JP4144569B2 - 部品接合装置および部品接合ツール - Google Patents
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Description
図1は本発明の実施の形態1の部品接合装置の正面図、図2は本発明の実施の形態1の部品接合ツールの正面図、図3は本発明の実施の形態1の部品接合ツールの平面図、図4、図6は本発明の実施の形態1の部品接合ツールの部分断面図、図5は本発明の実施の形態1の部品接合ツールにおける荷重支持状態の説明図である。
の他端部は、後述するようにホーン8の内部に形成された内部空間を介して、接合子9の当接面9aに開孔した吸着孔9bに連通している。図1に示すように、吸引孔8bはホーン8の上面に当接したパッド12を介して真空吸引源13に接続されており、真空吸引源13を駆動することにより吸着孔9bから真空吸引し、当接面9aに当接した電子部品4を真空吸着により保持する。なお図1においては吸着孔9bの図示は省略している。
とによって生じる接触面圧は、肉抜き部9fを設けない場合と比較して増大し、ホーン8から接合子9への振動伝達を安定させることができる。
図7,図8は、本発明の実施の形態2の部品接合ツールの部分断面図である。本実施の形態2は、実施の形態1において内部空間21を形成するために接合子9に肉抜き部9fを設ける替わりに、ホーン側に同様機能を目的として中グリ加工を行った例を示している
。
10Aは、接合子19Aをホーン18に固定締結する締結手段となっている。
図9,図10は、本発明の実施の形態3の部品接合ツールの部分断面図である。本実施の形態3は、接合子とホーンとの間にホーンよりも硬い硬質材よりなるスリーブを介在させて、ホーンにおいて接合子と当接する接触面の耐摩耗性を向上させるようにしたものである。
aを有する形状となっており、内テーパ面27aの高さ方向の中央部には、内テーパ面27aを外側に削り込んだ中グリ部27cが設けられている。中グリ部27cには、貫通孔24に固着した状態においてホーン28に設けられた吸引孔28bと連通する位置に設けられた吸引孔27bが開孔している。
4 電子部品
7 部品接合ツール
8、18、28 ホーン
8b、18b、28b 吸引孔
9、9A、19、19A 接合子
10,10A 締結部材
11 振動子
21,23,26 内部空間
Claims (6)
- 部品に荷重と振動を作用させながらこの部品を被接合面に接合する部品接合装置であって、電子部品を接合する部品接合ツールと、この部品接合ツールを前記部品に押圧する押圧手段とを備え、前記部品接合ツールは、横長のホーンと、このホーンに振動を付与する振動子と、前記ホーンに該ホーンの長さ方向に直交して設けられた下方側に開いた円錐テーパ状の貫通孔と、この貫通孔に装着され先端部に前記電子部品に当接する当接面が設けられた接合子と、前記接合子を前記ホーンに固定締結する締結手段とを備え、前記接合子は前記ホーンの下面から下方に突出する接合作用部を有するとともに、この接合作用部の上側には前記貫通孔に嵌合する円錐テーパ形状の外テーパ面が設けられており、かつ前記外テーパ面は前記貫通孔のテーパ面である下側内面および上側内面に直接又は円錐スリーブを介して当接しており、前記下側内面と上側内面との間では前記内面と離隔していることを特徴とする部品接合装置。
- 前記接合子には前記当接面に開孔する吸着孔が設けられており、前記吸着孔は接合子の外面が前記貫通孔の内面と離隔して形成される内部空間を介して、前記ホーンに設けられた吸引孔と連通することを特徴とする請求項1記載の部品接合装置。
- 前記離隔のための手段は、前記接合子の前記外テーパ面に加工された肉抜き部か、又は前記貫通孔の内テーパ面に加工された中グリ部か、若しくは前記円錐スリーブに設けられた中グリ部であることを特徴とする請求項1又は2記載の部品接合装置。
- 部品に荷重と振動を作用させながらこの部品を被接合面に接合する部品接合ツールであって、横長のホーンと、このホーンに振動を付与する振動子と、前記ホーンに該ホーンの長さ方向に直交して設けられた下方側に開いた円錐テーパ状の貫通孔と、この貫通孔に装着され先端部に前記電子部品に当接する当接面が設けられた接合子と、前記接合子を前記ホーンに固定締結する締結手段とを備え、下面から下方に突出する接合作用部を有するとともに、この接合作用部の上側には前記貫通孔に嵌合する円錐テーパ形状の外テーパ面が設けられており、かつ前記外テーパ面は前記貫通孔のテーパ面である下側内面および上側内面に直接又は円錐スリーブを介して当接しており、前記下側内面と上側内面との間では前記内面と離隔している前記接合子は前記貫通孔の下側内面および上側内面に当接してお
り、前記下側内面と上側内面との間では前記内面と離隔していることを特徴とする部品接合ツール。 - 前記接合子には前記当接面に開孔する吸着孔が設けられており、前記吸着孔は接合子の外面が前記貫通孔の内面と離隔して形成される内部空間を介して、前記ホーンに設けられた吸引孔と連通することを特徴とする請求項4記載の部品接合ツール。
- 前記離隔のための手段は、前記接合子の前記外テーパ面に加工された肉抜き部か、又は前記貫通孔の内テーパ面に加工された中グリ部か、若しくは前記円錐スリーブに設けられた中グリ部であることを特徴とする請求項4又は5記載の部品接合ツール。
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