JPH11197950A - プリント基板の小径穴加工装置 - Google Patents
プリント基板の小径穴加工装置Info
- Publication number
- JPH11197950A JPH11197950A JP579198A JP579198A JPH11197950A JP H11197950 A JPH11197950 A JP H11197950A JP 579198 A JP579198 A JP 579198A JP 579198 A JP579198 A JP 579198A JP H11197950 A JPH11197950 A JP H11197950A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electrode
- hole
- needle
- circuit board
- printed circuit
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Electrical Discharge Machining, Electrochemical Machining, And Combined Machining (AREA)
- Perforating, Stamping-Out Or Severing By Means Other Than Cutting (AREA)
- Drilling And Boring (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 寸法の大きいプリント基板１に加工された穴
を能率良く仕上げ加工をすることができるプリント基板
の小径穴加工装置を提供すること。 【解決手段】 電極の一方を線状電極１０、他方を針状
電極２ａとして、針状電極２ａの移動方向を線状電極１
０の方向にする。そして、モータ６により加工しようと
する穴７の中心を線状電極１０の頂部１０ａに合わせて
位置決めすると共に、モータ５により針状電極２ａを穴
７の中心に位置決めし、針状電極２ａと線状電極１０と
の間に電源４の電圧を印加する。この場合、針状電極２
ａを複数にすると、針状電極２ａの移動距離を短くで
き、作業性をより向上させることができる。また、印加
する電圧を直流電圧とし、線状電極１０を正極に、針状
電極２ａを負極に接続すると、アーク８はほぼ鉛直方向
に発生し、穴の内面を均一に加工することができる。
を能率良く仕上げ加工をすることができるプリント基板
の小径穴加工装置を提供すること。 【解決手段】 電極の一方を線状電極１０、他方を針状
電極２ａとして、針状電極２ａの移動方向を線状電極１
０の方向にする。そして、モータ６により加工しようと
する穴７の中心を線状電極１０の頂部１０ａに合わせて
位置決めすると共に、モータ５により針状電極２ａを穴
７の中心に位置決めし、針状電極２ａと線状電極１０と
の間に電源４の電圧を印加する。この場合、針状電極２
ａを複数にすると、針状電極２ａの移動距離を短くで
き、作業性をより向上させることができる。また、印加
する電圧を直流電圧とし、線状電極１０を正極に、針状
電極２ａを負極に接続すると、アーク８はほぼ鉛直方向
に発生し、穴の内面を均一に加工することができる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、プリント基板にド
リル等で加工されたスルーホール（以下、穴という。）
を仕上げ加工するための小径穴加工装置に関するもので
ある。
リル等で加工されたスルーホール（以下、穴という。）
を仕上げ加工するための小径穴加工装置に関するもので
ある。
【０００２】
【従来の技術】ドリルでプリント基板に穴明け加工をす
ると、穴の内部に切粉が残る場合がある。また、切刃が
磨耗したドリルで穴明け加工をすると、プリント基板の
表面あるいは裏面にバリが発生するだけでなく、摩擦熱
により絶縁性樹脂が溶融して内壁面（以下、内面とい
う。）の表面粗さが大きくなり、溶融した絶縁性樹脂が
銅箔に付着（以下、付着した絶縁性樹脂をスミアとい
う。）する。さらに、近年、配線パターンの高密度化に
伴い穴の直径もドリル加工の限界に近い０．１ｍｍまで
小径化されてきている。
ると、穴の内部に切粉が残る場合がある。また、切刃が
磨耗したドリルで穴明け加工をすると、プリント基板の
表面あるいは裏面にバリが発生するだけでなく、摩擦熱
により絶縁性樹脂が溶融して内壁面（以下、内面とい
う。）の表面粗さが大きくなり、溶融した絶縁性樹脂が
銅箔に付着（以下、付着した絶縁性樹脂をスミアとい
う。）する。さらに、近年、配線パターンの高密度化に
伴い穴の直径もドリル加工の限界に近い０．１ｍｍまで
小径化されてきている。
【０００３】加工部に切粉やスミアが残っていると、後
工程の銅メッキ処理工程において銅箔と銅メッキとの接
続部の不良発生率が高くなり、信頼性あるいは製作歩留
まりを向上させることができない。直径が０．３ｍｍ以
上の穴の場合、切粉やスミアを機械的に除去する超音波
洗浄あるいは化学的に溶融させる化学デスミア処理が有
効であるが、直径が０．３ｍｍ未満の穴に対しては効果
が少ない。そこで、放電に伴って発生する熱エネルギを
利用して直径が０．３ｍｍ未満の穴を仕上げ加工するこ
とが提案されている。
工程の銅メッキ処理工程において銅箔と銅メッキとの接
続部の不良発生率が高くなり、信頼性あるいは製作歩留
まりを向上させることができない。直径が０．３ｍｍ以
上の穴の場合、切粉やスミアを機械的に除去する超音波
洗浄あるいは化学的に溶融させる化学デスミア処理が有
効であるが、直径が０．３ｍｍ未満の穴に対しては効果
が少ない。そこで、放電に伴って発生する熱エネルギを
利用して直径が０．３ｍｍ未満の穴を仕上げ加工するこ
とが提案されている。
【０００４】図５はこのような放電の熱エネルギを利用
する従来の小径穴加工装置の構成図であり、図６は加工
部の断面図である。図で、１はプリント基板である。２
ａ、２ｂは針状電極であり、プリント基板１の上下に対
向させて配置されている。３はＣ形の電極固定部材で、
針状電極２ａ、２ｂを保持している。４は電源で、針状
電極２ａ、２ｂに接続されている。５、６は図示しない
数値制御装置によって制御されるモータで、モータ５は
電極固定部材３を左右方向に移動させ、モータ６はプリ
ント基板１を前後方向に移動させる。７はプリント基板
１に加工された穴であり、８はアークである。
する従来の小径穴加工装置の構成図であり、図６は加工
部の断面図である。図で、１はプリント基板である。２
ａ、２ｂは針状電極であり、プリント基板１の上下に対
向させて配置されている。３はＣ形の電極固定部材で、
針状電極２ａ、２ｂを保持している。４は電源で、針状
電極２ａ、２ｂに接続されている。５、６は図示しない
数値制御装置によって制御されるモータで、モータ５は
電極固定部材３を左右方向に移動させ、モータ６はプリ
ント基板１を前後方向に移動させる。７はプリント基板
１に加工された穴であり、８はアークである。
【０００５】次に、上記従来の小径穴加工装置の動作を
説明する。モータ５、６を駆動して針状電極２ａ、２ｂ
を穴７の中心に位置決めしてから、電源４を所定の時間
オンして針状電極２ａ、２ｂ間に電圧を印加し、針状電
極２ａ、２ｂ間にコロナ放電あるいはプラズマ放電（以
下、単に放電という。）を発生させる。すると、アーク
８の発生に伴って発生する熱により穴７内に残留してい
た切粉やスミアおよびばりが溶融除去され、加工部すな
わち、穴７の入口部、出口部および内面は滑らかにな
る。
説明する。モータ５、６を駆動して針状電極２ａ、２ｂ
を穴７の中心に位置決めしてから、電源４を所定の時間
オンして針状電極２ａ、２ｂ間に電圧を印加し、針状電
極２ａ、２ｂ間にコロナ放電あるいはプラズマ放電（以
下、単に放電という。）を発生させる。すると、アーク
８の発生に伴って発生する熱により穴７内に残留してい
た切粉やスミアおよびばりが溶融除去され、加工部すな
わち、穴７の入口部、出口部および内面は滑らかにな
る。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】上記従来装置の場合、
寸法の大きいプリント基板１を加工するために電極固定
部材３の懐寸法Ｋを長くすると、電極固定部材３の質量
が大きくなり、針状電極２ａ、２ｂを高速で移動させ、
かつ正確に位置決めすることが困難になった。また、懐
寸法Ｋを短くすると、加工できるプリント基板１の寸法
が制限され、加工能率を向上させることができなかっ
た。
寸法の大きいプリント基板１を加工するために電極固定
部材３の懐寸法Ｋを長くすると、電極固定部材３の質量
が大きくなり、針状電極２ａ、２ｂを高速で移動させ、
かつ正確に位置決めすることが困難になった。また、懐
寸法Ｋを短くすると、加工できるプリント基板１の寸法
が制限され、加工能率を向上させることができなかっ
た。
【０００７】本発明の目的は、寸法の大きいプリント基
板１に加工された穴を能率良く仕上げ加工をすることが
できるプリント基板の小径穴加工装置を提供するにあ
る。
板１に加工された穴を能率良く仕上げ加工をすることが
できるプリント基板の小径穴加工装置を提供するにあ
る。
【０００８】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
め、請求項１の発明は、穴の両側に配置した１対の電極
間に放電を発生させ、前記放電に伴って発生する熱によ
り前記穴を仕上げ加工するプリント基板の小径穴加工装
置において、前記電極の一方を線状電極、他方を針状電
極とし、前記針状電極の移動方向を前記線状電極の方向
とすることを特徴とする。
め、請求項１の発明は、穴の両側に配置した１対の電極
間に放電を発生させ、前記放電に伴って発生する熱によ
り前記穴を仕上げ加工するプリント基板の小径穴加工装
置において、前記電極の一方を線状電極、他方を針状電
極とし、前記針状電極の移動方向を前記線状電極の方向
とすることを特徴とする。
【０００９】また、請求項２の発明は、穴の両側に配置
した１対の電極間に放電を発生させ、前記放電に伴って
発生する熱により前記穴を仕上げ加工するプリント基板
の小径穴加工装置において、前記電極の一方を線状電
極、他方を複数の針状電極を直線上に配置した集合電極
とし、前記集合電極を前記線状電極に対向させて配置し
たことを特徴とする。
した１対の電極間に放電を発生させ、前記放電に伴って
発生する熱により前記穴を仕上げ加工するプリント基板
の小径穴加工装置において、前記電極の一方を線状電
極、他方を複数の針状電極を直線上に配置した集合電極
とし、前記集合電極を前記線状電極に対向させて配置し
たことを特徴とする。
【００１０】また、請求項３の発明は、請求項１または
請求項２において、印加する電圧を直流電圧とし、前記
線状電極を正極に、前記針状電極を負極に接続すること
を特徴とする。
請求項２において、印加する電圧を直流電圧とし、前記
線状電極を正極に、前記針状電極を負極に接続すること
を特徴とする。
【００１１】
【発明の実施の形態】以下、本発明を図示の実施の形態
に基づいて説明する。図１は本発明の実施の形態に係る
プリント基板の小径穴加工装置の構成図、図２は加工部
の断面図であり、図５、６と同じものまたは同一機能の
ものは同一符号を付して説明を省略する。
に基づいて説明する。図１は本発明の実施の形態に係る
プリント基板の小径穴加工装置の構成図、図２は加工部
の断面図であり、図５、６と同じものまたは同一機能の
ものは同一符号を付して説明を省略する。
【００１２】１０は下部電極で、頂部１０ａが線状に形
成され、材質は耐熱性に優れるタングステンである。下
部電極１０はベース１１上に左右方向に固定され、直流
の電源４の正極に接続されている。１２はホルダで、針
状電極２ａを保持している。針状電極２ａは材質が耐熱
性に優れるタングステンあるいはトリウム入りのタング
ステンで形成され、電源４の負極に接続されている。１
３はサドルで、ホルダ１２を上下方向移動自在に支持し
ている。１４はＣ形のコラムで、図示しない両側の柱は
ベース１１に垂直方向に固定され、水平な梁部はサドル
１３を左右方向移動自在に支持している。そして、ホル
ダ１２に保持された針状電極２ａは頂部１０ａに対向す
るように構成されている。
成され、材質は耐熱性に優れるタングステンである。下
部電極１０はベース１１上に左右方向に固定され、直流
の電源４の正極に接続されている。１２はホルダで、針
状電極２ａを保持している。針状電極２ａは材質が耐熱
性に優れるタングステンあるいはトリウム入りのタング
ステンで形成され、電源４の負極に接続されている。１
３はサドルで、ホルダ１２を上下方向移動自在に支持し
ている。１４はＣ形のコラムで、図示しない両側の柱は
ベース１１に垂直方向に固定され、水平な梁部はサドル
１３を左右方向移動自在に支持している。そして、ホル
ダ１２に保持された針状電極２ａは頂部１０ａに対向す
るように構成されている。
【００１３】次に、本実施の形態に係る小径穴加工装置
の動作を説明する。予め、ホルダ１２を上下方向に移動
させ、針状電極２ａの先端と頂部１０ａとの距離をプリ
ント基板１の厚さに応じて位置決めしておく。モータ６
を駆動して加工しようとする穴７の中心を頂部１０ａに
位置決めすると共に、モータ５によりサドル１３を移動
させて針状電極２ａを穴７の中心に位置決めする。次に
電源４を所定の時間オンして針状電極２ａと下部電極１
０との間に電圧を印加し、針状電極２ａと頂部１０ａと
の間に放電を発生させる。すると、発生したアーク８に
伴う放射熱により穴７内に残留する切粉やスミアおよび
ばりは溶融除去され、穴７の入口部、出口部および内面
は滑らかになる。
の動作を説明する。予め、ホルダ１２を上下方向に移動
させ、針状電極２ａの先端と頂部１０ａとの距離をプリ
ント基板１の厚さに応じて位置決めしておく。モータ６
を駆動して加工しようとする穴７の中心を頂部１０ａに
位置決めすると共に、モータ５によりサドル１３を移動
させて針状電極２ａを穴７の中心に位置決めする。次に
電源４を所定の時間オンして針状電極２ａと下部電極１
０との間に電圧を印加し、針状電極２ａと頂部１０ａと
の間に放電を発生させる。すると、発生したアーク８に
伴う放射熱により穴７内に残留する切粉やスミアおよび
ばりは溶融除去され、穴７の入口部、出口部および内面
は滑らかになる。
【００１４】本実施の形態では、下部電極１０を電源４
の正極に、針状電極２ａを負極に接続したから、陰極点
は針状電極２ａの先端に形成され、アーク８は針状電極
２ａと頂部１０ａを最短距離で結ぶように、すなわち針
状電極２ａ先端のほぼ鉛直線上に発生し、穴７の内面を
均一に仕上げることができる。
の正極に、針状電極２ａを負極に接続したから、陰極点
は針状電極２ａの先端に形成され、アーク８は針状電極
２ａと頂部１０ａを最短距離で結ぶように、すなわち針
状電極２ａ先端のほぼ鉛直線上に発生し、穴７の内面を
均一に仕上げることができる。
【００１５】図３は本発明の実施の形態に係る他のプリ
ント基板の小径穴加工装置の構成図であり、図１、５と
同じものまたは同一機能のものは同一符号を付して説明
を省略する。２０は集合電極で、複数の針状電極２ａｉ
（ｉ＝１〜ｎ）が絶縁材２１に直線上に並べて配置さ
れ、総ての針状電極２ａｉが頂部１０ａに対向するよう
にしてホルダ１２に保持されている。２２ｉ（ｉ＝１〜
ｎ）はスイッチで、両端はそれぞれ針状電極２ａｉと電
源４に接続されている。
ント基板の小径穴加工装置の構成図であり、図１、５と
同じものまたは同一機能のものは同一符号を付して説明
を省略する。２０は集合電極で、複数の針状電極２ａｉ
（ｉ＝１〜ｎ）が絶縁材２１に直線上に並べて配置さ
れ、総ての針状電極２ａｉが頂部１０ａに対向するよう
にしてホルダ１２に保持されている。２２ｉ（ｉ＝１〜
ｎ）はスイッチで、両端はそれぞれ針状電極２ａｉと電
源４に接続されている。
【００１６】次に、上記他の実施の形態の動作を説明す
る。モータ６を駆動して加工しようとする穴７の中心を
頂部１０ａに位置決めすると共に、モータ５を駆動して
針状電極２ａｉを穴７の中心に位置決めする。この際、
穴７に最も近い針状電極２ａｉを穴７の中心に位置決め
する。次に当該針状電極２ａｉに接続されたスイッチ２
２ｉをオンして針状電極２ａｉと頂部１０ａとの間に電
圧を印加し、所定の時間、針状電極２ａｉと頂部１０ａ
との間に放電を発生させる。すると、発生したアーク８
に伴う放射熱により穴７内に残留する切粉やスミアおよ
びばりは溶融除去され、穴７の入口部、出口部および内
面は滑らかになる。
る。モータ６を駆動して加工しようとする穴７の中心を
頂部１０ａに位置決めすると共に、モータ５を駆動して
針状電極２ａｉを穴７の中心に位置決めする。この際、
穴７に最も近い針状電極２ａｉを穴７の中心に位置決め
する。次に当該針状電極２ａｉに接続されたスイッチ２
２ｉをオンして針状電極２ａｉと頂部１０ａとの間に電
圧を印加し、所定の時間、針状電極２ａｉと頂部１０ａ
との間に放電を発生させる。すると、発生したアーク８
に伴う放射熱により穴７内に残留する切粉やスミアおよ
びばりは溶融除去され、穴７の入口部、出口部および内
面は滑らかになる。
【００１７】この実施の形態では、針状電極２ａｉを複
数設け、加工しようとする穴７に最も近い針状電極２ａ
ｉを穴７に位置決めするから、サドル１３の移動距離は
短くなり、サドル１３の移動時間を短縮できる。
数設け、加工しようとする穴７に最も近い針状電極２ａ
ｉを穴７に位置決めするから、サドル１３の移動距離は
短くなり、サドル１３の移動時間を短縮できる。
【００１８】図４は上記他の実施の形態の変形例として
の集合電極２０と下部電極１０の配置を示す図で、集合
電極２０と下部電極１０が１０組設けてある。そして、
集合電極２０には、最も幅が広いプリント基板１を加工
できる数の針状電極２ａが紙面と垂直な左右方向に２ｍ
ｍ間隔で配置されている。また、集合電極２０は左右方
向に互いに０．２ｍｍずつずらせて配置してある。この
ようにすると、隣合う針状電極２ａｉの間隔が２ｍｍで
あっても、前後方向から見た針状電極２ａｉの間隔は
０．２ｍｍとなり、サドル１３をほとんど動かす必要が
ない。同様に、上部電極２０と下部電極１０の組を２０
組にして集合電極２０を左右方向に互いに０．１ｍｍず
つずらせて配置すると、前後方向から見た針状電極２ａ
ｉの間隔は０．１ｍｍとなる。したがって、サドル１３
を固定することができ、プリント基板１だけを移動させ
れば良いから、移動機構を簡略化することができる。動
作は上記と実質的に同じであるから説明を省略する。
の集合電極２０と下部電極１０の配置を示す図で、集合
電極２０と下部電極１０が１０組設けてある。そして、
集合電極２０には、最も幅が広いプリント基板１を加工
できる数の針状電極２ａが紙面と垂直な左右方向に２ｍ
ｍ間隔で配置されている。また、集合電極２０は左右方
向に互いに０．２ｍｍずつずらせて配置してある。この
ようにすると、隣合う針状電極２ａｉの間隔が２ｍｍで
あっても、前後方向から見た針状電極２ａｉの間隔は
０．２ｍｍとなり、サドル１３をほとんど動かす必要が
ない。同様に、上部電極２０と下部電極１０の組を２０
組にして集合電極２０を左右方向に互いに０．１ｍｍず
つずらせて配置すると、前後方向から見た針状電極２ａ
ｉの間隔は０．１ｍｍとなる。したがって、サドル１３
を固定することができ、プリント基板１だけを移動させ
れば良いから、移動機構を簡略化することができる。動
作は上記と実質的に同じであるから説明を省略する。
【００１９】なお、上記では電源４を直流の電源とした
が、交流の電源であっても良い。
が、交流の電源であっても良い。
【００２０】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
穴の両側に配置した１対の電極間に放電を発生させ、前
記放電に伴って発生する熱により前記穴を仕上げ加工す
るプリント基板の小径穴加工装置において、前記電極の
一方を線状電極、他方を針状電極とし、前記針状電極の
移動方向を前記線状電極の方向としたから、針状電極だ
けを移動させれば良く、電極の保持手段が軽量になる結
果、移動速度が速くなり、位置決めが容易になって作業
性が向上する。また、線状電極を複数にすると、移動距
離を短くできるから、より作業性が向上する。さらに、
針状電極と線状電極を複数組並べると、電極を総て固定
することができ、移動機構を簡略化することができる。
そして、印加する電圧を直流電圧とし、前記線状電極を
正極に、前記針状電極を負極に接続するから、アークは
ほぼ鉛直方向に発生し、穴の内面を均一に加工すること
ができる。
穴の両側に配置した１対の電極間に放電を発生させ、前
記放電に伴って発生する熱により前記穴を仕上げ加工す
るプリント基板の小径穴加工装置において、前記電極の
一方を線状電極、他方を針状電極とし、前記針状電極の
移動方向を前記線状電極の方向としたから、針状電極だ
けを移動させれば良く、電極の保持手段が軽量になる結
果、移動速度が速くなり、位置決めが容易になって作業
性が向上する。また、線状電極を複数にすると、移動距
離を短くできるから、より作業性が向上する。さらに、
針状電極と線状電極を複数組並べると、電極を総て固定
することができ、移動機構を簡略化することができる。
そして、印加する電圧を直流電圧とし、前記線状電極を
正極に、前記針状電極を負極に接続するから、アークは
ほぼ鉛直方向に発生し、穴の内面を均一に加工すること
ができる。
【図１】本発明の実施の形態に係る小径穴加工装置の構
成図である。
成図である。
【図２】本発明の実施の形態に係る加工部の断面図であ
る。
る。
【図３】本発明の実施の形態に係る他の小径穴加工装置
の構成図である。
の構成図である。
【図４】図３の変形例を示す図である。
【図５】従来の小径穴加工装置の構成図である。
【図６】従来の加工部の断面図である。
【符号の説明】 ２ａ 針状電極 ４ 電源 ５、６ モータ ７ 穴 ８ アーク １０ 線状電極 １０ａ 頂部
Claims (3)
- 【請求項１】 穴の両側に配置した１対の電極間に放電
を発生させ、前記放電に伴って発生する熱により前記穴
を仕上げ加工するプリント基板の小径穴加工装置におい
て、前記電極の一方を線状電極、他方を針状電極とし、
前記針状電極の移動方向を前記線状電極の方向とするこ
とを特徴とするプリント基板の小径穴加工装置。 - 【請求項２】 穴の両側に配置した１対の電極間に放電
を発生させ、前記放電に伴って発生する熱により前記穴
を仕上げ加工するプリント基板の小径穴加工装置におい
て、前記電極の一方を線状電極、他方を複数の針状電極
を直線上に配置した集合電極とし、前記集合電極を前記
線状電極に対向させて配置したことを特徴とするプリン
ト基板の小径穴加工装置。 - 【請求項３】 印加する電圧を直流電圧とし、前記線状
電極を正極に、前記針状電極を負極に接続することを特
徴とする請求項１または請求項２いずれかに記載のプリ
ント基板の小径穴加工装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP579198A JPH11197950A (ja) | 1998-01-14 | 1998-01-14 | プリント基板の小径穴加工装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP579198A JPH11197950A (ja) | 1998-01-14 | 1998-01-14 | プリント基板の小径穴加工装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11197950A true JPH11197950A (ja) | 1999-07-27 |
Family
ID=11620921
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP579198A Pending JPH11197950A (ja) | 1998-01-14 | 1998-01-14 | プリント基板の小径穴加工装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11197950A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002232120A (ja) * | 2001-01-31 | 2002-08-16 | Hamamatsu Photonics Kk | 基板の表面処理装置 |
| KR100593381B1 (ko) * | 2000-07-14 | 2006-06-28 | 엘지전자 주식회사 | 아크를 이용한 기판의 홀가공방법 및 장치 |
| CN102271881A (zh) * | 2008-12-02 | 2011-12-07 | 皮可钻机公司 | 将结构引入衬底中的方法 |
| JP2016055295A (ja) * | 2014-09-05 | 2016-04-21 | 旭硝子株式会社 | ガラス基板に貫通孔を形成する装置および方法 |
| CN107442830A (zh) * | 2017-09-30 | 2017-12-08 | 中国航天科技集团公司烽火机械厂 | 一种用于精加工的立铣刀及其加工方法 |
| CN108214650A (zh) * | 2018-01-22 | 2018-06-29 | 吉安市满坤科技有限公司 | 一种具有防护功能的印制电路板冲孔装置 |
-
1998
- 1998-01-14 JP JP579198A patent/JPH11197950A/ja active Pending
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100593381B1 (ko) * | 2000-07-14 | 2006-06-28 | 엘지전자 주식회사 | 아크를 이용한 기판의 홀가공방법 및 장치 |
| JP2002232120A (ja) * | 2001-01-31 | 2002-08-16 | Hamamatsu Photonics Kk | 基板の表面処理装置 |
| JP4509404B2 (ja) * | 2001-01-31 | 2010-07-21 | 浜松ホトニクス株式会社 | 基板の表面処理装置 |
| CN102271881A (zh) * | 2008-12-02 | 2011-12-07 | 皮可钻机公司 | 将结构引入衬底中的方法 |
| JP2016055295A (ja) * | 2014-09-05 | 2016-04-21 | 旭硝子株式会社 | ガラス基板に貫通孔を形成する装置および方法 |
| CN107442830A (zh) * | 2017-09-30 | 2017-12-08 | 中国航天科技集团公司烽火机械厂 | 一种用于精加工的立铣刀及其加工方法 |
| CN108214650A (zh) * | 2018-01-22 | 2018-06-29 | 吉安市满坤科技有限公司 | 一种具有防护功能的印制电路板冲孔装置 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| Rattan et al. | Experimental set up to improve machining performance of silicon dioxide (quartz) in magnetic field assisted TW-ECSM process | |
| CN102166676A (zh) | 绝缘陶瓷往复走丝电火花线切割加工方法及装置 | |
| US4847463A (en) | Method for the electroerosive machining of electrically slightly or non-conductive workpieces, as well as electroerosion machine for performing the method | |
| Arab et al. | Micro array hole formation in glass using electrochemical discharge machining | |
| JPH11197950A (ja) | プリント基板の小径穴加工装置 | |
| JP4892718B2 (ja) | 電解加工方法および電解加工装置 | |
| CN114523165B (zh) | 一种在半导体材料上制备阵列孔的激光增强超声电解复合加工方法及装置 | |
| CN100418685C (zh) | 非导电硬质材料的电火花成型加工方法 | |
| Renjith et al. | Machining characteristics of micro-magnetic field assisted EDM (µ-MFAEDM) | |
| JPH09225750A (ja) | 放電加工方法およびその装置 | |
| US9878386B2 (en) | Eccentric electrode for electric discharge machining, method of manufacturing the same, and micro electric discharge machining apparatus including the same | |
| JP2010105051A (ja) | 形彫放電加工方法および形彫放電加工装置 | |
| JPS60255316A (ja) | ワイヤカツト放電加工装置 | |
| JPH11170119A (ja) | 放電加工用電極保持装置 | |
| CN101554670A (zh) | 电火花攻丝机 | |
| Sarkar et al. | Electrochemical discharge micro-machining of engineering materials | |
| CN209698455U (zh) | 电弧放电微爆加工与车削复合加工机床 | |
| JP2000354914A (ja) | 放電加工機 | |
| CN1184045C (zh) | 金属丝放电加工方法及装置 | |
| JP4147722B2 (ja) | 放電加工装置 | |
| CN201223980Y (zh) | 电火花攻丝机 | |
| CN218487397U (zh) | 放电加工装置 | |
| JP6089672B2 (ja) | マルチワイヤ放電加工装置およびその加工方法。 | |
| JPH0847819A (ja) | 燃料集合体におけるアダプタープレートの放電加工による孔明け方法 | |
| JPS63200920A (ja) | ワイヤ放電加工装置のワーク取付治具 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A977 | Report on retrieval |
Effective date: 20051110 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20051115 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Effective date: 20060322 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 |