JP4186236B2 - ポリイミド多層配線フィルムの製造方法及び多層配線基板の製造方法 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、ポリイミドフィルムを使用したポリイミド多層配線フィルムの製造方法及び多層配線基板の製造方法に関し、特に動作周波数が数百MHzの半導体集積回路を実装する基板として好適なポリイミド多層配線フィルムの製造方法及び多層配線基板の製造方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来、コンピュータ用配線基板として、プリント配線基板(ガラスエポキシ基板)又はセラミック焼成基板が使用されている。プリント配線基板は比較的軽量であるとともに製造コストが低いという利点がある。しかし、プリント配線基板では、ドリルを使用して基板に孔を穿設し、無電解めっき等で孔内面に導電体材料を被着させて基板両面の配線間を接続するため、その工程上の制約から配線を高密度に形成することが難しいという欠点がある。このため、プリント配線基板は、低コストが要求されるパーソナルコンピュータ等に使用されている。
【0003】
一方、セラミック焼成基板は、配線を高密度で形成することが可能であるが、製造コストが高いため、コストよりも高性能が要求されるコンピュータに使用されている。
ところで、現在、コンピュータに使用されるLSI(大規模集積回路)の動作周波数は一般的に数十MHzから100MHz程度であるが、動作周波数が数百MHzのLSIも開発されている。しかし、プリント配線基板及びセラミック焼成基板では数百HMzの信号を伝播させることは困難である。そこで、このような用途に使用する配線基板として、ポリイミド多層配線基板が開発されている。
【0004】
従来、ポリイミド多層配線基板は、配線が形成された複数のポリイミドフィルムを熱硬化性ポリイミド樹脂により接合することにより形成している。
また、特開平5−183260号には、非熱可塑性ポリイミドフィルムの上に配線を形成し、その上に熱可塑性ポリイミドフィルムを介して非熱可塑性ポリイミドフィルムを接着するという工程を繰り返して、ポリイミド多層配線基板を製造することが記載されている。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、従来のポリイミド多層配線基板の製造方法では、熱硬化性ポリイミド樹脂により絶縁層を形成しているが、熱硬化性ポリイミド樹脂のキュア工程や、フォトリソグラフィ法によりビアホールを形成する工程に時間がかかり、熱硬化性ポリイミド樹脂の材料コストが高いことも相俟って、製品コストが高くなるという欠点がある。
【0006】
また、特開平5−183260号に記載された方法においても、非熱可塑性ポリイミドフィルム及び熱可塑性ポリイミドフィルムを加熱接着する工程を繰り返してポリイミド多層配線基板を形成するので、製造に要する時間が長く、製品コストが高くなる。
本発明の目的は、工程数及び製造に要する時間を短縮し、製品コストを低減できるポリイミド多層配線フィルムの製造方法及び多層配線基板の製造方法を提供することである。
【0007】
【課題を解決するための手段】
上記した課題は、熱可塑性ポリイミド層と非熱可塑性ポリイミド層とが積層されてなる第1のフィルムにビアホールをレーザによって開孔するビアホール形成工程と、前記ビアホールの内面に導電材料を被着させてビアコンタクト部を形成するビアコンタクト部形成工程と、前記熱可塑性ポリイミド層及び前記非熱可塑性ポリイミド層の少なくとも一方の面上に配線を形成する配線形成工程と、前記ビアホール形成工程、前記ビアコンタクト部形成工程及び前記配線形成工程を経た複数枚の前記第1のフィルムを鏡面処理されたシリコーン基板上に重ね合わせ、加熱及び加圧して各第1のフィルムを一体化する工程と、前記一体化された複数枚の第1のフィルムを前記シリコーン基板から剥離する工程とを有することを特徴とするポリイミド多層配線フィルムの製造方法により解決する。
【0008】
また、上記した課題は、金属膜上に熱可塑性ポリイミド層及び非熱可塑性ポリイミド層が積層されてなる第1のフィルムの前記非熱可塑性ポリイミド層及び前記熱可塑性ポリイミド層を貫通するビアホールをレーザによって開孔するビアホール形成工程と、前記ビアホールの内面に導電材料を被着させてビアコンタクト部を形成するビアコンタクト部形成工程と、前記金属膜をパターニングして配線を形成する配線形成工程と、前記ビアホール形成工程、前記ビアコンタクト部形成工程及び前記配線形成工程を経た複数枚の前記第1のフィルムを鏡面処理されたシリコーン基板上に重ね合わせて加熱及び加圧し、各第1のフィルムを一体化する工程と、前記一体化された複数枚の第1のフィルムを前記シリコーン基板から剥離する工程とを有することを特徴とするポリイミド多層配線フィルムの製造方法により解決する。
【0009】
更に、上記した課題は、熱可塑性ポリイミド層と非熱可塑性ポリイミド層とが積層されてなる第1のフィルムに第1のビアホールをレーザによって開孔するビアホール形成工程と、前記第1のビアホールの内面に導電材料を被着させて第1のビアコンタクト部を形成するビアコンタクト部形成工程と、前記熱可塑性ポリイミド層及び前記非熱可塑性ポリイミド層の少なくとも一方の面上に配線を形成する配線形成工程と、前記ビアホール形成工程、前記ビアコンタクト部形成工程及び前記配線形成工程を経た複数枚の前記第1のフィルムを鏡面処理されたシリコーン基板上に重ね合わせ、加熱及び加圧し各第1のフィルムを一体化する工程と、前記一体化された複数枚の第1のフィルムを前記シリコーン基板から剥離して第2のフィルムを得る工程と、支持基板上に絶縁層を形成する工程と、この絶縁層に第2のビアホールを形成する工程と、この第2のビアホールの内面に導電材料を被着させて第2のコンタクト部を形成する工程と、前記絶縁層上に第2の配線を形成する工程と、前記絶縁層上に前記第2のフィルムを配置し、加熱及び加圧して前記第2のフィルムと前記絶縁層とを接合する工程とを有することを特徴とする多層配線基板の製造方法により解決する。
【0010】
更にまた、上記した課題は、金属膜上に熱可塑性ポリイミド層及び非熱可塑性ポリイミド層が積層されてなる第1のフィルムの前記非熱可塑性ポリイミド層及び前記熱可塑性ポリイミド層を貫通する第1のビアホールをレーザによって開孔するビアホール形成工程と、前記第1のビアホールの内面に導電材料を被着させて第1のビアコンタクト部を形成するビアコンタクト部形成工程と、前記金属膜をパターニングして配線を形成する配線形成工程と、前記ビアホール形成工程、前記ビアコンタクト部形成工程及び前記配線形成工程を経た複数枚の前記第1のフィルムを鏡面処理されたシリコーン基板上に重ね合わせ、加熱及び加圧し各第1のフィルムを一体化する工程と、前記一体化された複数枚の第1のフィルムを前記シリコーン基板から剥離して第2のフィルムを得る工程と、支持基板上に絶縁層を形成する工程と、この絶縁層に第2のビアホールを形成する工程と、この第2のビアホールの内面に導電材料を被着させて第2のコンタクト部を形成する工程と、前記絶縁層上に第2の配線を形成する工程と、前記絶縁層上に前記第2のフィルムを配置し、加熱及び加圧して前記第2のフィルムを前記絶縁層に接合する工程とを有することを特徴とする多層配線基板の製造方法により解決する。
【0011】
本発明においては、多層配線基板の原材料として、熱可塑性ポリイミド層と非熱可塑性ポリイミド層とを積層してなる第1のフィルムを使用する。この第1のフィルムは市販のものを使用してもよいし、熱可塑性ポリイミドフィルムと非熱可塑性ポリイミドフィルムとを接合して形成してもよい。また、第1のフィルムは、金属膜上に熱可塑性ポリイミド層と非熱可塑性ポリイミド層とを積層して構成されていてもよい。熱可塑性ポリイミド樹脂は、ある温度以上に加熱すると軟化し、軟化した状態で被接着物上に載置して圧力を加えると被接着物の表面の凹凸に入り込んで、いわゆるアンカー効果によって被接着物と接合する。
【0012】
本発明においては、熱可塑性ポリイミド層と非熱可塑性ポリイミド層とを積層してなる第1のフィルムにビアコンタクト部及び配線を形成した後、これらの第1のフィルムを重ね合わせ加熱及び加圧して一体化することによりポリイミド多層配線フィルムを形成する。この場合、加熱温度を約200℃、圧力を約2〜5kg/cm2 とすると、加圧時間は1分間程度でよい。この加熱時間は、ポリイミドのキュア(硬化)工程に要する時間の約半分の時間であり、従来に比べて製造に要する時間を大幅に短縮することができる。
【0013】
また、本発明に係る多層配線基板の製造方法においては、セラミック基板又はプリント配線基板等を支持基板とし、この支持基板と上述の方法により製造したポリイミド多層配線フィルム(第2のフィルム)とを接合して多層配線基板を製造する。この場合に、例えば周波数が数百MHzの信号を伝播する配線をポリイミド多層配線フィルムに形成し、比較的低い周波数の信号を支持基板側の配線で伝播するようにすれば、高性能の多層配線基板を低コストで製造できる。
【0014】
また、前記支持基板上に熱硬化性樹脂又は感光性無機絶縁材料等により絶縁層を形成し、この絶縁層上に例えば金属膜を蒸着してフォトリソグラフィ法により配線を形成することにより、微細な配線を形成することができる。
【0015】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態について、添付の図面を参照して説明する。
(第1の実施の形態)
図1,2は本発明の第1の実施の形態に係るポリイミド多層配線フィルムの製造方法を工程順に示す断面図である。
【0016】
まず、図1(a)に示すように、熱可塑性ポリイミド層2と非熱可塑性ポリイミド層3とが積層されてなる原料フィルム(第1のフィルム)1を用意し、この原料フィルム1をレーザ加工機の加工ステージ4上に固定する。
熱可塑性ポリイミド層2は、例えばBTDA-33'-DBP等の芳香族ポリイミドにより構成されており、非熱可塑性ポリイミド層3は例えばPMDA-PDE系ポリイミドにより構成されている。また、原料フィルム1の厚さは約15〜25μmである。
【0017】
次に、図1(b)に示すように、レーザ加工機を使用して原料フィルム1にビアホール5を形成する。ビアホール5の位置及び大きさは、予めレーザ装置内に装着するマスクによって設定する。ビアホール5の直径は、例えば約30〜40μmである。
なお、ビアホール5は、上記の方法以外の方法で形成してもよい。例えば、原料フィルム1の上にビアホール形成領域が開口されたメタルマスクを形成し、ドライエッチングを施すことによって、ビアホール5を形成してもよい。
【0018】
次に、図1(c)に示すように、ビアホール5内に金属材料を充填することにより、ビアコンタクト部6を形成する。例えば、無電解ニッケルめっきを施してビアホール5の壁面にニッケル層を形成した後、電解銅めっきを施してニッケル層上に銅を析出させることにより、ビアコンタクト部6を形成することができる。また、無電解はんだめっきを施してビアホール5内にはんだを充填することにより、ビアコンタクト部6を形成してもよい。更に、スクリーン印刷等の方法によりクリームはんだをビアホール5内に充填することにより、ビアコンタクト部6を形成してもよい。
【0019】
次に、図2(a)に示すように、蒸着法又はスパッタ法により、非熱可塑性ポリイミド層3上に金属膜7を約4〜5μmの厚さに蒸着する。この金属膜7は、例えばクロム(Cr)又はチタン(Ti)を蒸着した後、銅(Cu)を蒸着して形成する。
次に、図2(b)に示すように、フォトリソグラフィ法により金属膜7をパターニングして配線を7aを形成する。これにより、配線7a及びビアコンタクト部6を備えた単板10が得られる。
【0020】
このようにして、所定のパターンの配線を有する複数の単板10を形成した後、図2(c)に示すように、鏡面処理されたシリコーン基板11の上にこれらの複数の単板10を重ね合わせて配置する。そして、これらの単板10の積層体を約200℃の温度に加熱しつつ、2〜5kg/cm2 の圧力を加え、約1分間保持する。これにより、各単板10の熱可塑性ポリイミド層2が軟化し、熱可塑性ポリイミド層2が下側の単板10の配線7aを埋め込むように変形して、下側の単板10の非熱可塑性ポリイミド層3に接触する。そして、各単板10の熱可塑性ポリイミド層2とその下側の非熱可塑性ポリイミド層3とがアンカー効果により接合して各単板10が一体化する。これにより、ポリイミド多層配線フィルム12が完成する。
【0021】
次いで、ポリイミド多層配線フィルム12をシリコーン基板11から剥離する。この場合に、シリコーン基板11の表面は鏡面処理されているので、ポリイミド多層配線フィルム12の最下層の熱可塑性ポリイミド層とシリコーン基板11との接触面積が小さく、従ってアンカー効果も小さいので、ポリイミド多層配線フィルム12をシリコーン基板11から容易に剥離することができる。
【0022】
なお、このポリイミド多層配線フィルム12は、半導体集積回路等の部品を実装する基板として使用する他に、後述する第5及び第6の実施の形態に示すように、セラミック多層基板等からなる支持基板と一体化して多層配線基板を形成する部品として使用することもできる。
本実施の形態では、複数の単板10を形成した後、これらの複数の単板10を1回の熱圧着工程で一体化してポリイミド多層配線フィルム12を形成するので、従来に比べて製造工程が簡単であり、製造に要する時間が短縮される。また、製造工程が簡単であるとともに、熱圧着工程が1分間程度と短いので、量産効果を得やすく、材料コストが低いことと相俟って、ポリイミド多層配線フィルムの製品コストを低減できるという利点がある。本実施の形態によれば、ポリイミド多層配線フィルムの製品コストを従来の0.4〜0.5倍程度にすることができる。
【0023】
また、本実施の形態のポリイミド多層配線フィルムは、絶縁層の材料としてポリイミドを使用しているので、動作周波数が数百MHzのLSIを実装する基板として好適である。
なお、上述の実施の形態においては原料フィルム1を1枚づつ加工して単板10を形成する場合について説明したが、TABリードキャリアの製造に一般的に使用されているリール・トゥ・リール方式で単板10を形成してもよい。すなわち、一方のリールに巻かれた原料フィルムを他方のリールに掛け渡し、一方のリールから巻き解した原料フィルムを他方のリールに巻き取る間にビアホールを連続的に形成したり、ビアコンタクト部や配線を連続的に形成する。これにより、原料フィルムの搬送が容易になり、更に製品コストを低減することができる。
【0024】
(第2の実施の形態)
図3,4は本発明の第2の実施の形態に係るポリイミド多層配線フィルムの製造方法を工程順に示す断面図である。
まず、図3(a)に示すように、銅箔24と熱可塑性ポリイミド層22と非熱可塑性ポリイミド23とが積層されてなる原料フィルム21を用意する。
【0025】
次に、図3(b)に示すように、原料フィルム21をレーザ加工機の加工ステージ(図示せず)上に固定し、レーザ光を照射して、熱可塑性ポリイミドフィルム22及び非熱可塑性ポリイミドフィルム23を貫通するビアホール25を選択的に形成する。この場合に、レーザ出力を調整し、銅箔24の部分に孔が形成されないようにする。
【0026】
次に、無電解めっき法、無電解めっき法と電解めっき法との併用又はクリームはんだ印刷等の方法によりビアホール25内に金属材料を充填して、図3(c)に示すようにビアコンタクト部26を形成する。
次に、図4(a)に示すように、フォトリソグラフィ法により銅箔24をパターニングして配線24aを形成する。これにより、配線24a及びビアコンタクト部26を備えた単板28が得られる。
【0027】
次いで、上述のようにして所定の配線を有する複数の単板28を形成した後、これらの複数の単板28を鏡面処理が施されたシリコーン基板上に重ね合わせて配置し、第1の実施の形態と同様に、熱及び圧力を加えて、熱可塑性ポリイミド層22と非熱可塑性ポリイミド層23とを接合させ、これらの単板28を一体化させて積層体を得る。そして、図4(b)に示すように、この積層体30の上に金属膜31を蒸着する。
【0028】
次いで、図4(c)に示すように、金属膜31をパターニングすることにより、配線31a及びパッド31bを形成する。これにより、ポリイミド多層配線フィルム29が完成する。
本実施の形態においては、予め原料フィルム21として、銅箔24、熱可塑性ポリイミド層22及び非熱可塑性ポリイミド層23が一体になったフィルムを使用するので、第1の実施の形態に比べて導電層を形成する工程が不要であり、製造に要する時間を更に短縮できるとともに、より一層の低コスト化が図れる。
【0029】
(第3の実施の形態)
図5,6は本発明の第3の実施の形態に係るポリイミド多層配線フィルムの製造方法を工程順に示す断面図である。
まず、図5(a)に示すように、第2の実施の形態と同様にして、銅箔24と熱可塑性ポリイミドフィルム22と非熱可塑性ポリイミドフィルム23とが積層されてなる原料フィルム21に、レーザ加工機等を使用してビアホール25を形成する。
【0030】
次に、図5(b)に示すように、めっき法等によりビアホール25内に金属を充填して、ビアコンタクト部26を形成する。
次に、図5(c)に示すように、スパッタ法等により非熱可塑性ポリイミド層23上に金属膜を蒸着し、その後フォトリソグラフィ法によりこの金属膜を微細加工して、ビアコンタクト部26に接続した金属パッド34aを形成する。
【0031】
次に、図6(a)に示すように、銅箔24をパターニングして配線24aを形成する。これにより、一方の面側に配線24aを有し、他方の面側にパッド34aを有する単板38が完成する。
次いで、第1の実施の形態と同様に、複数の単板38を鏡面加工したシリコーン基板上に重ね合わせて配置し、熱圧着する。これにより、図6(b)に示すポリイミド多層配線フィルム39が完成する。
【0032】
本実施の形態は、第2の実施の形態と同様の効果を得ることができるのに加えて、金属パッド34aを介して配線間を接続するので、接続の信頼性が高いという利点がある。
(第4の実施の形態)
図7,8は本発明の第4の実施の形態に係るポリイミド多層配線フィルムの製造方法を工程順に示す断面図である。なお、本実施の形態は、主に熱可塑性ポリイミド層と熱可塑性ポリイミド層との合計の厚さが約15μm以下の場合に適用されるものである。
【0033】
まず、図7(a)に示すように、銅箔24上に熱可塑性ポリイミド層22と非熱可塑性ポリイミド層23を積層してなる原料フィルム21に、熱可塑性ポリイミド層22及び非熱可塑性ポリイミド層23を貫通するビアホール25を形成する。
次に、図7(b)に示すように、スパッタ法等により、ビアホール25の内面及び非熱可塑性ポリイミド層23の表面上に金属膜41を形成する。この金属膜41は、例えば厚さが4〜5μmであり、下地層としてのCr(クロム)又はTi(チタン)層と、この下地層上に形成されたCu(銅)層とにより構成される。熱可塑性ポリイミド層22と非熱可塑性ポリイミド層23との合計の厚さが約15μm以下の場合は、ビアホール25の内面全体に金属膜を蒸着させることができる。ビアホール25の内面に被着した金属膜41はビアコンタクト部42となる。
【0034】
次に、図7(c)に示すように、フォトリソグラフィ法により、非熱可塑性ポリイミド層23上の金属膜41を加工して、ビアコンタクト部42に接続した金属パッド41aを形成する。
次に、図8(a)に示すように、フォトリソグラフィ法により、銅箔24をパターニングして、所定の配線24aを形成する。これにより、配線24a及び金属パッド41aを有する単板44が得られる。
【0035】
このようにして所定の配線24a及び金属パッド41aを有する複数の単板44を形成した後、鏡面加工したシリコーン基板上にこれらの複数の単板44を重ね合わせて配置し、第1の実施の形態と同様に熱及び圧力を加えて、これらの単板44を一体化する。これにより、図8(b)に示すポリイミド多層配線フィルム49が完成する。
【0036】
本実施の形態では、第3の実施の形態と同様の効果が得られるのに加えて、ビアコンタクト部42と非熱可塑性ポリイミド層23上の金属膜41とを同時に形成するので、製造工程がより一層簡略化されるという利点がある。
(第5の実施の形態)
図9は本発明の第5の実施の形態に係る多層配線基板の製造方法を工程順に示す断面図である。図9において、51は支持基板である、本実施の形態では支持基板51としてセラミック配線基板を使用するが、支持基板51としてプリント配線基板を使用してもよい。この支持基板51の上面及び下面側には金属パッド52及び配線53が形成されており、内部には複数の内部配線54と、内部配線54間を接続するビアコンタクト部55が形成されている。また、図9(b),(c)では、支持基板51の内部配線54及びビアコンタクト部55の図示を省略している。
【0037】
まず、9(a)に示すように、支持基板51上に熱硬化性樹脂(ポリイミドワニス)を塗布した後、この熱硬化性樹脂を硬化させて、厚さが数μmの絶縁層61を形成する。その後、レーザ照射又はエッチング法を使用して、絶縁層61にパッド52に到達するビアホール62を開孔する。
次に、図9(b)に示すように、スパッタ法等により、ビアホール62を金属材料で埋め込んでビアコンタクト部63を形成するとともに、絶縁層61上に金属膜を形成する。そして、この金属膜をパターニングして、配線65aを形成する。
【0038】
次いで、図9(c)に示すように、絶縁層61上に、第1〜第4の実施の形態のいずれかの方法により形成したポリイミド多層配線フィルム(第2のフィルム)67を配置する。このとき、ポリイミド多層配線フィルム67の最下層の熱可塑性ポリイミド層と配線65aとが接触するようにする。その後、熱及び圧力を加えて、ポリイミド多層配線フィルム67と絶縁層61とを接合する。これにより多層配線基板60が完成する。
【0039】
本実施の形態の多層配線基板は、セラミック基板とポリイミド多層配線フィルムとにより構成されているので、内部配線層の層数が同一の場合は、前述の第1〜第4の実施の形態により製造したポリイミド多層配線フィルム(ポリイミド多層配線基板)に比べて、製品コストを低減することができる。この場合に、周波数が数百MHzの信号はポリイミド多層配線フィルムの内部配線を通るようにし、セラミック基板側の内部配線は比較的周波数が低い信号が通るようにすれば、動作周波数が数百MHzのLSIの実装用基板として使用することができる。また、熱硬化性樹脂により絶縁層61を形成し、この絶縁層61の上にスパッタ蒸着により膜厚が薄い金属膜を形成し、この金属膜をパターニングして配線65aを形成するので、配線65aを微細なパターンで形成することができる。
【0040】
(第6の実施の形態)
図10,11は本発明の第6の実施の形態に係る多層配線基板の製造方法を工程順に示す断面図である。なお、71は支持基板であり、本実施の形態では、支持基板71としてセラミック基板又はプリント配線基板を使用する。この支持基板71の上面及び下面には金属パッド72及び配線73が形成されており、内部には内部配線74と上下配線間を接続するビアコンタクト部75とが形成されている。また、図10(b),(c)及び図11では、支持基板71及びポリイミド多層配線フィルム81の内部配線及びビアコンタクト部の図示を省略している。
【0041】
まず、図10(a)に示すように、支持基板71上に、第1〜第4の実施の形態により形成したポリイミド多層配線フィルム81を配置する。この場合、ポリイミド多層配線フィルム81の最下層の熱可塑性ポリイミド層と支持基板71のパッド72とを接触させる。その後、熱及び圧力を加えて、支持基板71とポリイミド多層配線フィルム81とを接合して一体化する。
【0042】
次に、図10(b)に示すように、ポリイミド多層配線フィルム81上に熱硬化性樹脂を塗布し、熱硬化させて厚さが約5μmの絶縁層85を形成する。この場合に、熱硬化性樹脂としては、例えばシリコーン樹脂のように、キュア温度が熱可塑性ポリイミドの軟化温度よりも低く、耐熱温度が熱可塑性ポリイミドの軟化温度よりも高い樹脂を使用する。
【0043】
その後、例えばエッチング法等により、絶縁層85にビアホールを形成し、このビアホール内に金属材料を充填することにより、ビアコンタクト部87を形成する。
次に、図10(c)に示すように、絶縁層85上に厚さが約3μmの金属薄膜を形成し、この金属薄膜をパターニングして導体配線88を形成する。このとき、金属薄膜の厚さが極めて薄いので、微細な配線パターンを形成することができる。
【0044】
次いで、図11に示すように、絶縁層85上に、第1〜第4の実施の形態により製造したポリイミド多層配線フィルム89を重ね合わせて配置し、加熱及び加圧して両者を一体化させる。これにより、多層配線基板80が完成する。
高周波信号を伝送する配線基板では、高周波信号が伝播する配線層を電源プレーン又は接地プレーンで挟み込んでノイズの影響を防止する必要がある。この場合、高周波信号が伝播する配線層の配線パターンは微細なものになるが、その上下の電源プレーン又は接地プレーンの配線パターンはラフなものになる。本実施の形態では、絶縁層85上の配線88を高周波の信号を伝送する配線とし、その配線88の上下のポリイミド多層配線フィルム81,89に電源又は接地配線パターンを形成する。これにより、電源又は接地配線等のラフパターンの配線層の間に微細な配線パターンが設けられた多層配線基板を比較的容易に且つ低コストで製造できる。
【0045】
(第7の実施の形態)
図12は本発明の第7の実施の形態に係る多層配線基板の製造方法を工程順に示す断面図である。なお、91は支持基板であり、本実施の形態においては、支持基板91として、後工程で使用する感光性絶縁ペースト(ガラスセラミック入り感光性ペースト)の焼成又はキュアの温度によりも高い耐熱温度を有することが必要である。本実施の形態では、支持基板91としてセラミック基板を使用する。この支持基板91の上面及び下面にはパッド93及び配線92が形成されており、内部には内部配線(図示せず)と上下配線間を接続するビアコンタクト部(図示せず)とが形成されている。
【0046】
まず、図12(a)に示すように、印刷法等により支持基板91上に感光性絶縁ペーストを塗布し、約100℃に加熱して乾燥させて感光性絶縁ペースト層を得て、この感光性絶縁ペースト層を露光及び現像してビアホール95を形成する。その後、約700℃の温度で絶縁ペースト層を焼成して絶縁層94を得る。
次に、図12(b)に示すように、例えばスパッタ法により金属をスパッタリングしてビアホール95を金属材料で埋め込み、ビアコンタクト部96を形成するとともに、絶縁層94上に金属膜を形成する。そして、フォトリソグラフィ法を使用して金属膜を加工して配線97を形成する。なお、配線97は、導電性ペーストを印刷して形成してもよい。
【0047】
次いで、図12(c)に示すように、第1〜第4の実施の形態により形成したポリイミド多層配線フィルム98を絶縁層94上に配置し、加熱及び加圧して両者を一体化させる。これにより、多層配線基板90が完成する。
本実施の形態においては、絶縁層94を感光性絶縁ペーストにより形成するので、ビアホールの形成が容易であり、第5の実施の形態に比べて更に製品コストを低減できる。
【0048】
(第8の実施の形態)
図13(a)は本発明のポリイミド多層配線フィルムを使用した電子部品の実装例を示す平面図、図13(b)は同じくそのX−X線による断面図である。本実施の形態は、本発明をマルチチップモジュールの基板に適用した例である。
ポリイミド多層配線フィルム101は、矩形枠状の支持部材102に固定されている。この支持部材102は、ポリイミド多層配線フィルム101の縁部に熱圧着された枠部102aと、この枠部102aに下側から嵌合して枠部102aとの間でポリイミド多層配線フィルム101を挟持する固定部102bとにより構成されている。枠部102aの下部内側には突起が設けられており、固定部102bの周囲には溝が設けられている。そして、前記突起が前記溝に係合することにより、枠部102aと固定部102bとが固定される。
【0049】
また、ポリイミド多層配線フィルム101の上面には複数のLSIチップ103が実装され、下面にはチップコンデンサ104等が実装されている。
これらのLSIチップ103及びチップコンデンサ104は、以下のようにしてポリイミド多層配線フィルム101に実装する。すなわち、支持部材102に固定されたポリイミド多層配線フィルム101の一方の面全体に接触する保持部材を使用し、この保持部材によりポリイミド多層配線フィルム101を保持して、他方の面上にLSIチップ103をボンディングする。
【0050】
次に、ポリイミド多層配線フィルム101を裏返して、多層配線フィルム101の一方の面上に、チップコンデンサ104等を自重を利用して実装する。これは、チップコンデンサ104等を実装する際の押圧力によりポリイミド多層配線フィルム101が変形したり破損することを回避するためである。ポリイミド多層配線フィルム101の他方の面に実装されたLSIチップ103に対応する凹部が設けられた保持部材を多層配線フィルム101の他方の面側に配置すれば、ボンディングが必要な素子を実装することもできる。
【0051】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明に係るポリイミド多層配線フィルムの製造方法によれば、熱可塑性ポリイミド層と非熱可塑性ポリイミド層とが積層されてなる第1のフィルムを使用し、ビアコンタクト部及び配線を形成した後、複数の第1のフィルムを重ね合わせ、加熱及び加圧して一体化するので、製造に要する時間を短縮することができて、製品コストが低減される。また、本発明方法により製造されたポリイミド多層配線フィルムにより、動作周波数が数百MHzのマルチチップモジュールを製造することができる。
【0052】
また、本発明に係る多層配線基板の製造方法によれば、セラミック基板又はプリント基板等の支持基板上に絶縁層を形成し、この絶縁層上に上記の方法で製造したポリイミド多層配線フィルム(第2のフィルム)を接合するので、配線層の数が同じであるとすると、ポリイミド多層配線フィルムのみからなる多層配線基板に比べ更に低コスト化が図れるという効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1の実施の形態に係るポリイミド多層配線フィルムの製造方法を示す断面図(その1)である。
【図2】本発明の第1の実施の形態に係るポリイミド多層配線フィルムの製造方法を示す断面図(その2)である。
【図3】本発明の第2の実施の形態に係るポリイミド多層配線フィルムの製造方法を示す断面図(その1)である。
【図4】本発明の第2の実施の形態に係るポリイミド多層配線フィルムの製造方法を示す断面図(その2)である。
【図5】本発明の第3の実施の形態に係るポリイミド多層配線フィルムの製造方法を示す断面図(その1)である。
【図6】本発明の第3の実施の形態に係るポリイミド多層配線フィルムの製造方法を示す断面図(その2)である。
【図7】本発明の第4の実施の形態に係るポリイミド多層配線フィルムの製造方法を示す断面図(その1)である。
【図8】本発明の第4の実施の形態に係るポリイミド多層配線フィルムの製造方法を示す断面図(その2)である。
【図9】本発明の第5の実施の形態に係る多層配線板の製造方法を示す断面図である。
【図10】本発明の第6の実施の形態に係る多層配線板の製造方法を示す断面図(その1)である。
【図11】本発明の第6の実施の形態に係る多層配線板の製造方法を示す断面図(その2である。
【図12】本発明の第7の実施の形態に係る多層配線基板の製造方法を示す断面図である。
【図13】(a)は本発明のポリイミド多層配線フィルムを使用した電子部品の実装例を示す平面図、(b)は同じくそのX−X線による断面図である。
【符号の説明】
1,21 原料フィルム
2,22 熱可塑性ポリイミド層
3,23 非熱可塑性ポリイミド層
4 加工ステージ
5,25,62,95 ビアホール
6,26,42,55,63,75,87,96 ビアコンタクト部
7,41 金属膜
7a,24a,53,54,65a,73,74,88,92,97 配線
10,28,38,44 単板
11 シリコーン基板
12,29,39,49,67,81,89,98,101 ポリイミド多層配線フィルム
24 銅箔
34a,41a,52,72,93 金属パッド
51,71,91 支持基板
60,80,90 多層配線基板
61,85,94 絶縁層
Claims (6)
- 熱可塑性ポリイミド層と非熱可塑性ポリイミド層とが積層されてなる第1のフィルムにビアホールをレーザによって開孔するビアホール形成工程と、
前記ビアホールの内面に導電材料を被着させてビアコンタクト部を形成するビアコンタクト部形成工程と、
前記熱可塑性ポリイミド層及び前記非熱可塑性ポリイミド層の少なくとも一方の面上に配線を形成する配線形成工程と、
前記ビアホール形成工程、前記ビアコンタクト部形成工程及び前記配線形成工程を経た複数枚の前記第1のフィルムを鏡面処理されたシリコーン基板上に重ね合わせ、加熱及び加圧して各第1のフィルムを一体化する工程と、
前記一体化された複数枚の第1のフィルムを前記シリコーン基板から剥離する工程と
を有することを特徴とするポリイミド多層配線フィルムの製造方法。 - 金属膜上に熱可塑性ポリイミド層及び非熱可塑性ポリイミド層が積層されてなる第1のフィルムの前記非熱可塑性ポリイミド層及び前記熱可塑性ポリイミド層を貫通するビアホールをレーザによって開孔するビアホール形成工程と、
前記ビアホールの内面に導電材料を被着させてビアコンタクト部を形成するビアコンタクト部形成工程と、
前記金属膜をパターニングして配線を形成する配線形成工程と、
前記ビアホール形成工程、前記ビアコンタクト部形成工程及び前記配線形成工程を経た複数枚の前記第1のフィルムを鏡面処理されたシリコーン基板上に重ね合わせて加熱及び加圧し、各第1のフィルムを一体化する工程と、
前記一体化された複数枚の第1のフィルムを前記シリコーン基板から剥離する工程と
を有することを特徴とするポリイミド多層配線フィルムの製造方法。 - 前記ビアコンタクト部の形成と同時に、又は前記ビアコンタクト部形成工程の後に、前記非熱可塑性ポリイミド層上に前記ビアコンタクト部に接続した導電性パッドを形成することを特徴とする請求項1又は2に記載のポリイミド多層配線フィルムの製造方法。
- 熱可塑性ポリイミド層と非熱可塑性ポリイミド層とが積層されてなる第1のフィルムに第1のビアホールをレーザによって開孔するビアホール形成工程と、
前記第1のビアホールの内面に導電材料を被着させて第1のビアコンタクト部を形成するビアコンタクト部形成工程と、
前記熱可塑性ポリイミド層及び前記非熱可塑性ポリイミド層の少なくとも一方の面上に配線を形成する配線形成工程と、
前記ビアホール形成工程、前記ビアコンタクト部形成工程及び前記配線形成工程を経た複数枚の前記第1のフィルムを鏡面処理されたシリコーン基板上に重ね合わせ、加熱及び加圧し各第1のフィルムを一体化する工程と、
前記一体化された複数枚の第1のフィルムを前記シリコーン基板から剥離して第2のフィルムを得る工程と、
支持基板上に絶縁層を形成する工程と、
この絶縁層に第2のビアホールを形成する工程と、
この第2のビアホールの内面に導電材料を被着させて第2のコンタクト部を形成する工程と、
前記絶縁層上に第2の配線を形成する工程と、
前記絶縁層上に前記第2のフィルムを配置し、加熱及び加圧して前記第2のフィルムと前記絶縁層とを接合する工程と
を有することを特徴とする多層配線基板の製造方法。 - 金属膜上に熱可塑性ポリイミド層及び非熱可塑性ポリイミド層が積層されてなる第1のフィルムの前記非熱可塑性ポリイミド層及び前記熱可塑性ポリイミド層を貫通する第1のビアホールをレーザによって開孔するビアホール形成工程と、
前記第1のビアホールの内面に導電材料を被着させて第1のビアコンタクト部を形成するビアコンタクト部形成工程と、
前記金属膜をパターニングして配線を形成する配線形成工程と、
前記ビアホール形成工程、前記ビアコンタクト部形成工程及び前記配線形成工程を経た複数枚の前記第1のフィルムを鏡面処理されたシリコーン基板上に重ね合わせ、加熱及び加圧し各第1のフィルムを一体化する工程と、
前記一体化された複数枚の第1のフィルムを前記シリコーン基板から剥離して第2のフィルムを得る工程と、
支持基板上に絶縁層を形成する工程と、
この絶縁層に第2のビアホールを形成する工程と、
この第2のビアホールの内面に導電材料を被着させて第2のコンタクト部を形成する工程と、
前記絶縁層上に第2の配線を形成する工程と、
前記絶縁層上に前記第2のフィルムを配置し、加熱及び加圧して前記第2のフィルムを前記絶縁層に接合する工程と
を有することを特徴とする多層配線基板の製造方法。 - 前記支持基板はセラミック基板又はプリント配線基板であることを特徴とする請求項4又は5に記載の多層配線基板の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP15986496A JP4186236B2 (ja) | 1996-06-20 | 1996-06-20 | ポリイミド多層配線フィルムの製造方法及び多層配線基板の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP15986496A JP4186236B2 (ja) | 1996-06-20 | 1996-06-20 | ポリイミド多層配線フィルムの製造方法及び多層配線基板の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH1013020A JPH1013020A (ja) | 1998-01-16 |
JP4186236B2 true JP4186236B2 (ja) | 2008-11-26 |
Family
ID=15702893
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP15986496A Expired - Lifetime JP4186236B2 (ja) | 1996-06-20 | 1996-06-20 | ポリイミド多層配線フィルムの製造方法及び多層配線基板の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4186236B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP7223672B2 (ja) * | 2019-11-08 | 2023-02-16 | 日本特殊陶業株式会社 | 多層配線基板 |
-
1996
- 1996-06-20 JP JP15986496A patent/JP4186236B2/ja not_active Expired - Lifetime
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Publication number | Publication date |
---|---|
JPH1013020A (ja) | 1998-01-16 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
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A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20051019 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20051115 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20060112 |
|
A02 | Decision of refusal |
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|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20060724 |
|
A911 | Transfer of reconsideration by examiner before appeal (zenchi) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911 Effective date: 20060728 |
|
A912 | Removal of reconsideration by examiner before appeal (zenchi) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A912 Effective date: 20060915 |
|
A711 | Notification of change in applicant |
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|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20080901 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110919 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110919 Year of fee payment: 3 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
S533 | Written request for registration of change of name |
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|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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|
R350 | Written notification of registration of transfer |
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|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120919 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130919 Year of fee payment: 5 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313111 |
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R350 | Written notification of registration of transfer |
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EXPY | Cancellation because of completion of term |