JP4164016B2 - ガスレギュレータ - Google Patents
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Description
図5は、従来のフリーポペット構造を備えるガスレギュレータ200の断面図である。
ガスレギュレータ200は、ガス容器に接続する入力ポート204とマスフローコントローラを介して真空ポンプに接続する出力ポート205の連通を制御する弁体209と、第2圧力室207のガス圧に応じて変位するダイアフラム211とを分離したフリーポペット構造を備える。
このようなガスレギュレータ200では、正圧ガスを設定圧力に制御する場合、出力ポート205の圧力が所定値より上がった場合には、第2圧力室207の圧力が上昇し、ダイアフラム211が、上向きに作用する第2圧力室207の正圧が、調圧スプリング212の弾圧力による下向きの付勢力より大きくなるため、上向きに変位する。そして、弁体209が上向きに移動して、弁部材208との開度が減少し、ガスの供給を減少させ、出力ポート205へのガスの流れを減らして、ガス圧を低下させる。
また、出力ポート205の圧力が所定値より下がった場合には、第2圧力室207の圧力が下降し、ダイアフラム211が、上向きに作用する第2圧力室207の正圧が、調圧スプリング212の弾圧力による下向きの付勢力より小さくなるため、下向きに変位する。そして、弁体209が下向きに移動して、弁部材208との開度が増加し、ガスの供給を増加させ、出力ポート205へのガスの流れを増やして、ガス圧を上昇させる。
ダイアフラムの振動を防止するために、特特許文献2においては、弁体の開弁動作方向に弾性感応要素を設けることが示されている。その他例示しないが、ゴム製のOリングにより摺動抵抗を与え振動を抑制する構造が知られている。
すなわち、図5に示すガスレギュレータ200においては、ダイアフラム211が、上下に振動を起こすことがあり、それにより出力圧が不安定となる問題があった。特に近年、摺動抵抗を低減させヒステリシスを低減しているため、振動を発生しやすい構造となっており、問題が大きくなっていた。
これを解決するために、Oリング等により摺動抵抗を与えると、第1には、パーティクルを発生する問題があり、半導体製造工程等においては、そのようなガスレギュレータを使用することができなかった。第2には、摺動抵抗は、Oリング等の摩擦面が経時的に変化するため、摺動抵抗も経時的に変化して振動防止が不充分となる問題があった。
また、第3には、摺動抵抗が増加するため、ヒステリシスを増加させてしまう問題があった。
(1)弁本体に設けられた弁座と、付勢部材により付勢されて前記弁座に当接する弁体と、圧力室に設けられたダイアフラムと、前記ダイアフラムの背圧面に付加する外圧を調整する調整機構と、を備え、前記ダイアフラムが前記調整機構で調整された外圧と前記圧力室の圧力との差圧に基づいて変位し、前記弁体を前記弁座に当接又は離間させるガスレギュレータにおいて、前記調整機構は、前記ダイアフラムに追従してシリンダ内を摺動するピストンを備え、前記ピストンは、摺動により弾性変形する第1弾性変形部材と第2弾性変形部材とを一体的に有し、前記ピストンの周囲にリブ状の支持部が形成され、前記第1弾性変形部材が前記支持部の上面と第1リングとで挟まれていると共に、前記第2弾性変形部材が前記支持部の下面と第2リングとで挟まれ、前記ピストンが上向きに摺動するときに前記第1弾性変形部材が圧縮変形し、前記ピストンが下向きに摺動するときに前記第2弾性変形部材が圧縮変形することを特徴とする。
圧力室の圧力が低下したときには、ダイアフラムを上向きに押し上げる力より調整機構による外力が大きくなるため、ダイアフラムは下向きに変位する。このとき、調整機構を例えばバネで構成していると、振動が発生しようとする。しかし、第2弾性変形部材である固体シリコン分子間に流体シリコンを分散含有させゲル状とした第2シリコン粘弾性体の一端が、ピストンの支持部と接し、他端が第2リングを介してボディに接しているので、シリコン粘弾性体が圧縮変形して振動の加速度を吸収し、振動を減衰させる。
一方、圧力室の圧力が上昇したときには、ダイアフラムを上向きに押し上げる力より外力が小さくなるため、ダイアフラムは上向きに変位する。このとき、調整機構を例えばバネで構成していると、振動が発生しようとする。しかし、第1弾性変形部材である固体シリコン分子間に流体シリコンを分散含有させゲル状とした第1シリコン粘弾性体の一端が、ピストンの支持部と接し、他端が第1リングを介してボディに接しているので、シリコン粘弾性体が圧縮変形して振動の加速度を吸収し、振動を減衰させる。
ガスレギュレータ1は、例えば、常温で液化する作用ガスを真空引きして気化するシステムに用いられる。ガスレギュレータ1は、作用ガスの流路を形成された流路ブロック2に、第1シリンダ部3と第2シリンダ部4とを連結したシリンダ5が螺合接続されて「ハウジング」を構成され、第2シリンダ部4に調整ハンドル6が回転可能に取り付けられている。流路ブロック2に内設された弁体7は、ダイアフラム8と分離して設けられたフリーポペット構造になっており、調整ハンドル6を回転させることにより調整機構9がダイアフラム8に付加する外圧を調整し、作用ガスの設定圧力を設定できるよう構成されている。
弁座15のシールは、シート中央の内部シール部の真円度、外形に影響を与えないよう、面圧縮シール構造とはせず、ボディ側及びプレート側に相対する凹凸形状を設け、フラット形状シートを外周部で凹凸変形させ、凹凸のエッジでシールさせている。
復帰バネ19は、ガス流路に設置されるため、従来、摺動や屈曲によりパーティクルが発生することが問題となっていた。本実施の形態では、第1圧力室13及び弁体7に接触して位置決めガイドされる部分は、バネ両端の密着座巻部のみが接触する構造とし、伸縮動作しても、摺動しないようにしている。また、バネ自体を表面研磨処理し、線材の屈曲によるパーティクルの発生も抑制している。
ピストン23は、中空形状で下面が閉ざされた円筒状であり、外周面下部に低摩擦部材32が嵌合されている。また、外周面の上部にリブ状の支持部23が全周に渡って形成されている。支持部23の上面には、リング形状の第1弾性変形部材26が当接して載せられ、その上に第1リング27が載せられる。
支持部23の下面には、リング形状の第2弾性変形部材25が当接して取り付けられ、第2リング24が下側に密着して取り付けられ、低摩擦部材32により落ちないように仮止めされている。
これにより、ピストン組立体は、一つの組立体として本体に取り付けることができるため、組立時の作業性が良い。
第1弾性変形部材26及び第2弾性変形部材25の材質は、固体シリコンの分子間に流体シリコンを分散含有させた粘弾性体である。本実施の形態では、株式会社ジェルテック製のαGEL(登録商標)を使用している。
図1に示すガスレギュレータ1は、調整ハンドル6が最上端に位置し、調圧スプリング22の圧縮量を最小にしている。そのため、ダイアフラム8は、調整機構9から付加される外圧が最小であり、弁体7の突出部7aとの間に形成される隙間Sの距離が最大である。そこで、作用ガスの設定圧力を設定する場合、調整ハンドル6を所定方向に回転することにより調圧スプリング22を圧縮し、調圧スプリング22の弾圧力でダイアフラム8の中心部81を受圧面方向(下方向)に加圧して、負圧を設定する。
第2圧力室18の圧力が上昇すると、調整機構9の外圧を第2圧力室18の圧力と復帰バネ19の付勢力との合力で相殺し、その圧力差に応じてダイアフラム8が背圧面方向(上方向)に変位する。これに追従して、弁体7は、復帰バネ19に付勢されて弁座15に近づく方向に移動し、作用ガスの流量を絞る。
このとき、調整機構9のバネにおいて振動が発生しようとする。しかし、図1に示すように、第1弾性変形部材26の一端が、ピストンの支持部と接し、他端が第1リングを介してボディの一部である第2シリンダ部4の下面に接しているので、シリコン粘弾性体が圧縮変形して振動の加速度を吸収し、振動を減衰させる。
このとき、調整機構9のバネと付勢バネ19とのバランスにおいて振動が発生しようとする。しかし、図2に示すように、第2弾性変形部材25の一端が、ピストンの支持部と接し、他端が第2リングを介してボディの一部であるダイアフラム押え17の上面に接しているので、シリコン粘弾性体が圧縮変形して振動の加速度を吸収し、振動を減衰させる。
例えば、上記実施の形態のガスレギュレータは、負圧と正圧と兼用できるタイプであり、実施の形態では主として負圧使用の場合を説明したが、正圧のみのレギュレータや、ダイアフラムと弁体が連結されたタイト構造のレギュレータに本発明を用いても同様である。
2 流路ブロック
3 第1シリンダ部
4 第2シリンダ部
5 シリンダ
6 調整ハンドル
7 弁体
8 ダイアフラム
9 調整機構
13 第1圧力室
15 弁座
18 第2圧力室
19 復帰バネ
23 支持部
24 第2リング
25 第2弾性変形部材
26 第1弾性変形部材
27 第1リング
32 低摩擦部材
Claims (2)
- 弁本体に設けられた弁座と、付勢部材により付勢されて前記弁座に当接する弁体と、圧力室に設けられたダイアフラムと、前記ダイアフラムの背圧面に付加する外圧を調整する調整機構と、を備え、前記ダイアフラムが前記調整機構で調整された外圧と前記圧力室の圧力との差圧に基づいて変位し、前記弁体を前記弁座に当接又は離間させるガスレギュレータにおいて、
前記調整機構は、前記ダイアフラムに追従してシリンダ内を摺動するピストンを備え、
前記ピストンは、摺動により弾性変形する第1弾性変形部材と第2弾性変形部材とを一体的に有し、
前記ピストンの周囲にリブ状の支持部が形成され、前記第1弾性変形部材が前記支持部の上面と第1リングとで挟まれていると共に、前記第2弾性変形部材が前記支持部の下面と第2リングとで挟まれ、
前記ピストンが上向きに摺動するときに前記第1弾性変形部材が圧縮変形し、
前記ピストンが下向きに摺動するときに前記第2弾性変形部材が圧縮変形することを特徴とするガスレギュレータ。 - 弁本体に設けられた弁座と、付勢部材により付勢されて前記弁座に当接する弁体と、圧力室に設けられたダイアフラムと、前記ダイアフラムの背圧面に付加する外圧を調整する調整機構と、を備え、前記ダイアフラムが前記調整機構で調整された外圧と前記圧力室の圧力との差圧に基づいて変位し、前記弁体を前記弁座に当接又は離間させるガスレギュレータにおいて、
前記調整機構は、
前記ダイアフラムに追従してシリンダ内を摺動するピストンと、前記弁体を前記弁座に当接させる方向に付勢する復帰バネと、弾圧力を前記ダイアフラムに付加する調圧バネとを備え、
前記ピストンは、前記復帰バネ及び前記調圧バネとは異なった、摺動により弾性変形する第1弾性変形部材と第2弾性変形部材とを一体的に有し、
前記ピストンが上向きに摺動するときに前記第1弾性変形部材が圧縮変形し、
前記ピストンが下向きに摺動するときに前記第2弾性変形部材が圧縮変形することを特徴とするガスレギュレータ。
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