JP4132609B2 - 微細加工用ワイヤ電極案内装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、ワイヤ電極を用いて放電によって微細加工のための工具電極を成形する放電加工と、その成形された工具電極を用いて被加工物に微小な穴を形成する放電加工とを並行して実施できる微細加工用ワイヤ電極案内装置および微細加工用放電加工装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
微細電極成形方法あるいはワイヤ放電研削加工方法(EWDG)と称される、ワイヤ電極を用いて放電によって柱状の材料の幅や径を小さく減じることにより微小な穴加工のための工具電極を成形し製作するタイプの放電加工装置が知られている。この種の放電加工装置に関しては、例えば、特開平2−190220号公報、特開昭64−78727号公報、あるいは特開平4−141323号公報に開示された装置が参照される。
【0003】
この放電加工装置は、例えば工具電極の形状が円柱である場合、直径0.01mm〜0.1mmの極めて細い工具電極を成形することができるようになっている。そして、この微細な工具電極を形彫放電加工装置や細穴放電加工装置に装着し、この工具電極を用いて被加工物に微小な穴を放電加工するようにされている。
【0004】
このような極めて細く比較的長尺の工具電極で微小な穴を放電加工する場合、この微小な穴を放電加工する時間よりも、むしろ工具電極の成形に要する時間を相当必要としている。また、その加工の特性上、放電に伴う工具電極の消耗が激しいために、たくさんの本数の工具電極を頻繁に交換しながら放電加工する必要がある。
【0005】
そこで、この種の放電加工の能率を向上するため、微細加工のための工具電極の成形加工の荒加工と仕上げ加工およびその工具電極を使用した微小な穴加工を同時に行ない得る装置の研究がされている(許東亞、増沢隆久両氏の「電気加工技術」Vol.24No.77第169回電気加工研究会第1頁〜第6頁「大量微細穴放電加工装置の開発」が参照される)。この放電加工装置は、工具電極の成形と穴加工とを並行して実施することができるから、微小な穴を放電加工する全体の作業時間が短縮され、また工具電極の消耗を余り考慮することなく微小な穴を連続的に放電加工できる。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】
この種の微細加工用放電加工装置の作業性をより向上させるために、そのワイヤ電極を案内する装置は、いくつかの改良するべき余地がある。例えば、放電のエネルギによって振動しやすい極めて細い工具電極の振動を抑制すること、ワイヤガイド体の正確な位置決めが要求されずに所望の工具電極のサイズと放電エネルギに適合する加工間隙を設定すること、あるいはワイヤ電極を張架する作業をより簡単にすることが望まれる。
【0007】
また、この種の微細加工用放電加工装置に限らず、従前から“マルチ電源”としてよく知られている複数の直流電源を具備し、それらの電源から供給される加工電流を複数の加工間隙に供給して同時に放電加工をさせる加工電流の供給システムは、電気的に、使用上の制限が大きく、効率も必ずしもよくないので、一般に広く採用される程度に実用化されることが難しいという課題が残されている。
【0008】
特に、この種の電源回路を微細な工具電極を成形するときに利用する場合は、成形される工具電極が微小であるがゆえにそれほど大きな加工電流を供給することはできないから、並行して行なわれる穴加工を高速で実施するのに適する大きな加工電流を供給することを避けざるを得ない。
【0009】
本発明は、このような放電加工装置を改良し、比較的簡単な構成で作業性に優れる微細加工用ワイヤ電極案内装置を提供することを目的とする。本発明は、効率よく微細な工具電極を成形し製作するとともにその工具電極の成形加工と並行してその工具電極を用いて微小な穴を放電加工することができる微細加工用放電加工装置に利用できる。本発明によって達成されるより具体的な利点については、本発明の実施の形態を説明する際に合わせて述べられる。
【0010】
【課題を解決するための手段】
本発明の微細加工用ワイヤ電極案内装置は、上述した目的を達成するために、ワイヤ電極EWを水平面の方向に案内しかつ工具電極ELとワイヤ電極EWとの第1の加工間隙G1をもって工具電極ELの一側面を通過する往路WGと第1の加工間隙G1をもって工具電極EWの前記一側面とほぼ反対の側面を通過する復路WRとを形成させ工具電極ELから往路W G と復路W R に沿って水平1軸X軸方向に離れて往路W G と復路W R との第1の間隔P N を規定するように配置されワイヤ電極EWを互いに対向する案内面に接触させて位置決めする1対のガイド41A,41Bと1対のガイド41A,41Bから工具電極ELを挟んで水平1軸X軸方向に離れて第1の間隔P N よりも狭い往路W G と復路W R との第2の間隔P M を規定するように配置されワイヤ電極EWを互いに対向する案内面に接触させて位置決めする1対のガイド41C,41Dとの2組の1対のガイドでなり往路WG のワイヤ電極と復路WR のワイヤ電極との間の距離が徐々に変化して末広がり状になるようにワイヤ電極を張架する位置決めガイド41が設けられる。
【0011】
好ましくは、本発明の微細加工用ワイヤ電極案内装置は、前記2組の1対のガイドで規定された往路WGのワイヤ電極EWと復路WRのワイヤ電極EWとの間の距離よりも大きい径を有し往路WGと復路WRとを形成するようにワイヤ電極EWが走行する方向を反転させる折返しプーリ44を含んでなる。また、好ましくは、ワイヤボビン51,52と第1の間隔P N を規定する1対のガイド41A,41Bとの間、および折返しプーリ44と第2の間隔P M を規定する1対のガイド41C,41Dとの間に張架された往路W G のワイヤ電極EWと復路W R のワイヤ電極EWを往路WGのワイヤ電極EWと復路WRのワイヤ電極EWとの間の距離をそれぞれ狭める方向に押し出して接触する複数の通電ローラ43を含んでなる。
【0014】
【発明の実施の形態】
本発明の放電加工装置の好ましい実施の形態の全体の構成が図1に示されている。また、図1に示される構成の主要部材が図2に示されている。この実施の形態において、X軸およびY軸は、図2中の矢印で示されているように、それぞれ水平面上の互いに直交する軸線である。X軸とY軸に対してそれぞれ平行な補助軸線は、説明の便宜上、XU軸とYV軸と称する。また、Z軸は水平面に対して垂直な加工穴の深さ方向の軸線であり、Z軸の軸線を中心に回転する回転軸はR軸と称する。
【0015】
図1に示される微細加工用放電加工装置は、一般的に用いられている形彫放電加工装置1の本機にワイヤ電極案内装置4が取り付けられている。この形彫放電加工装置1は、Z軸方向に往復移動する加工ヘッド11と、ベッド2上に設けられ、X軸方向に往復移動する移動コラム12と、移動コラム12上に設けられ、Y軸方向に往復移動するラム13との各移動装置を備えている。各移動装置を移動させるモータとそれらのモータの駆動を制御する制御装置は省略されている。ベッド2の移動コラム12の手前側にテーブル14が固定され、そのテーブル14には4つの槽壁を有する加工槽3が設置されている。
【0016】
被加工物WPがX軸とY軸にそれぞれ平行な互いに直交する2つの軸の方向に移動できるように、被加工物WPは、補助軸XUとYVの方向に往復移動できる移動装置を備えたステージ15の上に設置される。工具電極ELを成形する放電加工を行なわないときは、ステージ15は形彫放電加工装置1から取り外され、被加工物WPはテーブル14の定盤上に設置される。被加工物WPは、図1に示されるように、ワイヤ電極案内装置4よりも下側の加工槽3の中に設置される。
【0017】
微細加工専用の順送り装置17は、汎用の形彫放電加工装置1の加工ヘッド11に取り付けられ、加工ヘッド11とともにZ軸方向に往復移動できる。工具電極ELが消耗するのに従って工具電極ELを順次送り出すための機構は、コレットチャックによる掴み換え機構や送り出しローラによる送り出し機構など従来公知の方法が採用される。さらに、工具電極ELを高速回転させるスピンドル18が設けられている。
【0018】
ワイヤ電極案内装置は、形彫放電加工装置1の加工槽3の中に配置され、例えば、被加工物WPの移動を阻害しない4本の取付支柱16でテーブル14に取り付けられる。また、必要のないときは、4本の支柱16も取り外される。
【0019】
上述したように、図1に示される実施の形態は、ワイヤ電極案内装置がアタッチメントとして形彫放電加工装置に着脱自在であるから、既に設置されている汎用の形彫放電加工装置を用いて微細な工具電極の成形加工とその工具電極による微小な穴の放電加工が並行して実施できる利点がある。
【0020】
図2に、ワイヤ電極案内装置4およびワイヤ電極供給装置5の構成が示されている。ワイヤ電極案内装置4は、複数のプーリからなる位置決めガイド41、位置決めガイド41が配置されるガイドボード42、ワイヤ電極EWに給電する通電ローラ43、位置決めガイド41からの走行するワイヤ電極EWを再び位置決めガイド41の方向へ導く折返しプーリ44、供給されもしくは回収されるワイヤ電極EWを水平面の方向に導く方向転換プーリ45とを備えている。
【0021】
ワイヤ電極供給装置5は、ワイヤ供給ボビン51、ワイヤ回収ボビン52、ガイドブロック53とを含んでなる。ワイヤ供給ボビン51とワイヤ回収ボビン52は、それぞれ加工槽3に固定される取付板54に設けられたリールに装着され、それぞれサーボモータ55,56で回転する。2つのモータ55と56は、同期して回転するように制御され、ワイヤ電極EWの所定の張力を維持する。
【0022】
位置決めガイド41は、ワイヤ電極EWを挟んでワイヤ電極と接触する案内面が互いに対向するように設けられる1対のプーリ41A,41Bと、プーリ41A,41Bと同様に案内面が互いに対向するように、プーリ41A,41Bに対してワイヤ電極EWが走行する方向である水平面方向に工具電極ELを挟んで折返しプーリ44側に設けられる他の1対のプーリ41C,41Dとの2組の1対のガイドからなる。
【0023】
位置決めガイド41は、工具電極ELの側面とその工具電極ELの成形に工具として使用されるワイヤ電極EWとの間に形成される所定の第1の加工間隙を維持するように、走行するワイヤ電極EWをその案内面に部分的に接触させて案内し、かつ所要の位置に位置決めする。位置決めガイド41の各ガイドは、実施の形態のプーリのように必ずしも回転する必要はなく、実用上は、軸が固定された円柱状のガイドであっても構わない。
【0024】
ワイヤ電極EWをセッティングするときは、最初に、ワイヤボビン51に巻き回されている新しいワイヤ電極EWの先端を引き出し、ガイドブロック53に通す。次いで、通電ローラ43に接触させつつプーリ41Aと41Cに沿って引き回し、折返しプーリ44にかける。そして、折返しプーリ44にかけられたワイヤ電極EWの先端を通電ローラ43に接触させつつプーリ41Dと41Bを通過させてガイドブロック53から導き出し、ワイヤボビン52にそのワイヤ電極EWの先端を巻き取らせる。
【0025】
このとき、複数の通電ローラ43は、当初から固定しておかずに、ワイヤ電極EWに所定の張力を付与した後に往路のワイヤ電極WGと復路WRのワイヤ電極EWとの間の距離を狭める方向に押し出して接触させその張力で張架されたワイヤ電極EWを押し付けるように取り付けられてもよい。
【0026】
このように構成されたこの実施の形態のワイヤ電極案内装置4は、図2に示されるように、位置決めガイドと折返しプーリのみによって走行するワイヤ電極の往路と復路が規定されるので、ワイヤ電極を複雑に巻き回す作業がなく、ワイヤセッティングの作業が能率的である。そして、ワイヤ電極を通電ローラに押し付けられるように接触させるだけなので、ワイヤ電極EWを張架することが容易であるのにも関わらず、通電不良の虞れがない。しかも、ワイヤ電極の往路と復路で加工間隙を形成するので、微細電極が円柱状の形状に限定されない。
【0027】
図3に、実施の形態のワイヤ電極案内装置4のワイヤリングの状態が示されている。図3に示されるように、位置決めガイド41は、ワイヤ電極EWの往路WGと復路WRとの間隔を規定するように配置された1対のプーリ41A,41Bとその間隔よりも狭い間隔で上記往路WGと復路WRの間隔を規定するように配置された1対のプーリ41C,41Dの2組の1対のガイドからなる。その結果、ワイヤ電極EWは、その走行経路上の往路WGと復路WRとの間の距離が工具電極ELを挟んで水平面方向の位置で異なり、折返しプーリ44方向にその距離が徐々に変化して狭くなるように位置決めされる。
【0028】
位置決めガイド41は、ワイヤ電極EWと工具電極ELとの第1の加工間隙を維持しながら、工具電極ELを挟みこむようにしてワイヤ電極EWを位置決めし、直径が0.1mm以下という極めて細い工具電極ELが放電エネルギによって損傷したり、あるいは曲がって成形されたりすることを可能な限り防止している。
【0029】
折返しプーリ44は、位置決めガイド41のプーリ41Cと41Dとで形成される往路WGと復路WR上のワイヤ電極EW間の距離PMよりも十分大きな直径を有する樹脂製の円板であり、その外周にワイヤ電極EWが案内される溝が形成されている。このように構成された折返しプーリ44は、ワイヤ電極EWの走行経路の方向を180度反転させると同時に、図3に示されているように、ワイヤ電極EWを位置決めガイド41に対して外側に引っ張るように案内する機能を有する。このため、ワイヤ電極EWは、位置決めガイド41から脱線しないで案内され、プーリ41Cと41Dに沿って円滑に走行する。
【0030】
4つの通電ローラ43は、ワイヤ電極EWをガイドブロック53と位置決めガイド41との間、および折返しプーリ44と位置決めガイド41との間の4箇所で、折返しプーリ44とガイドブロック53の作用によってテンションTNで広がろうとするワイヤ電極EWをその往路WGと復路WRとの距離を狭める方向に押すような位置関係で取り付けられる。好ましくは、図2に示されるように、通電ローラ43は、それぞれワイヤ電極EWに向かって8〜10度程度下向きに傾けられた状態で固定される。この構成は、上側にずれやすいワイヤ電極WEを下側にも押さえるようにするので、ワイヤ電極EWがより確実に案内される。
【0031】
このように通電ローラ43が設けられることによって、ワイヤ電極EWのセッティングおよび通電部材の設置が容易でありながら、通電部材が確実にワイヤ電極EWに接触して給電し、かつワイヤ電極EWの走行を確実に案内する。通電ローラ43は、往路WGと復路WRのそれぞれのワイヤ電極にそれぞれ第1の加工間隙のより近傍で給電するように配置されることが望ましい。通電ローラ43は、位置決めガイド41と同様に、磨耗による寿命の点を除けば回転しない通電体であってよい。
【0032】
図4に、本発明のワイヤ電極案内装置の好ましい実施の形態が示されている。ガイドボード42には、位置決めガイド41の取付部FA,FB,FC,FDと工具電極をELを通過させるための中央孔HLが形成されている。4つの取付部FA,FB,FC,FDは、連続する多数のねじ穴でなる位置決め穴、あり溝、または長孔である。ガイドボード42に配置される4つのプーリ41A,41B,41C,41Dのそれぞれは、取付部FA,FB,FC,FDに沿って、それぞれワイヤ電極EWの走行する方向にほぼ直角の方向に動かして、各プーリの回転軸心に位置するねじを締め付けることで固定することができる。例えば、プーリ41Dは、最大で図4に一点鎖線で示される位置までガイドボード42の外側に向かって配置することができる。
【0033】
したがって、ワイヤ電極案内装置4は、折返しプーリ44側に位置するプーリ41Cの外周縁とプーリ41Dの外周縁との間の距離PMよりもワイヤ電極EWが供給される側に位置するプーリ41Aの外周縁とプーリ41Bの外周縁との間の距離PNを僅かに大きくして、ワイヤ電極EWの往路WGと復路WRの離間距離がガイドブロック53の方向に位置するのにしたがって徐々に長くなる末広がり状になるようにワイヤ電極EWを張架することができる。
【0034】
このようにワイヤ電極EWが末広がり状に張架されているときは、円柱状の工具電極ELを、ガイドボード42の中央に穿設された中央孔HLに沿ってX軸方向に移動させて工具電極ELを位置決めすることで、工具電極ELの成形したい所望のサイズに適合する位置関係で工具電極ELとワイヤ電極EWとが配置される。この作業は数値制御装置を利用して、あるいは電気的な接触検出による位置決め装置を利用して実施できるから、成形される工具電極ELが円柱である場合は、位置決めガイドの精密な調整が不要であり、工具電極とワイヤ電極ELとで形成される所望の第1の加工間隙が極めて容易にかつ正確に設定できる。
【0035】
図5は、工具電極の成形のための放電加工と、成形された工具電極で被加工物を穴加工するための放電加工を並行して実施できる電源装置の具体例である。この電源装置は、工具電極の成形のための第1の電源回路10と、成形された工具電極で被加工物に穴加工をするための第2の電源回路20と、第1の電源回路10および第2の電源回路20から供給される加工電流パルスを制御する加工制御装置40と、加工間隙の状態を検出する検出装置30と、第1のスイッチRS1と第2のスイッチRS2の開閉を制御するリレー回路50と、加工間隙を制御するサーボ制御回路60とを含んで構成される。
【0036】
第1の電源回路10は、放電エネルギで工具電極ELが損傷することがない成形加工に十分な比較的低い電流値の加工電流を供給し得るとともに、回路のインダクタンス値を可能な限り小さくした回路である。電源回路10における第1の直流電源DS1は、電源回路10の一方の端子が4つの通電ローラ43の全てに接続され、他方の端子がロータリ通電体6に接続される。
【0037】
電源回路10は、正極が工具電極ELに接続され、負極がワイヤ電極EWに接続される第1の直流電源DS1と、直流電源DS1および第1の加工間隙G1に並列に接続される第1の充放電コンデンサC1と、直流電源DS1に直列または充放電コンデンサC1に直列に接続される少なくとも1つの第1のスイッチング素子SW1と、スイッチング素子SW1と直列に接続される第1の電流制限抵抗R1と、直流電源DS1と加工間隙G1との間に設けられたスイッチRS1とを含んでなる。
【0038】
第2の電源回路20は、基本的には、被加工物を高速に穴加工するために電源回路10よりも大きな電流値の加工電流を被加工物WPと工具電極ELで形成される第2の加工間隙G2に供給する能力を有する。電源回路20は、正極が被加工物WPに接続され、負極が工具電極ELに接続される第2の直流電源DS2と、直流電源DS2および第2の加工間隙G2に並列に接続される第2の充放電コンデンサC2と、直流電源DS2に直列または充放電コンデンサC2に直列に接続される少なくとも1つの第2のスイッチング素子SW2と、スイッチング素子SW2と直列に接続される可変の第2の電流制限抵抗R2と、直流電源DS2と加工間隙G2との間に直列に接続されるインダクタンス素子Lと、直流電源DS2と加工間隙G2との間に設けられたスイッチRS2とを含んでなる。
【0039】
検出装置30は、電源回路10に設けられた検出回路SN1で加工間隙G1の電圧または電流を検出して工具電極ELの成形の加工の進展の状態を検出するとともに、電源回路20に設けられた検出回路SN2で加工間隙G2の電圧または電流を検出して被加工物WPに形成される穴の加工の進展の状態を検出する。加工の進展の状態が良好であるか不良であるかは、例えば、加工電圧から加工電圧パルスの発生頻度、単位時間の平均加工電流値、加工電流パルスの波形などを測定することで検出する。これらの検出信号は、加工制御装置40へ出力される。
【0040】
同時に、検出装置30は、加工間隙G1と加工間隙G2のそれぞれの電圧をサーボ制御装置60へ出力する。サーボ制御装置60は、この検出された間隙の電圧に応動して加工ヘッド11を動作させ、Z軸方向の送り、すなわち加工深さ方向の送りを調整する。
【0041】
また、検出装置30は、工具電極ELと被加工物WPとの間に設けられる検出電源装置31を含んでいる。検出電源装置31は、検出のための電圧を加工間隙G2に印加し、工具電極ELの先端が放電加工ができる程度まで被加工物WPに近接したときに発生する小さな放電を検出する。この小さな放電が検出されると、検出装置30は、工具電極ELの先端が被加工物WPに達したことを意味する検出信号を加工制御装置40に出力する。検出電源装置31は、検出電源装置31によって工具電極ELの先端と被加工物WPとの間に放電が発生するときに、加工間隙G2に放電加工に殆ど影響を及ぼさない小さい値の電流が流れるように設計される。
【0042】
加工制御装置40は、スイッチング素子SW1とスイッチング素子SW2のオンオフを制御することにより、加工間隙G1と加工間隙G2に供給される加工電流のパルスのオン時間とオフ時間を制御する。加工制御装置40は、検出装置30で検出される加工間隙G1の成形の加工の進展の状態と加工間隙G2における被加工物WPに形成される穴の加工の進展の状態とのそれぞれに基づいて、加工間隙G1または加工間隙G2に供給される加工電流を調整することが必要な場合は、スイッチング素子SW1とスイッチング素子SW2のそれぞれのオンオフのタイミングを変更する。
【0043】
リレー回路50は、検出電源装置31からの検出信号に従う検出装置30からの信号に応答して出力される加工制御装置40からの切換信号に基づいてスイッチRS1とスイッチRS2を開閉する。この種の放電加工の初期において、工具電極ELを成形する加工のみが実施されているときは、スイッチRS1が閉成され、スイッチRS2が開放されている。
【0044】
検出電源装置31を含む検出装置30が、工具電極ELの先端が被加工物WPに到達したことを検出したときは、加工制御装置40の切換信号に応答してスイッチRS2が閉成される。このとき電源回路10および電源回路20から供給される加工電流は、微細な工具電極ELを損傷しない程度の電流値である。そして、このとき、工具電極ELの成形加工と被加工物WPへの穴加工が同時に実施される。
【0045】
検出装置30が、工具電極ELの成形加工が、同時に放電加工している穴加工に合わせて順調に進んでいる状態を検出したときは、加工制御装置40からリレー回路50に切換信号が出力されてスイッチRS1が開放されるとともに、電流制限抵抗R2の抵抗値を小さく変更して電源回路20からの加工電流を少し大きくする。このときは、被加工物WPへの穴加工のみが実施される。
【0046】
検出装置30が工具電極ELの成形加工が不足していることを検出したときは、加工制御装置40からリレー回路50に切換信号が出力されてスイッチRS1が閉成されるとともに、電流制限抵抗R2の抵抗値を大きく変更して、電源回路20から供給される加工電流の電流値を電源回路10から出力される電流値と同じ値にする。
【0047】
この回路の作動状態を加工状態に置き換えると次の通りである。まず、最初にある程度の長さの工具電極を成形して穴加工が可能になった時点で工具電極の成形と穴加工を同時に行なう。工具電極の成形が進んだときには、穴加工のみを行ない、工具電極ELの成形加工が不足しているときには、再び工具電極の成形と穴加工を同時に行なう。
【0048】
このように、本発明の微細加工用ワイヤ電極案内装置を利用する具体例の微細加工用放電加工装置によれば、工具電極の成形加工の状態に応じて工具電極の成形加工と被加工物への穴加工とを並行して実施できるようにしたので、必要最小限度の工具電極の成形加工で、工具電極の成形加工と被加工物への穴加工を常に同時に完了するような状態で放電加工する。したがって、無駄を少なくし、より加工効率を上げることができる。
【0049】
図6に、工具電極の成形のための放電加工と、成形された工具電極で被加工物を穴加工するための放電加工を並行して実施できる電源装置の別の具体例が示されている。図5と同じ符号が付された部材は、基本的に同じ構成であり、詳細な説明は省略される。
【0050】
この電源装置は、工具電極ELの成形のための第1の電源回路10と、工具電極ELを成形しかつ成形された工具電極ELで被加工物WPに穴加工をするための第2の電源回路70と、第1の電源回路10および第2の電源回路70からの加工電流パルスを制御する加工制御装置80と、加工間隙の状態を検出する検出装置30と、第1のスイッチRS3と第2のスイッチRS4の開閉を制御するリレー回路50と、加工間隙を制御するサーボ制御回路60とを含んで構成される。
【0051】
第2の電源回路70は、基本的に、工具電極ELを成形するのに適する電流値の加工電流を供給する。電源回路70の直流電源DS2は、正極が被加工物WPに取り付けられる通電子に接続され、負極が通電ローラ43に接続される。直流電源DS2の電源電圧は、加工間隙G1と加工間隙G2に印加され、工具電極ELを成形加工すると同時に被加工物WPを穴加工する。
【0052】
加工制御装置80は、スイッチング素子SW1とスイッチング素子SW2のオンオフを制御する。加工制御装置40は、検出装置30で検出される加工間隙G1の成形の加工の進展の状態と加工間隙G2における被加工物WPに形成される穴の加工の進展の状態とのそれぞれに基づいて、加工間隙G1または加工間隙G2に供給される加工電流値を制御することが必要な場合は、スイッチング素子SW1とスイッチング素子SW2のそれぞれのオンオフのタイミングを変更する。
【0053】
スイッチRS3は、工具電極ELの先端が被加工物WPに到達していない間は閉成され、電源回路10から加工間隙G1に工具電極ELの成形加工に適する加工電流が供給される。検出電源装置31を通して検出装置30から工具電極ELの先端が被加工物WPを加工することが可能な位置まで到達したことを検出したとき、加工制御装置80はリレー回路50に切換信号を出力する。このとき、スイッチRS3は開放されて、電源回路10は完全に切離される。同時に、スイッチRS4が閉成され電源回路20から加工間隙G1と加工間隙G2とに加工電流が供給される。
【0054】
この本発明の微細加工用ワイヤ電極案内装置を利用する別の具体例の微細加工用放電加工装置によれば、電源回路10が加工間隙G1から切り離されることによって、電源回路10の影響を受けずに、電源回路70で工具電極ELの成形加工と被加工物WPの穴加工とが同時に実施される。そして、必要最小限度の工具電極の成形加工で、工具電極の成形加工と被加工物への穴加工を常に同時に完了するような状態で放電加工する。したがって、無駄を少なくし、より加工効率を上げることができる。
【0055】
【発明の効果】
以上に説明されたように、本発明の請求項1ないし請求項3に記載された微細加工用放電加工装置は、比較的簡単な構成で第1の加工間隙が設定でき、作業性に優れる。その結果、効率よく、微細な工具電極を成形する放電加工とその工具電極によって被加工物に微小な穴を形成する放電加工を並行して実施できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明のワイヤ電極案内装置を利用する微細加工用放電加工装置の全体の構成を示す正面図である。
【図2】図1に示される微細加工用放電加工装置の主要部材を示す斜視図である。
【図3】図2に示されるワイヤ電極案内装置を示す平面図である。
【図4】本発明のワイヤ電極案内装置の細部の構成を示す平面図である。
【図5】図1に示される本発明のワイヤ電極案内装置を利用する微細加工用放電加工装置に採用され得る電源回路の具体例を示す回路図である。
【図6】図1に示される本発明のワイヤ電極案内装置を利用する微細加工用放電加工装置に採用され得る別の具体例を示す回路図である。
【符号の説明】
1,放電加工装置
11,加工ヘッド
15,ステージ
17,順送り装置
18,スピンドル
4,ワイヤ電極案内装置
41,位置決めガイド
42,ガイドボード
43,通電ローラ
44,折返しプーリ
Claims (3)
- ワイヤ電極を水平面の方向に案内しかつ工具電極と前記ワイヤ電極との間に形成される加工間隙をもって前記工具電極の一側面を通過する往路と前記加工間隙をもって前記工具電極の前記一側面とほぼ反対の側面を通過する復路とを形成させ前記工具電極から前記往路と前記復路に沿って水平1軸方向に離れて前記往路と前記復路との第1の間隔を規定するように配置され前記ワイヤ電極を互いに対向する案内面に接触させて位置決めする1対のガイドと前記1対のガイドから前記工具電極を挟んで前記水平1軸方向に離れて前記第1の間隔よりも狭い前記往路と前記復路との第2の間隔を規定するように配置され前記ワイヤ電極を互いに対向する案内面に接触させて位置決めする1対のガイドとの2組の1対のガイドでなり前記往路のワイヤ電極と前記復路のワイヤ電極との間の距離が徐々に変化して末広がり状になるようにワイヤ電極を張架する位置決めガイドを含んでなる微細加工用ワイヤ電極案内装置。
- 前記2組の1対のガイドで規定された前記往路のワイヤ電極と前記復路のワイヤ電極との間の距離よりも大きい径を有し前記往路と前記復路とを形成するように前記ワイヤ電極が走行する方向を反転させる折返しプーリを、含んでなる請求項1に記載の微細加工用ワイヤ電極案内装置。
- ワイヤボビンと前記第1の間隔を規定する1対のガイドとの間、および前記折返しプーリと前記第2の間隔を規定する1対のガイドとの間に張架された前記往路のワイヤ電極と前記復路のワイヤ電極を前記往路のワイヤ電極と前記復路のワイヤ電極との間の距離を狭める方向にそれぞれ押し出して接触する複数の通電体を含んでなる請求項2に記載の微細加工用ワイヤ電極案内装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2000252074A JP4132609B2 (ja) | 2000-08-23 | 2000-08-23 | 微細加工用ワイヤ電極案内装置 |
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Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2002059316A JP2002059316A (ja) | 2002-02-26 |
JP2002059316A5 JP2002059316A5 (ja) | 2007-02-15 |
JP4132609B2 true JP4132609B2 (ja) | 2008-08-13 |
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Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2000252074A Expired - Fee Related JP4132609B2 (ja) | 2000-08-23 | 2000-08-23 | 微細加工用ワイヤ電極案内装置 |
Country Status (1)
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JP (1) | JP4132609B2 (ja) |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5726471B2 (ja) * | 2010-09-15 | 2015-06-03 | 株式会社ディスコ | マルチワイヤ放電加工装置及びマルチワイヤ放電加工方法並びに炭化ケイ素板の製造方法 |
CN104942391A (zh) * | 2014-03-24 | 2015-09-30 | 苏州工业园区凯德机电科技有限公司 | 一种高精度电火花线切割机 |
CN105195843B (zh) * | 2015-09-09 | 2017-04-12 | 泰州市晨虹数控设备制造有限公司 | 电火花线切割电极丝往复渐进式走丝方法及装置 |
JP6257839B1 (ja) * | 2016-02-17 | 2018-01-10 | 三菱電機株式会社 | マルチワイヤ走行モジュール、マルチワイヤ走行モジュールの使用方法及びワイヤ放電加工機 |
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2000
- 2000-08-23 JP JP2000252074A patent/JP4132609B2/ja not_active Expired - Fee Related
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Publication number | Publication date |
---|---|
JP2002059316A (ja) | 2002-02-26 |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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