JP4119047B2

JP4119047B2 - ダムバーカットダイの製造方法

Info

Publication number: JP4119047B2
Application number: JP18773099A
Authority: JP
Inventors: 祐三野中
Original assignee: Disco Corp
Current assignee: Disco Corp
Priority date: 1999-07-01
Filing date: 1999-07-01
Publication date: 2008-07-16
Anticipated expiration: 2019-07-01
Also published as: JP2001015665A

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体ペレットがボンディングされるペレットフレームに形成されたダムバーを切断するのに用いるダムバーカットダイの製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
半導体ペレットがボンディングされるペレットフレームに形成されたダムバーを切断する際は、ダムバーカットダイ及びダムバーカッターが組み合わされて使用される。
【０００３】
例えば、図４に示すダムバーカットダイ３０は、ダムバー切断装置に装着されてダムバーの切断に使用されるもので、櫛刃部３１に硬度が要求されることから、全体が超硬合金等の超硬部材により形成されている。
【０００４】
そして、繰り返しの使用により切れ味が悪くなって切断能力が低下したり切断不能となった場合には、ダムバーカットダイ３０全体をダムバー切断装置から取り外して廃棄し、新たなダムバーカットダイと交換して使用するようにしている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、ダムバーカットダイ３０は、超硬合金の焼結体から一体成形されるため、単価が高い。しかも、このように単価の高いダムバーカットダイの切断能力が低下したり切断不能となった場合に、ダムバーカットダイ３０全体を廃棄して新たなものと交換するのは極めて不経済である。
【０００６】
また、超硬部材は難切削材であり、通常の金属等と比較すると加工に多くの工数を要する上に、本体部３２はダムバー切断装置に対応した固有の形状に形成されなければならないため、ダムバーカットダイ３０の発注から完成までには、一般的には２０日〜４０日の日数を要する。従って、このような納期の長さが原因で、ダムバーカットダイの使用者は、ダムバーの切断作業を比較的長期間中断しなければならず、生産性の低下を招くという問題もある。
【０００７】
このように、ダムバーカットダイを用いたダムバーの切断においては、可能な限り安く、かつ速くダムバーカットダイの製造を行うことにより、経済性、生産性を向上させることに課題を有している。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するための具体的手段として本発明は、
櫛刃が形成されていない本体部と、櫛刃部が形成される超硬部材とが分離して存在し、本体部の被固着部に超硬部材を固着してユニットを形成する工程と、本体部に形成されている位置規制部を基準位置としてユニットを切削装置の保持手段に保持する工程と、切削装置に備えたブレードによって該超硬部材に櫛刃部を形成する工程とから構成されるダムバーカットダイの製造方法において、ダムバーカットダイにおける切断機能が低下しまたは不能となった櫛刃部を本体部から離脱させる工程と、本体部の被離脱部に超硬部材を固着してユニットを形成する工程と、本体部に形成されている位置規制部を基準位置としてユニットを切削装置の保持手段に保持する工程と、切削装置に備えたブレードによって超硬部材に櫛刃部を形成する工程とから構成されるダムバーカットダイの製造方法を提供する。
【０００９】
このように構成されるダムバーカットダイの製造方法及びダムバーカットダイによれば、従来のように全体が超硬部材によって一体形成されているのではなく、櫛刃部のみを超硬部材にすることができ、超硬部材の使用量が減って単価を低減することができる。また、櫛刃部の切断能力が低下したり切断不能となった場合でも、櫛刃部のみを交換すればよい。
【００１０】
また、本体部の交換は不要であることから、本体部についてのみ種々のダムバー切断装置に対応した固有の形状のものを予め用意しておけば、櫛刃部については同一形状のものをそれぞれ形状の異なる本体部に固着して使用できるため、汎用的に使用することができ、製造に要する日数を短縮することができる。
【００１１】
更に、従来のように櫛刃部と本体部とが超硬部材により一体成形されているダムバーカットダイにおいても、櫛刃部を切断してそこに新たな超硬部材を固着して櫛刃部を形成すれば、全体を交換するより安価に新規なダムバーカットダイを形成することができる。
【００１２】
【発明の実施の形態】
本発明の実施の形態として、図１に示す切削装置１０を用いてダムバーカットダイを製造する方法及びその方法により製造されるダムバーカットダイについて説明する。
【００１３】
まず最初に、図２（Ａ）に示すように、本体部１１と、超硬部材１２とを用意し、本体部１１の被固着部１３に、図２（Ｂ）−（イ）のように超硬部材１２を粘着力の強力な接着剤によって固着する。本体部は、安価で加工しやすい部材で構成することが望ましい。なお、本体部１１と超硬部材１２とは図２（Ｂ）−（ロ）のようにボルトＢで固定してもよい。
【００１４】
次に、本体部１１と超硬部材１２とが一体となったユニット１４を切削装置１０の保持手段１５に載置し、図２（Ｃ）に示すように、保持手段１５に備えた治具１６に形成されたガイド部１７にガイドされながらユニット１４をスライドさせることにより、ユニット１４の位置規制部１８がストッパ１７ａに当接して基準位置に位置付けられる。
【００１５】
そして、基準位置に位置付けられたユニット１４は、図２（Ｄ）に示すように、ネジ１９を締めることにより固定される。こうして保持手段１５に固定されたユニット１４は、保持手段１５がＸ軸方向に移動して切削手段２０の作用を受ける。
【００１６】
図１及び図２（Ｄ）を参照して説明すると、切削手段２０においては、スピンドルハウジング２１によって回転可能に支持されたスピンドル２２の先端に切削ブレード２３が装着されており、保持手段１５が一度＋Ｘ方向に移動して切削手段２０より＋Ｘ方向側に移動した後、スピンドル２２及び切削ブレード２３が回転しながら切削手段２０が下降し、保持手段１５が−Ｘ方向に移動することにより、高速回転する切削ブレード２３が超硬部材１２に接触し櫛刃が形成される。なお、切削ブレード２３の厚みが櫛刃の間隔と等しくなるように調整されていれば、一回の切削によって所望の間隔の櫛刃を形成することができる。
【００１７】
このような動作を切削手段２０のＹ軸方向の割り出し送りと共に繰り返すことにより、図２（Ｅ）に示すように、超硬部材１２が櫛刃部２４となり、櫛刃部２４と本体部１１とからなるダムバーカットダイ２５が形成される。
【００１８】
このように、櫛刃部２４と本体部１１とからなるダムバーカットダイ２５は、従来のように全体が超硬部材によって一体形成されているのではなく、櫛刃部のみに超硬部材が使用され、本体部は安価な部材で構成できるため、単価を低減することができる。また、櫛刃部２４の切れ味が低下した場合も、櫛刃部のみを交換すればよいため、この点においても経済的である。
【００１９】
更に、本体部１１の交換は不要であるため、本体部１１についてのみ種々のダムバー切断装置に対応した固有の形状のものを予め用意しておけば、櫛刃部２４については同一形状のものをそれぞれ形状の異なる本体部１１に固着して使用できる。即ち、櫛刃部は汎用的に使用することができる。従って、製造に要する日数を短縮することができる。そして、ダムバーの切断作業を長期間中断することがなくなるため、切断作業の生産性が向上する。
【００２０】
次に、使用により切断能力が低下したり切断不能となったりしたダムバーカットダイの櫛刃部を離脱させて新たな櫛刃部を取り付けることにより新たなダムバーカットダイを製造する方法について説明する。
【００２１】
図３（Ａ）に示す従来のダムバーカットダイ３０は、図４に示したものと同様に、全体が超硬部材により形成され、櫛刃部３１の切断能力が低下したときは、従来はダムバーカットダイ３０全体を交換していたが、本発明においては櫛刃部３１のみを交換する。
【００２２】
即ち、図３（Ｂ）に示すように、２点鎖線で示した線に沿って櫛刃部３１を水平方向に切断して離脱させる。そして、図２（Ａ）〜（Ｅ）に示した方法と同様の方法により、新たな超硬部材を、切断により本体部３２に形成された切断面である被離脱部に固着して切削装置を用いて超硬部材に櫛刃を形成していき、櫛刃部を形成する。このような方法によれば、ダムバーカットダイ３０全体を交換することなく櫛刃部のみを交換するだけで済むため、単価を低減することができる。また、本体部３２は、すでにダムバー切断装置に対応した形状となっているため、ダムバー切断装置に対応した固有の形状にする必要がない。従って、製造に要する日数を短縮することができる。
【００２３】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明に係るダムバーカットダイの製造方法及びダムバーカットダイによれば、従来のように全体が超硬部材によって形成されているのではなく、櫛刃部のみを超硬部材にすることができるため、超硬部材の使用量が減ると共に、本体部を安価で加工しやすい部材で構成することができる。従って、単価を低減することができるため、経済的である。また、櫛刃部の切断能力が低下したり切断不能となった場合でも、櫛刃部のみを交換すればよいため、この点においても経済性を向上させることができる。
【００２４】
また、本体部の交換は不要であり、本体部についてのみ種々のダムバー切断装置に対応した固有の形状のものを予め用意しておけば、櫛刃部については同一形状のものをそれぞれ形状の異なる本体部に固着して使用できるため、汎用的に使用することができ、製造に要する日数を短縮することができる。そして、ダムバーの切断作業を長期間中断することがなくなるため、生産性を向上させることができる。
【００２５】
更に、従来のように櫛刃部と本体部とが超硬部材により一体成形されているダムバーカットダイにおいても、櫛刃部を切断してそこに新たな超硬部材を固着して櫛刃部を形成すれば、全体を交換するより安価に新規なダムバーカットダイを形成することができるため、既存のダムバーカットダイを有効活用することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係るダムバーカットダイの製造に用いる切削装置の一例を示す斜視図である。
【図２】本発明に係るダムバーカットダイの製造方法を工程順に示した斜視図である。
【図３】従来のダムバーカットダイを切断し、本発明に係るダムバーカットダイの製造方法によって新たなダムバーカットダイを形成する方法を示す斜視図である。
【図４】従来のダムバーカットダイを示す斜視図である。
【符号の説明】
１０・・・切削装置１１・・・本体部１２・・・超硬部材
１３・・・被固着部１４・・・ユニット１５・・・保持手段
１６・・・治具１７・・・ガイド部１７ａ・・・ストッパ
１８・・・位置規制部１９・・・ネジ２０・・・切削手段
２１・・・スピンドルハウジング２２・・・スピンドル
２３・・・切削ブレード２４・・・櫛刃部
２５・・・ダムバーカットダイ
３０・・・ダムバーカットダイ３１・・・櫛刃部
３２・・・本体部

Claims

櫛刃が形成されていない本体部と、櫛刃部が形成される超硬部材とが分離して存在し、該本体部の被固着部に超硬部材を固着してユニットを形成する工程と、該本体部に形成されている位置規制部を基準位置として該ユニットを切削装置の保持手段に保持する工程と、該切削装置に備えたブレードによって該超硬部材に櫛刃部を形成する工程とから構成されるダムバーカットダイの製造方法において、
該ダムバーカットダイにおける切断機能が低下しまたは不能となった該櫛刃部を該本体部から離脱させる工程と、該本体部の被離脱部に超硬部材を固着してユニットを形成する工程と、該本体部に形成されている位置規制部を基準位置として該ユニットを切削装置の保持手段に保持する工程と、該切削装置に備えたブレードによって該超硬部材に櫛刃部を形成する工程とから構成されるダムバーカットダイの製造方法。