JP4193494B2

JP4193494B2 - Light processing equipment

Info

Publication number: JP4193494B2
Application number: JP2002555946A
Authority: JP
Inventors: 弘実坂元; 豊長谷川
Original assignee: GS Yuasa Corp
Current assignee: GS Yuasa Corp
Priority date: 2001-01-15
Filing date: 2002-01-15
Publication date: 2008-12-10
Anticipated expiration: 2022-01-15
Also published as: KR20020093838A; TW541569B; CN1455709A; JPWO2002055224A1; CN1321756C; WO2002055224A1; KR100840700B1

Description

技術分野
本発明は、例えば有機物の洗浄またはアッシング等に用いられる紫外線処理装置等の光処理装置に関する。
背景技術
例えば、カラー液晶表示パネルを構成するカラーフィルタは、ガラス基板に赤，緑，青色のレジストをコーティングして作製され、その作製工程中で洗浄が行われる。洗浄は、より洗浄効果を上げるため、純水を用いたウエット洗浄法とＵＶ／Ｏ_３洗浄法とが併用されて行われる。このＵＶ／Ｏ_３洗浄は、紫外線による有機物の低分子化と、紫外線による空気中の酸素からのオゾンと酸素の活性基生成を利用して有機物を除去するもので、紫外線処理の一種である。
第１０図は、このような洗浄工程の為の洗浄装置の例を示す概略構成図であり、第１１図はこの洗浄装置に用いられている紫外線処理装置の開放状態を示す斜視図である。本洗浄装置は、紫外線処理装置５０の正面に対して左右両側に赤外線予備加熱処理装置６０と、冷却処理装置７０とを連続して配置し、さらに、冷却処理装置７０の右側にウエット洗浄処理装置８０を連続して配置して構成されたコンベア搬送式の処理装置であり、さらにその左右に別工程のための処理装置が接続されて一連の製造ラインを構成するものである。
第１１図に示すように、紫外線処理装置５０の本体５１内には多数の搬送ローラ５２を備えた搬送装置が設けられ、これにより被処理物としての複数枚のガラス基板（図示せず）を搬送ローラ５２に載せて第１０図及び第１１図の矢印方向に向かって順次搬送することができる。本体５１上面の開口部はランプハウス５３にて開閉可能となっており、そのランプハウス５３には紫外線処理のための複数本の紫外線ランプ５４が設けられている。ランプハウス５３は、本体５１の正面から後方向に開閉自在となるようにヒンジ５５により本体５１の後面壁部に取り付けられ、開放状態を維持するためのガスダンパ式の支持ステイ５６がランプハウス５３の前縁部と本体５１の前面壁部との間に開口部を跨ぐように設けられている。
ところで、このような光処理装置では、搬送ローラ５２やランプ５４の定期的な清掃、点検、交換作業を行う必要があり、これらのメンテナンス作業は第１１図に示すようにランプハウス５３を開放させた状態で行われる。また、被処理物であるガラス基板に傷を付けにくい樹脂製の搬送ローラ５２を採用したものでは、紫外線、熱、オゾン等による劣化作用を受けやすいため、その交換を頻繁に行わねばならない。
しかるに、従来の光処理装置では、ランプハウス５３を正面から後方向に開放するようになっているため、メンテナンス作業は本体５１の前面側からしか行うことができない。特に、近年は、液晶パネル用のガラス基板が大型化していることから光処理装置全体も大型化の傾向にあり、かかる傾向のなかで装置の前面側からしか作業ができないと、装置の後部にまで手が届かないことになり、メンテナンス作業が極めて困難であるという問題があった。また、ランプハウス５３を開放状態に保持する支持ステイ５６が、被処理物の搬送領域の上方を跨ぐ形態となっているため、その支持ステイ５６からダストが落ちて被処理物に付着してしまうという問題もあった。
本発明は、上記のような問題に対処するためになされたものであり、本体が大型化された場合にも、内部の掃除や点検、部品交換等のメンテナンス作業を容易に行うことができる光処理装置を提供することを目的とするものである。
発明の開示
本発明は、上面に開口部を有する本体にその開口部を覆うようにランプハウスを配置し、このランプハウスに設けたランプから本体内の被処理物に光を照射するようにした光処理装置であって、ランプハウスを本体の前後方向に延びる横型回転軸を中心に開閉回動可能としたところに特徴を有する。
この構成によれば、ランプハウスを横方向に開くことができるので、装置の本体背面からのメンテナンス作業をランプハウスに遮られることなく行うことが可能となり、装置が大型化された場合も容易にメンテナンスを行うことができる。また、本体の前後両方向からのメンテナンス作業が可能であるから、光処理装置の左右方向に他の処理装置を配置しても、メンテナンス作業の容易性を損なうことなく製造ラインを組み立てることが可能となる。
発明を実施するための最良の形態
以下本発明を液晶ディスプレイ用のガラス基板の洗浄を行う紫外線アッシング装置１０に適用した一実施形態について第１図ないし第７図を参照して説明する。
第１図に示すように、洗浄ラインは紫外線アッシング装置１０の正面から見て左側に赤外線予備加熱装置３１を、右側に冷却装置３２を連続して配置し、さらに冷却装置３２の右側にウエット洗浄装置３３を連続して配置して構成されており、被処理物に相当する図示しないガラス基板が同図中矢印に示すように左側から右側に順次搬送される。
紫外線アッシング装置１０の本体１１は箱形をなして上面を開口させており、その開口部を塞ぐように２枚のランプハウス１２が配置されている。本体１１の内部には、その前面壁部１１１と後面壁部１１２とに沿って２枚のコンベアフレーム壁１３が平行に対をなして設けられ、このコンベアフレーム壁１３間にわたって前後方向に延びる複数本のコンベア軸１４が図示しないベアリングを介して回転自在に支持されている。各コンベア軸１４には、例えばフッ素樹脂製のローラ１５がそれぞれ複数個取り付けられ、コンベア軸１４を本体１１内に設けた駆動装置によって回転駆動することにより、ローラ１５上に載せたガラス基板を搬送することができる。
本体１１の前面から見て左側に位置するランプハウス１２は、第３図に示すように、その左側縁の前後両端部がヒンジ機構１６を介して本体１１の前面壁部１１１及び後面壁部１１２に支持され、本体１１の上面開口部の左半分がこのランプハウス１２によって左方向に開閉可能とされている。そのヒンジ機構１６は、第４図に示すように、ランプハウス１２側から延びる一対の旋回アーム１６１と、本体１１側から延びる支持アーム１６２とを、本体１１の前後方向に延びる横型回転軸１６３によって連結して構成されており、従って、その横型回転軸１６３を中心にして左側のランプハウス１２は第５図に二点鎖線で示す閉鎖位置と、同図実線で示す開放位置との間で矢印方向１２１に沿って開閉回動する。なお、横型回転軸１６３と支持アーム１６２との間には潤滑部材１６４が挿入されている。
一方、本体１１の前面から見て右側に位置するランプハウス１２も同様にその右側縁の前後両端部がヒンジ機構１６を介して本体１１の前面壁部１１１及び後面壁部１１２に支持され、本体１１の上面開口部の右半分がこのランプハウス１２によって横方向に開閉可能とされている。そのヒンジ機構１６は左側のものと同様で本体１１の前後方向に延びる横型回転軸１６３を備えており、従って、その横型回転軸１６３を中心にして右側のランプハウス１２は第５図に二点鎖線で示す閉鎖位置と、同図実線で示す開放位置との間で矢印１２２方向に沿って開閉回動する。
また、本体１１の開口部の左右方向の中間部と、両ランプハウス１２のヒンジ機構１６側には、前後方向に延びる中間バー１７がそれぞれ取り外し可能に設けられており、第６図に示すように、それらの中間バー１７の上面の左右両側に２本のシール部材１７１が前後に延びて設けられている。各ランプハウス１２が閉鎖位置に回動されたとき、その下面板１２３が各中間バー１７のシール部材１７１に密着する（中央の中間バー１７については第６図に拡大して示してある）。また、このランプハウス１２の下面板１２３には、２枚のコンベアフレーム１３の上面に配置した図示しないシール部材にも密着するようになっており、これによりランプ１９の下方空間（ガラス基板の搬送空間）が密閉されて紫外線の漏れやオゾンの漏出が防止される。
そして、各ランプハウス１２の前後両端部と本体１１の前面壁部１１１及び後面壁部１１２との間には、それぞれ支持ステイ１８が設けられている。この支持ステイ１８はシリンダ１８１内にロッド１８２を摺動可能に収容して構成された周知のガスダンパ式のもので、ロッド１８２がシリンダ１８１から突出する方向に常時付勢されており、その付勢力によってランプハウス１２の開放方向の動きを助勢し、かつ、ランプハウス１２の開放状態を保持できるようになっている。
ランプハウス１２のうち閉鎖位置にあるときに下面となる部分には、紫外線を照射するためのランプ１９が複数本配置されている。このランプ１９は、第２図及び第３図に示すように、全体としては前記コンベアフレーム壁１３間の対向間隔にほぼ等しい長さの長尺形状をなしているが、口金部１９１が本体１１の前側に位置し、ガラス管部１９２が本体１１の後側で折り返し状に屈曲した後、前側で再び折り返し状に屈曲し、さらに後側で再び折り返し状に屈曲したＭ字状の屈曲型ランプである。その口金部１９１はランプハウス１２に設けた固定部２０に対してねじ止めによって固定され、ガラス管部１９２の後端部は第７図に示すようにねじ止めした保持クリップ２１によってランプハウス１２の下面板１２３に留められている。口金部１９１に連なる電線群（図示せず）はランプハウス１２内で前側に集合され、ランプハウス１２の前端部と本体１１との間に設けた可撓性の蛇腹管２２内を通して本体１１内の図示しない電源装置に接続されている。
また、ランプハウス１２内には冷却水路２３が設けられており、この冷却水路２３に対する給水チューブ２４及び排水チューブ２５は第２図に示すように上記蛇腹管２２とは反対側のランプハウス１２の後端部から導出され、本体１１内の図示しない冷却水供給装置に接続されている。
上記構成とした本実施例の光処理装置１０においては、搬送装置を駆動することにより、被処理物である液晶ディスプレイ用のレジストが付着したガラス基板が第１図中の左から右に向かって搬送される。ガラス基板が赤外線予備加熱装置３１を搬送されるときに加熱され、この加熱されたガラス基板が本発明が適用された光処理装置１０中に搬送されてこの中でレジストのアッシングが行われる。ついで、アッシング処理の終了したガラス基板が冷却装置３２内に搬送されてガラス基板が冷却され、冷却されたガラス基板がウエット洗浄装置３３内に搬送されてウェット洗浄される。なお、本実施例の光処理装置１０には、高濃度オゾンを供給するためのオゾナイザを設けてアッシングをさらに効率良く行われるようにしてもよい。さらに、光処理装置としての処理能力をより向上させるために、ガラス基板の昇温やオゾンから酸素の活性基生成を促進する加熱機能を併用することも可能である。
さて、このような光処理装置１０において、搬送装置のメンテナンス作業、例えばコンベア軸１４のベアリングの修理・点検、搬送ローラ１５の交換等、或いはランプ１９の交換を行うには、ランプハウス１２を開放して行う。各ランプハウス１２は、ヒンジ機構１６の前後に延びる横型回転軸１６３を中心に開放回動するから、第２図に示すように左右に開く横開き状態となる。このため、例えば前側のベアリングや搬送ロール１５のメンテナンスには、本体１１の前側に作業者が立って作業を行えば良く、後側のベアリングや搬送ロール１５のメンテナンスには、本体１１の後側に作業者が回り込んで後側から作業を行うことができる。
また、各ランプハウス１２の前端部には、ランプ１９の口金部１９１をランプハウス１２に固定する為のネジ穴は固定部２０にランプハウス１２の横型回転軸１６３に対して垂直となる方向に沿って並べられており、この固定部２０にランプ１９が取付ネジで固定されている。このため、本装置では、装置が大型化されてもランプ１９の交換作業を容易に行うことができる。例えば、被処理物であるガラス基板の大きさが搬送幅で１ｍ級の場合、第１０図に示したような従来の装置では、複数の紫外線ランプ５４がランプハウス５０の開閉軸５５と反対側で開閉軸５５に平行に並べてネジで取り付けされていたため、ランプハウス５０の開放時にこのネジ部の高さが高くなり（開き角３０°〜４５°としても、ほぼ１．９ｍ〜２．５ｍとなる）、脚立などを必要としていたのに対し、本装置では、ランプハウス１２の開き角を９０°とした場合でもネジの位置が１．５ｍ程度とすることができる。このように本発明の装置は、コンベヤの搬送幅が比較的広い被処理物に対応した処理装置に特に適している。
また、本実施例の光処理装置では、第１０図に示した従来構造とは異なり、ランプハウス１２の支持ステイ１８が被処理物の搬送路上を跨ぐ形にはならず、本体１１の前面壁部１１１及び後面壁部１１２の上方に位置する形になっているから、その支持ステイ１８からロッド１８２の摩耗粉や潤滑用オイルのミストが落ちたとしても、被処理物に付着することがない。しかも、従来のように搬送路を跨いで取り付ける場合に比べて、支持ステイ１８を搬送路の幅に関係なく設計できるという利点を有しており、本実施例ではその長さを従来の装置に比べて短いものを使用することができた。なお、支持ステイ１８の本体１１側の連結場所は、前面壁部１１１及び後面へ基部１１２のいずれかの箇所であれば良く、コンベヤフレーム壁１３に固定することも含む。また、支持ステイ１８は本実施例のようにランプハウス１２の前後双方に取り付けてもよいし、前後のいずれか一方にのみ取り付けても良い。
また、上記実施例では、２枚のランプハウス１２を左右に対をなして両開き型に設け、本体１１には前後に延びる中間バー１７を設けてランプハウス１２のヒンジ機構１６とは反対側の端縁を接触させるようにしているから、本体１１の上面開口部をランプハウス１２によって完全に密閉することができる。これにより、本体１１の搬送路内に供給したオゾンが漏出したり、ランプ１９からの紫外線が外に漏れることを確実に防止することができる。
さらには、本実施例のランプ１９はＭ字状の屈曲型ランプを使用しているから、複数本のランプ１９の全ての口金部１９１を一端側に寄せて配置することができる。この結果、電気配線部分をランプハウス１２の一端側に集中的に配置し、他端側には冷却水の供給・排出管路を配置することができ、電気配線部分と水回り部分とを離した安全で合理的な設計が可能になる。
なお、本発明は上述の実施例に限定されるものではなく、例えば次に述べるように本発明の要旨を変更しない範囲で種々変更して実施することができる。
（１）上記実施形態ではランプハウス１２を２枚設けるようにしたが、これに限らず、本体１１の全体を一枚のランプハウスで開閉する構造としてもよいし、３枚以上のランプハウスで開閉する構造としてもよい。同一面積の開口部を覆うためのランプハウスの枚数を増やせば増やすほど、その幅を狭くすることができるから、開放状態での高さ寸法を低くすることができる。なお、複数のランプハウスを設けた場合には、互いに同一方向に開くようにしてもよいし、反対方向に開く両開き型としてもよい。このように複数枚のランプハウスを設ける構造は、ランプハウスを左右方向に開閉できるようにしたために可能となったものである。
（２）上記実施例では２枚のランプハウス１２を両開き型とすると共に各ランプハウス１２間に中間バー１７を配置してランプハウス１２の下面側を密閉するようにしたが、例えば第８図に示すように、例えば左側のランプハウス１２の下面板１２３についてはヒンジ機構１６とは反対側に位置する先端縁部の下半部分を前後の全体にわたって切り欠いた状態とし、右側のランプハウス１２の下面板１２３についてはそのヒンジ機構１６とは反対側に位置する先端縁部の上半部分を前後の全体にわたって切り欠いた状態とし、いずれか一方又は双方にシール部材１７を前後に延びるように配置する構成としてもよい。このようにすることにより、ランプハウス１２の下方領域（ガラス基板の搬送・処理空間）を密閉して紫外線やオゾンの漏出を防止することができる。
（３）上記実施例ではランプ１９をＭ字管としたが、これに限らず、Ｕ字管としてもよく、両端に口金部を備えた直管型としてもよい。また、本実施例ではランプ１９の口金部１９１をランプハウス１２にネジ止めしたが、取り付け金具を介して固定しても良い。紫外線ランプの波長としては、その用途にもよるが、アッシングや洗浄の場合には、１５０〜３００ｎｍの波長を有するものを用いるのが好ましく、例えば、１８５ｎｍと２５４ｎｍの波長を有する低圧水銀灯や１７２ｎｍの波長を有するバリヤ放電灯を用いることが出来る。そして、このようなランプを用いた場合には、本発明装置のメンテナンス性の良さが十分に発揮される。なお、ランプの出力が小さい場合には、被処理物を加熱する加熱手段を設けるのが、処理速度を向上させる上で好ましい。
（３）ランプ１９の配置パターンとしては、本実施例のように同一方向に向けて並べるに限らず、例えば第９図に示すように互いに反対方向に向けて並べてもよい。ここでは、ランプ１９の口金部１９１が交互に前後に位置するようにしてある。このようにすると、ランプ１９の管長の約２倍の搬送路幅に対応することができるから、特に大型のガラス基板の処理も可能になる。このように幅を非常に広くした構造としても、ランプ１９の口金部１９１はランプハウス１２の前端及び後端部に位置することになるから、ランプハウスを横開きタイプとした本実施例の構造に最も適合して優れたメンテナンス性を発揮する。
（４）上記実施例では、紫外線を被処理物に照射してアッシングを行う紫外線アッシング装置に適用したが、本発明は、赤外線、紫外線、可視光線を問わず被処理物に直接または被処理物の周りの雰囲気に光を照射することによって、照射された光の作用によって直接または間接的に被処理物に対する処理を行う装置に広く適用でき、例えばフォトリソグラフィー装置、薄膜形成装置、半導体製造装置、印刷装置、洗浄装置、酸化装置等のための、紫外線洗浄装置、紫外線硬化装置、赤外線加熱装置等種々の装置に適用可能である。
特に、光処理装置が有機物の洗浄、アッシング、表面材料の酸化または活性化を行う紫外線処理装置である場合には、紫外線の作用により処理室内の劣化等が起こり易く、頻繁にメンテナンス作業を行う必要があるため、本発明の装置が適している。また、例えばオゾナイザを備えて、紫外線ランプとオゾンの作用により、被処理物の処理を行う紫外線処理装置の場合には、さらにオゾンの作用により処理室内の劣化等が起こり易く、頻繁にメンテナンス作業を行う必要があるため、本発明の装置が最も適している。
（５）上記実施例では、本体１１内に搬送装置を構成し、そのコンベアローラ１５上に載置した被処理物を搬送しつつ紫外線を照射するようにしたが、被処理物を載置する部位は固定式でも可動式でも良いが、被処理物を搬送するコンベアをそのまま被処理物の載置台とすることによって、効率的な製造ラインを構築することが可能となる。この場合、本発明の光処理装置では、コンベアを光処理装置正面に対して左右方向に被処理物が搬送されるように配置するのが良く、左右方向に他の処理装置を配置することでメンテナンスが容易で、効率的な製造ラインを構築することが可能となる。なお、搬送装置としては、ローラコンベアに限らず、ベルトコンベアやロボットを利用してもよい。
（６）ランプハウス１２は、光を照射するランプ１９が取り付けられる支持体であって、本実施例のように、ランプ１９が剥き出しの状態で取り付けられる構造のものであっても、光照射窓が設けられてランプ全体が覆われた部屋構造のものであっても良い。複数本のランプが載置される場合には、ランプをランプハウスに固定するための固定部をランプハウス開閉の横型回転軸に対して垂直方向に並べてランプハウスに設けるようにするのが好ましい。これは、このようにする事によってランプの固定部はすべて装置の前面または後面側に位置するようになり、ランプの固定部が作業者に最も近い位置に配置されるようになって装置が大型化した場合でもランプの交換作業が容易であるからである。従って、メンテナンス時に取り外しする必要のある、例えば照射窓取り付けネジ穴等の他の固定部も、ランプハウス開閉の回転軸方向に対して垂直方向に並べてランプハウスに設けるようにするのが好ましい。
（７）上記実施例では、支持ステイはガスダンパ式のものとしたが、これに限らずオイルダンパ式のものを利用してもよく、また、ランプハウスが大型化して重量が大きくなる場合には、エアシリンダを利用して開閉操作を容易に行えるようにしてもよい。さらには、支持ステイはランプハウスの前後両側に設けるに限らず、前後の一方にみ設けるようにしても良い。
産業上の利用可能性
本発明の光処理装置では、ランプハウスが光処理装置正面に対して前後方向を回転軸として左右に開閉されるように設けられているため、装置の前後からメンテナンスが可能であり、大型化された場合でも本体内部やランプハウスの部品交換等のメンテナンス作業が容易である。
【図面の簡単な説明】
第１図は、ガラス基板の洗浄装置の全体を示す正面図
第２図は、本実施例にかかる光処理装置のランプハウスを開放した状態の斜視図
第３図は、ランプハウスを開放した状態で示す光処理装置の部分側面図
第４図は、ヒンジ機構の拡大側面図
第５図は、ランプハウスを開放した状態で示す光処理装置の正面図
第６図は、ランプハウスの閉鎖状態で示す部分拡大断面図
第７図は、ランプ先端の取付構造を示す部分拡大断面図
第８図は、異なる実施例のランプハウスの閉鎖状態を示す部分拡大断面図
第９図は、さらに異なる実施例を示すランプハウスを開放した状態で示す光処理装置の部分側面図
第１０図は、従来の洗浄装置を示す全体の正面図
第１１図は、従来の光処理装置を示す斜視図TECHNICAL FIELD The present invention relates to an optical processing apparatus such as an ultraviolet processing apparatus used for cleaning or ashing organic substances, for example.
Background Art For example, a color filter constituting a color liquid crystal display panel is manufactured by coating a glass substrate with red, green, and blue resists, and cleaning is performed during the manufacturing process. In order to improve the cleaning effect, the cleaning is performed by using a wet cleaning method using pure water and a UV / O ₃ cleaning method in combination. This UV / O ₃ cleaning is a kind of ultraviolet treatment, which removes the organic matter by utilizing the molecular weight reduction of the organic matter by ultraviolet rays and the generation of active groups of ozone and oxygen from oxygen in the air by ultraviolet rays.
FIG. 10 is a schematic configuration diagram showing an example of a cleaning apparatus for such a cleaning process, and FIG. 11 is a perspective view showing an open state of an ultraviolet treatment apparatus used in the cleaning apparatus. In this cleaning device, an infrared preheating device 60 and a cooling device 70 are continuously arranged on the left and right sides of the front surface of the ultraviolet processing device 50, and a wet cleaning device is provided on the right side of the cooling device 70. It is a conveyor-conveying type processing apparatus configured by continuously arranging 80, and further, processing apparatuses for different processes are connected to the left and right to form a series of production lines.
As shown in FIG. 11, a conveying device having a large number of conveying rollers 52 is provided in the main body 51 of the ultraviolet ray processing device 50, whereby a plurality of glass substrates (not shown) as objects to be processed are provided. It can be carried on the carrying roller 52 in order in the direction of the arrows in FIGS. The opening on the upper surface of the main body 51 can be opened and closed by a lamp house 53, and the lamp house 53 is provided with a plurality of ultraviolet lamps 54 for ultraviolet treatment. The lamp house 53 is attached to the rear wall portion of the main body 51 by a hinge 55 so that the lamp house 53 can be opened and closed backward from the front of the main body 51, and a gas damper type support stay 56 for maintaining the open state is provided in the lamp house 53. Between the front edge part and the front wall part of the main body 51, it is provided so that an opening part may be straddled.
By the way, in such an optical processing apparatus, it is necessary to periodically clean, inspect, and replace the transport roller 52 and the lamp 54. These maintenance operations are performed by opening the lamp house 53 as shown in FIG. It is done in the state. In addition, in the case of using a resin transport roller 52 that does not easily damage the glass substrate that is the object to be processed, it is likely to be deteriorated by ultraviolet rays, heat, ozone, etc., and therefore must be frequently replaced.
However, in the conventional light processing apparatus, since the lamp house 53 is opened rearward from the front, the maintenance work can be performed only from the front side of the main body 51. In particular, in recent years, since the glass substrate for liquid crystal panels has become larger, the entire optical processing device has also been on the trend of larger size. There was a problem that the maintenance work was extremely difficult. Further, since the support stay 56 that holds the lamp house 53 in an open state is configured to straddle the upper side of the conveyance area of the workpiece, dust falls from the support stay 56 and adheres to the workpiece. There was also a problem.
The present invention has been made in order to cope with the above-described problems. Even when the main body is enlarged, the light that can easily perform maintenance work such as internal cleaning, inspection, and component replacement. The object is to provide a processing apparatus.
DISCLOSURE OF THE INVENTION In the present invention, a lamp house is disposed on a main body having an opening on the upper surface so as to cover the opening, and light is applied to an object to be processed in the main body from a lamp provided in the lamp house. The light processing apparatus is characterized in that the lamp house can be opened and closed around a horizontal rotation shaft extending in the front-rear direction of the main body.
According to this configuration, since the lamp house can be opened in the lateral direction, maintenance work from the back of the main body of the apparatus can be performed without being blocked by the lamp house, and even when the apparatus is enlarged, it can be easily performed. Maintenance can be performed. In addition, since maintenance work can be performed from both the front and back sides of the main body, it is possible to assemble a production line without impairing the ease of maintenance work even if other processing devices are arranged in the left and right direction of the light processing device. Become.
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION An embodiment in which the present invention is applied to an ultraviolet ashing apparatus 10 for cleaning a glass substrate for a liquid crystal display will be described with reference to FIGS.
As shown in FIG. 1, the cleaning line has an infrared preheating device 31 on the left side as viewed from the front of the ultraviolet ashing device 10, a cooling device 32 on the right side, and a wet cleaning on the right side of the cooling device 32. The apparatus 33 is continuously arranged, and a glass substrate (not shown) corresponding to the object to be processed is sequentially conveyed from the left side to the right side as indicated by an arrow in the figure.
The main body 11 of the ultraviolet ashing device 10 has a box shape with an upper surface opened, and two lamp houses 12 are arranged so as to close the opening. Inside the main body 11, two conveyor frame walls 13 are provided in parallel along the front wall portion 111 and the rear wall portion 112, and a plurality of them extend in the front-rear direction across the conveyor frame wall 13. The conveyor shaft 14 is rotatably supported via a bearing (not shown). A plurality of, for example, fluororesin rollers 15 are attached to each conveyor shaft 14, and the conveyor shaft 14 is rotated by a driving device provided in the main body 11, thereby conveying a glass substrate placed on the rollers 15. can do.
As shown in FIG. 3, the front and rear ends of the left edge of the lamp house 12 located on the left side when viewed from the front of the main body 11 have front and rear wall portions 111 and 112 of the main body 11 via the hinge mechanism 16. The left half of the upper surface opening of the main body 11 can be opened and closed by the lamp house 12 in the left direction. As shown in FIG. 4, the hinge mechanism 16 includes a pair of turning arms 161 extending from the lamp house 12 side and a support arm 162 extending from the main body 11 side by a horizontal rotary shaft 163 extending in the front-rear direction of the main body 11. Accordingly, the lamp house 12 on the left side with respect to the horizontal rotation shaft 163 has an arrow between a closed position indicated by a two-dot chain line in FIG. 5 and an open position indicated by a solid line in FIG. It opens and closes along the direction 121. A lubricating member 164 is inserted between the horizontal rotary shaft 163 and the support arm 162.
On the other hand, the lamp house 12 located on the right side when viewed from the front of the main body 11 is similarly supported by the front wall 111 and the rear wall 112 of the main body 11 via the hinge mechanism 16 at the front and rear ends of the right edge. 11 can be opened and closed in the lateral direction by the lamp house 12. The hinge mechanism 16 is provided with a horizontal rotation shaft 163 extending in the front-rear direction of the main body 11 in the same manner as that on the left side. Therefore, the right lamp house 12 centering on the horizontal rotation shaft 163 is shown in FIG. It opens and closes along the direction of the arrow 122 between a closed position indicated by a chain line and an open position indicated by a solid line in FIG.
Further, an intermediate bar 17 extending in the front-rear direction is detachably provided at the left-right intermediate portion of the opening of the main body 11 and the hinge mechanism 16 side of both lamp houses 12, as shown in FIG. In addition, two seal members 171 are provided on the left and right sides of the upper surface of the intermediate bar 17 so as to extend in the front-rear direction. When each lamp house 12 is rotated to the closed position, its lower surface plate 123 comes into close contact with the seal member 171 of each intermediate bar 17 (the central intermediate bar 17 is shown enlarged in FIG. 6). In addition, the lower surface plate 123 of the lamp house 12 is also in close contact with a seal member (not shown) disposed on the upper surface of the two conveyor frames 13, so that the lower space of the lamp 19 (conveyance of the glass substrate). The space is sealed to prevent leakage of ultraviolet rays and ozone.
Support stays 18 are provided between the front and rear ends of each lamp house 12 and the front wall 111 and the rear wall 112 of the main body 11. This support stay 18 is a known gas damper type constructed by slidably receiving a rod 182 in a cylinder 181 and is always urged in a direction in which the rod 182 protrudes from the cylinder 181, and its urging force Thus, the movement of the lamp house 12 in the opening direction is assisted, and the open state of the lamp house 12 can be maintained.
A plurality of lamps 19 for irradiating ultraviolet rays are arranged on the lower portion of the lamp house 12 when it is in the closed position. As shown in FIGS. 2 and 3, the lamp 19 has a long shape having a length substantially equal to the facing distance between the conveyor frame walls 13 as a whole. The M-shaped bent lamp is located on the front side, bent in a folded shape on the rear side of the main body 11, bent in a folded shape on the front side, and bent again in a folded shape on the rear side. It is. The base part 191 is fixed to the fixing part 20 provided in the lamp house 12 by screwing, and the rear end part of the glass tube part 192 is fixed to the lamp house 12 by a holding clip 21 screwed as shown in FIG. The bottom plate 123 is fastened. A group of wires (not shown) connected to the base portion 191 are gathered on the front side in the lamp house 12, and pass through the flexible bellows tube 22 provided between the front end portion of the lamp house 12 and the main body 11. Connected to a power supply (not shown).
In addition, a cooling water passage 23 is provided in the lamp house 12, and a water supply tube 24 and a drain tube 25 for the cooling water passage 23 are provided on the opposite side of the bellows tube 22 as shown in FIG. It is led out from the rear end and connected to a cooling water supply device (not shown) in the main body 11.
In the optical processing apparatus 10 of the present embodiment configured as described above, the glass substrate to which the resist for the liquid crystal display, which is the object to be processed, adheres is driven from left to right in FIG. Be transported. The glass substrate is heated when it is transported through the infrared preheating device 31, and the heated glass substrate is transported into the optical processing device 10 to which the present invention is applied, in which resist ashing is performed. Next, the glass substrate after the ashing process is transported into the cooling device 32 to cool the glass substrate, and the cooled glass substrate is transported into the wet cleaning device 33 to be wet cleaned. Note that the optical processing apparatus 10 of this embodiment may be provided with an ozonizer for supplying high-concentration ozone so that ashing can be performed more efficiently. Furthermore, in order to further improve the processing capability as an optical processing apparatus, it is possible to use a heating function for promoting the temperature increase of the glass substrate and the generation of oxygen active groups from ozone.
In such an optical processing apparatus 10, the lamp house 12 is opened in order to perform maintenance work of the transport apparatus, for example, repair / inspection of the bearing of the conveyor shaft 14, replacement of the transport roller 15, or replacement of the lamp 19. And do it. Since each lamp house 12 is opened and rotated around a horizontal rotation shaft 163 extending forward and backward of the hinge mechanism 16, the lamp house 12 is in a laterally open state that opens to the left and right as shown in FIG. 2. For this reason, for example, an operator may stand on the front side of the main body 11 for maintenance of the front bearing and the transport roll 15, and a rear side of the main body 11 for maintenance of the rear bearing and the transport roll 15. The worker can go around and work from the rear side.
Further, a screw hole for fixing the base portion 191 of the lamp 19 to the lamp house 12 is formed in the front end portion of each lamp house 12 in a direction perpendicular to the horizontal rotation shaft 163 of the lamp house 12. The lamps 19 are fixed to the fixing portion 20 with mounting screws. For this reason, in this apparatus, even if the apparatus is enlarged, the replacement work of the lamp 19 can be easily performed. For example, when the size of the glass substrate that is the object to be processed is 1 m class in terms of conveyance width, in the conventional apparatus as shown in FIG. 10, a plurality of ultraviolet lamps 54 are opposite to the opening / closing shaft 55 of the lamp house 50. In this case, the height of the threaded portion increases when the lamp house 50 is opened (although the opening angle is 30 ° to 45 °, it is approximately 1.9 m to 2.5 m). In contrast, a stepladder or the like is required, but in the present apparatus, even when the opening angle of the lamp house 12 is 90 °, the screw position can be about 1.5 m. Thus, the apparatus of the present invention is particularly suitable for a processing apparatus corresponding to an object to be processed having a relatively wide conveyor width.
Further, in the optical processing apparatus of the present embodiment, unlike the conventional structure shown in FIG. 10, the support stay 18 of the lamp house 12 does not straddle the conveyance path of the object to be processed, and the front wall of the main body 11 Since it is located above the portion 111 and the rear wall portion 112, even if the wear powder of the rod 182 or the mist of lubricating oil falls from the support stay 18, it does not adhere to the workpiece. . In addition, the support stay 18 can be designed regardless of the width of the transport path as compared with the conventional case where the support stay 18 is mounted across the transport path. In this embodiment, the length of the support stay 18 is compared with that of the conventional apparatus. The shorter one was used. In addition, the connection place on the main body 11 side of the support stay 18 may be any place on the front wall 111 and the rear 112 on the base 112, and includes fixing to the conveyor frame wall 13. Further, the support stays 18 may be attached to both the front and rear sides of the lamp house 12 as in this embodiment, or may be attached to only one of the front and rear sides.
Further, in the above embodiment, the two lamp houses 12 are provided in a double-opened form with a pair on the left and right sides, and the main body 11 is provided with an intermediate bar 17 extending in the front-rear direction so as to be opposite to the hinge mechanism 16 of the lamp house 12. Since the end edges are brought into contact with each other, the upper surface opening of the main body 11 can be completely sealed by the lamp house 12. Thereby, it is possible to reliably prevent the ozone supplied into the conveyance path of the main body 11 from leaking out or the ultraviolet rays from the lamp 19 from leaking outside.
Furthermore, since the lamp 19 of the present embodiment uses an M-shaped bent lamp, all the base portions 191 of the plurality of lamps 19 can be arranged close to one end side. As a result, the electric wiring portion can be centrally arranged on one end side of the lamp house 12, and the cooling water supply / discharge conduit can be arranged on the other end side. Safe and rational design.
In addition, this invention is not limited to the above-mentioned Example, For example, as described below, in the range which does not change the summary of this invention, it can change and implement variously.
(1) In the above embodiment, two lamp houses 12 are provided. However, the present invention is not limited to this, and the entire main body 11 may be opened and closed with one lamp house, or three or more lamp houses may be used. It is good also as a structure which opens and closes. As the number of lamp houses for covering the openings of the same area is increased, the width can be narrowed, so that the height dimension in the open state can be reduced. When a plurality of lamp houses are provided, they may be opened in the same direction as each other, or may be a double-open type that opens in the opposite direction. The structure in which a plurality of lamp houses are provided in this way is possible because the lamp houses can be opened and closed in the left-right direction.
(2) In the above embodiment, the two lamp houses 12 are of the double-open type, and the intermediate bar 17 is arranged between the lamp houses 12 to seal the lower surface side of the lamp house 12. For example, FIG. As shown in FIG. 6, for example, the lower half plate 123 of the left lamp house 12 has a lower half of the front edge located on the opposite side of the hinge mechanism 16 and is cut out over the entire front and rear, and the right lamp house 12 As for the lower surface plate 123, the upper half of the tip edge located on the opposite side of the hinge mechanism 16 is cut out over the entire front and rear, and the seal member 17 extends in the front and back in either or both of them. It is good also as a structure to arrange. By doing in this way, the area | region (conveyance / processing space of a glass substrate) of the lamp house 12 can be sealed, and leakage of an ultraviolet-ray or ozone can be prevented.
(3) In the above embodiment, the lamp 19 is an M-shaped tube. However, the lamp 19 is not limited to this, and may be a U-shaped tube or a straight tube type having a cap portion at both ends. Further, in this embodiment, the base portion 191 of the lamp 19 is screwed to the lamp house 12, but it may be fixed via a mounting bracket. Although the wavelength of the ultraviolet lamp depends on its use, in the case of ashing or cleaning, it is preferable to use a lamp having a wavelength of 150 to 300 nm, for example, a low-pressure mercury lamp having wavelengths of 185 nm and 254 nm, A barrier discharge lamp having a wavelength can be used. And when such a lamp | ramp is used, the favorable maintenance property of this invention apparatus is fully exhibited. When the output of the lamp is small, it is preferable to provide a heating means for heating the workpiece to improve the processing speed.
(3) The arrangement pattern of the lamps 19 is not limited to being arranged in the same direction as in this embodiment, but may be arranged in opposite directions as shown in FIG. 9, for example. Here, the base portions 191 of the lamps 19 are alternately positioned at the front and back. In this way, since it is possible to cope with a conveyance path width that is approximately twice the tube length of the lamp 19, it is possible to process a particularly large glass substrate. Even in such a structure having a very wide width, the base portion 191 of the lamp 19 is located at the front end and the rear end portion of the lamp house 12, so that the structure of this embodiment in which the lamp house is a laterally open type is used. It is most suitable for and exhibits excellent maintainability.
(4) In the above-described embodiment, the present invention is applied to an ultraviolet ashing apparatus that performs ashing by irradiating ultraviolet rays onto an object to be processed. However, the present invention applies directly to an object to be processed regardless of whether it is infrared, ultraviolet, or visible light. By irradiating light around the atmosphere, it can be widely applied to apparatuses that directly or indirectly process the object by the action of the irradiated light. For example, a photolithography apparatus, a thin film forming apparatus, a semiconductor manufacturing apparatus, The present invention can be applied to various apparatuses such as an ultraviolet cleaning apparatus, an ultraviolet curing apparatus, and an infrared heating apparatus for a printing apparatus, a cleaning apparatus, an oxidation apparatus, and the like.
In particular, if the light processing device is an ultraviolet processing device that cleans, ashes, or oxidizes or activates organic materials, the processing chamber tends to deteriorate due to the action of ultraviolet light, and frequent maintenance work is required. Therefore, the device of the present invention is suitable. For example, in the case of an ultraviolet processing apparatus equipped with an ozonizer and processing an object to be processed by the action of an ultraviolet lamp and ozone, the process chamber is easily deteriorated by the action of ozone, and maintenance work is frequently performed. The apparatus of the present invention is most suitable because it needs to be done.
(5) In the above-described embodiment, a conveying device is configured in the main body 11, and the object to be processed placed on the conveyor roller 15 is irradiated with ultraviolet rays while being conveyed. The site may be fixed or movable, but an efficient production line can be constructed by using the conveyor for transporting the workpiece as it is as a mounting table for the workpiece. In this case, in the light processing apparatus of the present invention, it is preferable to arrange the conveyor so that the object to be processed is conveyed in the left-right direction with respect to the front surface of the light processing apparatus, and by arranging another processing apparatus in the left-right direction. Maintenance is easy and an efficient production line can be constructed. In addition, as a conveying apparatus, you may utilize not only a roller conveyor but a belt conveyor and a robot.
(6) The lamp house 12 is a support body to which the lamp 19 for irradiating light is mounted, and even if the lamp 19 is structured to be mounted in a bare state as in this embodiment, the light irradiation window May be provided so that the entire lamp is covered. When a plurality of lamps are mounted, it is preferable that a fixing portion for fixing the lamp to the lamp house is provided in the lamp house side by side in a direction perpendicular to the horizontal rotation axis for opening and closing the lamp house. By doing so, the lamp fixing parts are all located on the front or rear side of the apparatus, and the lamp fixing parts are arranged closest to the operator, so that the apparatus becomes large. This is because it is easy to replace the lamp even when the lamp is made. Therefore, it is preferable that other fixing portions, such as an irradiation window mounting screw hole, which need to be removed at the time of maintenance, are also provided in the lamp house in a direction perpendicular to the rotation axis direction of the lamp house opening and closing.
(7) In the above embodiment, the support stay is of the gas damper type. However, the support stay is not limited to this, and an oil damper type may be used. The opening / closing operation may be easily performed using an air cylinder. Furthermore, the support stays are not limited to being provided on both the front and rear sides of the lamp house, but may be provided only on one of the front and rear sides.
INDUSTRIAL APPLICABILITY In the light processing apparatus of the present invention, the lamp house is provided so that it can be opened and closed to the left and right with the front-rear direction as the rotation axis with respect to the front surface of the light processing apparatus. Even when the size is increased, maintenance work such as replacement of the inside of the main body and the lamp house is easy.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a front view showing the entire glass substrate cleaning apparatus. FIG. 2 is a perspective view of the light processing apparatus according to the present embodiment with the lamp house opened. FIG. 3 is the lamp house opened. FIG. 4 is a partial side view of the light processing device shown in FIG. 4 is an enlarged side view of the hinge mechanism, FIG. 5 is a front view of the light processing device shown in a state where the lamp house is opened, and FIG. FIG. 7 is a partially enlarged sectional view showing a lamp tip mounting structure. FIG. 8 is a partially enlarged sectional view showing a closed state of a lamp house of a different embodiment. FIG. 9 is a further different embodiment. FIG. 10 is a partial side view of an optical processing apparatus shown with a lamp house opened. FIG. 10 is an overall front view showing a conventional cleaning apparatus. FIG. 11 is a perspective view showing a conventional optical processing apparatus.

Claims

A lamp house is arranged on the main body having an opening on the upper surface so as to cover the opening, and light is irradiated to the object to be processed in the main body from the lamp provided in the lamp house, and the conveying direction of the object to be processed Is a light that enables the lamp house to be opened and closed from the front surface or the rear surface of the main body when the axial direction of the transfer roller for transferring the workpiece is the front-rear direction of the main body. In the processing apparatus, the lamp house can be opened and closed about a horizontal rotation shaft extending in the front-rear direction of the main body.

The lamp house is provided in a double-opened form with a pair of lamp houses on the left and right sides, and an edge of the lamp house on the opposite side to the horizontal rotation shaft contacts the opening of the main body. The optical processing apparatus according to claim 1, wherein the intermediate bar is provided so as to extend forward and backward.

The lamp houses are provided in a double-opened form with a pair on the left and right sides, and the edge portions on the opposite side of the horizontal rotation shaft of the lamp houses forming the pair are overlapped with each other. The optical processing apparatus according to claim 1 , wherein the optical processing apparatus is configured as described above.