JP4115306B2 - 半導体装置の製造方法 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は半導体装置の製造方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
電子部品の高密度実装への要求が強くなっており、ベアチップ実装方式が注目されている。ベアチップ実装における接続構造は、ワイヤボンディング法によるフェイスアップ実装からはんだバンプを用いたフリップチップ接合等のフェイスダウン実装へと変わってきている。はんだバンプを用いた接合では、半導体素子の表面の電極上にはんだバンプを形成する。はんだバンプの形成方法として、電解めっきを利用する方法がある(例えば、特許文献1参照)。
【0003】
図5(a)に示すように、従来のはんだバンプの形成方法においては、半導体基板50の表面にレジスト(絶縁膜)56を設け、レジストの半導体基板の電極52の位置に開口部を設け、そして、電解めっきによりこの開口部内にはんだバンプとなる金属58を供給する。この金属58はレジストの表面から突出する高さまで形成される。
【0004】
この方法によれば、レジストの厚さが厚いほど、背の高いはんだバンプを形成することができる。狭いピッチではんだバンプを形成する場合、はんだバンプの面積は小さくなるので、はんだバンプの高さを高くして、必要なはんだの量を確保するのが望ましい。電解めっきを用いてはんだバンプを形成すると、比較的に安価に、狭いピッチで、背の高いはんだバンプを形成することができる。
【0005】
レジストとして、液状のフォトレジストをスピンコートにより塗布し、あるいは、均一な膜厚のドライフィルムレジストを使用することができる。ドライフィルムレジストは厚いものが容易に入手できるので、背の高いはんだバンプを形成するのに適している。
【0006】
【特許文献1】
特開平6−13382号公報(第3−4頁、図1)
【0007】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、厚いレジストを使用すると、レジストを半導体基板から剥離しにくいという問題点がある。はんだバンプとなる金属がレジストの表面から突出する高さで形成される場合、めっき金属の一部がレジストの表面を覆い、図5(b)の様にのこ状の形状になるため、剥離液がレジストとめっき金属との間及びレジストと半導体基板との間に浸入しにくい。ドライフィルムレジストを使用する場合、アルカリ液をドライフィルムレジストに浸透させて膨潤させて剥離させる。剥離液がレジストとめっき金属との間及びレジストと半導体基板との間に浸入しにくいと、レジストが完全に剥離されず、レジストの残渣60がはんだバンプの周辺や半導体基板の表面に残ることがある。レジスト残渣60は吸湿しやすいので、イオンマイグレーションが起こり、バンプ間ショートの原因となる。よって、レジスト残渣を残さないようにするためには、はんだバンプの高さをレジストの厚さよりも低くしなければならないため、狭いピッチではんだバンプを形成する場合、必要なはんだの量を確保するのが難しい。はんだ量不足は、接合不良または接合後のはんだバンプによる応力緩和能力の低下など、接合信頼性を低下させる。
【0008】
本発明の目的は狭いピッチで良好なはんだバンプを形成することができるようにした半導体装置の製造方法を提供することである。
【0009】
【課題を解決するための手段】
本発明による半導体装置の製造方法は、表面に電極を有する半導体素子或いは回路配線基板の表面に絶縁膜を形成する工程と、該電極上の該絶縁膜をパターニング後除去し開口部を形成する工程と、該開口部に第1の金属を供給する工程と該第1の金属を加熱して溶融させ、凝固させる工程と、該開口部に第1の金属に重ねて第2の金属を供給する工程と該第1の金属と第2の金属とを加熱して溶融させ、凝固させる工程と、該絶縁膜を除去する工程とを含むことを特徴とするものである。
【0010】
この構成によれば、第1の金属を供給し、加熱して溶融させ、そして凝固させたときに、その体積の変化によって絶縁膜に応力がかかり、絶縁膜が剥離しやすい状態になる。それから、第2の金属を供給し、第1及び第2の金属を加熱して溶融させ、そして凝固させる。その後で、絶縁膜を除去するとき、絶縁膜は剥離しやすい状態になっているので、基板から確実に剥離される。そのため、狭いピッチで良好なはんだバンプを形成することができる。
【0011】
【発明の実施の形態】
以下本発明の実施例について図面を参照して説明する。
【0012】
図1は本発明の実施例によるはんだバンプの形成方法を示す図である。図1(A)において、LSIウエハ(半導体基板)10を準備する。LSIウエハ10には集積回路製造プロセスがすでに行われており、LSIウエハ10の表面に電極12が形成されている。電極12は公知のようにして集積回路に接続されている。この実施例においては、はんだバンプをLSIウエハ10に形成するが、はんだバンプを電極を有するその他の基板(例えば回路配線基板)に形成することもできる。
【0013】
図3はめっき用の導体20を設けたLSIウエハ10の例を示す図である。めっき用の導体20は蒸着や無電解めっき等によってLSIウエハ10の表面に設けられる。はんだバンプの形成が終了した後で、めっき用の導体20のはんだバンプのまわりの部分は除去される。
【0014】
図1(A)を参照して、電極12の位置に開口部14を有するレジスト(絶縁膜)16を形成する。最初レジスト16を電極12を有するLSIウエハ10の表面に設け、それから、レジスト16のLSIウエハ10の電極12の位置に開口部14を設ける。レジスト16は、液状のフォトレジストをスピンコートにより塗布し、あるいは、ドライフィルムレジストを使用することができる。液状のフォトレジストは加熱して硬化した後で、開口部14をフォトリソプロセスにより設ける。ドライフィルムレジストはLSIウエハ10に貼りつけ、加熱した硬化した後で、開口部14をフォトリソプロセスにより設ける。ドライフィルムレジストは均一な膜厚の厚いものが容易に入手できるので、背の高いはんだバンプを形成するのに適している。ここでは、ドライフィルムレジストを使用している。
【0015】
次いで、開口部14内に第1の金属18を供給する。第1の金属18の供給はレジスト16をマスクとして電気めっきまたは蒸着により行う。実施例においては、第1の金属18は電解めっきにより形成される。このとき、電極12上のめっき用の導体20はめっき用の電源に接続される。
【0016】
第1の金属18は加熱して溶融させ、そして凝固させると体積が増加する性質をもつ金属であり、好ましくは、Bi又はBiを主成分とする合金である。第1の金属18の供給量は形成されるはんだバンプの20〜70wt%の範囲内にあるようにする。従って、第1の金属18は開口部14の下方の部分内にある。
【0017】
図1(B)において、第1の金属18のウエットバックを行う。すなわち、第1の金属18を融点以上に加熱して溶融させ、そして凝固させる。
【0018】
図2は図1の幾つかの工程の拡大図である。図2(A)は図1(A)に対応し、第1の金属18が開口部14内に供給されたところを示す。図2(B)は図1(B)に対応し、第1の金属18のウエットバックが行われたところを示す。第1の金属18は加熱して溶融させ、そして凝固させると体積が増加する性質をもつので、レジスト16の開口部14の壁は隣接する第1の金属18の変形による応力を受けて変形し、レジスト16の開口部14の壁の下方部が膨張する形状となる。そのため、レジスト16はLSIウエハ10から部分的に剥離する(または剥離しやすい)状態となっている。
【0019】
図1(C)及び図2(C)において、開口部16内に第1の金属18に重ねて第2の金属22を供給する。この場合にも、第2の金属22の供給は電解めっきにより行う。第2の金属22はレジスト16の表面から突出する高さで形成され、第2の金属22の一部がレジスト16の表面を覆い、きのこ状の形状になるようにする。ただし、第2の金属22同士はレジスト16の表面において互いに接触しないようにする。
【0020】
第2の金属22はSn,Ag,In,Cu,Zn,Sbのうちの少なくとも1つを含む金属からなる。実施例においては、Sn−Biの合金やSn−Agの合金を使用する。
【0021】
図1(D)及び図2(D)において、ウエットバックをする。すなわち、第1及び第2の金属18,22を加熱して溶融させ、そして凝固させる。第1の金属18と第2の金属22とは溶融して混合され、最終的に目標とする合金のはんだバンプ24になる。第1及び第2の金属18,22をレジスト16を残したままウエットバックをすることにより、はんだバンプ24はレジスト16の開口部14の形状に対応した柱状に高いものになり、はんだバンプ24の頂部の形状はほぼ平坦になる。
【0022】
第1の金属18と第2の金属22とが溶融して混合されるときに、第1の金属18の体積の増加する性質はなくなり、はんだバンプ24の第1の金属18が占めていた体積増加部分は表面張力により収縮し、はんだバンプ24とレジスト16の開口部14の壁との間に隙間26が形成される。
【0023】
図1(D)において、レジスト16を溶剤によって剥離除去する。このとき、レジスト16は剥離しやすい状態になっており、かつ、溶剤ははんだバンプ24とレジスト16の開口部14の壁との間の隙間26に浸入し、そしてレジスト/ウエハ界面まで容易に浸透することができるので、レジスト16はLSIウエハ10から確実に剥離される。そのため、図1(C)に示されるように、はんだバンプとなる第1及び第2の金属18,22をきのこ状の形状になるようにレジスト16の表面から突出する高さで形成しても、レジスト16を剥離するときにレジスト16の残渣が残ることはない。そのため、狭いピッチのはんだバンプ24の場合にも、はんだバンプ24の背を高くし、十分なはんだ量をもったはんだバンプ24を形成することができる。
【0024】
次いで、めっき用の導体20をエッチング液で溶解除去した。
【0025】
なお、Biの量を20〜70wt%に選定する理由として、20wt%以下では体積膨張に伴うレジスト変形量が小さく、レジストに及ぼす影響が小さいこと、また70wt%以上では融点の上昇または機械的な性質の劣化により接合信頼性が低下することによる。
【0026】
図4は半導体装置を配線回路板に実装する例を示す図である。はんだバンプ24を形成した後、LSIウエハ10をダイシングして多数のLSIチップ30を形成した。なお、はんだバンプ24は配線回路板に形成することもできる。はんだバンプ24を有するLSIチップ30は、電極32を有するプリント配線基板34に実装される。
【0027】
図4(A),(B)において、LSIチップ30とプリント配線基板34とを位置合わせして、LSIチップ30をプリント配線基板34に向かって押しつける。このとき、LSIチップ30及びプリント配線基板34の少なくとも一方を加熱する。加熱温度ははんだバンプ24の融点以下の温度とし、はんだバンプ24をプリント配線基板34の電極32に突き当てて加圧する。
【0028】
図4(C)において、はんだバンプ24がプリント配線基板34の電極32に押しつけられている状態で、アンダーフィル材36をLSIチップ30とプリント配線基板34との間ではんだバンプ24と電極32との接合部を含む領域に充填する。つまり、はんだバンプ24を樹脂封止する。このようにして、はんだバンプ24と電極32とは機械的及び電気的に接続される。
【0029】
以下はんだバンプの形成及び半導体装置の実装の具体的な例及び比較例についてさらに説明する。
【0030】
(例1)
ピッチサイズが50μm、電極パッド径が30μm(電極数2000個)のLSIウエハ10の表面にドライフィルムレジスト(膜厚30μmのアクリレート系フィルム(日立化成製))16を100℃で貼り付け、露光/現像で電極上部にφ30μmの開口部14を形成する。現像はnメチル2−ピロリドンを用いた。
【0031】
形成した開口部14に第1の金属(Bi)18を電解めっきにより膜厚約15±1μmとなるように成膜した。そして、フラックス(αメタルズ社製)を塗布した後、融点以上の温度でウエットバックした。
【0032】
次に第2の金属(Sn−Bi合金)22を電解めっきにより15±1μmとなるように成膜した(Sn−Bi合金めっき液は石原薬品製)。そして、フラックスを塗布した後、融点以上の温度でウエットバックした。そして最後に5%モノエタノールアミン水溶液で、フィルム状のドライフィルムレジスト16を除去した。その結果、レジスト残渣のない良好なはんだバンプ24を作製することができた。
【0033】
その後、半導体チップ30を搭載する配線基板(BTレジン)34に電極を位置合わせして搭載し、エポキシ系フラックスフィル(千住金属製)にシリカ粉末(平均粒径4μm)を50〜80wt%の割合で混合したアンダーフィル剤を塗布した後、20gの荷重を加えながらMax.230℃融点(138℃)以上約5分の温度プロファイルにてリフロー接合を行った。その結果、良好な接合部を形成できていることを確認した。接続信頼性については、−55〜125℃の温度サイクル試験を2000サイクル行った結果、抵抗上昇は10%以下と良好である。
【0034】
(例2)
ピッチサイズが150μm、電極パッド径が70μm(電極数2000個)のLSIウエハ10の表面にドライフィルムレジスト(膜厚70μmのアクリレート系フィルム(日立化成製))16を100℃で貼り付け、露光/現像で電極上部にφ70μmの開口部14を形成する。現像はnメチル2−ピロリドンを用いた。
【0035】
形成した開口部14に第1の金属(Bi)18を電解めっきにより膜厚約35±5μmとなるように成膜した。そして、フラックス(αメタルズ社製)を塗布した後、融点以上の温度でウエットバックした。
【0036】
次に、第2の金属(Sn−Ag合金)22を電解めっきにより35±5μmとなるように成膜した(Sn−Ag合金めっき液は石原薬品製)。そして、フラックスを塗布した後、融点以上の温度でウエットバックした。そして最後に5%モノエタノールアミン水溶液で、フィルム状のドライフィルムレジスト16を除去した。その結果、レジスト残渣のない良好なはんだバンプ24を作製することができた。
【0037】
半導体チップ30を搭載する配線基板(BTレジン)34に電極を位置合わせして搭載し、エポキシ系フラックスフィル(千住金属製)にシリカ粉末(平均粒径4μm)を50〜80wt%の割合で混合したアンダーフィル剤を塗布した後、20gの荷重を加えながらMax.250℃融点(221℃)以上約3分の温度プロファイルにてリフロー接合を行った。その結果、良好な接合部を形成できていることを確認した。接続信頼性については、−55〜125℃の温度サイクル試験を2000サイクル行った結果、抵抗上昇は10%以下と良好である。
【0038】
(例3)
ピッチサイズが200μm、電極パッド径が100μm(電極数2000個)のLSIウエハ10の表面にドライフィルムレジスト(膜厚100μmのアクリレート系フィルム(日立化成製))16を100℃で貼り付け、露光/現像で電極上部にφ100μmの開口部14を形成する。現像はnメチル2−ピロリドンを用いた。
【0039】
形成した開口部14に第1の金属(Bi)18を電解めっきにより膜厚約50±1μmとなるように成膜した。そして、フラックス(αメタルズ社製)を塗布した後、融点以上の温度でウエットバックした。
【0040】
次に、第2の金属(In)22を電解めっきにより50±1μmとなるように成膜した(Inめっき液は大和化成製)。そして、フラックスを塗布した後融点以上の温度でウエットバックした。そして最後に5%モノエタノールアミン水溶液で、フィルム状のドライフィルムレジスト16を除去した。その結果、レジスト残渣のない良好なはんだバンプ24を作製することができた。
【0041】
半導体チップ30を搭載する配線基板(BTレジン)34に電極を位置合わせして搭載し、エポキシ系フラックスフィル(千住金属製)にシリカ粉末(平均粒径4μm)を50〜80wt%の割合で混合したアンダーフィル剤を塗布した後、20gの荷重を加えながらMax.170℃融点(109℃)以上約5分の温度プロファイルにてリフロー接合を行った。その結果、良好な接合部を形成できていることを確認した。接続信頼性については、−55〜125℃の温度サイクル試験を2000サイクル行った結果、抵抗上昇は10%以下と良好である。
【0042】
(比較例)
ピッチサイズが50μm、電極パッド径が30μm(電極数2000個)のLSIウエハの表面にドライフィルムレジストを100℃で貼り付け、露光/現像で電極上部にφ30μmの開口部を形成する。現像はnメチル2−ピロリドンを用いた。
【0043】
形成した開口部にSn−Bi合金を電解めっきにより膜厚約35±5μmとなるように成膜した。そして、フラックス(αメタルズ社製)と塗布した後融点以上の温度でウエットバックした。次に、5%モノエタノールアミン水溶液で、フィルム状のドライフィルムレジストを除去した。その結果、はんだバンプ近傍全域、または、はんだバンプと電極の界面付近に粘着質のレジスト残渣が残り、洗浄不可能となって良好なはんだバンプを作製することができなかった。
【0044】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、100μm以下ひいては50μm以下のピッチサイズとなる電極を有する半導体素子上に良好なはんだバンプを形成することができる。また、半導体素子と回路配線基板の接合において十分な接合信頼性を確保できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】図1は本発明の実施例によるはんだバンプの形成方法を示す図である。
【図2】図2は図1の幾つかの工程の拡大図である。
【図3】図3はめっき用の導体を設けたLSIウエハの例を示す図である。
【図4】図4は半導体装置を配線回路板に実装する例を示す図である。
【図5】従来例によるはんだバンプの形成方法を示す図である。
【符号の説明】
10…LSIウエハ
12…電極
14…開口部
16…レジスト
18…第1の金属
20…めっき用の導体
22…第2の金属
24…はんだバンプ
26…隙間
Claims (8)
- 表面に電極を有する半導体素子或いは回路配線基板の表面に絶縁膜を形成する工程と、
該電極上の該絶縁膜をパターニング後除去し開口部を形成する工程と、
該開口部に第1の金属を供給する工程と
該第1の金属を加熱して溶融させ、凝固させる工程と、
該開口部に第1の金属に重ねて第2の金属を供給する工程と
該第1の金属と第2の金属とを加熱して溶融させ、凝固させる工程と、
該絶縁膜を除去する工程と
を含むことを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 該開口部への第1の金属及び第2の金属の供給は、電解めっき法あるいは蒸着法のいずれにより供給することを特徴とする請求項1に記載の半導体装置の製造方法。
- 該第1の金属は加熱して溶融させ、そして凝固させると体積が増加する性質をもつ金属であることを特徴とする請求項1に記載の半導体装置の製造方法。
- 該第1の金属の成分としてBiまたはBiを主成分とする合金であることを特徴とする請求項3に記載の半導体装置の製造方法。
- 該第1の金属におけるBiの含有量が、該第1の金属と該第2の金属の総和の20〜70wt%の範囲内にあることを特徴とする請求項1乃至請求項4に記載の半導体装置の製造方法。
- 該第2の金属の成分としてSn,Ag,In,Cu,Zn,Sbのうち少なくとも1種類以上を含むことを特徴とする請求項1乃至請求項2に記載の半導体装置の製造方法。
- 該第2の金属は、該開口部から突出する高さで形成されることを特徴とする請求項1乃至請求項2に記載の半導体装置の製造方法。
- 該絶縁膜は、ドライフィルムレジストからなることを特徴とする請求項1に記載の半導体装置の製造方法。
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