JP4202024B2 - 能動植え込み型医療装置用のハイブリッド電子回路の製造方法 - Google Patents
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Description
【発明の分野】
この発明は能動植え込み型医療装置用のハイブリッド電子回路製造方法に関する。ここでは本発明の一実施例として植え込み可能なペースメーカの回路に関して説明するが、本発明は極めて多様な“能動植え込み型医療装置”に対して広範に適用することができる。これらの装置として、1990年6月20日付のEC評議会指令第90/385/CE号によって、ペースメーカに加えて細動除去器および/または電気除細動器、神経学機器、治療物質の拡散ポンプ、移植蝸牛刺激装置、植え込み型生態センサ等が定義されている。
【0002】
【発明の背景】
能動植え込み型医療装置(以後“植え込み型装置”または“装置”と称する)は、電源と能動および受動素子を補助ならびに相互接続するハイブリッド回路基板(以後“電子回路”と称する)とを含んだケース部材を備えている。ペースメーカの場合、電子回路によって、心臓信号、刺激パルスの発生を収集して解析し、医学的検査のための種々の情報を記録(メモリ内に蓄積)し、ペースメーカ装置の種々の機能を制御することが可能になる。通常この電子回路にコネクタヘッドが接続されて、特に信号収集および/またはパルス付加のための導線等の外部要素に対しての電気的および機械的接続を提供する。
【0003】
これらの植え込み型装置がケース部材内で使える限られたスペースを考慮して電子回路を大幅に小型化する必要があることは容易に理解できる。より具体的には、接続要素等の一般的に表面実装素子(“SMC”)技術によって構成される種々の能動および受動要素に加えて、この電子回路は個々の半導体チップへと切断するための半導体プレート(すなわちウェハー)上にマイクロフォトリソグラフによって形成される1つまたは複数のチップを装備している。これらの個々のチップは、その他の能動および受動素子と同様に、装置の電子回路を構成するために通常単一の個別基板上に実装される。種々の異なった素子が基板上に実装されているため、この電子回路は“ハイブリッド回路”とも呼ばれている。
【0004】
今日においてはこれらの電子回路を構成するために複数の技術を使用することができるが、既存の全ての技術がそれぞれ問題点をかかえている。第1の既知の技術は“チップキャリア”を使用しており、これは小型の個別ケース部材の底部にチップを接着してワイヤボンディングによって配線するものである。その後このチップキャリアは金属キャップによって封鎖されハイブリッド回路の基板上に装着される。この方法は各チップを個別に処理する必要があるとともにチップの数と同じだけのチップキャリアを必要とすることから高コストなものとなる。チップキャリアはその中に含まれるチップよりも大きなものであるため、大きな面積を占有するものとなる。
【0005】
別の既知の技術は“共通の空洞部内への組み立て”である。このハイブリッド回路の基板は平坦なものではなく、むしろ全てのチップを収容するために充分な大きさの空洞部を有しており、これらのチップはチップキャリアの場合と同様に接着されワイヤボンディングによって配線される。その後共通のキャップ部材によって空洞部全体を閉鎖する。この方法は同一のハイブリッド回路の全てのチップを同時に処理するという利点を有するが、複数のハイブリッド回路を同時に処理することは不可能である。さらに、占有される面積の点に着目すると、キャップ部材が取り付けられる回路の空洞部の壁は相当に大きな面積を占有しこれが損失となる。また、大きな寸法のキャップ部材を使用することによってキャップ部材と基板との間において圧力(応力)を微妙に配分する必要が生じ、このことによって回路の脆弱性が増大する。
【0006】
別の技術は“チップオンボード”構成として知られており、これはチップをホスト基板上に接着し配線した後保護樹脂の滴あるいは塊によってそれらを個別に被覆する(米国特許第4784872号公報参照)。このように“塊”で被覆されたチップは基板上の比較的大きなスペースを占有するものとなり、これは被覆樹脂の固まりの自然流に対して充分な境界領域を設ける必要があるためである。さらに、各回路の各チップを個別に処理する必要があるため、この技術のコストも比較的高いものとなる。最後に、塊によって被覆されたチップを実装している表面の機械的な状態は良好に管理されたものではなく、平方ミリメートルの単位まで重視される植え込み型装置内によく管理して挿入および設置することは不可能である。
【0007】
国際特許出願WO−A−99/41786号公報にはペースメーカ回路のサブセットを被覆する技術が示されており、ここでサブセットは切断の前に被覆樹脂層によって被覆される。この文献にはサブセットの被覆のみしか記載されていないが、これらは植え込み型装置の電子回路基板を形成するために共通の基板上に装着する必要がある。さらに、この技術においては基板が2つの面に素子を実装することはできず、これはサブセットの面のうちの1つがこれを電子回路の基板上に装着するための面として設定されているためである。
【0008】
【発明の概要】
従って、本発明は、前述した既知の方法の問題点を解消することができる、能動植え込み型医療装置用の電子回路の新規の製造方法ならびにこの方法によって製造された電子回路を提案するものである。
【0009】
本発明の特徴の1つは以下の各工程からなる複数のハイブリッド回路要素の製造方法である:
a) 第1の表面(すなわちプレート基板の1面)上に複数の繰り返しパターンからなるチップ用の接触領域を有し、第2の表面(すなわち第1の面の反対側の第2の面)上に同様に複数の繰り返しパターンからなる能動あるいは受動表面実装素子(“SMC”)またはコネクタ素子用の金属化領域を有し、複数の繰り返しパターンからなる接触領域および金属化領域が植え込み型装置のための前記複数の電子回路に相当する、平坦な集合プレート基板を形成し;
b) 集合プレート基板の第1の表面上に第2のチップ群を接着し、植え込み型装置の前記電子回路のそれぞれが少なくとも1つの対応するチップを有し、
c) 第2のチップ群のうちの選択されたものを相関する接触領域に対して結線し、
d) 集合プレート基板の第1の表面に被覆樹脂を注入し適宜に均一な厚さを有する被覆樹脂層を形成し、
e) 被覆樹脂を硬化させ、
f) 集合プレート基板を切断して複数の個別基板を形成し、各基板はその第1の表面上に樹脂によって被覆された少なくとも1つのチップを備え、この各個別基板がそれぞれ植え込み型装置の1つの電子回路に相当し、
g) SMC素子ならびにコネクタ要素のうち少なくとも1つを各個別基板の第2の表面上に装着し、これによって植え込み型装置のための複数の完全電子回路を形成する。
【0010】
好適な一実施形態において、集合プレート基板は周囲境界領域を備えており、工程d)において注入された樹脂はこの周囲境界領域を覆うまで重力によって自由に拡散することができ、さらに工程f)において周囲境界領域を切断して分離することが好適である。
【0011】
さらに別の実施形態において、工程e)の後に硬化した被覆樹脂層の表面上に均一な金属層を付着させる工程を含めることが可能である。
【0012】
この発明はさらに前述した方法によって実現される能動植え込み型医療装置に関する。この電子回路は、第1の表面に1つまたは複数のチップを支持し第2の表面上に能動または受動SMC素子および/またはコネクタ要素を支持する基板から構成される。この基板の第1の表面上には回路ならびにチップを覆う(被包する)被覆樹脂層が設けられる。この層は、均一な厚さを有するとともに基板の一縁部から別の縁部へと2次元に延在し、従って基板は(3次元において)側面を有し、その樹脂層は基板の表面に対して垂直に延在することが好適である。その結果、切断を実行すると電子回路は実質的に適宜に平坦かつ好適には均一に平坦である上部、底部、ならびに側部壁を有する長方形となる(個別回路を第1の表面に対して90°以外の角度で切断することが好適であることが当然理解される)。
【0013】
本発明のその他の詳細、特徴、ならびに利点は、添付図面を参照しながら以下に記述する説明により当業者において理解されよう。
【0014】
【発明の詳細】
第1に、本発明は複数の植え込み型装置電子回路を同一の集合プレート基板上で同時に形成し、単一の工程においてプレート基板の表面全体を樹脂で被覆し、被覆された集合プレート基板を切断して各回路を“個別化”して種々の個別電子回路を形成することを提案するものである。この切断は、周知のようにスライシング(またはのこ引きあるいはその他の基板を小片に分離する方法)によって実施することができる。基板の前面(この表面には被覆樹脂が付加されていない)にはその後SMC素子、コネクタ等を装着するための金属化が施される。
【0015】
図1には平坦な集合プレート基板10が示されており、これはセラミック(例えば多層セラミック構造)、硬質エポキシ樹脂等の既知の材料によって形成されている。この材料は所要の電子回路の機械的および電気的特性に従って選択される。このプレート基板は、これに装着されるチップならびにその他の要素のための種々の相互接続コンダクタを備えることが好適である。
【0016】
図示された実施例において、各電子回路は2つのチップ12,14を有しており、これらはそれぞれマイクロフォトリソグラフィによって形成され半導体プレートを切断したものである。これらのチップ12,14はその後方法の第1工程中において同時に集合プレート基板10上に装着および接着される。図1には12個のチップが示されており、これらは全てプレート基板10上に装着および接着される。
【0017】
プレート基板10上に形成された相関する接触領域16を各チップ上に配置された対応する接触領域20に適宜に接続する細い接続線18を設けることによって、ワイヤボンディング方法による種々のチップの適正な配線が確立される。所要の配線を達成するために既存の任意のワイヤボンディング加工装置を使用することができる。
【0018】
続く工程が図2に示されており、被覆(“被包”)樹脂22を注入してプレート基板10上に流し全てのチップならびにその電気接続を被覆する。
【0019】
使用される樹脂はこの電子回路の機械的強度特性に従って適宜に選択され;一般的にポリイミド、エポキシポリマ、シリコン樹脂等の重合可能な材料とされる。選択された樹脂は局所的に流動あるいは移動することができ、例えば紫外線照射あるいは加熱することによって所定の場所で硬化させることができる。自然の方式により、樹脂は表面張力と重力が組み合わされることによって実質的に平坦な形状(例えば縁部を除いて)を有するものとなる。これに代えて、プレート10上を流れる被覆樹脂に対して機械を使用して手動であるいは自動的にスクレーパによる平滑化を行うこともできる。
【0020】
好適には、重合化後硬化した材料は固体となるが、プレート基板10を歪ませるような応力を生じさせることがないように決して過剰な柔軟性を備えないものとなる。
【0021】
図2において参照符号24および26は、各個別電子回路の境界を定めるハッチングされた位置決めラインである。実線の参照符号28は2つのチップ12,14をもって独立する1つの電子回路の外形を示している。
【0022】
電子回路の寸法に比べて、プレート基板10の寸法は、周囲境界領域30,32が設けられるとともにこの周囲境界領域は樹脂22の塊の縁部がこの周辺領域内の対応する場所34,36まで到達するために充分なものとなるように選択される。このことによって種々の個別電子回路の領域全体にわたって殆ど平面的(すなわち実質的に平坦)な表面が形成される。樹脂を硬化させた後ハッチングされた線24および26に沿ってプレート基板およびその被覆樹脂層が切断(スライシングあるいはのこ引き)され各電子回路が“個別化”される。
【0023】
図3および図4に示されているように、個別回路のそれぞれが自由面(図2に示されたプレート基板の第2の表面)には、要素38,40,42のような能動あるいは受動SMC素子および/または個別回路を医療用植え込み型装置に接続するための接続ピン44を装着するための金属化領域が設けられる(図4)。
【0024】
プレート基板10の別の面あるいは第1の表面(図3)において、回路は厚さe(通常約0.8mm)からなる全く平坦かつ固形の樹脂層22を有しており、これはチップ12および14を完全に被覆し基板に対して封着するものである。
【0025】
別の実施例においては、樹脂を硬化させた後プレート基板10を切断する前に、全ての樹脂表面の上に金属層を付着させることも可能である。この種の金属層は複数の機能を提供し得るものであり、それらは特に:
* 電気遮断(例えば、金属層を接地することによって)、
* 湿気ならびに化学的不純物の侵入防止、および/または
* 機械的防護の強化、
である。
【0026】
前述した方法は種々の利点を有しており、それらは特に以下のことである:
* glob−topプロセスの場合のように各回路の周りの樹脂流のための周囲境界領域の損失を伴うことなく個別電子回路の表面を良好な密度で被覆することができる。従って、本発明の好適な実施例によれば周囲境界領域はプレート基板の全体周辺部のみのために必要であり、各電子回路の個々の寸法に影響を与えることはない。
【0027】
* 接着、配線またはワイヤボンディング、および樹脂の注入処理を複数の回路に対して共用のものとすることができるため、例えば集合プレート基板10上にN個の回路を構成する場合、ファクタNによって製造プロセスからインプットならびにアウトプット数を削減することができ、コスト面における最適化を達成することができる。
【0028】
* 樹脂表面の良好に平滑化することができる(この樹脂は通常単に重力によって拡散することができるが、選択的にユーザが補助を行うこともできる)。切断工程によって回路の側部を直線的に切断することができるため、自動実装装置によって基板上に精密かつ容易に配置するための良好な機械的基準を提供することができる。
【0029】
* 外部要因に対してチップを効果的(気密)に防護することができる。
【0030】
前述した実施例は単に説明の目的のものであり、本発明にこれに限定されることはなく当業者においては種々の設計変更をなし得ることが理解される。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に従って被覆樹脂層を注入する前の、複数の植え込み型装置回路のチップが装着ならびに配線される集合プレート基板を示す構成図である。
【図2】本発明に従って被覆樹脂層を注入した後の、複数の植え込み型装置回路のチップが装着ならびに配線される集合プレート基板を示す構成図である。
【図3】本発明の好適な一実施例に係る方法に従って構成される、完成した電子回路を下側から見た立体構成図である。
【図4】本発明の好適な一実施例に係る方法に従って構成される、完成した電子回路を上側から見た立体構成図である。
Claims (3)
- a) 第1の表面上に複数の繰り返しパターンからなる少なくとも1つのチップ用の接触領域を備え、同様に複数の繰り返しパターンからなり能動表面実装(“SMC”)素子、受動SMC素子、およびコネクタ要素のうちの少なくとも1つを受容するための金属化領域を有する第1の表面の反対側の第2の表面を備え、前記集合プレート基板の複数の接触領域および金属化領域が複数の植え込み型装置電子回路に相当する、平坦な集合プレート基板を形成し;
b) 集合プレート基板の第1の表面上に第2のチップ群を接着し、前記植え込み型装置電子回路のそれぞれが少なくとも1つの対応するチップを有し、
c) 前記接着されたチップを該当する接触領域に対して結線し、
d) 集合プレート基板の第1の表面に被覆樹脂を注入し適宜に均一な厚さを有する被覆樹脂層を形成し、
e) 被覆樹脂を硬化させ、
f) 集合プレート基板を切断して複数の個別基板を形成し、各基板はその第1の表面上に接着され樹脂によって被覆された少なくとも1つのチップを備え、この各個別基板がそれぞれ個別の植え込み型装置電子回路に相当し、
g) 少なくとも1つのSMC素子および/またはコネクタ要素を各個別基板の第2の表面上に装着して植え込み型装置の複数の電子回路を形成する、
複数のハイブリッド電子回路の製造方法。 - 集合プレート基板はさらに周囲境界領域を備えており、工程d)はさらに周囲境界領域を覆うまで重力によって注入された樹脂を拡散させることを含み、さらに工程f)が周囲境界領域を切断することを含む請求項1記載の方法。
- 工程e)の後に硬化した被覆樹脂層の表面上に均一な金属層を付着させる工程を含める請求項1記載の方法。
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