JP4162425B2 - 導電性を有する多層反射防止膜付透明基板 - Google Patents
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、高透過率が得られる導電性を有する多層反射防止膜付透明基板に関する。
【０００２】
【従来技術】
従来、ガラス板等の透明基板にインジウム錫酸化物（ＩＴＯ）やＳｎＯ2等の透明導電膜を形成して、太陽電池などの光電変換素子の電極や液晶等の表示装置またはタッチパネルの電極として利用するものが知られている。特にタッチパネルや液晶で使用される場合、可視領域での高透過率や最適な抵抗値を確保することが必要となってくる。さらに液晶パネルの製造に於いては１００Ω／□以下、好ましくは５０Ω／□以下の低抵抗値を有する透明導電膜が望まれている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、低抵抗値の透明導電膜を作製しようとする場合、導電膜の膜厚をより厚くする必要があり、導電膜の膜厚が厚くなればなるほど、透過率は下がり、高透過率を得ることが難しくなってしまう。
【０００４】
本発明では上記従来技術の問題点に鑑み、低抵抗値の透明導電膜でありながら、高透過率を得ることができる導電性を有する多層反射防止膜付透明基板を提供することを技術課題とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するために、本発明は以下のような構成を備えることを特徴とする。
（１） 透明基板上に透明誘電体の薄膜と透明導電体の薄膜とを積層する導電性を有する多層反射防止膜付透明基板において、前記透明基板側から順に、前記透明基板の屈折率より低い屈折率である透明誘電体の第１薄膜層と、該第１薄膜層の屈折率より高い屈折率である透明誘電体の第２薄膜層と、最外層に透明導電体の第３薄膜層との３層を有し、該第３薄膜層の光学膜厚は表面抵抗値が略５０Ω／□以下となる膜厚にて決定され、第２薄膜層の光学膜厚は前記第３薄膜層の光学膜厚との和が略λ／２（ただし、λ＝ 550nm ）となるように決定され、前記透明基板上に各々積層してなることを特徴とする導電性を有する。
（２） （１）の多層反射防止膜付透明基板において、前記第１薄膜層の光学膜厚は略λ／４（ただし、λ＝ 550nm ）となることを特徴とする。
【発明の実施の形態】
以下に図面を参照しながら説明する。図１は本発明の実施形態である導電性を有する多層反射防止膜の積層構成を示す概念図である。
１は透明の基板である。使用する基板の屈折率は１．４８〜１．７０程度のものを使用する。具体的に、基板材料としてはガラス、プラスチック（ポリカーボネイト、ポリエチレンテレフタラート等）が用いられ、光学的に透明であれば特に限定されない。
【０００６】
２は基板１上に積層され、基板１の屈折率よりも低い屈折率をもつ透明誘電体の第１薄膜層である。第１薄膜層２に使用される透明誘電体は、使用する基板１に応じて適宜選択されるが、屈折率１．３５〜１．６０程度の範囲のものが使用される。具体的には、第１薄膜層２の主成分にはＳｉＯ2（屈折率１．４６）やＭｇＦ2が挙げられる。また、第１薄膜層２の光学的膜厚（以後、単に膜厚と記す）は略λ／４の膜厚となるように形成される。
【０００７】
また、基板１と多層膜との間の密着力を上げるために基板１と第１薄膜層２との間にアンダーコート層を設けてもよい。このアンダーコート層は基板１の表面を保護するとともに、基板１と多層膜との間の密着力を上げることが可能なハードコートがよく利用される。また、アンダーコート層の膜厚は光学的な阻害が起こらない程度の膜厚であることが好ましい。
【０００８】
３は第１薄膜層２上に積層され、第１薄膜層２の屈折率よりも高い屈折率をもつ透明誘電体の第２薄膜層である。第２薄膜層３に使用される透明誘電体は、屈折率１．５０〜２．５０程度の範囲のものが使用される。具体的には、第２薄膜層３の主成分にはＺｒＯ2（屈折率１．９）や、ＴｉＯ2（屈折率２．２）、Ａｌ2Ｏ3（屈折率１．６）等が挙げられる。第２薄膜層３の膜厚は第２薄膜層３上に載せられる導電性を有する薄膜層の膜厚との合計の膜厚が略λ／２となるように決定される。
【０００９】
４は第２薄膜層３上に積層され、最外層となる導電性を有する第３薄膜層である。第３薄膜層４の主成分にはＩＴＯやＳｎＯ2等が挙げられる。第３薄膜層４の膜厚により表面抵抗値が決定されるため、表面抵抗値を低抵抗値に設定する場合には膜厚を厚く、高抵抗値にする場合には膜厚を薄くすればよい。
【００１０】
本実施の形態では、液晶ディスプレイ用に使用するために表面抵抗値が１０Ω／□〜１００Ω／□、好ましくは５０Ω／□以下の間にて決定される。従って、この表面抵抗値と対応する第３薄膜層４の膜厚は８０ｎｍ〜２００ｎｍの範囲で形成される。
【００１１】
ここで、本明細書中では、後述するように、多層反射防止膜付透明基板の評価をＹ値を用いて行うことにした。
Ｙ値とは、分光光度計によって測定された試料の分光反射率とＸＹＺ表色系の等色関数ｙ（λ）の積を可視域波長で積分した値である。そして、刺激値Ｙ（Ｙ値）は、明るさを評価する際の指標とされている。したがって、視感反射率としてＹ値を用いた場合には、Ｙ値が高いほど高反射であることを意味し、Ｙ値が低いほど高透過であることを意味する。
【００１２】
そして、本明細書中では、視感反射率としてＹ値を用いている。つまり、本明細書中のＹ値は、反射率を測定して算出したものである。したがって、本明細書では、Ｙ値が低いほど低反射、言い換えると高透過であることを意味する。そして、現在、このＹ値を「０．１」単位で低減させるための研究開発が盛んに行われている。このため、当業者間では、Ｙ値が「０．１」低くなれば非常に大きな成果が得られたと考えられているのが実情である。
【００１３】
視感反射率としてのＹ値を低くするには、波長５５０ｎｍにおいて反射率を最小にすることが必要である。そして、最外層となる導電性を有する薄膜層（本実施の形態では第３薄膜層４）の膜厚を変化させれば、最小反射率がシフトすることが知られている。具体的には、導電性を有する薄膜層の膜厚を薄くすれば最小反射率は短波長側にシフトし、導電性を有する薄膜層の膜厚を厚くすれば最小反射率は長波長側にシフトする。
【００１４】
しかしながら、第３薄膜層４の表面抵抗値は要求値に固定する必要があるため、第３薄膜層４の膜厚を変化させることができない。そこで、本願発明者は、試行錯誤を重ねた結果、第３薄膜層４の膜厚を変化させる代わりに、第２薄膜層３を第３薄膜層４と同等の屈折率をもつ膜とし、第２薄膜層３の膜厚を変化させれば、最小反射率がシフトすることを突き止めた。そのシュミレーション結果を、図５に示す。このシュミレーションでは、第２薄膜層３としてＴｉＯ2膜を形成させ、第３薄膜層４としてＩＴＯ膜を形成させて、ＩＴＯ膜の膜厚を１５０ｎｍ（表面抵抗３０Ω／□）に固定して、第２薄膜層３の膜厚を変化させた。このとき第１薄膜層２（ＳｉＯ2）の膜厚は波長５５０ｎｍにて略λ／４となる膜厚（１４２．５ｎｍ）としている。
【００１５】
図５に示すように、ＴｉＯ2膜の膜厚を変化させると、最小反射率がシフトすることがわかる。より具体的には、ＴｉＯ2膜の膜厚を厚くするにしたがって、最小反射率が長波長側へとシフトすることがわかる。そして、ＴｉＯ2膜の膜厚を１２４ｎｍ（▲４▼の場合）にしたとき、すなわちＴｉＯ2膜の膜厚とＩＴＯ膜の膜厚との和が２７４ｎｍのときに波長５５０ｎｍで反射率が最小となることが判った。
【００１６】
したがって、上記したように、第２薄膜層３の膜厚を、第２薄膜層３上に載せられる第３薄膜層４の膜厚との合計の膜厚が略λ／２となるようにしたことにより、波長５５０ｎｍで反射率が最小となるので、Ｙ値を低くすることができ、高い透過率を得ることができる。
【００１７】
また、上記したような各薄膜層２〜４を透明基板１上に形成する方法としては、物理的方法では熱蒸着方法やスパッタ方法、イオンプレーティング方法等が挙げられる。また、化学的方法ではめっき方法や化学的気層成長方法等が挙げられる。これらの成膜方法は本発明の実施の形態としてすべて使用可能であるが、特に熱蒸着方法の一つである真空蒸着方法やスパッタ方法は、膜厚制御が正確にできるため、好適に用いられる。
【００１８】
なお、本実施の形態は、単なる例示にすぎず本発明を何ら限定するものではない。従って、本発明は、その要旨を逸脱しない範囲内での種々の変形、改良が可能である。
【００１９】
以上のような構成を備える導電性を有する多層反射防止膜付透明基板について実施例を挙げ、より具体的に説明する。
【００２０】
＜実施例１＞
ハードコート付きポリカーボネイト基板（屈折率１．５８）を用意し、基板表面の汚れをとるために超音波洗浄機で洗浄する。基材を乾燥させた後、真空蒸着装置に基材を投入し、排気を行なう。排気を始めてから基板への成膜完了後リークするまで、装置内のマイクロヒーター、ハロゲンヒーターは１３０℃で加熱を行なう。マイクロヒーター、ハロゲンヒーターは共に基板の加熱を行なう。また、装置内には予め、第１層から第３層までの成膜用の薬品を準備しておく。
【００２１】
加熱を始めてから約１時間後、成膜を開始する。装置内に予め設置しておいた第１層蒸着用の薬品（ＳｉＯ2ザラメ）を使用し、基板上に第１薄膜層としてＳｉＯ2を主成分とする薄膜層を形成する。蒸着時間は約５分、膜厚は１４２．５ｎｍ（波長５５０ｎｍにて略λ／４となる膜厚）とした。
【００２２】
次に第２薄膜層蒸着用の薬品（オプトロン社製ＴｉＯ2タブレット）を使用し、第１薄膜層上に第２薄膜層としてＴｉＯ2を主成分とする薄膜層を形成する。蒸着時間は約５分、膜厚は１２４．０ｎｍとした。
【００２３】
次に第３薄膜層蒸着用の薬品（オプトロン社製ＩＴＯタブレット）を使用し、第３薄膜層としてＩＴＯを主成分とする薄膜層を形成する。第３薄膜層の薄膜層を形成している間はプラズマ処理（ＲＦ処理）を行なっておく。膜厚は表面抵抗値が３０Ω／□が得られる厚さである１５０．０ｎｍとした。
【００２４】
このようにして得られた導電性を有する多層反射防止膜を徐冷し、試料とした。この試料の可視光透過率を分光光度計により測定した。このときの視感度透過率は９１％であった。また、この膜構成、膜厚での透過率及び反射率のシュミレーション結果を図２に示す。シュミレーション結果では波長５５０ｎｍにおいて透過率９８．９％、反射率１．０％となった。
【００２５】
＜比較例１＞
実施例１で使用する基板（ポリカーボネイト 屈折率１．５８）の上にＩＴＯ（屈折率２．０）の薄膜層を膜厚１５０．０ｎｍにて形成した場合をシュミレーションした。このときのシュミレーション結果を図３に示す。シュミレーション結果では波長５５０ｎｍにおいて透過率８１．４％、反射率１８．５％となった。
【００２６】
＜比較例２＞
実施例１で使用する基板（ポリカーボネイト 屈折率１．５８）の上にＳｉＯ2（屈折率１．４６）単層の反射防止膜（膜厚 １３８ｎｍ＝略１／４λ）を形成させ、その上にＩＴＯ（屈折率２．０）の薄膜層を膜厚１５０．０ｎｍにて形成した場合をシュミレーションした。このときのシュミレーション結果を図４に示す。シュミレーション結果では波長５５０ｎｍにおいて透過率７５．７％、反射率２４．２％となった。
【００２７】
＜比較例３＞
本実施の形態の膜構成にて導電膜の膜厚を種々変化させたときの各膜厚とＹ値を表１に示す。
ここで実施例１の膜構成において基本的には第１薄膜層の膜厚はλ／４、第２薄膜層と第３薄膜層との合計の膜厚はλ／２であるが、できるだけ低いＹ値が得られるように各膜厚とも若干量だけ修正してある。
【００２８】
また、比較例２の膜構成（基板＋ＳｉＯ2＋ＩＴＯ）にて導電膜の膜厚を種々変化させたときのＳｉＯ2の膜厚とそのときのＹ値を表２示す。このときＳｉＯ2の膜厚はＹ値ができるだけ低くなるような膜厚とした。また、実施例１と同じ基板上に高屈折率の薄膜層（ＴｉＯ2）、低屈折率の薄膜層（ＳｉＯ2）を順次形成し、最外層に導電膜を形成する膜構成にて導電膜の膜厚を種々変化させたときの各導電膜の膜厚とＹ値を表３に示す。このときの各膜厚はＹ値ができるだけ低くなるような膜厚とした。
【００２９】
＜結果＞
表１に示す本実施の形態での膜構成によるＹ値は、表２に示す膜構成にて得られるＹ値に対してすべて下回る値が得られた。また、表３に示す膜構成との比較においては、ＩＴ０の膜厚が１２０ｎｍ以上（表面抵抗値が略５０Ω／□以下）のときに何れも下回る値が得られた。
【００３０】
【表１】
【００３１】
【表２】
【００３２】
【表３】
【００３３】
【発明の効果】
以上のように本発明よれば、表面抵抗値が低抵抗値を必要とする透明導電膜に場合において、最表面層の導電性と必要な抵抗値を確保するとともに、高透過率を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の膜構成を示す模式図である。
【図２】実施例１における膜構成、膜厚での透過率及び反射率のシュミレーション結果を示した図である。
【図３】比較例１における膜構成、膜厚での透過率及び反射率のシュミレーション結果を示した図である。
【図４】比較例２における膜構成、膜厚での透過率及び反射率のシュミレーション結果を示した図である。
【図５】第２薄膜層の膜厚を変化させた時の最小反射率のシフトの様子を示した図である。
【符号の説明】
１ 基板
２ 第１薄膜層
３ 第２薄膜層
４ 第３薄膜層
【発明の属する技術分野】
本発明は、高透過率が得られる導電性を有する多層反射防止膜付透明基板に関する。
【０００２】
【従来技術】
従来、ガラス板等の透明基板にインジウム錫酸化物（ＩＴＯ）やＳｎＯ2等の透明導電膜を形成して、太陽電池などの光電変換素子の電極や液晶等の表示装置またはタッチパネルの電極として利用するものが知られている。特にタッチパネルや液晶で使用される場合、可視領域での高透過率や最適な抵抗値を確保することが必要となってくる。さらに液晶パネルの製造に於いては１００Ω／□以下、好ましくは５０Ω／□以下の低抵抗値を有する透明導電膜が望まれている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、低抵抗値の透明導電膜を作製しようとする場合、導電膜の膜厚をより厚くする必要があり、導電膜の膜厚が厚くなればなるほど、透過率は下がり、高透過率を得ることが難しくなってしまう。
【０００４】
本発明では上記従来技術の問題点に鑑み、低抵抗値の透明導電膜でありながら、高透過率を得ることができる導電性を有する多層反射防止膜付透明基板を提供することを技術課題とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するために、本発明は以下のような構成を備えることを特徴とする。
（１） 透明基板上に透明誘電体の薄膜と透明導電体の薄膜とを積層する導電性を有する多層反射防止膜付透明基板において、前記透明基板側から順に、前記透明基板の屈折率より低い屈折率である透明誘電体の第１薄膜層と、該第１薄膜層の屈折率より高い屈折率である透明誘電体の第２薄膜層と、最外層に透明導電体の第３薄膜層との３層を有し、該第３薄膜層の光学膜厚は表面抵抗値が略５０Ω／□以下となる膜厚にて決定され、第２薄膜層の光学膜厚は前記第３薄膜層の光学膜厚との和が略λ／２（ただし、λ＝ 550nm ）となるように決定され、前記透明基板上に各々積層してなることを特徴とする導電性を有する。
（２） （１）の多層反射防止膜付透明基板において、前記第１薄膜層の光学膜厚は略λ／４（ただし、λ＝ 550nm ）となることを特徴とする。
【発明の実施の形態】
以下に図面を参照しながら説明する。図１は本発明の実施形態である導電性を有する多層反射防止膜の積層構成を示す概念図である。
１は透明の基板である。使用する基板の屈折率は１．４８〜１．７０程度のものを使用する。具体的に、基板材料としてはガラス、プラスチック（ポリカーボネイト、ポリエチレンテレフタラート等）が用いられ、光学的に透明であれば特に限定されない。
【０００６】
２は基板１上に積層され、基板１の屈折率よりも低い屈折率をもつ透明誘電体の第１薄膜層である。第１薄膜層２に使用される透明誘電体は、使用する基板１に応じて適宜選択されるが、屈折率１．３５〜１．６０程度の範囲のものが使用される。具体的には、第１薄膜層２の主成分にはＳｉＯ2（屈折率１．４６）やＭｇＦ2が挙げられる。また、第１薄膜層２の光学的膜厚（以後、単に膜厚と記す）は略λ／４の膜厚となるように形成される。
【０００７】
また、基板１と多層膜との間の密着力を上げるために基板１と第１薄膜層２との間にアンダーコート層を設けてもよい。このアンダーコート層は基板１の表面を保護するとともに、基板１と多層膜との間の密着力を上げることが可能なハードコートがよく利用される。また、アンダーコート層の膜厚は光学的な阻害が起こらない程度の膜厚であることが好ましい。
【０００８】
３は第１薄膜層２上に積層され、第１薄膜層２の屈折率よりも高い屈折率をもつ透明誘電体の第２薄膜層である。第２薄膜層３に使用される透明誘電体は、屈折率１．５０〜２．５０程度の範囲のものが使用される。具体的には、第２薄膜層３の主成分にはＺｒＯ2（屈折率１．９）や、ＴｉＯ2（屈折率２．２）、Ａｌ2Ｏ3（屈折率１．６）等が挙げられる。第２薄膜層３の膜厚は第２薄膜層３上に載せられる導電性を有する薄膜層の膜厚との合計の膜厚が略λ／２となるように決定される。
【０００９】
４は第２薄膜層３上に積層され、最外層となる導電性を有する第３薄膜層である。第３薄膜層４の主成分にはＩＴＯやＳｎＯ2等が挙げられる。第３薄膜層４の膜厚により表面抵抗値が決定されるため、表面抵抗値を低抵抗値に設定する場合には膜厚を厚く、高抵抗値にする場合には膜厚を薄くすればよい。
【００１０】
本実施の形態では、液晶ディスプレイ用に使用するために表面抵抗値が１０Ω／□〜１００Ω／□、好ましくは５０Ω／□以下の間にて決定される。従って、この表面抵抗値と対応する第３薄膜層４の膜厚は８０ｎｍ〜２００ｎｍの範囲で形成される。
【００１１】
ここで、本明細書中では、後述するように、多層反射防止膜付透明基板の評価をＹ値を用いて行うことにした。
Ｙ値とは、分光光度計によって測定された試料の分光反射率とＸＹＺ表色系の等色関数ｙ（λ）の積を可視域波長で積分した値である。そして、刺激値Ｙ（Ｙ値）は、明るさを評価する際の指標とされている。したがって、視感反射率としてＹ値を用いた場合には、Ｙ値が高いほど高反射であることを意味し、Ｙ値が低いほど高透過であることを意味する。
【００１２】
そして、本明細書中では、視感反射率としてＹ値を用いている。つまり、本明細書中のＹ値は、反射率を測定して算出したものである。したがって、本明細書では、Ｙ値が低いほど低反射、言い換えると高透過であることを意味する。そして、現在、このＹ値を「０．１」単位で低減させるための研究開発が盛んに行われている。このため、当業者間では、Ｙ値が「０．１」低くなれば非常に大きな成果が得られたと考えられているのが実情である。
【００１３】
視感反射率としてのＹ値を低くするには、波長５５０ｎｍにおいて反射率を最小にすることが必要である。そして、最外層となる導電性を有する薄膜層（本実施の形態では第３薄膜層４）の膜厚を変化させれば、最小反射率がシフトすることが知られている。具体的には、導電性を有する薄膜層の膜厚を薄くすれば最小反射率は短波長側にシフトし、導電性を有する薄膜層の膜厚を厚くすれば最小反射率は長波長側にシフトする。
【００１４】
しかしながら、第３薄膜層４の表面抵抗値は要求値に固定する必要があるため、第３薄膜層４の膜厚を変化させることができない。そこで、本願発明者は、試行錯誤を重ねた結果、第３薄膜層４の膜厚を変化させる代わりに、第２薄膜層３を第３薄膜層４と同等の屈折率をもつ膜とし、第２薄膜層３の膜厚を変化させれば、最小反射率がシフトすることを突き止めた。そのシュミレーション結果を、図５に示す。このシュミレーションでは、第２薄膜層３としてＴｉＯ2膜を形成させ、第３薄膜層４としてＩＴＯ膜を形成させて、ＩＴＯ膜の膜厚を１５０ｎｍ（表面抵抗３０Ω／□）に固定して、第２薄膜層３の膜厚を変化させた。このとき第１薄膜層２（ＳｉＯ2）の膜厚は波長５５０ｎｍにて略λ／４となる膜厚（１４２．５ｎｍ）としている。
【００１５】
図５に示すように、ＴｉＯ2膜の膜厚を変化させると、最小反射率がシフトすることがわかる。より具体的には、ＴｉＯ2膜の膜厚を厚くするにしたがって、最小反射率が長波長側へとシフトすることがわかる。そして、ＴｉＯ2膜の膜厚を１２４ｎｍ（▲４▼の場合）にしたとき、すなわちＴｉＯ2膜の膜厚とＩＴＯ膜の膜厚との和が２７４ｎｍのときに波長５５０ｎｍで反射率が最小となることが判った。
【００１６】
したがって、上記したように、第２薄膜層３の膜厚を、第２薄膜層３上に載せられる第３薄膜層４の膜厚との合計の膜厚が略λ／２となるようにしたことにより、波長５５０ｎｍで反射率が最小となるので、Ｙ値を低くすることができ、高い透過率を得ることができる。
【００１７】
また、上記したような各薄膜層２〜４を透明基板１上に形成する方法としては、物理的方法では熱蒸着方法やスパッタ方法、イオンプレーティング方法等が挙げられる。また、化学的方法ではめっき方法や化学的気層成長方法等が挙げられる。これらの成膜方法は本発明の実施の形態としてすべて使用可能であるが、特に熱蒸着方法の一つである真空蒸着方法やスパッタ方法は、膜厚制御が正確にできるため、好適に用いられる。
【００１８】
なお、本実施の形態は、単なる例示にすぎず本発明を何ら限定するものではない。従って、本発明は、その要旨を逸脱しない範囲内での種々の変形、改良が可能である。
【００１９】
以上のような構成を備える導電性を有する多層反射防止膜付透明基板について実施例を挙げ、より具体的に説明する。
【００２０】
＜実施例１＞
ハードコート付きポリカーボネイト基板（屈折率１．５８）を用意し、基板表面の汚れをとるために超音波洗浄機で洗浄する。基材を乾燥させた後、真空蒸着装置に基材を投入し、排気を行なう。排気を始めてから基板への成膜完了後リークするまで、装置内のマイクロヒーター、ハロゲンヒーターは１３０℃で加熱を行なう。マイクロヒーター、ハロゲンヒーターは共に基板の加熱を行なう。また、装置内には予め、第１層から第３層までの成膜用の薬品を準備しておく。
【００２１】
加熱を始めてから約１時間後、成膜を開始する。装置内に予め設置しておいた第１層蒸着用の薬品（ＳｉＯ2ザラメ）を使用し、基板上に第１薄膜層としてＳｉＯ2を主成分とする薄膜層を形成する。蒸着時間は約５分、膜厚は１４２．５ｎｍ（波長５５０ｎｍにて略λ／４となる膜厚）とした。
【００２２】
次に第２薄膜層蒸着用の薬品（オプトロン社製ＴｉＯ2タブレット）を使用し、第１薄膜層上に第２薄膜層としてＴｉＯ2を主成分とする薄膜層を形成する。蒸着時間は約５分、膜厚は１２４．０ｎｍとした。
【００２３】
次に第３薄膜層蒸着用の薬品（オプトロン社製ＩＴＯタブレット）を使用し、第３薄膜層としてＩＴＯを主成分とする薄膜層を形成する。第３薄膜層の薄膜層を形成している間はプラズマ処理（ＲＦ処理）を行なっておく。膜厚は表面抵抗値が３０Ω／□が得られる厚さである１５０．０ｎｍとした。
【００２４】
このようにして得られた導電性を有する多層反射防止膜を徐冷し、試料とした。この試料の可視光透過率を分光光度計により測定した。このときの視感度透過率は９１％であった。また、この膜構成、膜厚での透過率及び反射率のシュミレーション結果を図２に示す。シュミレーション結果では波長５５０ｎｍにおいて透過率９８．９％、反射率１．０％となった。
【００２５】
＜比較例１＞
実施例１で使用する基板（ポリカーボネイト 屈折率１．５８）の上にＩＴＯ（屈折率２．０）の薄膜層を膜厚１５０．０ｎｍにて形成した場合をシュミレーションした。このときのシュミレーション結果を図３に示す。シュミレーション結果では波長５５０ｎｍにおいて透過率８１．４％、反射率１８．５％となった。
【００２６】
＜比較例２＞
実施例１で使用する基板（ポリカーボネイト 屈折率１．５８）の上にＳｉＯ2（屈折率１．４６）単層の反射防止膜（膜厚 １３８ｎｍ＝略１／４λ）を形成させ、その上にＩＴＯ（屈折率２．０）の薄膜層を膜厚１５０．０ｎｍにて形成した場合をシュミレーションした。このときのシュミレーション結果を図４に示す。シュミレーション結果では波長５５０ｎｍにおいて透過率７５．７％、反射率２４．２％となった。
【００２７】
＜比較例３＞
本実施の形態の膜構成にて導電膜の膜厚を種々変化させたときの各膜厚とＹ値を表１に示す。
ここで実施例１の膜構成において基本的には第１薄膜層の膜厚はλ／４、第２薄膜層と第３薄膜層との合計の膜厚はλ／２であるが、できるだけ低いＹ値が得られるように各膜厚とも若干量だけ修正してある。
【００２８】
また、比較例２の膜構成（基板＋ＳｉＯ2＋ＩＴＯ）にて導電膜の膜厚を種々変化させたときのＳｉＯ2の膜厚とそのときのＹ値を表２示す。このときＳｉＯ2の膜厚はＹ値ができるだけ低くなるような膜厚とした。また、実施例１と同じ基板上に高屈折率の薄膜層（ＴｉＯ2）、低屈折率の薄膜層（ＳｉＯ2）を順次形成し、最外層に導電膜を形成する膜構成にて導電膜の膜厚を種々変化させたときの各導電膜の膜厚とＹ値を表３に示す。このときの各膜厚はＹ値ができるだけ低くなるような膜厚とした。
【００２９】
＜結果＞
表１に示す本実施の形態での膜構成によるＹ値は、表２に示す膜構成にて得られるＹ値に対してすべて下回る値が得られた。また、表３に示す膜構成との比較においては、ＩＴ０の膜厚が１２０ｎｍ以上（表面抵抗値が略５０Ω／□以下）のときに何れも下回る値が得られた。
【００３０】
【表１】
【表２】
【表３】
【発明の効果】
以上のように本発明よれば、表面抵抗値が低抵抗値を必要とする透明導電膜に場合において、最表面層の導電性と必要な抵抗値を確保するとともに、高透過率を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の膜構成を示す模式図である。
【図２】実施例１における膜構成、膜厚での透過率及び反射率のシュミレーション結果を示した図である。
【図３】比較例１における膜構成、膜厚での透過率及び反射率のシュミレーション結果を示した図である。
【図４】比較例２における膜構成、膜厚での透過率及び反射率のシュミレーション結果を示した図である。
【図５】第２薄膜層の膜厚を変化させた時の最小反射率のシフトの様子を示した図である。
【符号の説明】
１ 基板
２ 第１薄膜層
３ 第２薄膜層
４ 第３薄膜層
Claims (2)
- 透明基板上に透明誘電体の薄膜と透明導電体の薄膜とを積層する導電性を有する多層反射防止膜付透明基板において、前記透明基板側から順に、前記透明基板の屈折率より低い屈折率である透明誘電体の第１薄膜層と、該第１薄膜層の屈折率より高い屈折率である透明誘電体の第２薄膜層と、最外層に透明導電体の第３薄膜層との３層を有し、該第３薄膜層の光学膜厚は表面抵抗値が略５０Ω／□以下となる膜厚にて決定され、第２薄膜層の光学膜厚は前記第３薄膜層の光学膜厚との和が略λ／２（ただし、λ＝ 550nm ）となるように決定され、前記透明基板上に各々積層してなることを特徴とする導電性を有する多層反射防止膜付透明基板。
- 請求項１の多層反射防止膜付透明基板において、前記第１薄膜層の光学膜厚は略λ／４（ただし、λ＝ 550nm ）となることを特徴とする多層反射防止膜付透明基板。
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