JP4153339B2 - セラミック素子の製造方法 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、積層型圧電アクチュエータや圧電センサ等のセラミック素子の製造方法に関し、より詳細には、スルーホールを介してセラミック層の一端面側と他端面側との間の電気的な接続がなされたセラミック素子の製造方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
近年、セラミック素子の1つである積層型圧電素子の技術開発が盛んに行われている。この種の積層型圧電素子は、例えば、下記の特許文献1に開示されている。
【0003】
この特許文献1記載の積層型圧電素子は、多数の個別電極をパターン形成した圧電体層と、コモン電極をパターン形成した圧電体層とを交互に積層し、積層型圧電素子の厚さ方向に整列した各個別電極を、圧電体層に形成したスルーホールを介して導電部材により接続したものである。このような積層型圧電素子においては、所定の個別電極とコモン電極との間に電圧を印加することで、圧電体層において当該所定の個別電極に対応する活性部(圧電効果により歪みが生じる部分)を選択的に変位させることができる。
【0004】
【特許文献1】
特開2002−254634号公報
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
上述したような積層型圧電素子をはじめとするセラミック素子においては、素子自体の小型化や素子に形成される電極等の高集積化に伴い、セラミック層の一端面側と他端面側との間においてスルーホールを介した電気的な接続を確実に達成し得る技術が望まれていた。
【0006】
そこで、本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであり、スルーホールを介してセラミック層の一端面側と他端面側との間の電気的な接続が確実になされたセラミック素子の製造方法を提供することを目的とする。
【0007】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本発明に係るセラミック素子の製造方法は、セラミック層に形成されたスルーホールを介してセラミック層の一端面側と他端面側との間の電気的な接続がなされたセラミック素子の製造方法であって、セラミック層となるセラミック素材のグリーンシートに導電材料を印刷することで、グリーンシートに形成されたスルーホールの一端側を覆う導電パターンを形成する工程と、グリーンシートに印刷された導電材料を所定の乾燥温度で乾燥させる工程とを備え、導電パターンを形成する工程と導電材料を乾燥させる工程との間において、乾燥温度より低い加熱温度で、導電材料が印刷されたグリーンシートを加熱することによって、スルーホールの他端部まで導電材料が行き渡るように導電材料を軟化させることを特徴とする。
【0008】
このセラミック素子の製造方法においては、導電材料の印刷によりスルーホールの一端側を覆う導電パターンを形成した後、その導電材料を完全に乾燥させるための乾燥温度より低い加熱温度でセラミック素材のグリーンシートを加熱する。この加熱により、グリーンシートに印刷された導電材料が軟化するため、スルーホール内に導電材料を行き渡らせることができる。この効果は、加熱温度が25℃〜50℃の範囲の温度である場合に顕著となる。そして、この加熱後に導電材料を乾燥させることで、スルーホールの一端から他端に渡って連続した導電部材をスルーホール内に確実に形成することができる。したがって、このセラミック素子の製造方法によれば、セラミック層の一端面側と他端面側との間の電気的な接続を、スルーホールを介して確実に行うことが可能になる。
【0009】
ここで、セラミック素子とは、セラミック材料により形成されたセラミック層を有する素子を意味し、積層型圧電素子、圧電センサ、コンデンサ、インダクタ、トランス、及びフィルタ、並びにこれらを複合形成したもの等がある。
【0010】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の好適な実施形態について、図面を参照して詳細に説明する。最初に、本実施形態に係るセラミック素子の製造方法によって製造されるセラミック素子について説明する。
【0011】
図1に示すように、本実施形態に係るセラミック素子は積層型圧電素子1であり、この積層型圧電素子1は、個別電極2が形成された圧電体層(セラミック層)3と、コモン電極4が形成された圧電体層(セラミック層)5とを4枚ずつ交互に積層し、さらに、端子電極が形成される圧電体層7とベースとなる圧電体層9とで上下から挟み込むようにして構成されている。
【0012】
なお、各圧電シート3,5,7,9は、チタン酸ジルコン酸鉛を主成分とし、「10mm×30mm,厚さ30μm」の長方形薄板状に形成されている。また、個別電極2及びコモン電極4は、銀及びパラジウムを主成分とし、スクリーン印刷によりパターン形成されたものである。これは、以下に述べる各電極についても同様である。
【0013】
各圧電体層3の上面には、多数の個別電極2がマトリックス状に配置されている。各個別電極2は、互いに所定の間隔がとられることで、電気的な独立が達成され、且つ互いの振動による影響が防止されている。そして、各個別電極2は、その外方側端部の直下において圧電体層3に形成されたスルーホール13内の導電部材に接続されている(最も下側の圧電体層3を除く)。
【0014】
さらに、圧電体層3の上面の縁部には、上下に位置する圧電体層5のコモン電極4,4を電気的に接続するための中間電極6が形成されている。この中間電極6は、その直下において圧電体層3に形成されたスルーホール8内の導電部材に接続されている。
【0015】
また、各圧電体層5の上面には、積層型圧電素子1の厚さ方向において圧電体層3の各個別電極2の外方側端部に対向するように中間電極16が形成されている(以下、「積層型圧電素子1の厚さ方向」、すなわち「圧電体層3,5の厚さ方向」を単に「厚さ方向」という)。各中間電極16は、その直下において圧電体層5に形成されたスルーホール13内の導電部材に接続されている。
【0016】
さらに、圧電体層5の上面には、長方形状のコモン電極4が形成されている。このコモン電極4は、厚さ方向から見て、圧電体層3における各個別電極2の外方側端部以外の部分と重なるように、ベタ状に形成されている。なお、コモン電極4は、厚さ方向において圧電体層3の中間電極6に対向するよう圧電体層5に形成されたスルーホール8内の導電部材に接続されている。
【0017】
また、最上層の圧電体層7の上面には、厚さ方向において圧電体層5の各中間電極16に対向するよう外部電極17が形成され、厚さ方向において圧電体層3の中間電極6に対向するよう外部電極18が形成されている。そして、各外部電極17は、その直下において圧電体層7に形成されたスルーホール13内の導電部材に接続され、外部電極18は、その直下において圧電体層7に形成されたスルーホール8内の導電部材に接続されている。また、最下層の圧電体層9の上面には、長方形状のコモン電極19が、圧電体層9の外周部から所定の間隔をとってベタ状に形成されている。
【0018】
なお、最上層の各外部電極17,18は、駆動電源に電気的に接続するためのリード線を取り付けるべく銀の焼付電極が施され、積層型圧電素子1の端子電極として機能する。
【0019】
以上のような電極パターンが形成された圧電体層3,5,7,9を積層することで、最上層の各外部電極17に対しては、厚さ方向において4つの個別電極2が中間電極16を介在させて整列し、整列した各電極2,16,17は、スルーホール13内の導電部材により電気的に接続されることになる。より詳細には、図2に示すように、厚さ方向において互いに隣り合う個別電極2,2は、中間電極16を介在させてスルーホール13内の導電部材14により電気的に接続されることになる。
【0020】
一方、最上層の外部電極18に対しては、厚さ方向において4つのコモン電極4と最下層のコモン電極19とが中間電極6を介在させて整列し、整列した各電極4,6,18,19は、スルーホール8内の導電部材14により電気的に接続されることになる。
【0021】
このような積層型圧電素子1における電気的接続により、所定の外部電極17と外部電極18との間に電圧を印加すると、所定の外部電極17下に整列する個別電極2とコモン電極4,19との間に電圧が印加されることになる。これにより、圧電体層3,5においては、図2に示すように、個別電極2の外方側端部以外の部分とコモン電極4,19とで挟まれる部分に電界が生じ、当該部分が活性部21として変位することになる。したがって、電圧を印加する外部電極17を選択することで、マトリックス状に配置された個別電極2に対応する活性部21のうち、選択した外部電極17下に整列する活性部21を厚さ方向に変位させることができる。このような積層型圧電素子1は、マイクロポンプの弁制御等、微小変位を必要とする種々の装置の駆動源に適用される。
【0022】
次に、本実施形態に係るセラミック素子の製造方法として、上述した積層型圧電素子1の製造方法について説明する。
【0023】
まず、図3に示すように、チタン酸ジルコン酸鉛を主成分とする圧電材料に有機バインダ、有機溶剤等を混合してペーストを作製し、このペーストをタンク31内に貯留する。そして、キャリアフィルム(保持部材)32をリール33から他のリール33へと巻き取る間に、ドクターブレード法によって、圧電体層3,5,7,9となるグリーンシート(セラミック素材)34をキャリアフィルム32の上面に形成する(シート成形工程)。なお、キャリアフィルム32としては、厚さ54μm,幅100mmの透明PETフィルムを用いた。また、キャリアフィルム32の上面に形成されたグリーンシート34の厚さは40μmである。
【0024】
シート成形工程の後、図4に示すように、グリーンシート34が形成されたキャリアフィルム32をリール33から他のリール33へと巻き取る間に、加熱炉36を用いてキャリアフィルム32及びグリーンシート34を加熱し、これらを強制収縮させる(熱処理工程)。これにより、次工程以降におけるキャリアフィルム32及びグリーンシート34の熱収縮を防止することができ、スルーホールの形成や電極のパターン形成を位置精度良く行うことが可能になる。
【0025】
熱処理工程の後、図5に示すように、グリーンシート34が形成されたキャリアフィルム32をリール33から他のリール33へと巻き取りつつ、パンチング装置37を用いて位置基準穴を形成し、この位置基準穴を基準としてグリーンシート34の所定の位置にレーザ加工装置38を用いてスルーホール8,13(図示なし)を形成する(スルーホール形成工程)。なお、位置基準穴は、後の切断工程にて残材となるグリーンシート34の外縁部に形成したり、キャリアフィルム32の外縁部にグリーンシート34が形成されない余白部がある場合には当該余白部に形成したりすればよい。
【0026】
スルーホール形成工程の後、図6に示すように、スクリーン印刷装置39を用いて、スルーホール8,13内に対してグリーンシート34の上面側から導電ペースト(導電材料)の充填スクリーン印刷を行う(第1の印刷工程)。続いて、スルーホール8,13内において導電ペーストを乾燥・固化させて導電部材14を形成すべく、キャリアフィルム32及びグリーンシート34を乾燥炉52に入れて、乾燥温度にて加熱するが(第1の乾燥工程)、この第1の乾燥工程の前に、キャリアフィルム32及びグリーンシート34を加熱炉51に入れて、乾燥温度より低い加熱温度にて加熱する(加熱工程)。この加熱により導電ペーストが軟化し、スルーホール8,13内の下端部まで導電ペーストが確実に行き渡る。
【0027】
第1の乾燥工程の後、グリーンシート34上面の所定の位置に対し導電ペーストのスクリーン印刷を行う(第2の印刷工程)。続いて、キャリアフィルム32及びグリーンシート34を乾燥機に入れ、導電ペーストを乾燥・固化させて各電極2,4,17,19等を形成する(第2の乾燥工程)。なお、第1及び第2の印刷工程にて用いた導電ペーストは、所定比率の銀とパラジウムとからなる金属材料に有機バインダ、有機溶剤等を混合して作製した。
【0028】
第2の乾燥工程の後、図7に示すように、ピックアップ装置41を用いてキャリアフィルム32から所定の長さのグリーンシート34aを剥離させ、上述した積層型圧電素子1と同じ積層順序となるようにグリーンシート34aを積層し、仮圧着する(積層工程)。
【0029】
積層工程の後、加熱しながら積層方向にプレスすることで、各グリーンシート34aを熱圧着し、積層体グリーンを作製する。続いて、この積層体グリーンから所定の寸法の積層体グリーン素子を複数切り出し、切り出した積層体グリーン素子を脱脂・焼成した後、端子電極の形成・分極処理等を経て積層型圧電素子1を完成させる。
【0030】
次に、上述した第1の印刷工程、加熱工程及び第1の乾燥工程について、さらに詳細に説明する。
【0031】
図8に示すように、第1の印刷工程において、グリーンシート34の上面34aには、スルーホール13を含む導電パターン43が形成される。仮に、第1の印刷工程の直後にグリーンシート34が乾燥炉52に入れられれば、導電ペーストがスルーホール13内の下端部まで自然降下せずに固化し、後に接続不良を起こす原因となるおそれがある。しかしながら、本実施形態では、第1の印刷工程と第1の乾燥工程との間に加熱工程を設けているため、このような接続不良を防止することができる。
【0032】
すなわち、加熱工程においては、グリーンシート34が加熱炉51に入れられて乾燥温度より低い加熱温度で加熱され、導電パターン43を形成する導電ペーストが軟化するため、スルーホール13内の下端部まで導電ペーストを確実に行き渡らせることができる。
【0033】
そして、第1の乾燥工程においては、グリーンシート34が乾燥炉52に入れられて乾燥温度で加熱され、導電ペーストが乾燥・固化するため、図9に示すように、スルーホール13の上端から下端に渡って連続した導電部材14をスルーホール13内に確実に形成することができる。
【0034】
このようにして、グリーンシート34の上面34a側と下面34b側との電気的な接続を確実に達成し得る導電部材14をスルーホール8,13内に形成することができるため、本実施形態に係るセラミック素子の製造方法によれば、スルーホール8,13を介して圧電体層3,5の上面側と下面側との間の電気的な接続が確実になされた積層型圧電素子1を製造すること可能になる。
【0035】
また、上述した加熱工程においては、加熱温度を25℃〜50℃の範囲の温度とし、加熱時間を1分間以上の時間とすることが好ましい。なお、上述した第1の乾燥工程にける乾燥温度は、50℃より高く(好ましくは70℃以上)90℃より低い範囲の温度である。
【0036】
ここで、加熱温度を25℃〜50℃の範囲の温度とすることが好ましい理由は、図10から明らかである。図10は、「10mm×30mm,厚さ30μm」の圧電体層3の上面に個別電極2が300個(4行75列)形成された積層型圧電素子1を作製するに際し、加熱時間を2分間(一定)とし加熱温度を変化させた場合の積層型圧電素子1の歩留まりを示すグラフである。図10に示すグラフから、加熱温度が25℃〜50℃の範囲のときには、歩留まりが90%を超えているが、50℃を超えると歩留まりが急激に低下してしまうことが分かる。この主たる原因としては、加熱温度が50℃を超えると、導電ペーストがスルーホール13内の下端部に到達する前に固化してしまう、ということを挙げることができる。
【0037】
また、加熱時間を1分間以上の時間とすることが好ましい理由は、図11及び図12から明らかである。図11は、加熱温度を25℃(一定)とし加熱時間を変化させた場合の積層型圧電素子1(図10の場合と同仕様のもの)の歩留まりを示すグラフであり、図12は、加熱温度を50℃(一定)とし加熱時間を変化させた場合の積層型圧電素子1の歩留まりを示すグラフである。図11及び図12に示すグラフから、加熱時間が1分間以上の時間のときには、歩留まりは90%を超えているが、1分間未満のときには歩留まりが急激に低下してしまうことが分かる。この主たる原因としては、加熱時間が1分間未満のときには、導電ペーストがスルーホール13内の下端部に到達する前に加熱工程が終了してしまう、ということを挙げることができる。なお、加熱時間を長時間とると作業効率の低下を招くため、本実施形態の場合には、加熱時間を1分間〜3分間の範囲の時間とすることが好ましい。
【0038】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、スルーホールを介してセラミック素材の一端面側と他端面側との間の電気的な接続が確実になされたセラミック素子を製造することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本実施形態の積層型圧電素子の分解斜視図である。
【図2】図1に示す積層型圧電素子の長手方向に直交する方向から見た拡大断面図である。
【図3】本実施形態のシート成形工程を示す概念図である。
【図4】本実施形態の熱処理工程を示す概念図である。
【図5】本実施形態のスルーホール形成工程を示す概念図である。
【図6】本実施形態の第1の印刷工程、加熱工程及び第1の乾燥工程を示す概念図である。
【図7】本実施形態の積層工程を示す概念図である。
【図8】本実施形態の第1の印刷工程実施後のグリーンシートの断面図である。
【図9】本実施形態の第1の乾燥工程実施後のグリーンシートの断面図である。
【図10】本実施形態の加熱工程において加熱時間を2分間(一定)とし加熱温度を変化させた場合の積層型圧電素子の歩留まりを示すグラフである。
【図11】本実施形態の加熱工程において加熱温度を25℃(一定)とし加熱時間を変化させた場合の積層型圧電素子の歩留まりを示すグラフである。
【図12】本実施形態の加熱工程において加熱温度を50℃(一定)とし加熱時間を変化させた場合の積層型圧電素子の歩留まりを示すグラフである。
【符号の説明】
1…積層型圧電素子(セラミック素子)、3,5…圧電体層(セラミック層)、8,13…スルーホール、32…キャリアフィルム(保持部材)、34…グリーンシート(セラミック素材)、43…導電パターン。
Claims (2)
- セラミック層に形成されたスルーホールを介して前記セラミック層の一端面側と他端面側との間の電気的な接続がなされたセラミック素子の製造方法であって、
前記セラミック層となるセラミック素材のグリーンシートに導電材料を印刷することで、前記グリーンシートに形成されたスルーホールの一端側を覆う導電パターンを形成する工程と、
前記グリーンシートに印刷された前記導電材料を所定の乾燥温度で乾燥させる工程とを備え、
前記導電パターンを形成する工程と前記導電材料を乾燥させる工程との間において、前記乾燥温度より低い加熱温度で、前記導電材料が印刷されたグリーンシートを加熱することによって、前記スルーホールの他端部まで前記導電材料が行き渡るように前記導電材料を軟化させることを特徴とするセラミック素子の製造方法。 - 前記導電材料は、銀とパラジウムとからなる金属材料を含み、
前記加熱温度は、25℃〜50℃の範囲の温度であることを特徴とする請求項1記載のセラミック素子の製造方法。
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