JP4126448B2 - 半導体発光装置の製造方法 - Google Patents
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【発明の属する技術分野】
本発明は半導体発光装置とその製造方法に関し、特にページプリンタ用感光ドラムの露光用光源などに用いられる半導体発光装置とその製造方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来の半導体発光装置を図3ないし図4に示す。図3は断面図、図4は平面図である。図3ないし図4において、21はシリコン基板、22は一導電型半導体層、23は逆導電型半導体層、24は個別電極、25は共通電極、26は絶縁膜である。
【0003】
シリコン基板21上に、一導電型半導体層22と逆導電型半導体層23を一導電型半導体層22よりも逆導電型半導体層23が小面積となるように設けると共に、この一導電型半導体層22の露出部Rに共通電極25(25a、25b)を接続して設け、逆導電型半導体層23に個別電極24を接続して設けている。なお、図3および図4において、26は窒化シリコン膜などから成る保護膜である。
【0004】
また、図4に示すように、共通電極25(25a、25b)は隣接する島状半導体層22、23ごとに異なる群に属するように二群に分けて接続して設けられ、隣接する島状半導体層22、23が同じ個別電極24に接続されている。
【0005】
このような半導体発光装置では、個別電極24と共通電極25(25a、25b)の組み合わせを選択して電流を流すことによって、各発光ダイオードを選択的に発光させることができる。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】
ところが、この従来の半導体発光装置では、半導体層22、23を発光素子に分離する際にメサエッチングを行って島状に形成し、さらに発光素子の電気的な分離を行うために、高抵抗シリコン基板21上に拡散したAs層の除去を行っていたが、窒化シリコン膜などから成る保護膜26をプラズマCVD法などで形成する際に、プラズマCVD等の水素プラズマによるダメージからシリコン界面が活性状態となって、シリコン基板21と窒化シリコン膜26の界面に電気導電層が形成され、その結果、発光素子間の電気的分離が不十分になるという問題があった。シリコン基板21と窒化シリコン膜26の界面での漏れ電流によって各発光ダイオードの選択的な発光が阻害され、発光効率の低下や発光ばらつきの原因となり、延いては発光の選択性が完全に失われる原因となっていた。
【0007】
通常は自然酸化膜が数十Å程度形成されているが、窒化シリコン膜26を形成する時の水素プラズマで除去されるため、自然酸化膜程度の膜では効果がない。
【0008】
また、プラズマCVD法等で酸化膜を形成する場合、工程が煩雑になると同時に、島状半導体層22、23上にも形成されることから、発光強度の低下をまねく。また、これを回避するためには、パターンニングが必要となり、より一層の煩雑な工程になるという問題があった。
【0009】
本発明はこのような従来の問題点に鑑みてなされたものであり、シリコン基板と窒化シリコン膜の界面に電気導電層が形成されることに起因して発生する発光効率の低下や発光バラつきを解消すると共に、発光の選択性を安定化した半導体発光装置とその製造方法を提供することを目的とする。
【0010】
【課題を解決するための手段】
【0012】
本発明の半導体発光装置の製造方法では、シリコン基板上に島状のGaAs系の一導電型半導体層を列状に複数形成すると共に、この一導電型半導体層上にこの一導電型半導体層の一端部側の一部が露出するようにGaAs系の逆導電型半導体層を形成し、この一導電型半導体層の露出部と前記逆導電型半導体層上に電極を接続して形成する半導体発光装置の製造方法において、前記シリコン基板上に島状の半導体層を形成した後に、このシリコン基板の露出部を酸化雰囲気中でプラズマアッシングすることで酸化層を形成し、しかる後この酸化層と前記島状半導体層上に窒化シリコン膜を形成する。
【0013】
【発明の実施の形態】
以下、本発明を添付図面に基づき詳細に説明する。
図1は本発明に係る半導体発光装置の一実施形態を示す断面図、図2は平面図である。
【0014】
図1および図2において、1はシリコン基板、2は一導電型半導体層、3は逆導電型半導体層、4は個別電極、5は共通電極、6は絶縁膜、7は酸化膜である。
【0015】
シリコン基板1としては、(100)面を<011>方向に2〜7°オフさせた基板などが好適に用いられる。
【0016】
一導電型半導体層2は、バッファ層2a、オーミックコンタクト層2b、電子の注入層2cで構成される。バッファ層2aは2〜4μm程度の厚みに形成され、オーミックコンタクト層2bは0.1〜1.0μm程度の厚みに形成され、電子の注入層2cは0.2〜0.4μm程度の厚みに形成される。バッファ層2aとオーミックコンタクト層2bはガリウム砒素などで形成され、電子の注入層2cはアルミニウムガリウム砒素などで形成される。オーミックコンタクト層2bはシリコンなどの一導電型半導体不純物を1×1018〜1022atoms/cm3 程度含有し、電子の注入層2cはシリコンなどの一導電型半導体不純物を1×1016〜1019atoms/cm3 程度含有する。バッファ層2aは基板1と半導体層との格子定数の不整合に基づくミスフィット転位を防止するために設けるものであり、半導体不純物を含有させる必要はない。
【0017】
逆導電型半導体層3は、発光層3a、第2のクラッド層3b、および第2のオーミックコンタクト層3cで構成される。発光層3aと第2のクラッド層3bは0.2〜0.4μm程度の厚みに形成され、オーミックコンタクト層3cは0.01〜0.1μm程度の厚みに形成される。発光層3aと第2のクラッド層3bはアルミニウムガリウム砒素などから成り、第2のオーミックコンタクト層3cはガリウム砒素などから成る。
【0018】
発光層3aと第2のクラッド層3bは、電子の閉じ込め効果と光の取り出し効果を考慮してアルミニウム砒素(AlAs)とガリウム砒素(GaAs)との混晶比を異ならしめる。発光層3aと第2のクラッド層3bは亜鉛(Zn)などの逆導電型半導体不純物を1×1016〜1018atoms/cm3 程度含有し、第2のオーミックコンタクト層3cは亜鉛などの逆導電型半導体不純物を1×1019〜1020atoms/cm3 程度含有する。
【0019】
シリコン1上の島状半導体層2、3が形成されない領域には、酸化層7が形成されている。この酸化層7は、酸化シリコン膜から成り、厚み50Å以上に形成される。このようにシリコン1上の島状半導体層2、3が形成されない領域に酸化層7を形成すると、窒化シリコン膜から成る保護膜6を形成する際に、シリコン基板1と窒化シリコン膜6の界面に電気導電層が形成されることが防止できる。なお、シリコン基板1上には自然酸化膜が形成されており、この不活性な表面に酸素プラズマのみで酸化層を形成するので、シリコン基板1と酸化層7との界面に電気導電層が形成されることはない。また、酸化層7が形成された後には、活性シリコンとは異なり、安定な表面上への成膜であるため、酸化層7と窒化シリコン膜6の界面にも電気導電層が形成されることはない。その結果、発光素子間の電気的分離を安定化でき、シリコン基板1の表面部での漏れ電流を低減し、各発光ダイオードの選択的な発光を得ることができる。さらに、発光効率の低下や発光ばらつきも改善できる。この酸化層の膜厚が50Å以下の場合、酸化層が除去されて所望の効果を得にくくなり、50〜100Å程度の酸化層7を形成することが望ましい。
【0020】
上記酸化層7と島状半導体層2、3上には窒化シリコン膜6が形成される。この窒化シリコン膜6は保護膜としての機能を有し、厚み3000Å程度に形成される。また、一導電型半導体層2の露出部と逆導電型半導体層3上には、コンタクトホールC1 C2 が形成されている。このコンタクトホールC1 C2 を介して共通電極5と個別電極4が一導電型半導体2と逆導電型半導体層3に接続されている。この個別電極4と共通電極5は金/クロム(Au/Cr)などから成り、厚み1μm程度に形成される。
【0021】
本発明の半導体発光装置では、図2に示すように、一導電型半導体層2と逆導電型半導体層3から成る島状半導体層2、3を基板1上に一列状に並べて、隣接する島状半導体層2、3毎に同じ個別電極4に接続し、同じ個別電極4に接続された下の一導電型半導体層2が異なる共通電極5に接続されるように二群に分けて接続される。個別電極4を選択して電流を流すことによってページプリンタ用感光ドラムの露光用光源として用いられる。
【0022】
次に、上述のような半導体発光装置の製造方法を説明する。まず、シリコン基板1上に、一導電型半導体層2、逆導電型半導体層3をMOCVD法などで順次積層して形成する。
【0023】
これらの半導体層2、3を形成する場合、基板温度をまず400〜500℃に設定して200〜2000Åの厚みにアモルファス状のガリウム砒素膜を形成した後、基板温度を700〜900℃に上げて所望厚みの半導体層2、3を形成する。
【0024】
この場合、原料ガスとしてはTMG((CH3 )3 Ga)、TEG((C2 H5 )3 Ga)、アルシン(AsH3 )、TMA((CH3 )3 Al)、TEA((C2 H5 )3 Al)などが用いられ、導電型を制御するためのガスとしては、シラン(SiH4 )、セレン化水素(H2 Se)、TMZ((CH3 )3 Zn)などが用いられ、キャリアガスとしては、H2 などが用いられる。
【0025】
次に、隣接する素子同志が電気的に分離されるように、半導体層2、3が島状にパターニングされる。このエッチングは、硫酸過酸化水素系のエッチング液を用いたウエットエッチングやCCl2 F2 ガスを用いたドライエッチングなどで行われる。
【0026】
次に、一導電型半導体層2の一端部側の一部が露出し、且つこの一導電型半導体層2の隣接する領域部分が露出するように逆導電型半導体層3をエッチングする。このエッチングも硫酸過酸化水素系のエッチング液を用いたウェットエッチングやCCl2 F2 ガスを用いたドライエッチングなどで行なわれる。
【0027】
次に、例えばバレル型プラズマ処理装置を用いたプラズマアッシング法で、酸素(O2)雰囲気中でシリコン酸化層7をシリコン基板1の露出面に形成する。アッシングの場合、高周波電力に依存してシリコン基板1上のみに酸化層7が形成できる。例えば高周波500W、酸素プラズマ中で15分間処理した場合と300Wで15分間処理した場合では、酸化膜17は、それぞれ100Åと40Åで膜厚に差が見られる。と同時にこれらの条件で形成した時のカソード電極5間の漏れ電流は、図5に示すように、有意差が見られる。なお、図5は、LEDアレイ128個をカソードライン25aと25bの群単位間に流れる電流の総和の比較であり、参考にシリコン基板面内の分布を示しており、基板周辺部では漏れ電流が1.5mAであったものが0.4mA程度まで改善している。なお、酸化雰囲気中のプラズマ処理ではGaAsは酸化されず、シリコンのみが酸化される。
【0028】
次に、プラズマCVD法で、シランガス(SiH4 )とアンモニアガス(NH3 )を用いて窒化シリコンから成る絶縁膜6を全面、すなわち酸化膜7上と島状半導体層2、3上に形成してコンタクトホールC1 C2 が形成されるようにパターニングする。最後に、クロムと金を蒸着法やスパッタリング法で形成してパターニングすることにより完成する。
【0029】
【発明の効果】
【0030】
以上のように、本発明の半導体発光装置の製造方法によれば、シリコン基板上に島状のGaAs系の半導体層を形成した後に、このシリコン基板の露出部を酸化雰囲気中でプラズマアッシングを行うことで酸化層を形成し、しかる後この酸化層と前記島状半導体層上に窒化シリコン膜を形成することから、窒化シリコン膜から成る保護膜を形成する際に、シリコン基板と窒化シリコン膜の界面に電気導電層が形成されることを防止できる。その結果、発光素子間の電気的分離を安定化でき、シリコン基板と窒化シリコン膜の界面での漏れ電流を低減し、各発光ダイオードの選択的な発光を保つことができる。さらに、発光効率の低下や発光ばらつきも改善できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係る半導体発光装置の一実施形態を示す断面図である。
【図2】本発明に係る半導体発光装置の一実施形態を示す平面図である。
【図3】従来の半導体発光装置を示す断面図である。
【図4】従来の半導体発光装置を示す平面図である。
【図5】半導体発光装置の漏れ電流を示す図である。
【符号の説明】
1………基板、2………一導電型半導体層、3………逆導電型半導体層、4………個別電極、5………共通電極、6………絶縁膜 7………酸化膜
Claims (1)
- シリコン基板上に島状のGaAs系の一導電型半導体層を列状に複数形成すると共に、この一導電型半導体層上にこの一導電型半導体層の一端部側の一部が露出するようにGaAs系の逆導電型半導体層を形成し、この一導電型半導体層の露出部と前記逆導電型半導体層上に電極を接続して形成する半導体発光装置の製造方法において、前記シリコン基板上に島状の一導電型半導体層と逆導電型半導体層を形成した後に、このシリコン基板の露出部を酸化雰囲気中でプラズマアッシングすることで酸化層を形成し、しかる後この酸化層と前記島状半導体層上に窒化シリコン膜を形成することを特徴とする半導体発光装置の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP04739799A JP4126448B2 (ja) | 1999-02-25 | 1999-02-25 | 半導体発光装置の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP04739799A JP4126448B2 (ja) | 1999-02-25 | 1999-02-25 | 半導体発光装置の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2000252519A JP2000252519A (ja) | 2000-09-14 |
JP4126448B2 true JP4126448B2 (ja) | 2008-07-30 |
Family
ID=12773993
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP04739799A Expired - Fee Related JP4126448B2 (ja) | 1999-02-25 | 1999-02-25 | 半導体発光装置の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4126448B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100833313B1 (ko) * | 2006-01-02 | 2008-05-28 | 삼성전기주식회사 | 질화갈륨계 발광다이오드 소자 및 그의 제조방법 |
KR102309092B1 (ko) * | 2014-12-29 | 2021-10-06 | 쑤저우 레킨 세미컨덕터 컴퍼니 리미티드 | 발광 소자 및 이를 포함하는 발광 소자 어레이 |
KR102294318B1 (ko) * | 2015-03-26 | 2021-08-26 | 엘지이노텍 주식회사 | 발광 소자 및 이를 포함하는 발광 소자 어레이 |
-
1999
- 1999-02-25 JP JP04739799A patent/JP4126448B2/ja not_active Expired - Fee Related
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---|---|
JP2000252519A (ja) | 2000-09-14 |
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A621 | Written request for application examination |
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A521 | Written amendment |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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