Oi(t)、i＝1,2・・・・32のそれぞれはRF搬送波の振幅を変
調してAOセルを周波数fcで駆動する。その結果、AOセル
の３２のチャンネルを駆動する３２の並列信号の組合わ
せが得られる。
ｉ番目のAOセル・チャンネルから来る回析光の振幅は次
のように表わすことができる。
Ai(t,y)＝SOi(t-y/v)exp[j2πfc(t-y/v)](1) ただし、ｙは音の伝播方向にセルのトランスジューサか
ら測定したAOセルの位置、VはAOクリスタル中の音の速
度である。出力平面または検知器列に形成される像は３
２カラムを有し、ｉ番目のカラムの振幅は時間及び空間
に応じて異なり、式(1)で与えられる。
予測出力ベクトルの補数Ｅｉ（ｉ＝1,2,・・・・32)はこ
の実施例の場合、第７図に示す変形例の３２チャンネル
磁気／光学デバイスに供給される。磁気／光学(MO)デバ
イスのｉ番目のチャンネルからの光は下記式で表わされ
る。
ｉ（ｙ）＝Ｅｉ（ｙ）（２） 即ち、検知器列の出力平面に３２カラムのもうひとつ他
の像が結像される。
検知器列において、AOセル像のｉ番目のカラムがMOデバ
イス像のｉ番目のカラムと一致するように光信号がオー
バラップする。出力像ｉ番目カラムの合計強さは Ii(t,xi,y)＝|Ai(t,y)+ｉ(y)exp[-j2πrxi]2 ＝｜SOi(t-y/v)|2+|Ei(y)|2 ＋２SOi(t-y/v)Ei(y)exp[-j2πrxi](3) ただし、xiはｉ番目カラム中心のｘ方向位置を表わし、
ｘは第２図に示すｘ軸と同方向の軸である。位相係数ex
p[-j2πrxi]は信号と基準ビームとの角度の隔たりθか
ら得られ、r＝sinθ／λ、λはレーザ波長である。
３２セルAO-MOデバイス・チャンネルの間隔が一定であ
り、位相係数の引数rxiが整数列を形成する場合、式(3)
を次のように書き替えることができる。
Ii(t-y)＝|SOi(t-y/v)|2+|SEi(y)|2 +2KSOi(t-y/v)Ei(y)(4) ただし、Ｋはその範囲が０Ｋ１の定数である。式
(4)では各像カラムの幅が空間搬送波（式(3)の第３項）
の波長よりも小さいことを前提としている。この条件は
AOセル／MOデバイス・チャンネルを狭く、傾斜を小さく
設定するなどの方法で実現できる。重要なことは３２の
最終像カラムのそれぞれについて位相重みが等しくなる
ように構成することであり、このように構成すれば、必
要な検知器エレクトロニクスが著しく簡単になる。
レーザのパルス幅TL及びパルス周期は下記式のように設
定する。
TLNTb＝TA′(5) ただし、Tbはデータ・ビット周期、TAはAOセルのタイム
ギャップ、N＝TA/TbはAOセルの３２カラムのそれぞれに
おけるビット数または出力状態である。NはMOデバイス
の３２チャンネルそれぞれに存在する所期の出力ベクト
ル数である。レーザ・パルス幅TLはTL＜Tbとなるように
維持されるから、レーザ・パルスが「オン」である間、
AOセル中に存在するデータの目立った移動は起こらな
い。即ち、レーザ・パルスが発生することにデータが
「凍結される」。
単一レーザ・ショットの場合、データはパルスがオンで
ある間は凍結されるから、ｉ番目のカラムのｊ番目の検
知画素に書き込まれる情報は下記式で表わすことができ
る。
Ii(yj)＝|SOi(yj)|2+|SEi(yj)|2 +2KSOi(yj)Ei(yj) ＝Iij＝S2 oij+2 Eij+2KSoijSEij(6) ただし、yj,j＝1,2,・・・・,Nはｊ番目の検知画素の空間位
置を表わす。式(6)ではTLをTb以下であると仮定してお
り、式(4)の時間依存性を除去できた理由もそこにあ
る。２乗項を省くことで式(6)をさらに簡単にすること
ができる。SoijもEijも値０または１を取ることがで
きるから、このような省略は可能である。この場合、式
(6)は次のように書き替えることができる。
Iij＝Soij+Eij+2KSoij Eij (7) 式(7)はｉ番目出力チャンネルのｊ番目の状態に起こっ
たエラーに関する完全な情報を含んでいる。このことは
K＝0の場合を考察することによって理解することができ
る。この場合、 Iij＝Soij+Eij(8) 式(8)から明らかなように、Iijはステップ２で述べた所
要の試験出力OPと正確に一致する。K＝1という極端な場
合、出力は下記の形を取る。
Iij＝Soij+Eij+2Soij Eij(9) これは出力OPの２乗を形成するのと等価である。Ｋがそ
の他の値０＜Ｋ＜１を取る場合には、OPが取り得る３通
りの値は０、１及び2+2Kである。
以上に述べた装置によるとGaAsチップを含む超高速デジ
タル論理回路を簡便かつ経済的に試験できる。また、エ
ラーが検知された場合、その場所及び状態を指示し、し
かも正規のクロック周波数で高速デバイスを操作しなが
らこの試験情報を得ることができる。実際の試験で約30
0MHzまでのクロック周波数で単チャンネル音響／光学デ
ータの記録を行った。この限界はクロック周波数は公知
の電子駆動回路によって設定された。
【図面の簡単な説明】
第１図は本発明の第１実施例を示すブロックダイヤグラ
ム。 第２図は第１図に示した実施例の斜視図。 第３図は第１及び第２図に示した実施例の動作に関する
タイミングダイヤグラム。 第４図は第５図に示す実施例の動作説明のための波形
図。 第５図は本発明の第２実施例を示すブロックダイヤグラ
ム。 第６図は第５図に示した実施例の斜視図。 第７図は第６図に示した実施例に対する変形例を示す斜
視図。 第８図は第６図に示した実施例の動作に関するタイミン
グダイヤグラム。 第９図は第７図に示した実施例の動作に関するタイミン
グダイヤグラムである。 １０……被験回路 １６……入力ベクトル発生器 １８……空間光変調器ドライバ ２０……空間光変調器 ２２……パルス光源 ２４……システム・シンクロナイザ ３０……検出器列 ３２……比較回路

Claims (12)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】被験回路を少なくとも１組の入力ベクトル
    で駆動する手段及びパルス光信号発生手段を含む高速論
    理回路の試験装置において、パルス光信号を受信する第
    １空間光変調器と、被験回路からの出力信号を構成する
    経時的な２進値を第１空間光変調器に所定個数だけロー
    ドする手段と、変調器にロードされた２進値によって変
    調された光信号の空間的な光の強さを検知する手段と、
    検知された光信号の強さを分析する手段と、駆動、パル
    ス光信号発生、検知及び分析手段の動作を同期させて、
    入力ベクトルで駆動した結果生じた出力信号の２進値が
    所定個数だけ空間光変調器にロードされたのち、光信号
    パルスをオンさせる同期手段を含むことを特徴とする高
    速論理回路の試験装置。
  2. 【請求項２】検知された光信号の強さを分析する手段
    が、検知された光の等価２進値を予期される論理状態の
    記憶２進値と比較し、記憶値と等しくない信号強さの存
    在を識別することを特徴とする特許請求の範囲第１項に
    記載の装置。
  3. 【請求項３】複数組の入力ベクトルを順次入力して被験
    回路を駆動し、被験回路の全般的な状態を判断する複数
    組の出力信号を得ることを特徴とする特許請求の範囲第
    １項に記載の装置。
  4. 【請求項４】第１空間光変調器を通して検知手段にパル
    ス光を入射させる手段と、変調光から不要の変調側波帯
    をフィルタする手段を含むことを特徴とする特許請求の
    範囲第１項に記載の装置。
  5. 【請求項５】第１空間光変調器が音響／光学セルである
    ことを特徴とする特許請求の範囲第１項に記載の装置。
  6. 【請求項６】検知手段が少なくとも第１空間光変調器に
    ロードされる所定個数の２進値と同数の画素域を有する
    光電変換器であることを特徴とする特許請求の範囲第１
    項に記載の装置。
  7. 【請求項７】第２空間変調器と、被験回路からの予期さ
    れる出力信号と補数関係にある基準信号を第２空間光変
    調器にロードする第２手段と、第２空間光変調器上にパ
    ルス光信号を発生する第２手段と、第２空間光変調器か
    らの変調光を検知手段に入射させる手段を含むことを特
    徴とする特許請求の範囲第１項に記載の装置。
  8. 【請求項８】パルス光信号を発生する第１及び第２手段
    が共通のレーザ光信号を利用することを特徴とする特許
    請求の範囲第７項に記載の装置。
  9. 【請求項９】検知手段からの検知された空間光強さを表
    わす出力信号が被験回路からの出力信号及び予期される
    出力信号の補数の和に等しいことを特徴とする特許請求
    の範囲第７項に記載の装置。
  10. 【請求項１０】第２空間光変調器が音響／光学セルであ
    ることを特徴とする特許請求の範囲第７項に記載の装
    置。
  11. 【請求項１１】第１空間光変調器が磁気／光学セルであ
    ることを特徴とする特許請求の範囲第１項に記載の装
    置。
  12. 【請求項１２】基準信号を被験回路の標準規格から得る
    ことを特徴とする特許請求の範囲第７項に記載の装置。
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