JP4183174B2 - 電子部品収納用パッケージ - Google Patents
電子部品収納用パッケージ Download PDFInfo
- Publication number
- JP4183174B2 JP4183174B2 JP2003086190A JP2003086190A JP4183174B2 JP 4183174 B2 JP4183174 B2 JP 4183174B2 JP 2003086190 A JP2003086190 A JP 2003086190A JP 2003086190 A JP2003086190 A JP 2003086190A JP 4183174 B2 JP4183174 B2 JP 4183174B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- frame portion
- frame
- electronic component
- inner peripheral
- exposed
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L24/00—Arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies; Methods or apparatus related thereto
- H01L24/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L24/02—Bonding areas ; Manufacturing methods related thereto
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/10—Bump connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/1012—Auxiliary members for bump connectors, e.g. spacers
- H01L2224/10122—Auxiliary members for bump connectors, e.g. spacers being formed on the semiconductor or solid-state body to be connected
- H01L2224/10125—Reinforcing structures
- H01L2224/10126—Bump collar
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/01—Chemical elements
- H01L2924/01004—Beryllium [Be]
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/01—Chemical elements
- H01L2924/01005—Boron [B]
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/01—Chemical elements
- H01L2924/01006—Carbon [C]
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/01—Chemical elements
- H01L2924/01013—Aluminum [Al]
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/01—Chemical elements
- H01L2924/01014—Silicon [Si]
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/01—Chemical elements
- H01L2924/0102—Calcium [Ca]
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/01—Chemical elements
- H01L2924/01028—Nickel [Ni]
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/01—Chemical elements
- H01L2924/01029—Copper [Cu]
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/01—Chemical elements
- H01L2924/01033—Arsenic [As]
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/01—Chemical elements
- H01L2924/01039—Yttrium [Y]
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/01—Chemical elements
- H01L2924/01042—Molybdenum [Mo]
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/01—Chemical elements
- H01L2924/01047—Silver [Ag]
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/01—Chemical elements
- H01L2924/01074—Tungsten [W]
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/01—Chemical elements
- H01L2924/01078—Platinum [Pt]
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/01—Chemical elements
- H01L2924/01079—Gold [Au]
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/01—Chemical elements
- H01L2924/01082—Lead [Pb]
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/013—Alloys
- H01L2924/014—Solder alloys
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/095—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00 with a principal constituent of the material being a combination of two or more materials provided in the groups H01L2924/013 - H01L2924/0715
- H01L2924/097—Glass-ceramics, e.g. devitrified glass
- H01L2924/09701—Low temperature co-fired ceramic [LTCC]
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/10—Details of semiconductor or other solid state devices to be connected
- H01L2924/11—Device type
- H01L2924/14—Integrated circuits
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Wire Bonding (AREA)
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体素子や水晶振動子等の電子部品を搭載し収納するための電子部品収納用パッケージに関するものである。
【0002】
【従来の技術】
従来、半導体素子や水晶振動子等の電子部品を搭載し収納するための電子部品収納用パッケージは、例えば、図2(a)に上面図で、図2(b)にそのY−Y’線断面図で例を示すように、酸化アルミニウム質焼結体等のセラミックス材料から成る基板21の上面に四角枠状の第1の枠部22を取着するとともに、この第1の枠部22の上面に第1の枠部22よりも大きな開口を有する四角枠状の第2の枠部23を取着し、第1の枠部22の内周部分の少なくとも一辺が露出して、この露出した内周部分の上面に電子部品(図示せず)の電極が接続される複数の配線導体24を配列形成して成る構造を有している。
【0003】
そして、この第1の枠部22の内側の基板21の上面に電子部品(図示せず)を搭載するとともに電子部品の複数の電極をそれぞれ対応する配線導体24に接続し、電子部品を蓋体や封止用樹脂等で封止することにより製品としての電子装置となる。
【0004】
ここで、電子部品の電極と電子部品収納用パッケージの各配線導体24との接続は、一般に、金ワイヤ等のボンディングワイヤを、ボンディング装置を用いて電子部品収納用パッケージの配線導体24と電子部品の電極とに順次接続することにより行なわれている。
【0005】
なお、このような電子部品収納用パッケージは、通常、第1の枠部22および第2の枠部23が基板21と同種のセラミック材料により形成されており、いわゆるセラミックグリーンシート積層法によって製作されている。
【0006】
具体的には、例えば、基板21・第1の枠部22および第2の枠部23が酸化アルミニウム質焼結体から成る場合であれば、まず、酸化アルミニウム等の原料粉末を有機バインダとともにシート状に成形して複数のセラミックグリーンシートを準備するとともに、これらのセラミックグリーンシートの一部に打ち抜き加工を施して所定の四角枠状に成形する。この打ち抜き加工の際、開口が小さい第1の枠部22となるものと、開口が大きい第2の枠部23となるものとが形成されるようにしておく。次に、各セラミックグリーンシートの表面にメタライズペーストを印刷塗付するとともに、打ち抜き加工を施していない板状の基板21となるセラミックグリーンシートの上面に、開口が小さい枠状のセラミックグリーンシートと、開口が大きいセラミックグリーンシートとを順次積層し、この積層体を焼成することにより電子部品収納用パッケージが製作される。
【0007】
なお、枠状のセラミックグリーンシートを積層する際、開口が小さい枠状のセラミックグリーンシートの内周部分の少なくとも一辺が開口の大きい枠状のセラミックグリーンシートの開口の内側に露出するようにされるとともに、この露出部分の上面に配線導体24となるメタライズペーストが印刷塗布される。
【0008】
【特許文献1】
特開2001−127096号公報
【0009】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、このような従来の電子部品収納用パッケージにおいては、セラミックグリーンシートを金型等により枠状に打ち抜いたり、セラミックグリーンシートに配線導体24となるメタライズペーストを印刷塗付したりする工程において、打ち抜きの位置やメタライズペーストの印刷位置に位置ずれを生じることがある。この位置ずれを生じると、第1の枠部22の露出した内周部分の寸法(特に第1の枠部22の内周に対して直交する方向の幅)や、その内周部分の上面に形成された配線導体24の長さが所定の寸法から外れてしまうという問題点があった。
【0010】
このように、第1の枠部22の露出した内周部分の寸法や、その内周部分の上面に形成された配線導体24の長さが所定の寸法から外れてしまうと、ボンディングワイヤを配線導体24に接続するときに、ボンディング装置の画像認識装置による配線導体24の認識等が難しくなってボンディングワイヤの接続が困難となってしまうという問題点がある。
【0011】
また、このような、第1の枠部22の露出した内周部分の寸法や、その内周部分の上面に形成される配線導体24の長さ等が所定の寸法から外れた電子部品収納用パッケージを選別するために外観検査等の検査を行なうことは、第1の枠部22の内周部分の上面に形成される配線導体24の大きさが、例えば1辺の長さが約0.2〜0.5mm程度と非常に小さいために困難であるという問題点もある。
【0012】
本発明は、このような従来の技術における問題点に鑑みて案出されたものであり、その目的は、基板の上面に四角枠状の第1の枠部と第2の枠部とを取着して成り、第1の枠部の内周部分の少なくとも一辺が露出してこの露出した内周部分の上面に電子部品の電極が接続される配線導体が形成された電子部品収納用パッケージにおいて、第1の枠部の露出部分の寸法や、その上面に形成された配線導体の長さ等が所定の寸法から外れていることを容易に識別し選別することが可能であり、確実に配線導体にボンディングワイヤを接続することが可能な電子部品収納用パッケージを提供することにある。
【0013】
【課題を解決するための手段】
本発明の電子部品収納用パッケージは、基板の上面に四角枠状の第1の枠部が取着されるとともにこの第1の枠部の上面に前記第1の枠部よりも大きな開口を有する四角枠状の第2の枠部が取着され、前記第1の枠部の内周部分の少なくとも一辺が前記第2の枠部の内側に露出しており、この露出した前記内周部分の上面に、前記第1の枠部の内側の前記基板の上面に搭載される電子部品の電極が接続される複数の配線導体が配列形成されている電子部品収納用パッケージであって、前記第1の枠部の露出した前記内周部分の上面のうち前記配線導体の配列の外側の両方の領域に、前記第1の枠部の内周側の部位にその内周に沿った方向および前記第2の枠部の内周側の部位にその内周に沿った方向に、それぞれ前記内周に沿った一辺が長辺である長方形状の導体パターンが形成されていることを特徴とするものである。
【0014】
本発明の電子部品収納用パッケージによれば、複数の配線導体が配列形成されている第1の枠部の露出した内周部分の上面のうち、配線導体の配列の外側の両方の領域に、第1の枠部の内周側の部位にその内周に沿った方向および第2の枠部の内周側の部位にその内周に沿った方向に、それぞれ内周に沿った一辺が長辺である長方形状の導体パターンを形成したことから、この電子部品収納用パッケージを作製するためのセラミックグリーンシートの打ち抜き位置や、セラミックグリーンシートに印刷されるメタライズペーストの印刷位置に位置ずれが生じた場合においても、その位置ずれを、内周に沿った一辺が長辺である長方形状の導体パターンが正常に露出しているか否か、例えば内周に沿った一辺が長辺である長方形状の導体パターンが第2の枠部の下に隠れて形状が変化したり、第1の枠部の内周端から外れて形成されて形状が変化したりしていないか等を確認することにより容易に識別することができ、第1の枠部の露出した内周部分の上面に確実にボンディングワイヤを接続することが可能な配線導体が形成された電子部品収納用パッケージを提供することができる。
【0015】
また、長方形状の導体パターンは第1の枠部の露出した内周部分の上面に配列形成された複数の配線導体の外側の領域に形成されていることから、隣り合う配線導体間で電気絶縁性の低下等の不具合を誘発するようなことはなく、複数の配線導体をそれぞれ対応する電子部品の電極にボンディングワイヤを介して確実に接続することができる。
【0016】
【発明の実施の形態】
次に、本発明の電子部品収納用パッケージを添付の図面に基づいて詳細に説明する。
【0017】
図1(a)は本発明の電子部品収納用パッケージの実施の形態の一例を示す上面図であり、図1(b)はそのX−X’線断面図である。
【0018】
これらの図において、1は基板、2は第1の枠部、3は第2の枠部、4は配線導体である。これらの基板1・第1の枠部2・第2の枠部3および配線導体4により、電子部品の搭載部5を有する電子部品収納用パッケージ6が形成される。
【0019】
基板1は、その上面に第1および第2の枠部2・3が取着され、半導体素子や水晶振動子等の電子部品(図示せず)を搭載・支持するための支持体として機能する。
【0020】
また、第1の枠部2および第2の枠部3は、基板1の上面に搭載される電子部品を取り囲み、この電子部品を気密封止する際の側壁等として機能する。これらの第1の枠部2および第2の枠部3は、通常、四角枠状とされている。これは、半導体集積回路素子や水晶振動子等、一般に四角形状のものが多い電子部品を効果的に取り囲むことができるようにするためである。
【0021】
このような基板1・第1の枠部2および第2の枠部3は、例えば酸化アルミニウム質焼結体や窒化アルミニウム質焼結体・ムライト質焼結体・ガラスセラミックス焼結体等のセラミック材料から成り、通常は、同種のセラミック材料により形成される。
【0022】
基板1・第1の枠部2および第2の枠部3は、例えば、酸化アルミニウム質焼結体から成る場合であれば、酸化アルミニウム・酸化珪素・酸化カルシウム等の原料粉末を有機溶剤・バインダ等とともにシート状に成形して複数のセラミックグリーンシートを得て、このセラミックグリーンシートのうち必要なものに打ち抜き加工を施して四角枠状とした後、打ち抜き加工を施していない板状のセラミックグリーンシートの上面に、打ち抜き加工を施した枠状の複数のセラミックグリーンシートを順次積層し、焼成することにより形成される。
【0023】
この場合、第2の枠部3は、第1の枠部2よりも大きな開口を有するものとされ、第1の枠部2の内周部分の少なくとも一辺が搭載部5の周辺に露出するように形成されている。
【0024】
この第1の枠部2の露出した内周部分の上面に、電子部品の電極が接続される複数の配線導体4が配列形成されている。
【0025】
また、この各配線導体4は、通常、第1の枠部2と第2の枠部3との層間に延びるようにして形成されるとともに、基板1や第1の枠部2・第2の枠部3の層間や層内を通って、基板1の外側面や下面等の外面に導出されている。
【0026】
そして、配線導体4の、第1の枠部2の露出した内周部分に形成された部位に電子部品の複数の電極をそれぞれボンディングワイヤ(図示せず)を介して接続するとともに、外面に導出された部位を外部電気回路基板の配線導体に半田等を介して接続することにより、電子部品が外部電気回路と電気的に接続される。
【0027】
このような配線導体4は、タングステンやモリブデン・銅・銀等の金属材料から成り、例えば、あらかじめセラミックグリーンシートに複数の貫通孔を形成しておき、タングステン等の金属ペーストをセラミックグリーンシートの表面および貫通孔内にスクリーン印刷法等で印刷塗布あるいは充填することにより形成される。
【0028】
この場合、電子部品の電極が接続される配線導体4は、電子部品の通常は上面に複数個が配列形成されている電極との間の距離を極力短くして、ボンディングワイヤを介しての接続を容易かつ確実なものとする必要があるため、電子部品の上面との間の距離が近い、第1の枠部2の露出した内周部分の上面に配列形成される。
【0029】
なお、四角枠状の第1の枠部2の内周部分の少なくとも一辺を露出させるとともに、その内周部分の上面に複数の配線導体4を配列形成するには、複数のセラミックグリーンシートを四角枠状に打ち抜いて、第1の枠部2となる枠状のセラミックグリーンシートと第2の枠部3となる枠状のセラミックグリーンシートとを形成する際に、第2の枠部3となるセラミックグリーンシートの開口を、第1の枠部2となるセラミックグリーンシートの開口よりも大きくなるようにして形成しておくとともに、積層したときに露出する部分となるセラミックグリーンシートの上面に配線導体4となるメタライズペーストを印刷塗布しておくという方法を用いることができる。
【0030】
本発明の電子部品収納用パッケージ6において、複数の配線導体4が配列形成されている第1の枠部2の露出した内周部分の上面のうち、配線導体4の配列の外側の領域に、第1の枠部2の内周側の部位にその内周に沿った方向および第2の枠部3の内周側の部位にその内周に沿った方向に、それぞれ長方形状の導体パターン7を形成しておくことが重要である。
【0031】
このように、第1の枠部2の露出した内周部分の上面のうち、配線導体4の配列の外側の両方の領域に、第1の枠部2の内周側の部位にその内周に沿った方向および第2の枠部3の内周側の部位にその内周に沿った方向に、それぞれ内周に沿った一辺が長辺である長方形状の導体パターン7を形成しておくことにより、第1の枠部2や第2の枠部3となるセラミックグリーンシートに金型等により打ち抜きを行なった際の打ち抜き位置や、配線導体4となるメタライズペーストの印刷位置等に位置ずれが生じた場合に、そのずれに応じて内周に沿った一辺が長辺である長方形状の導体パターン7の形状が変化することとなり、例えば、内周に沿った一辺が長辺である長方形状の導体パターン7の一部が第2の枠部3の下に隠れて形状が所定の形状と違うようになったり、全部が隠れて見えなくなったりすることとなる。そして、このように長方形状の導体パターン7の形状が変化しているか否かを確認することにより、第1の枠部2や第2の枠部3となるセラミックグリーンシートの打ち抜き位置や、配線導体4となるメタライズペーストの印刷位置等に位置ずれが生じているか否かを容易に、かつ確実に確認することができる。
【0032】
また、第1の枠部2と第2の枠部3との間の積層の位置ずれが発生したような場合も、第1の枠部2の露出した内周部分の上面のうち、ずれの影響が最も大きい部位である、配線導体4の配列の外側の両方の領域の、第1の枠部2の内周側の部位および第2の枠部の内周側の部位に形成された内周に沿った一辺が長辺である長方形状の導体パターン7は、第2の枠部3により覆われて露出する範囲が大きく変化することになり、この場合もその積層ずれを容易に識別することができる。
【0033】
そして、このように、打ち抜き加工の位置やメタライズペーストの印刷位置、または積層位置等にずれが生じ、第1の枠部2の露出した内周部分の寸法や配線導体4の長さ等が所定の寸法・形状から外れたとしても、そのずれを内周に沿った一辺が長辺である長方形状の導体パターン7の有り無し等の確認を行なうことにより容易に識別することができ、このような異常の発生している電子部品収納用パッケージを容易に選別・除去することができるので、これにより確実に、ボンディングワイヤの接続の有効範囲が確保されている電子部品収納用パッケージ6を提供することができる。
【0034】
第1の枠部2の上面に上記のような内周に沿った一辺が長辺である長方形状の導体パターン7を形成する方法としては、例えば第1の枠部2の表面にスクリーン印刷法により配線導体4を形成する際に、それぞれ、配線導体4を形成するためのパターンの配列の外側で、第1または第2の枠部2・3の内周に沿った方向に内周に沿った一辺が長辺である長方形状の導体パターン7を形成するための開口部を有するスクリーン印刷用の製版を準備し、それを用いてメタライズペーストを印刷して、配線導体4を形成するのと同時に内周に沿った一辺が長辺である長方形状の導体パターン7を形成する方法を採用すればよい。
【0035】
なお、このようなずれを認識するための導体パターン7は、通常、第1の枠部2の露出した内周部分の幅方向のずれや、第1の枠部2と第2の枠部3とが、それぞれの四角形状の中心を軸として(回転した方向に)ずれる、いわゆるθずれが多く、ボンディングワイヤを正常に接続することができないという問題を発生させやすいので、このようなずれの認識を容易かつ確実とするため、わずかなこのようなずれでも大きくその形状が変化する内周に沿った一辺が長辺である長方形状のものとしておく必要がある。
【0036】
また、内周に沿った一辺が長辺である長方形状の導体パターン7は、第1の枠部2や第2の枠部3の開口の位置ずれや、配線導体4の位置ずれ等の位置ずれが生じた場合に、その位置ずれの方向に関わらず位置ずれが発生しているということを識別することを可能とするために、第1の枠部2の露出した内周部分の上面のうち配線導体4の配列の外側の両方の領域で、第1の枠部2の内周側の部位にその内周に沿った方向および第2の枠部3の内周側の部位にその内周に沿った方向に、それぞれ形成しておく必要がある。
【0037】
例えば、配線導体4の印刷位置が電子部品収納用パッケージ6の外側に偏ってずれた場合は、この配線導体4と同時に形成される内周に沿った一辺が長辺である長方形状の導体パターン7も外側に偏ってずれるので、この内周に沿った一辺が長辺である長方形状の導体パターン7のうち、第2の枠部3の内周側の端部に形成されたものが第2の枠部3に隠れるようになるため、印刷位置ずれを識別することができる。また、配線導体4の印刷位置が電子部品収納用パッケージ6の中央側に偏ってずれた場合は、この配線導体4と同時に形成される内周に沿った一辺が長辺である長方形状の導体パターン7も中央側に偏ってずれるので、四角形状の導体パターンのうち、第1の枠部2の内周側の端部に形成されたものが第1の枠部2の開口部分に位置するようになるために正常に印刷・形成されなくなるため、印刷位置ずれを識別することができる。
【0038】
また、このように、内周に沿った一辺が長辺である長方形状の導体パターン7を、多数の配線導体4の配列の外側の両方の領域に形成しておくようにすることにより、隣り合う配線導体4間で電気絶縁性の低下等の不具合を誘発するようなことはなく、多数の配線導体4を、それぞれ対応する電子部品の電極に、ボンディングワイヤを介して確実に接続することができる。
【0039】
また、この内周に沿った一辺が長辺である長方形状の導体パターン7の、第1の枠部2の露出した内周部分の幅方向の長さを、第1の枠部2の内周に沿った部位のものと、第2の枠部3の内周に沿った部位のものとの間が、配線導体4のボンディングワイヤを接続するための部位(有効部)となるような長さとほぼ等しいものとしておくと、配線導体4の有効部をボンディング装置の画像認識装置等に、より一層容易かつ確実に認識させることができ、ボンディングワイヤの接続をより一層容易かつ確実なものとすることもできる。
【0040】
この内周に沿った一辺が長辺である長方形状の導体パターン7の大きさとしては、電子部品収納用パッケージ6の第1および第2の枠部2・3の開口の位置ずれや配線導体4の位置ずれ等を、例えば、倍率が10〜20倍の双眼顕微鏡等による外観検査での識別を容易なものとする上で、一辺が30〜50μm程度の四角形状とすることが望ましい。
この長さが30μm未満では外観検査等での識別が難しくなる傾向があり、50μmを超えると、近時の高密度で隣接間隔を狭くして形成されている配線導体4の形成範囲が狭くなり、配線導体4間の電気絶縁性の低下等の不具合を誘発させるおそれがある。
【0041】
また、配線導体4および内周に沿った一辺が長辺である長方形状の導体パターン7は、その露出表面にニッケル・金等のめっき層を被着させておくことが好ましく、それにより、配線導体4および内周に沿った一辺が長辺である長方形状の導体パターン7の酸化・腐食を効果的に防止することができるとともに、配線導体4にボンディングワイヤをより一層強固に接続させることができる。また、光の反射率の低い第1の枠部2の上面とのコントラストもより大きくなるので、ボンディング装置の画像認識装置等による配線導体4や内周に沿った一辺が長辺である長方形状の導体パターン7の認識および配線導体4へのボンディングワイヤの接続をより一層容易・確実なものとすることもできる。
【0042】
そして、この複数個が配列形成された配線導体4に電子部品の複数の電極を、それぞれ金ワイヤ等のボンディングワイヤを介して接続するとともに、第2の枠部3の上面に蓋体(図示せず)を、例えば、第2の枠部3の上面にあらかじめ形成しておいた枠状のメタライズ層8にろう付けや溶接等の手段で接合することにより、基板1と第1の枠部2と第2の枠部3と蓋体とにより形成される容器の内部に電子部品が気密に収容される。
【0043】
なお、本発明の電子部品収納用パッケージは、上述の実施の形態の例に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲で種々の形態に変形することができる。
【0044】
例えば、内周に沿った一辺が長辺である長方形状の導体パターン7は、第1の枠部3の内周側の部位のものと、第2の枠部3の内周側の部位のものとの間で、形状や寸法を異ならせてもよい。
【0045】
また、配線導体4の一部の形状を他と異ならせて、これを電子部品収納用パッケージ6に電子部品を搭載するときの認識マークとして利用してもよい。
【0046】
また、第1の枠部2および第2の枠部3は、1枚のグリーンシートで形成するものに限られず、複数枚のグリーンシートを積層することにより形成してもよい。
【0047】
【発明の効果】
本発明の電子部品収納用パッケージによれば、複数の配線導体が配列形成されている第1の枠部の露出した内周部分の上面のうち、配線導体の配列の外側の両方の領域に、第1の枠部の内周側の部位にその内周に沿った方向および第2の枠部の内周側の部位にその内周に沿った方向に、それぞれ内周に沿った一辺が長辺である長方形状の導体パターンを形成したことから、この電子部品収納用パッケージを作製するためのセラミックグリーンシートの打ち抜き位置や、セラミックグリーンシートに印刷されるメタライズペーストの印刷位置に位置ずれが生じた場合においても、その位置ずれを、内周に沿った一辺が長辺である長方形状の導体パターンが正常に露出しているか否か、例えば内周に沿った一辺が長辺である長方形状の導体パターンが第2の枠部の下に隠れて形状が変化したり、第1の枠部の内周端から外れて形成されて形状が変化したりしていないか等を確認することにより容易に識別することができ、第1の枠部の露出した内周部分の上面に確実にボンディングワイヤを接続することが可能な配線導体が形成された電子部品収納用パッケージを提供することができる。
【0048】
また、長方形状の導体パターンは第1の枠部の露出した内周部分の上面に配列形成された複数の配線導体の外側の領域に形成されていることから、隣り合う配線導体間で電気絶縁性の低下等の不具合を誘発するようなことはなく、複数の配線導体をそれぞれ対応する電子部品の電極にボンディングワイヤを介して確実に接続することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】(a)および(b)は、それぞれ本発明の電子部品収納用パッケージの実施の形態の一例を示す上面図およびX−X’線断面図である。
【図2】(a)および(b)は、それぞれ従来の電子部品収納用パッケージの一例を示す上面図およびY−Y’線断面図である。
【符号の説明】
1・・・基板
2・・・第1の枠部
3・・・第2の枠部
4・・・配線導体
6・・・電子部品収納用パッケージ
7・・・導体パターン
Claims (1)
- 基板の上面に四角枠状の第1の枠部が取着されるとともに該第1の枠部の上面に前記第1の枠部よりも大きな開口を有する四角枠状の第2の枠部が取着され、前記第1の枠部の内周部分の少なくとも一辺が前記第2の枠部の内側に露出しており、この露出した前記内周部分の上面に、前記第1の枠部の内側の前記基板の上面に搭載される電子部品の電極が接続される複数の配線導体が配列形成されている電子部品収納用パッケージであって、前記第1の枠部の露出した前記内周部分の上面のうち前記配線導体の配列の外側の両方の領域に、前記第1の枠部の内周側の部位にその内周に沿った方向および前記第2の枠部の内周側の部位にその内周に沿った方向に、それぞれ前記内周に沿った一辺が長辺である長方形状の導体パターンが形成されていることを特徴とする電子部品収納用パッケージ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003086190A JP4183174B2 (ja) | 2003-03-26 | 2003-03-26 | 電子部品収納用パッケージ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003086190A JP4183174B2 (ja) | 2003-03-26 | 2003-03-26 | 電子部品収納用パッケージ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2004296722A JP2004296722A (ja) | 2004-10-21 |
JP4183174B2 true JP4183174B2 (ja) | 2008-11-19 |
Family
ID=33400916
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2003086190A Expired - Fee Related JP4183174B2 (ja) | 2003-03-26 | 2003-03-26 | 電子部品収納用パッケージ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4183174B2 (ja) |
-
2003
- 2003-03-26 JP JP2003086190A patent/JP4183174B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2004296722A (ja) | 2004-10-21 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4439291B2 (ja) | 圧電振動子収納用パッケージおよび圧電装置 | |
JP4183174B2 (ja) | 電子部品収納用パッケージ | |
JP5430496B2 (ja) | 電子部品搭載用パッケージ | |
JP6121860B2 (ja) | 配線基板および電子装置 | |
JP2005160007A (ja) | 圧電振動子収納用パッケージおよび圧電装置 | |
JP2007048867A (ja) | 電子部品用セラミックパッケージおよび電子部品用セラミックパッケージの製造方法、電子部品の製造方法 | |
JP2008135524A (ja) | 多数個取り配線基板 | |
JP4587587B2 (ja) | 電子部品搭載用基板 | |
JP2020053578A (ja) | 回路基板および電子部品 | |
JP4733061B2 (ja) | 複数個取り配線基台、配線基台および電子装置、ならびに複数個取り配線基台の分割方法 | |
JP4423181B2 (ja) | 複数個取り配線基板 | |
JP3523445B2 (ja) | 配線基板 | |
JP2004179546A (ja) | 配線基板およびその製造方法 | |
JP2004288665A (ja) | 電子部品収納用パッケージ | |
JP2002231845A (ja) | 電子部品収納用パッケージ | |
JP2008159731A (ja) | 電子部品実装用基板 | |
WO2014046133A1 (ja) | 電子部品収納用パッケージおよび電子装置 | |
JP3850343B2 (ja) | 電子部品搭載用基板 | |
JP3801935B2 (ja) | 電子部品搭載用基板 | |
JP2003110041A (ja) | 電子部品収納用パッケージ | |
JP2005019749A (ja) | 配線基板および多数個取り配線基板 | |
JP4439275B2 (ja) | 圧電振動子収納用パッケージおよび圧電装置 | |
JP2014007292A (ja) | 電子部品収納用パッケージおよび電子装置 | |
JP4767120B2 (ja) | 複数個取り配線基板、配線基板、電子装置 | |
JP2005159083A (ja) | 多数個取り配線基板 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20060322 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20080414 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20080527 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20080709 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20080805 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20080829 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110912 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120912 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130912 Year of fee payment: 5 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |