KR100840700B1

KR100840700B1 - Optical treatment device

Info

Publication number: KR100840700B1
Application number: KR1020027011898A
Authority: KR
Inventors: 사카모토히로미; 하세가와유타카
Original assignee: 가부시키가이샤 지에스 유아사 코포레이션
Priority date: 2001-01-15
Filing date: 2002-01-15
Publication date: 2008-06-24
Also published as: WO2002055224A1; JPWO2002055224A1; JP4193494B2; KR20020093838A; TW541569B; CN1455709A; CN1321756C

Abstract

Two lamp houses 12 are arranged to cover the upper surface of the main body 11. The conveying apparatus is installed in the main body 11, and a glass substrate is conveyed. The lamphouse 12 on the left side is supported by the main body 11 via the hinge mechanism 16 at its left and right edges, and the lamphouse 12 on the right side has the hinge mechanism 16 at its front and rear ends on its right edge. It is supported by the main body 11 through). Each hinge mechanism 16 has a horizontal rotary shaft 163 extending in the front-rear direction, and each lamp house 12 can be opened in both directions in the horizontal direction. Lamps 19 are fixed to each lamp house 12, and the detention portions 191 are paralleled in one row from the front side.

Lamp house, glass substrate, hinge mechanism hinge, UV treatment device, cooling treatment device, lamp, horizontal rotating shaft.

Description

Optical processing device {OPTICAL TREATMENT DEVICE}

본 발명은, 예를 들면 유기물의 세척 또는 애싱 등에 사용되는 자외선처리장치 등의 광처리장치에 관한 것이다. TECHNICAL FIELD This invention relates to light processing apparatuses, such as an ultraviolet processing apparatus used for washing | cleaning or ashing of organic substance, for example.

예를 들면, 컬러 액정표시패널을 구성하는 컬러필터는, 유리기판에 적, 녹, 청색의 레지스트를 코팅하여 제작되고, 그 제작공정중에, 세척이 행해진다. 세척은, 보다 세척효과를 높이기 위해, 순수를 사용한 습식세척법과 UV/0₃ 세척법이 병용되어 행해진다. 이 UV/0₃ 세척은, 자외선에 의한 유기물의 저분자화와, 자외선에 의한 공기중의 산소로부터의 오존과 산소의 활성기 생성을 이용하여 유기물을 제거하는 것으로, 자외선처리의 일종이다. For example, the color filter constituting the color liquid crystal display panel is produced by coating a red, green, and blue resist on a glass substrate, and washing is performed during the production process. Washing is performed in combination with a wet washing method using pure water and a UV / 0 ₃ washing method in order to enhance the washing effect. This UV / 0 ₃ washing is a kind of ultraviolet treatment that removes organic substances by using a low molecular weight of organic substances by ultraviolet rays and by generating active groups of ozone and oxygen from oxygen in the air by ultraviolet rays.

도 10은, 이와 같은 세척공정을 위한 세척장치의 예를 도시하는 개략구성도이고, 도 11은 이 세척장치에 사용되고 있는 자외선처리장치의 개방상태를 도시하는 사시도이다. 본 세척장치는, 자외선처리장치(50)의 정면에 대하여 좌우 양측에 적외선 예비가열처리장치(60)와, 냉각처리장치(70)를 연속하여 배치하고, 더욱, 냉각처리장치(70)의 우측에 습식세척 처리장치(80)를 연속하여 배치하여 구성된 컨베이어 반송식의 처리장치이고, 더욱이 그 좌우에 별도 공정을 위한 처리장치가 접속 되어 일련의 제조라인을 구성하는 것이다. Fig. 10 is a schematic configuration diagram showing an example of a washing apparatus for such a washing process, and Fig. 11 is a perspective view showing an open state of the ultraviolet treatment apparatus used for this washing apparatus. This washing apparatus continuously arranges the infrared preheating treatment device 60 and the cooling treatment device 70 on both the left and right sides with respect to the front surface of the ultraviolet treatment device 50, and further, the right side of the cooling treatment device 70. It is a conveyor conveyance type processing apparatus configured by continuously placing the wet washing processing apparatus 80 in the air, and further, the processing apparatus for a separate process is connected to the left and right sides to form a series of manufacturing lines.

도 11에 도시하는 바와 같이, 자외선처리장치(50)의 본체(51) 내에는 다수의 반송롤러(52)를 구비한 반송장치가 설치되고, 이것에 의해 피처리물로서의 복수매의 유리기판(도시하지 않음)을 반송롤러(52)에 실어서 도 10 및 도 11의 화살표방향을 향해서 순차적으로 반송할 수 있다. 본체(51) 상면의 개구부는 램프하우스(53)로 개폐가능하게 되어 있고, 그 램프하우스(53)에는 자외선처리를 위한 복수개의 자외선 램프(54)가 설치되어 있다. 램프하우스(53)는, 본체(51)의 정면으로부터 후방향으로 개폐자유롭게 되도록 힌지(55)에 의해 본체(51)의 후면벽부에 부착되고, 개방상태를 유지하기 위한 가스댐퍼식의 지지스테이(56)가 램프하우스(53)의 앞가장자리부와 본체(51)의 전면벽부 사이에 개구부를 걸치도록 설치되어 있다. As shown in Fig. 11, a conveying apparatus having a plurality of conveying rollers 52 is provided in the main body 51 of the ultraviolet treatment device 50, whereby a plurality of glass substrates as the object to be treated ( (Not shown) can be loaded on the conveying roller 52 to sequentially convey in the direction of the arrows in FIGS. 10 and 11. The opening of the upper surface of the main body 51 is openable by the lamphouse 53, and the lamphouse 53 is provided with a plurality of ultraviolet lamps 54 for ultraviolet treatment. The lamp house 53 is attached to the rear wall of the main body 51 by a hinge 55 so as to be opened and closed freely from the front of the main body 51, and a gas damper-type support stay for maintaining an open state. 56 is provided so that an opening part may be interposed between the front edge part of the lamp house 53 and the front wall part of the main body 51. As shown in FIG.

그런데, 이와 같은 광처리장치에서는, 반송롤러(52)나 램프(54)의 정기적인 청소, 점검, 교환작업을 행할 필요가 있고, 이들의 메인티넌스 작업은 도 11에 도시하는 바와 같이 램프하우스(53)를 개방시킨 상태에서 행해진다. 또, 피처리물인 유리기판에 상처내기 어려운 수지제의 반송롤러(52)를 채용한 것에서는, 자외선, 열, 오존 등에 의한 열화작용을 받기 쉽기 때문에, 그 교환을 빈번하게 해야만 한 다. By the way, in such an optical processing apparatus, it is necessary to perform periodic cleaning, inspection, and replacement work of the conveying roller 52 and the lamp 54, and these maintenance work is performed by the lamp house (as shown in FIG. 53) in the open state. In addition, when the conveyance roller 52 made of resin which is hard to be wound on the glass substrate to be processed is easily subjected to deterioration effect due to ultraviolet rays, heat, ozone or the like, the exchange must be frequently performed.

그런데도, 종래의 광처리장치에서는, 램프하우스(53)를 정면으로부터 후방향으로 개방하도록 되어 있기 때문에, 메인티넌스 작업은 본체(51)의 전면측에서 밖에 행할 수 없다. 특히, 근래는, 액정패널용의 유리기판이 대형화하고 있으므로 광처리장치 전체도 대형화의 경향에 있고, 이러한 경향가운데에서 장치의 전면측에서 밖에 작업할 수 없으면, 장치의 후부에 까지 손이 닿지 않게 되어, 메인티넌스 작업이 극히 곤란하다는 문제가 있었다. 또, 램프하우스(53)를 개방상태로 유지하는 지지스테이(56)가, 피처리물의 반송영역의 상방을 걸치는 형태로 되어 있기 때문에, 그 지지스테이(56)로부터 먼지가 떨어져서 피처리물에 부착해 버린다는 문제도 있었다. Nevertheless, in the conventional light processing apparatus, since the lamphouse 53 is opened from the front to the rear, maintenance work can be performed only at the front side of the main body 51. In particular, in recent years, since the glass substrates for liquid crystal panels are being enlarged, the entire optical processing apparatus also tends to be enlarged, and if only the front side of the apparatus can be operated in such a tendency, it is impossible to reach the rear of the apparatus. There was a problem that maintenance work was extremely difficult. In addition, since the support stay 56 holding the lamphouse 53 in an open state extends over the conveying area of the object to be processed, dust falls from the support stay 56 and adheres to the object to be processed. There was also a problem.

본 발명은, 상기와 같은 문제에 대처하기 위해 이루어진 것이고, 본체가 대형화된 경우에도, 내부의 청소나 점검, 부품교환 등의 메인티넌스 작업을 용이하게 행할 수 있는 광처리장치를 제공하는 것을 목적으로 하는 것이다. The present invention has been made to address the above problems, and an object of the present invention is to provide an optical processing apparatus that can easily perform maintenance work such as cleaning, inspecting, or replacing parts, even when the main body is enlarged. It is.

본 발명은, 상면에 개구부를 가지는 본체에 그 개구부를 덮도록 램프하우스를 배치하고, 이 램프하우스에 설치된 램프로부터 본체내의 피처리물에 빛을 조사하도록 한 광처리장치로서, 램프하우스를 본체의 전후방향으로 뻗는 횡형회전축을 중심으로 개폐회전운동 가능하게 한 것에 특징을 갖는다. The present invention provides a light processing apparatus in which a lamp house is disposed on a main body having an opening on an upper surface thereof so as to cover the opening, and light is irradiated to a target object in the main body from a lamp provided in the lamp house, wherein the lamp house is placed in front and rear of the main body. It is characterized by enabling the opening and closing rotation movement about the horizontal rotary shaft extending in the direction.

이 구성에 의하면, 램프하우스를 횡방향으로 열 수 있으므로, 장치의 본체 배면으로부터의 메인티넌스 작업을 램프하우스에 가로막히지 않고 행할 수 있게 되어, 장치가 대형화된 경우도 용이하게 메인티넌스를 행할 수 있다. 또, 본체의 전후 양방향으로부터의 메인티넌스 작업이 가능하므로, 광처리장치의 좌우방향에 다른 처리장치를 배치해도, 메인티넌스 작업의 용이성을 손상시키는 일 없이 제조라인을 조립할 수 있게 된다. According to this configuration, since the lamphouse can be opened laterally, maintenance work from the back of the main body of the apparatus can be performed without blocking the lamphouse, so that maintenance can be easily performed even when the apparatus is enlarged. Can be. In addition, since maintenance work from both front and rear directions of the main body is possible, even if other processing devices are arranged in the left and right directions of the optical processing device, the manufacturing line can be assembled without impairing the ease of maintenance work.

도 1은, 유리기판의 세척장치의 전체를 도시하는 정면도. 1 is a front view showing the whole of the washing apparatus for a glass substrate.

도 2는, 본 실시예에 관련되는 광처리장치의 램프하우스를 개방한 상태의 사시도. 2 is a perspective view of an open state of the lamp house of the light processing apparatus according to the present embodiment.

도 3은, 램프하우스를 개방한 상태에서 도시하는 광처리장치의 부분측면도.3 is a partial side view of the light processing apparatus shown in the state where the lamp house is open;

도 4는, 힌지기구의 확대측면도. 4 is an enlarged side view of the hinge mechanism;

도 5는, 램프하우스를 개방한 상태에서 도시하는 광처리장치의 정면도. 5 is a front view of the light processing apparatus shown in a state where the lamp house is opened;

도 6은, 램프하우스의 폐쇄상태에서 도시하는 부분 확대단면도. Fig. 6 is a partially enlarged cross sectional view showing the lamp house in a closed state.

도 7은, 램프 선단의 설치구조를 도시하는 부분 확대단면도. Fig. 7 is a partially enlarged cross-sectional view showing the mounting structure of the lamp tip.

도 8은, 다른 실시예의 램프하우스의 폐쇄상태를 도시하는 부분 확대단면도.8 is a partially enlarged cross-sectional view showing a closed state of a lamp house according to another embodiment.

도 9는, 또 다른 실시예를 도시하는 램프하우스를 개방한 상태에서 도시하는 광처리장치의 부분측면도. Fig. 9 is a partial side view of the light processing apparatus shown in the open state of the lamp house, showing still another embodiment;

도 10은, 종래의 세척장치를 도시하는 전체의 정면도. 10 is a front view of an entire view of a conventional washing apparatus.

도 11은, 종래의 광처리장치를 도시하는 사시도 11 is a perspective view showing a conventional light processing apparatus.

이하 본 발명을 액정 디스플레이용의 유리기판의 세척을 행하는 자외선 애싱장치(10)에 적용한 1실시형태에 대하여 도 1 내지 도 7 을 참조하여 설명한다. EMBODIMENT OF THE INVENTION Hereinafter, one Embodiment which applied this invention to the ultraviolet ashing apparatus 10 which wash | cleans the glass substrate for liquid crystal displays is demonstrated with reference to FIGS.

도 1에 도시하는 바와 같이, 세척라인은 자외선 애싱장치(10)의 정면에서 보아 좌측에 적외선 예비가열장치(31)를, 우측에 냉각장치(32)를 연속하여 배치하고, 더욱 냉각장치(32)의 우측에 습식세척장치(33)를 연속하여 배치하여 구성되어 있 고, 피처리물에 상당하는 도시하지 않은 유리기판이 동도면중 화살표로 나타내는 바와 같이 좌측으로부터 우측으로 순차적으로 반송된다. As shown in FIG. 1, the washing line continuously arranges the infrared preheating device 31 on the left side and the cooling device 32 on the right side, as viewed from the front of the ultraviolet ashing device 10, and further the cooling device 32. The wet cleaning device 33 is arranged continuously on the right side of the head), and a glass substrate (not shown) corresponding to the object to be processed is sequentially conveyed from the left side to the right side as indicated by the arrow in the figure.

자외선 애싱장치(10)의 본체(11)은 상자형상을 이루고 상면을 개구시키고 있고, 그 개구부를 막도록 2개의 램프하우스(12)가 배치되어 있다. 본체(11)의 내부에는, 그 전면벽부(111)와 후면벽부(112)를 따라서 2개의 컨베이어 프레임벽(13)이 평행하게 쌍을 이루어 설치되고, 이 컨베이어 프레임벽(13) 사이에 걸쳐서 전후방향으로 뻗는 복수개의 컨베이어 축(14)이 도시하지 않은 베어링을 통해서 회전자유롭게 지지되어 있다. 각 컨베이어 축(14)에는, 예를 들면 불소수지제의 롤러(15)가 각각 복수개 부착되고, 컨베이어 축(14)을 본체(11) 내에 설치된 구동장치에 의해 회전구동함으로써, 롤러(15) 상에 실린 유리기판을 반송할 수 있다. The main body 11 of the ultraviolet ashing device 10 forms a box shape and opens the upper surface thereof, and two lamp houses 12 are disposed to block the openings. In the interior of the main body 11, two conveyor frame walls 13 are paired in parallel along the front wall portion 111 and the rear wall portion 112, and are disposed between the conveyor frame walls 13. A plurality of conveyor shafts 14 extending in the front-rear direction are rotatably supported through a bearing (not shown). A plurality of rollers 15 made of fluorine resin are attached to each conveyor shaft 14, for example, and the conveyor shaft 14 is rotated by a drive device provided in the main body 11 to thereby rotate the roller 15. The glass substrate loaded in the can be conveyed.

본체(11)의 전면으로부터 보아 좌측에 위치하는 램프하우스(12)는, 도 3에 도시하는 바와 같이, 그 좌측가장자리의 전후 양단부가 힌지기구(16)를 통해서 본체(11)의 전면벽부(111) 및 후면벽부(112)에 지지되고, 본체(11)의 상면 개구부의 좌측 반분량이 이 램프하우스(12)에 의해 좌방향으로 개폐가능하게 되어 있다. 그 힌지기구(16)는, 도 4에 도시하는 바와 같이, 램프하우스(12)측으로부터 뻗는 한 쌍의 선회 암(161)과, 본체(11)측으로부터 뻗는 지지암(162)을, 본체(11)의 전후방향으로 뻗는 횡형회전축(163)에 의해 연결되어 구성되어 있고, 따라서 그 횡형회전축(163)을 중심으로 하여 좌측의 램프하우스(12)는 도 5에 이점쇄선으로 도시하는 폐쇄위치와, 동도 실선으로 도시하는 개방위치 사이에서 화살표방향(121)을 따라서 개폐 회전운동한다. 또한, 횡형회전축(163)과 지지암(162) 사이에는 윤활부재(164)가 삽입되어 있다. As shown in FIG. 3, the lamphouse 12 positioned on the left side from the front surface of the main body 11 has front and rear ends 111 of the main body 11 through the hinge mechanism 16 at both front and rear ends of the left edge thereof. ), And the left half of the upper surface opening of the main body 11 is opened and closed by the lamp house 12 in the left direction. As shown in FIG. 4, the hinge mechanism 16 includes a pair of swing arms 161 extending from the lamphouse 12 side and a support arm 162 extending from the main body 11 side. 11 is connected by a horizontal rotary shaft 163 extending in the front-rear direction, and thus, the lamphouse 12 on the left side of the horizontal rotary shaft 163 has a closed position shown by a dashed-dotted line in FIG. , Rotational movement of the opening and closing along the arrow direction 121 between the open position shown by the solid line. In addition, a lubrication member 164 is inserted between the horizontal rotary shaft 163 and the support arm 162.

한편, 본체(11)의 전면에서 보아 우측에 위치한 램프하우스(12)도 동일하게 그 우측 가장자리의 전후 양단부가 힌지기구(16)를 통해서 본체(11)의 전면벽부(111) 및 후면벽부(112)에 지지되고, 본체(11)의 상면 개구부의 우측 반분량이 이 램프하우스(12)에 의해 횡방향으로 개폐 가능하게 되어 있다. 그 힌지기구(16)는 좌측의 것과 동일하고 본체(11)의 전후방향으로 뻗는 횡형회전축(163)을 구비하고 있고, 따라서 그 횡형회전축(163)을 중심으로 하여 우측의 램프하우스(12)는 도 5에 이점쇄선으로 도시하는 폐쇄위치와, 동도면 실선으로 도시하는 개방위치 사이에서 화살표(122) 방향을 따라서 개폐 회전운동한다. On the other hand, the lamp house 12 located on the right side as seen from the front of the main body 11 also has the front and rear end portions 111 and rear wall portions of the main body 11 through the hinge mechanism 16 at both front and rear ends thereof. It is supported by 112 and the right half of the upper surface opening of the main body 11 can be opened and closed laterally by this lamp house 12. The hinge mechanism 16 has a horizontal rotary shaft 163 which is the same as the one on the left side and extends in the front-rear direction of the main body 11, so that the lamphouse 12 on the right is centered on the horizontal rotary shaft 163. An open / close rotational motion is performed along the direction of the arrow 122 between the closed position shown by the dashed-dotted line in FIG. 5 and the open position shown by the solid line in the same drawing.

또, 본체(11)의 개구부의 좌우방향의 중간부와, 양 램프하우스(12)의 힌지기구(16) 측에는, 전후방향으로 뻗는 중간바(17)가 각각 이탈 가능하게 설치되어 있고, 도 6에 도시하는 바와 같이, 그들의 중간바(17)의 상면의 좌우 양측에 2개의 실부재(171)가 전후로 뻗어 설치되어 있다. 각 램프하우스(12)가 폐쇄위치로 회전운동되었을 때, 그 하면판(123)이 각 중간바(17)의 실링부재(171)에 밀착된다(중앙의 중간바(17)에 대해서는 도 6에 확대하여 도시하고 있다). 또, 이 램프하우스(12)의 하면판(123)에는, 2개의 컨베이어 프레임(13)의 상면에 배치한 도시하지 않은 실링부재에도 밀착하도록 되어 있고, 이것에 의해 램프(19)의 하방 공간(유리기판의 반송공간)이 밀폐되어 자외선의 누설이나 오존의 누출이 방지된다.Moreover, the intermediate | middle bar 17 extended in the front-back direction is provided so that the middle part of the left-right direction of the opening part of the main body 11, and the hinge mechanism 16 side of both lamphouses 12 can detach | separate, respectively, FIG. As shown in Fig. 2, two seal members 171 extend forward and backward on both left and right sides of the upper surface of the intermediate bars 17 thereof. When each lamp house 12 is rotated to the closed position, the lower plate 123 is in close contact with the sealing member 171 of each intermediate bar 17 (see FIG. 6 for the middle intermediate bar 17). Is shown enlarged). The lower plate 123 of the lamp house 12 is also in close contact with a sealing member (not shown) disposed on the upper surfaces of the two conveyor frames 13, whereby the space below the lamp 19 ( The conveyance space of the glass substrate) is sealed to prevent the leakage of ultraviolet rays or ozone.

그리고, 각 램프하우스(12)의 전후 양단부와 본체(11)의 전면벽부(111) 및 후면벽부(112) 사이에는, 각각 지지스테이(18)가 설치되어 있다. 이 지지스테이(18)는 실린더(181) 내에 로드(182)를 미끄럼이동 가능하게 수용하여 구성된 주지의 가스댐퍼식의 것으로, 로드(182)가 실린더(181)로부터 돌출하는 방향으로 항상 힘이 가해져 있고, 그 가해지는 힘에 의해 램프하우스(12)의 개방방향의 움직임을 조력하고, 또한, 램프하우스(12)의 개방상태를 유지할 수 있게 되어 있다. A support stay 18 is provided between the front and rear ends of each lamp house 12 and the front wall 111 and the rear wall 112 of the main body 11, respectively. The support stay 18 is a well-known gas damper type configured by slidingly accommodating the rod 182 in the cylinder 181. A force is always applied in the direction in which the rod 182 protrudes from the cylinder 181. By the force applied, the movement of the lamp house 12 in the opening direction can be assisted, and the lamp house 12 can be kept open.

램프하우스(12)중 폐쇄위치에 있을 때에 하면이 되는 부분에는, 자외선을 조사하기 위한 램프(19)가 복수개 배치되어 있다. 이 램프(19)는, 도 2 및 도 3에 도시하는 바와 같이, 전체로서는 상기 컨베이어 프레임벽(13) 사이의 대향간격에 대략 동등한 길이의 긴 형상을 하고 있는데, 구금부(191)가 본체(11)의 전측에 위치하고, 유리관부(192)가 본체(11)의 후측에서 되꺽이는 형상으로 굴곡된 후, 전측에서 재차 되꺾이는 형상으로 굴곡하고, 다시 후측에서 재차 되꺾이는 형상으로 굴곡된 M자 형상의 굴곡형 램프이다. 그 구금부(191)는 램프하우스(12)에 설치한 고정부(20)에 대해 나사고정에 의해 고정되고, 유리관부(192)의 후단부는 도 7에 도시하는 바와 같이 나사고정한 클립(21)에 의해 램프하우스(12)의 하면판(123)에 고정되어 있다. 구금부(191)에 줄지어 있는 전선군(도시하지 않음)은 램프하우스(12) 내에서 전측에 집합되고, 램프하우스(12)의 전단부와 본체(11) 사이에 설치된 가요성의 자바라관(22) 내를 통과하여 본체(11)내의 도시하지 않은 전원장치에 접속되어 있다. The lamp 19 for irradiating an ultraviolet-ray is arrange | positioned in the part which becomes a lower surface in the lamp house 12 in the closed position. As shown in Figs. 2 and 3, the lamp 19 has an elongated shape having a length approximately equal to the opposing interval between the conveyor frame walls 13 as a whole. 11) is located in the front side, the glass tube portion 192 is bent in the shape of bending back from the rear side of the main body 11, then bent in the shape of bending again in the front side, and bent again in the shape of bending again in the rear side It is a curved lamp of the shape. The detent part 191 is fixed by screwing with respect to the fixing | fixed part 20 installed in the lamphouse 12, and the rear end part of the glass tube part 192 is screwed as shown in FIG. It is fixed to the lower plate 123 of the lamp house 12 by the. A group of wires (not shown) lined up in the detention part 191 are gathered at the front side in the lamp house 12, and a flexible bellows tube installed between the front end of the lamp house 12 and the main body 11 ( 22) It is connected to a power supply device not shown in the main body 11 through the inside.

또, 램프하우스(12) 내에는 냉각수로(23)가 설치되어 있고, 이 냉각수로(23) 에 대한 급수튜브(24) 및 배수튜브(25)는 도 2에 도시하는 바와 같이 상기 자바라관(22)과는 반대측의 램프하우스(12)의 후단부로부터 도출되고, 본체(11) 내의 도시하지 않은 냉각수 공급장치에 접속되어 있다. In addition, a cooling water passage 23 is provided in the lamp house 12, and the water supply tube 24 and the drainage tube 25 for the cooling water passage 23 have the bellows tube (as shown in FIG. 2). It is derived from the rear end of the lamphouse 12 on the opposite side to 22) and is connected to a cooling water supply device (not shown) in the main body 11.

상기 구성으로 한 본 실시예의 광처리장치(10)에서는, 반송장치를 구동함으로써, 피처리물인 액정 디스플레이용의 레지스트가 부착된 유리기판이 도 1 중의 좌로부터 우를 향해서 반송된다. 유리기판이 적외선 예비가열장치(31)를 반송될 때에 가열되고, 이 가열된 유리기판이 본 발명이 적용된 광처리장치(10) 속에 반송되어 이 속에서 레지스트의 애싱이 행해진다. 뒤이어, 애싱처리가 종료된 유리기판이 냉각장치(32) 내에 반송되어 유리기판이 냉각되고, 냉각된 유리기판이 습식세척장치(33) 내에 반송되어 습식세척된다. 또한, 본 실시예의 광처리장치(10)에는, 고농도 오존을 공급하기 위한 오조나이저를 설치하여 애싱을 더욱　효율 좋게 행해지도록 해도 좋다. 더욱이, 광처리장치로서의 처리능력을 보다 향상시키기 위해, 유리기판의 승온이나 오존으로부터 산소의 활성을 촉진하는 가열기능을 병용할 수도 있다. In the optical processing apparatus 10 of the present embodiment having the above configuration, by driving the conveying apparatus, the glass substrate with a resist for liquid crystal display as an object to be processed is conveyed from left to right in FIG. When the glass substrate is conveyed to the infrared preheater 31, the glass substrate is heated, and the heated glass substrate is conveyed into the light processing apparatus 10 to which the present invention is applied, whereby ashing of the resist is performed. Subsequently, the finished glass substrate is conveyed into the cooling apparatus 32 to cool the glass substrate, and the cooled glass substrate is conveyed into the wet washing apparatus 33 and wet-washed. In addition, the optical processing apparatus 10 of this embodiment may be provided with an ozonizer for supplying high concentration ozone so that ashing can be performed more efficiently. Furthermore, in order to further improve the processing capacity as the optical processing apparatus, a heating function for promoting the activity of oxygen from the elevated temperature of the glass substrate and the ozone may be used in combination.

그런데, 이와 같은 광처리장치(10)에서, 반송장치의 메인티넌스 작업, 예를 들면 컨베이어축(14)의 베어링의 수리·점검, 반송롤러(15)의 교환 등, 또는 램프(19)의 교환을 행하려면, 램프하우스(12)를 개방하여 행한다. 각 램프하우스(12)는, 힌지기구(16)의 전후로 뻗는 횡형회전축(163)을 중심으로 개방 회전운동하므로, 도 2에 도시하는 바와 같이 좌우로 열리는 횡개방 상태로 된다. 이 때문에, 예를 들면 전측의 베어링이나 반송롤러(15)의 메인티넌스에는, 본체(11)의 전측에 작업자가 서서 작업을 행하면 좋고, 후측의 베어링이나 반송롤러(15)의 메인티넌스에는, 본체(11)의 후측으로 작업자가 돌아 들어가서 후측에서 작업을 행할 수 있다. By the way, in such an optical processing apparatus 10, maintenance work of a conveying apparatus, for example, repair and inspection of the bearing of the conveyor shaft 14, replacement of the conveyance roller 15, etc., or replacement of the lamp 19 In order to perform this, the lamp house 12 is opened and performed. Each lamp house 12 is open-rotated around the horizontal rotary shaft 163 extending forward and backward of the hinge mechanism 16, so that the lamp house 12 is in a horizontally open state opened to the left and right as shown in FIG. For this reason, for example, an operator may work on the front side of the main body 11 in the maintenance of the front bearing or the conveyance roller 15, and in the maintenance of the rear bearing or the conveyance roller 15, for example. The operator returns to the rear side of the main body 11 and can work from the rear side.

또, 각 램프하우스(12)의 전단부에는, 램프(19)의 구금부(191)를 램프하우스(12)에 고정하기 위한 나사구멍은 고정부(20)에 램프하우스(12)의 횡형회전축(163)에 대해 수직으로 되는 방향을 따라서 병렬해 있고, 이 고정부(20)에 램프(19)가 부착나사로 고정되어 있다. 이 때문에, 본 장치에서는, 장치가 대형화되어도 램프(19)의 교환작업을 용이하게 행할 수 있다. 예를 들면, 피처리물인 유리기판의 크기가 반송폭으로 1m급인 경우, 도 10에 도시하는 바와 같은 종래의 장치에서는, 복수의 자외선 램프(54)가 램프하우스(50)의 개폐축(55)과 반대측에서 개폐축(55)에 평행하게 병렬하여 나사로 부착되어 있기 때문에, 램프하우스(50)의 개방시에 이 나사부의 높이가 높아져(개방각도 30°~ 45°로 해도, 대략 1.9m~2.5m로 됨), 접사다리 등을 필요로 하고 있던 것에 대해, 본 장치에서는, 램프하우스(12)의 개방각도를 90°로 한 경우에도 나사의 위치가 1.5m 정도로 할 수 있다. 이와 같이 본 발명의 장치는, 컨베이어의 반송폭이 비교적 넓은 피처리물에 대응한 처리장치에 특히 적합하다. In addition, at the front end of each lamp house 12, a screw hole for fixing the detent part 191 of the lamp 19 to the lamp house 12 has a horizontal rotating shaft of the lamp house 12 in the fixing part 20. It is parallel to the direction perpendicular to 163, and the lamp 19 is fixed to this fixing part 20 with the attachment screw. For this reason, in this apparatus, even if the apparatus is enlarged, the replacement operation of the lamp 19 can be easily performed. For example, when the size of the glass substrate to be processed is 1 m in the conveying width, in the conventional apparatus as shown in FIG. 10, the plurality of ultraviolet lamps 54 are the opening and closing shafts 55 of the lamp house 50. On the opposite side, since the screw is attached in parallel with the opening and closing shaft 55 in parallel, the height of the screw portion increases at the time of opening the lamphouse 50 (even when the opening angle is 30 ° to 45 °, approximately 1.9 m to 2.5). m), a stepladder, and the like, in the present apparatus, the screw position can be about 1.5 m even when the opening angle of the lamp house 12 is set to 90 degrees. Thus, the apparatus of this invention is especially suitable for the processing apparatus corresponding to the to-be-processed object with a comparatively large conveyance width of a conveyor.

또, 본 실시예의 광처리장치에서는, 도 10에 도시한 종래 구조와는 상이하고, 램프하우스(12)의 지지스테이(18)가 피처리물의 반송로상을 걸치는 형태로는 되지 않고, 본체(11)의 전면벽부(111) 및 후면벽부(112)의 상방에 위치하는 형태로 되어 있으므로, 그 지지스테이(18)로부터 로드(182)의 마모분이나 윤활용 오일의 미스트가 떨어졌다고 해도, 피처리물에 부착하는 일이 없다. 게다가, 종래와 같이 반송로를 걸쳐서 부착하는 경우에 비해서, 지지스테이(18)를 반송로의 폭에 관계없이 설계할 수 있다는 이점을 가지고 있고, 본 실시예에서는 그 길이를 종래의 장치에 비해 짧은 것을 사용할 수 있다. 또한, 지지스테이(18)의 본체(11) 측의 연결장소는, 전면벽부(111) 및 후면에 기부(112)의 어떠한 개소라도 좋고, 컨베이어 프레임벽(13)에 고정하는 것도 포함한다. 또, 지지스테이(18)는 본 실시예와 같이 램프하우스(12)의 전후 쌍방에 부착해도 좋고, 전후의 어느 일방에만 부착해도 좋다. In addition, in the optical processing apparatus of the present embodiment, unlike the conventional structure shown in FIG. 10, the support stay 18 of the lamp house 12 does not form a form in which the object to be processed is transported, and the main body 11 Since it is located above the front wall 111 and the rear wall 112 of the (), even if the wear powder of the rod 182 and the mist of lubricating oil fell from the support stay 18, It is not attached to water. Moreover, as compared with the case where the transfer path is attached over the conveying path as in the related art, it has the advantage that the support stay 18 can be designed irrespective of the width of the conveying path, and in this embodiment, the length thereof is shorter than that of the conventional apparatus. Can be used. The connection location on the main body 11 side of the support stay 18 may be any location of the base 112 on the front wall portion 111 and the rear surface, and includes a fixing to the conveyor frame wall 13. In addition, the support stay 18 may be attached to both front and back of the lamp house 12 like this embodiment, and may be attached only to either one before and behind.

또, 상기 실시예에서는, 2개의 램프하우스(12)를 좌우에 쌍을 이루어서 양쪽 개방형으로 설치하고, 본체(11)에는 전후로 뻗는 중간바(17)를 설치하여 램프하우스(12)의 힌지기구(16)와는 반대측의 끝가장자리를 접촉시키도록 하고 있으므로, 본체(11)의 상면 개구부를 램프하우스(12)에 의해 완전하게 밀폐할 수 있다. 이것에 의해, 본체(11)의 반송로내에 공급한 오존이 누출하거나, 램프(19)로부터의 자외선이 밖으로 누설하는 것을 확실하게 방지할 수 있다. In addition, in the above embodiment, two lamphouses 12 are arranged in pairs on both sides of the lamphouse 12, and the hinge bar of the lamphouse 12 is provided by installing an intermediate bar 17 extending forward and backward on the main body 11. Since the end edge on the opposite side to 16) is brought into contact with each other, the upper surface opening of the main body 11 can be completely sealed by the lamp house 12. As a result, it is possible to reliably prevent the ozone supplied into the transport path of the main body 11 from leaking out or the ultraviolet rays from the lamp 19 leaking out.

게다가, 본 실시예의 램프(19)는 M자 형상의 굴곡형 램프를 사용하고 있으므로, 복수개의 램프(19)의 모든 구금부(191)를 일단측으로 모아서 배치할 수 있다. 이 결과, 전기배선부분을 램프하우스(12)의 일단측에 집중적으로 배치하고, 타단측에는 냉각수의 공급·배출관로를 배치할 수 있고, 전기배선부분과 물순환 부분을 이격한 안전하고, 합리적인 설계가 가능하게 된다. In addition, since the lamp 19 of the present embodiment uses an M-shaped curved lamp, all the detention parts 191 of the plurality of lamps 19 can be collected and arranged at one end side. As a result, the electric wiring portion can be arranged intensively at one end side of the lamp house 12, and the supply and discharge pipe of the cooling water can be arranged at the other end side, and a safe and rational design spaced apart from the electric wiring portion and the water circulation portion. Becomes possible.

또한, 본 발명은 상술의 실시예에 한정되는 것은 아니고, 예를 들면 다음에 기술하는 바와 같이 본 발명의 요지를 변경하지 않는 범위에서 다양하게 변경하여 실시할 수 있다. In addition, this invention is not limited to the above-mentioned Example, For example, as described below, it can change and implement in various ranges in the range which does not change the summary of this invention.

(1) 상기 실시형태에서는 램프하우스(12)를 2개 설치하도록 했는데, 이것에 한정되지 않고, 본체(11)의 전체를 1개의 램프하우스로 개폐하는 구조로 해도 좋고, 3개 이상의 램프하우스로 개폐하는 구조로 해도 좋다. 동일면적의 개구부를 덮기 위한 램프하우스의 개수를 늘리면 늘릴 수록, 그 폭을 좁게 할 수 있으므로, 개방상태에서의 높이 치수를 낮게 할 수 있다. 또한, 복수의 램프하우스를 설치한 경우에는, 서로 동일 방향으로 개방되도록 해도 되고, 반대 방향으로 개방하는 양쪽 개방형으로 해도 된다. 이와 같이 복수개의 램프하우스를 설치하는 구조는, 램프하우스를 좌우방향으로 개폐할 수 있도록 했기 때문에 가능하게 된 것이다. (1) In the above embodiment, two lamphouses 12 are provided, but the present invention is not limited thereto, and the entire body 11 may be opened and closed by one lamphouse. It is good also as a structure which opens and closes. As the number of lamphouses for covering the openings of the same area is increased, the width thereof can be narrowed, so that the height dimension in the open state can be reduced. In the case where a plurality of lamphouses are provided, they may be opened in the same direction with each other, or may be both open types that are opened in opposite directions. The structure in which a plurality of lamp houses are provided in this manner is made possible because the lamp house can be opened and closed in the left and right directions.

(2) 상기 실시예에서는 2개의 램프하우스(12)를 양쪽 개방형으로 함과 동시에 각 램프하우스(12) 사이에 중간바(17)을 배치하여 램프하우스(12)의 하면측을 밀폐하도록 했는데, 예를 들면 도 8에 도시하는 바와 같이, 예를 들면 좌측의 램프하우스(12)의 하면판(123)에 대해서는 힌지기구(16)와는 반대측으로 위치하는 선단 가장자리부의 하반부분을 전후의 전체에 걸쳐서 절결한 상태로 하고, 우측의 램프하우스(12)의 하면 판(123)에 대해서는 그 힌지기구(16)와는 반대측에 위치하는 선단 가장자리부의 상반 부분을 전후의 전체에 걸쳐서 잘라내는 상태로 하고, 어느 일방 또는 쌍방에 실링 부재(171)를 전후로 뻗도록 배치하는 구성으로 해도 좋다. 이와 같이 함으로써, 램프하우스(12)의 하방 영역(유리기판의 반송·처리 공간)을 밀폐하여 자외선이나 오존의 누출을 방지할 수 있다. (2) In the above embodiment, the two lamphouses 12 are opened to both sides, and at the same time, the middle bar 17 is disposed between the lamphouses 12 to seal the lower surface side of the lamphouse 12. For example, as shown in FIG. 8, the lower half part of the front-end | tip part located in the opposite side to the hinge mechanism 16 about the lower surface board 123 of the lamphouse 12 of the left side, for example, over the whole back and front. The lower half plate 123 of the lamp house 12 on the right side is cut out, and the upper half portion of the tip edge portion located on the side opposite to the hinge mechanism 16 is cut out throughout the front and rear. It is good also as a structure which arrange | positions so that the sealing member 171 may extend back and forth in one or both. By doing in this way, the area | region below the lamphouse 12 (transportation and processing space of a glass substrate) can be sealed, and leakage of an ultraviolet-ray or ozone can be prevented.

(3) 상기 실시예에서는 램프(19)를 M자관으로 했는데, 이것에 한하지 않고, U자관으로 해도 좋고, 양단에 구금부를 구비한 직관형으로 해도 좋다. 또, 본 실시예에서는 램프(19)의 구금부(191)를 램프하우스(12)에 나사고정 했는데, 부착금구를 통해서 고정해도 된다. 자외선 램프의 파장으로서는, 그 용도에도 따르지만, 애싱이나 세척의 경우에는, 150~300 nm의 파장을 가지는 것을 사용하는 것이 바람직하고, 예를 들면, 185nm와 254nm의 파장을 가지는 저압수은등이나 172nm의 파장을 갖는 베리어 방전등을 사용할 수 있다. 그리고, 이와 같은 램프를 사용한 경우에는, 본 발명장치의 메인티넌스성의 양호함이 충분히 발휘된다. 또한, 램프의 출력이 작은 경우에는, 피처리물을 가열하는 가열수단을 설치하는 것이, 처리속도를 향상시키는 점에서 바람직하다.(3) In the above embodiment, the lamp 19 is an M-shaped tube. The present invention is not limited to this, but may be a U-shaped tube, or may be a straight tube having both ends with a cap. In addition, in this embodiment, although the detention part 191 of the lamp 19 was screwed to the lamp house 12, you may fix through the attachment bracket. As a wavelength of an ultraviolet lamp, although it depends also on the use, in the case of ashing and washing | cleaning, it is preferable to use what has a wavelength of 150-300 nm, for example, the low pressure mercury lamp which has the wavelength of 185 nm and 254 nm, or the wavelength of 172 nm. A barrier discharge lamp may be used. And when such a lamp is used, the maintainability of the apparatus of this invention is fully exhibited. Moreover, when the output of a lamp is small, it is preferable to provide the heating means for heating a to-be-processed object at the point which improves a processing speed.

(3) 램프(19)의 배치패턴으로서는, 본 실시예와 같이 동일방향을 향하게 병렬하는 것에 한하지 않고, 예를 들면 도 9에 도시하는 바와 같이 서로 반대방향을 향하게 병렬해도 좋다. 여기서는, 램프(19)의 구금부(191)가 번갈아 전후에 위치하도록 하고 있다. 이와 같이 하면, 램프(19)의 관길이의 약 2 배의 반송로폭에 대응할 수 있으므로, 특히 대형의 유리기판의 처리도 가능하게 된다. 이와 같이 폭을 대단히 넓게 한 구조로 해도, 램프(19)의 구금부(191)는 램프하우스(12)의 전단 및 후단부에 위치하는 것이 되기 때문에, 램프하우스를 횡개방 타입으로 한 본 실시예의 구조에 가장 적합하여 우수한 메인티넌스성을 발휘한다. (3) The arrangement pattern of the lamps 19 is not limited to parallel in the same direction as in the present embodiment, but may be parallel to the opposite directions as shown in FIG. 9, for example. Here, the detention part 191 of the lamp 19 is alternately located before and after. In this way, it is possible to cope with a conveyance path width twice that of the tube length of the lamp 19, so that the processing of a large-sized glass substrate is also possible. Even when the structure is made extremely wide in this manner, since the detention part 191 of the lamp 19 is located at the front and rear ends of the lamp house 12, the embodiment of the present embodiment in which the lamp house is in the horizontally open type. It is most suitable for the structure and shows excellent maintenance.

(4) 상기 실시예에서는, 자외선을 피처리물에 조사하여 애싱을 행하는 자외선 애싱장치에 적용했는데, 본 발명은, 적외선, 자외선, 가시광선을 불문하고 피처 리물에 직접 또는 피처리물의 둘레의 분위기에 빛을 조사함으로써, 조사된 빛의 작용에 의해 직접 또는 간접적으로 피처리물에 대한 처리를 행하는 장치에 폭넓게 적용할 수 있고, 예를 들면 포토리소그래피 장치, 박막형성장치, 반도체 제조장치, 인쇄장치, 세척장치, 산화장치 등을 위한, 자외선 세척장치, 자외선 경화장치, 적외선 가열장치 등 다양한 장치에 적용할 수 있다. (4) In the above embodiment, the present invention was applied to an ultraviolet ashing device that irradiates ultraviolet light to an object to be ashed, but the present invention is directed to or directly around an object regardless of infrared rays, ultraviolet rays, or visible light. By irradiating light on, it can be widely applied to an apparatus for processing a target object directly or indirectly by the action of irradiated light. For example, a photolithography apparatus, a thin film forming apparatus, a semiconductor manufacturing apparatus, a printing apparatus It can be applied to various devices such as UV cleaning device, UV curing device, infrared heating device, etc.

특히, 광처리장치가 유기물의 세척, 애싱, 표면재료의 산화 또는 활성화를 행하는 자외선처리장치인 경우에는, 자외선의 작용에 의해 처리실내의 열화 등이 일어나기 쉬워, 빈번하게 메인티넌스 작업을 행할 필요가 있기 때문에, 본 발명의 장치가 적합하다. 또, 예를 들면 오조나이저를 구비하고, 자외선 램프와 오존의 작용에 의해, 피처리물의 처리를 행하는 자외선처리장치의 경우에는, 더욱 오존의 작용에 의해 처리실내의 열화 등이 일어나기 쉬워, 빈번하게 메인티넌스 작업을 행할 필요가 있기 때문에, 본 발명의 장치가 가장 적합하다. In particular, when the light treatment apparatus is an ultraviolet treatment apparatus which washes, ashes, oxidizes or activates surface materials, deterioration in the treatment chamber is likely to occur due to the action of ultraviolet rays, and thus maintenance work needs to be frequently performed. Since it exists, the apparatus of this invention is suitable. For example, in the case of an ultraviolet treatment device provided with an ozonizer and performing treatment of a target object by the action of an ultraviolet lamp and ozone, deterioration in the processing chamber is more likely to occur due to the action of ozone and frequently. Since the maintenance work needs to be performed, the apparatus of the present invention is most suitable.

(5) 상기 실시예에서는, 본체(11) 내에 반송장치를 구성하고, 그 컨베이어 롤러(15) 상에 얹은 피처리물을 반송하면서 자외선을 조사하게 했는데, 피처리물을 얹는 부위는 고정식이라도 가동식이라도 좋지만, 피처리물을 반송하는 컨베이어를 그대로 피처리물의 재치대로 함으로써, 효율적인 제조라인을 구축할 수 있게 된다. 이 경우, 본 발명의 광처리장치에서는, 컨베이어를 광처리장치 정면에 대하여 좌우방향으로 피처리물이 반송되도록 배치하는 것이 좋고, 좌우방향에 다른 처리장치를 배치함으로써 메인티넌스가 용이하고, 효율적인 제조라인을 구축할 수 있게 된다. 또한, 반송장치로서는, 롤러 컨베이어에 한하지 않고, 벨트 콘베이어나 로봇을 이 용해도 좋다. (5) In the above embodiment, the conveying apparatus was configured in the main body 11, and the ultraviolet rays were irradiated while conveying the object to be placed on the conveyor roller 15, but the portion on which the object was to be placed was movable. Although it may be sufficient, the conveyor which conveys a to-be-processed object can be mounted as it is, and an efficient manufacturing line can be constructed. In this case, in the optical processing apparatus of the present invention, it is preferable to arrange the conveyor so that the object to be processed is conveyed in the horizontal direction with respect to the front of the optical processing apparatus. You can build it. Moreover, as a conveying apparatus, not only a roller conveyor but a belt conveyor and a robot may be melt | dissolved.

(6) 램프하우스(12)는, 빛을 조사하는 램프(19)가 부착되는 지지체로서, 본 실시예와 같이, 램프(19)가 노출되는 상태로 부착되는 구조의 것이라도, 광조사창이 설치되어 램프전체가 덮힌 방구조의 것이라도 좋다. 복수개의 램프가 얹히는 경우에는, 램프를 램프하우스에 고정하기 위한 고정부를 램프하우스 개폐의 횡형회전축에 대하여 수직방향으로 병렬하여 램프하우스에 설치하도록 하는 것이 바람직하다. 이것은, 이와 같이 함으로써 램프의 고정부는 전체 장치의 전면 또는 후면측에 위치하게 되고, 램프의 고정부가 작업자에게 가장 가까운 위치에 배치되게 되어 장치가 대형화한 경우에도 램프의 교환작업이 용이하기 때문이다. 따라서, 메인티넌스시에 떼어낼 필요가 있다, 예를 들면 조사창부착 나사구멍 등의 다른 고정부도, 램프하우스 개폐의 회전축방향에 대하여 수직방향에 병렬하여 램프하우스에 설치하도록 하는 것이 바람직하다.(6) The lamp house 12 is a support to which a lamp 19 for irradiating light is attached, and even though the lamp house 12 has a structure in which the lamp 19 is attached in an exposed state as in the present embodiment, a light irradiation window is provided. It may be of a room structure in which the entire lamp is covered. In the case where a plurality of lamps are mounted, it is preferable that the fixing portion for fixing the lamps to the lamphouses is installed in the lamphouses in parallel with the horizontal axis of rotation of the lamphouse opening and closing. This is because the lamp fixing part is located at the front or rear side of the entire apparatus by doing in this way, and the lamp fixing part is arranged at the position closest to the operator, so that the lamp replacement operation is easy even when the apparatus is enlarged. Therefore, it is necessary to remove it at the time of maintenance. For example, it is preferable that other fixing parts, such as a threaded hole with a irradiation window, are also provided in the lamphouse in parallel with the direction perpendicular to the rotation axis direction of lamphouse opening and closing.

(7) 상기 실시예에서는, 지지스테이는 가스댐퍼식의 것으로 했는데, 이것에 한하지 않고 오일 댐퍼식의 것을 이용해도 좋고, 또, 램프하우스가 대형화하여 중량이 커지는 경우에는, 에어실린더를 이용하여 개폐조작을 용이하게 행하도록 해도 좋다. 게다가, 지지스테이는 램프하우스의 전후 양측에 설치하는데 한하지 않고, 전후의 일방에만 설치하도록 해도 좋다. (7) In the above embodiment, the support stay is a gas damper type, but not limited to this, an oil damper type may be used, and when the lamp house is enlarged and its weight is increased, an air cylinder is used. The opening and closing operation may be performed easily. In addition, the support stay is not limited to the front and rear sides of the lamp house, but may be provided only in one front and rear of the lamp house.

본 발명의 광처리장치에서는, 램프하우스가 광처리장치 정면에 대하여 전후방향을 회전축으로 하여 좌우에 개폐되도록 설치되어 있기 때문에, 장치의 전후에 서 메인티넌스가 가능하고, 대형화된 경우에도 본체 내부나 램프하우스의 부품교환 등의 메인티넌스 작업이 용이하다. In the light processing device of the present invention, since the lamp house is installed to be opened and closed from side to side with the front and rear direction as the rotation axis with respect to the front of the light processing device, maintenance is possible before and after the device, and even in the case of being enlarged, the inside of the main body or the lamp house. Maintenance work such as parts replacement is easy.

Claims

The lamphouse is disposed in a main body having an opening on the upper surface to cover the opening. The lamphouse is irradiated with light to be processed in the main body from the lamp installed in the lamp house, and the lamp house is placed on the front or rear of the main body. An optical processing apparatus capable of opening and closing operation from a light source, wherein the lamp house is capable of opening and closing rotational movement about a horizontal rotating shaft extending in the front-rear direction of the main body.

According to claim 1, wherein the support stay for maintaining the open state of the lamp house, the front edge of the lamp house and the front wall of the main body, or the rear edge of the lamp house and the rear wall of the main body Or between the front edge of the lamp house and the front wall of the main body, and between the rear edge of the lamp house and the rear wall of the main body.

The lamphouse according to claim 1 or 2, wherein the lamphouses are paired to the left and right, and even numbers are installed in both open types, and the openings of the main body are opposite ends of the lamphouses of the paired lamphouses. An optical processing device, characterized in that the intermediate bar is in contact with the edge is extended and installed back and forth.

The lamphouse according to claim 1 or 2, wherein the lamphouses are paired to the left and right, and even numbers are installed in both open types, and at the same time, end edge portions opposite to the horizontal rotating shafts of the lamphouses forming the pair overlap each other. An optical processing device characterized in that the state.

The curved lamp according to claim 1 or 2, wherein the lamp is a U-shaped or M-shaped curved lamp having a shape in which the detention portion is collected at one end and bent in a shape in which the other end side of the glass tube is turned back. Light processing device characterized in that.

6. The light processing apparatus according to claim 5, wherein the lamps are arranged in parallel by alternately arranging the detention portions on both front and rear sides of the lamp house.

The optical processing apparatus according to claim 1 or 2, wherein a conveying apparatus for conveying the object to be processed in the horizontal direction is provided in the main body.