JP4170342B2 - アクチュエータの偏向伝達装置 - Google Patents

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Description

発明の詳細な説明
本発明は、アクチュエータの、特に注入バルブ用圧電アクチュエータの偏向を伝達するための装置であって、アクチュエータの偏向を伝達する第1伝達部を有する少なくとも1つの第1レバー装置(Hebeleinrichtung)を備えるアクチュエータの偏向を伝達するための装置に関する。
圧電性の特性を利用したアクチュエータは、作動操作(Stellvorgaengen)の高精度かつ非常に高速な制御に適している。例えば、圧電性の特性を利用したアクチュエータは、燃焼機関の注入装置または注入バルブの駆動の目的に適している。圧電アクチュエータのより大きな線形の偏向を実現するために、圧電性の特性を利用したアクチュエータは、多数の相互に積み重なりあっている個々の圧電素子を含んでいる必要がある。このことは、構造の大きさ(Baugroesse)が、ある使用目的のためには許容できない寸法となることもあるという欠点を有している。従って、例えば、燃焼機関のシリンダヘッドにおける注入バルブ用の搭載空間には制限がある。すなわち、原則として、所望の作動操作(Stellbewegungen)のために必要な長さ寸法において、圧電アクチュエータのためのスペースがない。このことから、より小さな圧電アクチュエータが使用される。この圧電アクチュエータの線形の偏向は、適切なレバー装置を用いて、より大きな偏向に変換される。
PCT第99/17014号(WO 99/17014)に、例えば、注入バルブが開示されている。この注入バルブでは、圧電アクチュエータの偏向を作動部(Stellglied)へ伝達および変換するために機械的な伝達部が備えられている。この機械的な伝達部は、基本的に、シリンダの形状を有している。そして、伝達部の界面は、基本的に三角形の形状に形成されており、角は角取りされている。この場合、伝達部の界面の幅(Breite)が広い支持領域(Auflagebereiche)となる。
例えば、注入装置用の制御バルブに関しては、制御バルブの他の領域に対してアクチュエータ空間を密封する必要がある。このために、既にOリングが使用されている。しかしながら、Oリングの使用は、Oリングが比較的容易に損傷を受ける可能性があるという問題点がある。この問題は、さらに、Oリングの損傷を、後の試験中に容易には確実に発見できないという、より深刻なものとなる。
従って、Oリングによる密封と比較して、アクチュエータ空間を金属的に密封することは利点がある。この場合、好ましい実施形態では、密封面(Dichtflaechen)が、アクチュエータの軸に対して垂直に延びていてもよい。密封性能(Dichtfunktion)のために必要な面圧力が、例えば、接続ネジ山(Anschlussgewinde)を介することによって適用しても良い。しかしながら、アクチュエータ空間の金属的な密封によるこのような実施形態では、伝達部のガイドが、アクチュエータに対して非正(nicht kraftschluessig)に固定されているのではなく、遊び許容の範囲内で空間的に動く可能性があるという問題が生じる。この移動性は、運動学的な変化とこれに伴うピストン運動(Hubuebersetzung)のばらつきを引き起こす可能性がある。
本発明の目的は、アクチュエータの偏向を伝達するための一般的な装置を、感度の低い構成(unempfindlicher Aufbau)を達成し、ピストン運動の望ましくないばらつきを防止し、または少なくとも低減することによって、発展させることである。
この目的は請求項1の特徴によって解決される。
本発明の好ましい実施形態および発展形態は、従属請求項に記載されている。
アクチュエータの偏向を伝達するための本発明の装置は、一般的な従来技術に基づいて、第1伝達部をガイドまたは搭載するために、少なくとも1つのバネ部が備えられていることによって構成されている。このバネ部によって、第1伝達部は、アクチュエータに対して、好ましくは少ない遊び許容で、または遊び許容なしで所定の位置にもたらされる。その結果、ピストン運動のばらつきを防止または少なくとも低減することができる。さらに、バネ部によって、第1伝達部が設けられるプレートの筐体に対して圧縮応力(vorgespannt)が加えられる。なお、このプレート上に、第1伝達部が配置されている。好ましい実施形態では、上記プレートが、作動部のための停止部となる。さらに好ましい実施形態では、上記プレートが、ガイドプレートとして形成されており、当該ガイドプレートが、第1伝達部と作動部との間に配置されている第2伝達部をガイドする。
アクチュエータの偏向を伝達するための本発明の装置における特に好ましい実施形態では、第1伝達部をガイドまたは配置するために第2バネ部が備えられていてもよい。
第1バネ部および第2バネ部を適切に設計した場合には、この解決方法により、第1伝達部の自動調整および、これに伴ってピストン運動の自動設定が可能となる。
本発明の装置の好ましい実施形態では、さらに、装置が配置された状態で、第1力および/または第2力の生成のために、第1バネ部および/または第2バネ部に圧縮応力が加えられていてもよい。この解決方法は、アクチュエータおよび装置の他の構成部品に異なる筐体部が配置されている場合は特に考慮に値する。なお、異なる筐体部は、例えば、締結親ネジによる引き締め、および、異なる筐体部間の領域に配置されている第1バネ部および/または第2バネ部によって装置の組み立て時に互いに接続される。
特に、既述の説明では、好ましくは、さらに、第3力および/または第4力によって、第1バネ部および/または第2バネ部に圧縮応力が加えられていても良い。第3力および/または第4力は、アクチュエータの偏向方向に対してほぼ並行に延びる力の成分(Kraftkomponente)を含んでいる。第1バネ部および/または第2バネ部のこのような圧縮応力を生成できるのは、例えば、バネ部が取り付けられていない状態で、バネ部が筐体部の界面を越えて突出し、筐体部が、例えば締結ネジの締め付けによって、隣接する筐体部に接触される場合である。それにより、バネ部は、締結ネジが締め付けられた後、筐体部の接続面の端部に位置することとなる。
特に、筐体部が、密封状態で(unter Abdichtung)接続されている場合は、さらに、第1バネ部および/または第2バネ部または第3バネ部が、それぞれ生成された力に対して平衡なバネ特性曲線を有していることが好ましい。この場合は、密封力(Dichtkraft)は、圧縮応力の力(Vorspannkraefte)によって低減される。それゆえ、この圧縮応力の力は、高精度の要求を満たさなければならない。特に好ましい実施形態では、バネ部が、以下のように設計されている。すなわち、バネ部が第1伝達部に加える力は、ちょうど0になっているように設計されている。この場合、場合によっては、少なくとも1つのバネ部と第1伝達部との間にわずかな遊びが存在していてもよい。
アクチュエータの偏向を伝達するための本発明の装置の特に好ましい実施形態では、さらに、第2伝達部を有する第2レバー装置が備えられていてもよい。この場合、第1伝達部の偏向が、第2伝達部へ伝達される。この実施形態では、連続して配置された2つのレバー装置が設けられており、この2つのレバー装置によって、ピストン運動比(Hubuebersetzungsverhaeltnis)をさらに増大させることができる。
上記実施形態では、第1伝達部が、アクチュエータの偏向方向に関して、アクチュエータと第2伝達部との間に配置されていること、および、第2伝達部が、少なくとも1つのガイドプレートによってガイドされていることが好ましい。
また、上記実施形態では、本発明の好ましい発展形態は、第3バネ部または第1バネ部および/または第2バネ部が以下のように設計されていてもよい。すなわち、これらバネ部から生成され、少なくとも1つのガイドプレートに対して加えられる第5力が、第1バネ部および/または第2バネ部または第3バネ部のバネ特性によって決定されるように設計されていてもよい。
本発明の装置の全ての実施形態では、第1バネ部および/または第2バネ部が、少なくとも圧縮応力が加えられている状態で、基本的に、L字型であり、L字型の長い脚部にV字型の部分を備えていても良い。また、例えば、リング型のバネ部が1つだけ使用される場合は、場合によってはバネ部の断面がL字型またはV字型であってもよい。
本発明の装置の実施形態において、特に有利であると思われる構成は、アクチュエータに第1筐体部が配置されており、第1レバー装置および/または第2レバー装置に第2筐体部が配置されている構成である。この場合、第1筐体部と第2筐体部とは、アクチュエータの偏向方向に対してほぼ垂直に延びる少なくとも1つの密封面を介して密封されている。この場合、特に、バネ部または第1バネ部および/または第2バネ部が固定されていない状態で、上記バネ部が密封面を超えて突出し、バネ特性曲線に応じた締結ネジの締め付け、および、突出することにより、圧縮応力が加えられていても良い。
本発明により、例えば、円盤バネのような付加的な部品を削減することができ、さらに、2つのレバー装置を連続して配置した構成において、耐久力の小さい圧縮応力の力を保つことができる。
本発明を、好ましい実施形態に基づく添付の図を参照して例示的に説明する。
図1は、本発明の装置の一実施形態の概略図である。
図2Aは、それぞれの力が均衡した状態の第1伝達部を示す図である。
図2Bは、それぞれの力が均衡した状態の第1バネ部を示す図である。
図2Cは、それぞれの力が均衡した状態の第2バネ部を示す図である。
図3Aは、第1の実施形態における図1および図2bおよび図2cのバネ部の平面図である。
図3Bは、第2の実施形態における図1および図2bおよび図2cのバネ部の平面図である。
図3Cは、ガイドプレートおよび第2伝達部の平面図である。
図3Dは、第3の実施形態におけるの一体型のバネ部の平面図である。
図3Eは、第3の実施形態におけるの一体型のバネ部の断面図である。
図1に、本発明の装置の一実施形態の概略的な原則的な説明図を示す。この装置には、連続して接続された2つのレバー装置12・20が備えられている。第1レバー装置は、基本的にプレート型の第1伝達部14を備えている。この第1伝達部14は、(1つのプレートだけを示す)アクチュエータ10の偏向方向Lに対して垂直に配置されている。第1伝達部14は、第1支持領域34を有している。なお、この第1支持領域34は、ガイドプレート24の上面に配置されている。ガイドプレート24は、第2筐体部28の円形の凹部(Ausnehmung)に挿入されている。さらに、第1伝達部14は、アクチュエータ10に配置される第2支持領域36を有している。第1伝達部14の第3支持領域38は、後に説明する第2伝達部22に配置されている。第1伝達部14は、(わずかに)凸面を有している。この凸面の形状は、例えば、研削によって決定することができる。この場合、第2支持領域36は、最も高い領域の付近に形成される。第1伝達部14の下側には、凹部がある。この凹部により、第1伝達部14とガイドプレート24とは相対的な動きが可能となる。アクチュエータ10の偏向方向Lに対して垂直な平面の状態は、圧縮応力が加えられている状態において示される第1バネ部16および第2バネ部18によって決定される。第1筐体部26と第2筐体部28との間には、密封面30・32が備えられている。密封面30・32は、装置の他の領域に対して、アクチュエータの空間を密封するものである。第1筐体部26と第2筐体部28とを、例えばユニオンナット(Ueberwurfmutter)の形状である、例えば締結ネジの締め付けによって突合せることができる。第1筐体部26および第2筐体部28が密封面30・32に互いに接する前に、第1バネ部16および第2バネ部18は、密封面30または密封面32を超えて突出する。従って、第1筐体部26および第2筐体部28が互いに近づくと、第1バネ部16および第2バネ部18に圧縮応力が加えられる。ガイドプレート24は、筐体部28の上面に接触した状態で、第1および第2バネ部16・18によって圧縮応力が加えられる。圧縮応力の力は密封力を減少させるため、圧縮応力の力には高い精度が要求される。従って、上記バネ部16・18は、生成された力に対して平衡なバネ特性曲線を有するように形成されている。第1バネ部16および第2バネ部18は、必ずしも2つの別の部品として形成されている必要はなく、図示したバネ部16・18が、第1伝達部14を貫通するための凹部を有する一体型の部品によって形成されている実施形態も考えられる。上記一体型の構成を、第3バネ部55として図3Dに示す。
第2レバー装置20は、第2伝達部22を備えている。第2伝達部22は、少なくとも、第1伝達部14とほぼ同じ構造で形成されていてもよい。この第2伝達部22は、第4支持領域40を有している。なお、この第4支持領域40は、第2筐体部28の上面に配置されている。第2筐体部28の上面は、第2伝達部22のための迫持台(Gegenlager)を形成している。第2伝達部22は、さらに、第5支持領域42を有している。第5支持領域42は、第2伝達部22の凸面の最も高い部分に配置されている。第6支持領域44は、作動部46を作動させる(zu betaetigenden)ために作動部46に配置されている。ガイドプレート24の一部は、穴部の上に配置されている。なお、作動部46は、上記穴部へガイドされる。ガイドプレート24は、作動部46のための停止部としての機能を果たしていることが好ましい。第2伝達部22と第2筐体部28との間の相対的な動きに必要なクリアランスを保つために、第2伝達部22の下側に凹部が備えられている。第2筐体部28には、第2伝達部22と第2筐体部28との間の相対的な動きが可能となるように、同様に、凹部または階段(Abstufungen)が設けられている。第2伝達部22は、ガイドプレート24に挿入されている。また、第2伝達部22は、ガイドプレート24によって、作動部46の動作方向に対して垂直となる平面上に配置されている。
第1バネ部16と第2バネ部18との双方は、圧縮応力が加えられている状態で、基本的にL字型であり、L字型の長い脚部にV字型の部分50がそれぞれ設けられている。第2バネ部18のV字型の部分50は、第2伝達部22上(図3Aも参照)または第2伝達部22に相当するように形成されたガイドプレート24上(図3Bも参照)に支持されている。一方、第1バネ部16のV字型の部分は、第2筐体部28に設けられている第2伝達部22用のガイドプレート24に支持されている。しかしながら、第2伝達部22の自由な移動性を保つためには、V字型の部分50と第2伝達部22との間に間隔があることが好ましい。第1バネ部16と第2バネ部18とのV字型の部分がガイドプレート24上または第2伝達部22上に加える力は、バネ部16・18のバネ特性によって決定される。このことは、同様に、一体型の実施形態にも該当する。
第1伝達部14は、第1の(短い)レバーアームA1と、第2の(長い)レバーアームB1とを備えている。第2伝達部22は、同様に、第1の(短い)レバーアームA2と、第2の(長い)レバーアームB2とを備えている。図示した構成では、アクチュエータ10の下方へ向けられた偏向は、第1伝達部14の第3支持領域38がA1とB1との比率に応じて偏向されることによって、まず作動部46へ伝達される。このとき、第1伝達部14の第3支持領域38は、第2伝達部22の第5支持領域42に対して作用し、第2伝達部22を偏向させる。その結果、第2伝達部22の第6支持領域44は、作動部46に対して作用し、アクチュエータ10の偏向の大きさおよびレバーアームA1・B1・A2・B2の長さに応じて、作動部46を偏向させる。図示した2段階のレバー装置により、構造空間を占有しなくても大きなレバー動作(Hebelwirkung)が可能となる。さらに、レバーアームが比較的短いので、伝達部14・22の硬度を高くすることができる。当然、場合によっては、必要であれば3つ以上のレバー装置を設けることもできる。図示した実施形態では、アクチュエータの中心軸mと作動部の中心軸Mとが一致する。このことは多くの場合、望まれていることである。この場合、中心軸m・Mは、第2支持領域36および第6支持領域44を通って延びている。アクチュエータ10の偏向と作動部46の偏向との間の好ましい伝達比率は、ほぼ1:5である。それぞれのレバーアームの寸法の例としては、A1=A2=2.4mmおよびB1=B2=3.6mmが挙げられる。
第1筐体部26と第2筐体部28との結合時に、第1バネ部16と第2バネ部18とが、所望の状態、つまり、遊びが全くないか、または、遊びが少ない状態で第1伝達部14をガイドまたは支持するように、第1バネ部16と第2バネ部18とに圧縮応力が加えられる、または、第1バネ部16と第2バネ部18とが配置されている。その結果、所定の位置が保たれる、または耐久力の小さいピストン運動が保たれる。
図2A〜図2Cは、第1伝達部14、第1バネ部16および第2バネ部18のための力が均衡した状態を概略的に明示した図面である。相互に対応する、しかしながら、反対方向に方向付けられている力は、省略符号を付けてそれぞれ示されている。第1バネ部16は、第1伝達部14に第1力F1を及ぼす。この場合、第1力F1は、アクチュエータ10の偏向方向Lに対してほぼ垂直に方向付けられている。第2バネ部18は、第1伝達部14に、第2力F2を及ぼす。第2力F2は、量的には第1力F1に相当しているが、反対方向に方向付けられている。さらに、第1バネ部16は、そのV字型の部分50によって、第2伝達部22用に備えられているガイドプレート24に、第5力F5を及ぼす。このとき、ガイドプレート24に及ぼされる第5力F5は、第1バネ部16のバネ特性によって決定されることが好ましい。同様に、第2バネ部18のV字型の部分50は、ガイドプレート24および/または第2伝達部22に第6力F6を及ぼす。
第1バネ部16は、圧縮応力F3によって、力が均衡した状態に保たれている。このとき、力F3は、アクチュエータ10の偏向方向Lに対してほぼ並行に延びている力の成分F3yと、アクチュエータ10の偏向方向Lに対してほぼ垂直に延びている力の成分F3xとを含んでいる。
同様に、第2バネ部18は、圧縮応力F4によって、力が均衡した状態に保たれている。圧縮応力F4は、同じく、アクチュエータ10の偏向方向Lに対してほぼ並行に延びる力の成分F4yと、アクチュエータ10の偏向方向Lに対して垂直に延びる力の成分F4xとを含んでいる。力の成分F3yまたはF4yは、この場合、量的には、力F5’または力F6’に相当している。用途に応じて、第1および第2力F1・F2が省かれても良く、この場合、ガイドプレート24のみが、第5力F5および第6力F6によって、第2筐体部28上において圧縮応力が加えられる。その結果、第2筐体部からガイドプレート24が持ち上げられることを防ぐことができる。
図3Aに、第1実施形態における図1、図2Bおよび図2Cのバネ部の平面図を示す。また、図3Bに、第2実施形態における図1、図2Bおよび図2Cのバネ部の平面図を示す。
図3Aの実施形態と図3Bの実施形態との双方では、第1バネ部16と第2バネ部18とが、基本的に環状の担体に固定、または、好ましくはこの環状の担体と一体的に形成されている。図3Aおよび図3Bの図から、第1バネ部16および第2バネ部18が、どのように第1伝達部14をガイドまたは支持するのかが特によく分かる。
図3Aの実施形態では、第2バネ部18の幅b1が比較的小さい。幅b1が比較的小さいので、第1バネ部18は、第2伝達部22(図1参照)に支持される。
これとは対照的に、図3Bの実施形態では、第2バネ部18の幅b2が比較的大きい。幅b2が比較的大きいので、第2バネ部18は、第2伝達部22ではなく、ガイドプレート(例えば、図1のガイドプレート24に)に支持される。
図3Cに、ガイド凹部51を有する円形のガイドプレート24の概略的な平面図を示す。第2伝達部22は、ガイド凹部51に挿入されており、作動部46および第1伝達部14に対して狭い遊びがある状態に突き合わされている。ガイド凹部51は、基本的に、第2伝達部22の外部輪郭に適合し、その結果、第2伝達部22の状態(die Lage)は、遊びが少ないように固定されている。ガイド凹部51は、第2伝達部22の輪郭を超えて側方から外部へ突出する2つの部分凹部52・53を備えていることが好ましい。部分凹部52・53は、ガイド凹部51の2つの縦側に対称に、かつ、対向して形成されている。第2伝達部22を、部分凹部52・53を介して側方から挟んで取り付け、例えば、交換のためには、ガイド凹部51から取り外すことができる。図3Dでは、概略的に記載されている一体型のバネ部55の第3実施形態における支持領域が、ガイドプレート24上に破線の円形線54として、配置されている。
図3Dに、円盤型の第3バネ部55を示す。この第3バネ部55は、第1および第2バネ部16・18の一体型の構造を示し、第1伝達部14をガイドするため、および、ガイドプレート24に圧縮応力を加えるための機能を果たす。第3バネ部55は、ガイド開口部56を備えている。第1伝達部14は、このガイド開口部56に挿入され、配置されている(in der Lage ausgerichtet)。第1伝達部14は、全方向に遊びのある状態でガイド開口部56に挿入されている。ガイド開口部56は、第1伝達部14の外部輪郭を有していることが好ましい。この場合、しかしながら、ガイド開口部56の側方の端部(Seitenkanten)に配置されている2つの部分凹部52・53が、互いに対向して形成されていてもよい。部分凹部52・53によって、第1伝達部14の解体が容易になる。第3バネ部55は、やや上方に傾いている円形の縁領域57を備えている。縁領域57は、第1筐体部26に支持される役割を果たす。さらに、第3バネ部56は、V字型の部分50を備え、このV字型の部分50は、第3バネ部55の中心の周りを円形に取り囲み(umlaeuft)、ガイドプレート24上への支持のために備えられている。第3バネ部55は、例えばバネ鋼板から穿孔され、形成されている。
縁領域57は、凹部58を備えていることが好ましい。凹部58は、半円形に形成されており、縁領域57の外周に均等に配置されていることが好ましい。凹部58は、第3バネ部55のバネ硬度が第3バネ部55の材料の厚みに応じた所望のものである場合に、V字型の部分50を介して、材料の厚みに依存ない規定の圧縮応力を、ガイドプレート24に加える機能を果たす。凹部58は、他の形に形成されていてもよい。
図3Eに、第3バネ部55の概略的な断面図を示す。
上記説明、図面および請求項に開示される本発明の特徴は、本質的なものである。したがって、本発明を実現するために、個別に実現されていてもよく、また、所望の組み合わせによって実現されていてもよい。
本発明の装置の一実施形態の概略図である。 力が均衡した状態の第1伝達部を示す図である。 力が均衡した状態の第1バネ部を示す図である。 力が均衡した状態の第2バネ部を示す図である。 第1の実施形態における図1および図2bおよび図2cのバネ部の平面図である。 第2の実施形態における図1および図2bおよび図2cのバネ部の平面図である。 ガイドプレートおよび第2伝達部の平面図である。 第3の実施形態における一体型のバネ部の平面図である。 第3の実施形態における一体型のバネ部の断面図である。

Claims (9)

  1. アクチュエータ(10)、特に注入バルブ用圧電アクチュエータ、の偏向を伝達する装置であって、
    アクチュエータ(10)の偏向を伝達する第1伝達部(14)を有する少なくとも1つの第1レバー装置(12)と、第1伝達部(14)をガイドするためのバネ部(16、55)とを備えており、
    第1伝達部(14)は、プレート(24)上に支持されており、
    バネ部(16、55)は、第1筐体部(26)とプレート(24)との間で圧力が加えられた状態で据え付けられていると共に、第2筐体部(28)を背にするプレート(24)に、圧縮応力を加えていることを特徴とするアクチュエータの偏向を伝達する装置。
  2. プレート(24)は、圧電アクチュエータによって作動する作動部(46)の停止部となっていることを特徴とする請求項1に記載のアクチュエータの偏向を伝達する装置。
  3. プレートは、ガイドプレート(24)として形成されており、
    ガイドプレート(24)は、第2伝達部(22)を有する第2レバー装置を位置合わせし、
    第2伝達部(22)は、第2筐体部(28)上の支持領域(40)と作動部(46)上の支持領域(44)とに接触し、
    第2伝達部(22)は、作動部(46)を作動するために、第1伝達部(14)に作動可能に接続されていることを特徴とする請求項1または2に記載のアクチュエータの偏向を伝達する装置。
  4. バネ部(55)は、基本的に、円形に形成されていると共に、ガイド開口部(56)を備えており、第1伝達部(14)は、ガイド開口部(56)に挿入され、配置されていることを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載のアクチュエータの偏向を伝達する装置。
  5. バネ部(55)は円形の縁領域(57)を備えており、この縁領域(57)は第1筐体部(26)に支持されている共に凹部(58)を備えていることを特徴とする請求項4に記載のアクチュエータの偏向を伝達する装置。
  6. バネ部(55)は、その周囲を取り囲んで下向きに湾曲している縁領域(50)を備え、縁領域(50)は、ガイドプレート(24)上に配置されていることを特徴とする請求項4または5に記載のアクチュエータの偏向を伝達する装置。
  7. プレートは、円盤型のガイドプレート(24)として形成されており、ガイドプレート(24)は、第2伝達部(22)が配置されている凹部(51)を備えていることを特徴とする請求項1〜6のいずれか1項に記載のアクチュエータの偏向を伝達する装置。
  8. 第1伝達部(14)をガイドまたは配置する第2バネ部(18)を備えていることを特徴とする請求項1または2に記載のアクチュエータの偏向を伝達する装置。
  9. アクチュエータ(10)に対して、第1筐体部(26)が配置されており、第1レバー装置(12)および/または第2レバー装置(20)に対して、第2筐体部(28)が配置されており、第1筐体部(26)と第2筐体部(28)とは、アクチュエータの偏向方向に対してほぼ垂直に延びる少なくとも1つの密封面(30、32)を介して密封されていることを特徴とする請求項1〜8のいずれか1項に記載のアクチュエータの偏向を伝達する装置。
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