JP4107890B2 - 光導波路デバイス - Google Patents
光導波路デバイス Download PDFInfo
- Publication number
- JP4107890B2 JP4107890B2 JP2002187270A JP2002187270A JP4107890B2 JP 4107890 B2 JP4107890 B2 JP 4107890B2 JP 2002187270 A JP2002187270 A JP 2002187270A JP 2002187270 A JP2002187270 A JP 2002187270A JP 4107890 B2 JP4107890 B2 JP 4107890B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- optical waveguide
- substrate
- input
- optical
- strip line
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/21—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour by interference
- G02F1/225—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour by interference in an optical waveguide structure
- G02F1/2255—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour by interference in an optical waveguide structure controlled by a high-frequency electromagnetic component in an electric waveguide structure
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/03—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on ceramics or electro-optical crystals, e.g. exhibiting Pockels effect or Kerr effect
- G02F1/0305—Constructional arrangements
- G02F1/0316—Electrodes
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Nonlinear Science (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Ceramic Engineering (AREA)
- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
- Optical Modulation, Optical Deflection, Nonlinear Optics, Optical Demodulation, Optical Logic Elements (AREA)
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、光導波路を有し、光信号に対し電気光学効果を与える圧電基板を用いた光導波路デバイスに関する。特に、マッハ・ツェンダー(Mach-Zender)型光変調器に好適な光導波路デバイスに関する。
【0002】
【従来の技術】
マッハ・ツェンダー(Mach-Zender)型光変調器の一種として、平行する第1、第2の光導波路のそれぞれを伝播する光信号の位相を独立に制御可能な光導波路デバイスは、外部からの高周波電気信号により第1、第2の光導波路を伝播する光信号の位相を制御して光強度変調するデュアル・ドライブ(Dual-Drive)型光変調器として知られ、高速長距離光通信伝送システムに用いられている。
【0003】
かかるデュアル・ドライブ(Dual-Drive)型光変調器では、電気光学効果を有する圧電基板に形成された、平行する第1、第2の光導波路(それぞれ適宜、アームと呼ぶ)を伝播する光信号の位相を独立に外部電気信号により制御する。すなわち各アームの光導波路の屈折率を独立に制御することが可能である。
【0004】
図1は、かかるデュアル・ドライブ(Dual-Drive)型光変調器の原理を示す模式図である。
【0005】
図1において、圧電基板1上に第1、第2の光導波路10、11が形成され、それらに共通に光入力部(OPT−in)からの光信号が分岐入力される。第1、第2の光導波路10、11を伝播した光信号は、光出力部(OPT−out)から再び結合されて出力される。
【0006】
前記第1、第2の光導波路10、11に効率よく電界を印加できるように進行波電極20、21が各アームの光導波路10、20の近傍に設けられる。すなわち、一方の進行波電極20(21)が、一方のアーム10(11)を伝播する光信号の位相を制御し、もう一つの進行波電極21(20)が他方のアーム11(10)を伝播する光信号の位相を制御する。
【0007】
このような光変調器を用いて、意味のある光変調を実現するためには、各々の進行波電極20,21に相関のあるマイクロ波帯の変調用信号(例えば、DATA=QとそのDATAの反転=/Q)を、タイミングを合わせて入力する必要がある。
【0008】
図2は、図1における進行波電極20,21に入力されるマイクロ波帯の変調用信号としてV1=Q、V2=/Qの例を示す図である。 図3は、この変調用信号V1=Qと、V2=/Qの位相差に対応して出力される光変調された光信号出力を示す図である。
【0009】
ここで通常、電気光学効果を利用したデュアル・ドライブ(Dual-Drive)型光変調器においては、図1に示すように、光導波路10,11に並走して進行波電極20、21を形成する。また、進行波電極20、21の入力部20−1、21−1がストリップ線路として光導波路10,11と同じ面に配置される。
【0010】
さらに、進行波電極20、21のストリップ線路による入力部20−1、21−1の間隔は、変調信号としてのマイクロ波を入力する電気コネクタの間隔とは異なって配置される。この間隔の相違により、各アームを伝播する光信号に対して与えられる電界は、電気コネクタでの図2に示すような同期した入力マイクロ波の相対的な位相関係から、ずれた位相で光信号と相互作用することになる。
【0011】
これを回避するために、圧電基板1上に入力部20−1、21−1の間隔と、電気コネクタの間隔との差を考慮した、タイミング補正用のディレイライン(ストリップ線路の引き回し構造)を設けている。
【0012】
【発明が解決しようとする問題点】
上記の従来構成では、電気コネクタの筐体への実装ピッチに比例して、チップ上に設けるディレイライン長が決まる。この時、圧電基板1の誘電率が大きく、従って圧電基板1上に設けられるタイミング調整用のディレイラインの長さ分、マイクロ波が光信号との相互作用領域に到達するまでの減衰が大きいものとなる。これは、光変調器の帯域劣化を引き起こす要因となる。
【0013】
したがって、本発明の目的は、圧電基板上に設けられるディレイラインを短く形成することを可能とし、伝送帯域の改善が得られる光導波路デバイスを提供することにある。
【0014】
【課題を解決するための手段】
上記の本発明の課題を達成する光導波路デバイスの第1の側面は、第1の光導波路と第2の光導波路と、前記第1の光導波路を伝播する光信号と相互作用する第1の電気信号が進行する第1の電極と、前記第2の光導波路を伝播する光信号と相互作用する第2の電気信号が進行する第2の電極が形成された、電気光学効果を有する第1の基板と、前記第1の基板上に、更に前記第1及び第2の電極のそれぞれに対応する第1及び第2の入力部が配置され、更に、前記第1及び第2の入力部と、対応するそれぞれ前記第1の電気信号及び第2の電気信号を供給する第1及び第2の電気コネクタとを接続するストリップ線路が形成された第2の基板とを備え、
前記第2の基板に形成されたストリップ線路の前記第1及び第2の入力部に接続される側の間隔が、前記第1及び第2の電気コネクタに接続される側の間隔よりも狭くなるように構成されていることを特徴とする。
【0015】
上記の本発明の課題を達成する光導波路デバイスの第2の側面は、電気光学効果を有する第1の基板と、前記第1の基板に形成された入力部光導波路と、前記入力部光導波路を第1の光導波路と第2の光導波路とに分岐する入力側導波路分岐部と、前記第1の光導波路と第2の光導波路とを合波させる出力側合波部と、前記第1の光導波路を伝播する光と相互作用し光の位相を制御する第1の電気信号が進行する第1の電極と、前記第2の光導波路を伝播する光と相互作用し光の位相を制御する第2の電気信号が進行する第2の電極とを有し、前記第1及び第2の電極にそれぞれ対応する第1及び第2の入力部が前記第1の基板の同一側の面に配置され、前記第1及び第2の入力部と、対応する第1及び第2のそれぞれ前記第1の電気信号及び第2の電気信号を供給する第1及び第2の電気コネクタとを接続するストリップ線路が形成された第2の基板を備え、前記第2の基板に形成されたストリップ線路の前記第1及び第2の入力部に接続される側の間隔が、前記第1及び第2の電気コネクタに接続される側の間隔よりも狭くなるように構成されていることを特徴とする。
【0016】
上記において,前記第2の基板上に形成されたストリップ線路としてコプレナ線路が形成されているようにすることが可能である。
【0017】
上記において,前記電気光学効果を有する圧電基板としてLiNbO3を用いることが可能である。
【0018】
上記において,前記第1及び第2の電気信号は、マイクロ波帯の周波数を有し、光変調器を構成することが可能である。
さらに,上記の本発明の課題を達成する光導波路デバイスの第3の側面は、電気光学効果を有する基板上に形成された第1の光導波路と第2の光導波路と,前記第1の光導波路に対応する領域に形成され,第1の電気信号が入力される第1の電極と,前記第2の光導波路に対応する領域に形成され,第2の電気信号が入力される第2の電極と,前記基板上の前記第1及び第2の電極のそれぞれ対応する第1及び第2の入力部と,前記第1及び第2の入力部と,前記第1と第2の電気信号をそれぞれ対応する前記第1及び第2の入力部に供給する第1及び第2の電気コネクタとを接続する,第2の基板上のストリップ線路とを有し,前記第1及び第2の入力部に接続される一面側のストリップ線路間の距離が前記第1及び第2の電気コネクタに接続される他面側のストリップ線路間の距離よりも狭くなるように構成されていることを特徴とする。
【0019】
本発明の特徴は、以下に図面に従い説明される発明の実施の形態例から更に明らかになる。
【0020】
【発明の実施の形態】
ここで、本発明の理解を容易とするべく、発明の実施の形態例の説明に先立って、更に先に説明した従来の構造とその問題点について説明しておく。
【0021】
図4は、従来構成の光変調器の構成例である。筺体1内に、例えばLiNbO3結晶から切り出されたチップ状の圧電基板1を収容している。
【0022】
圧電基板1上には、一定の間隔Gを持って平行する第1、第2の光導波路10,11が形成されている。第1、第2の光導波路10,11の一端側が光入力部(OPT−in)となり光信号が入力され、反対側の光出力部(OPT−out)から伝播し、変調された光信号が出力される。
【0023】
さらに、圧電基板1に形成された第1、第2の光導波路10,11に沿って進行波電極20,21が配置されている。筺体1には、圧電基板1上の第1、第2の光導波路10,11が形成されている側と同一面側に、中継基板としてのセラミック基板3が設けられている。
【0024】
ここで、進行波電極20,21には光入力信号の伝播方向と同一方向に変調信号が供給される。この変調信号は光導波路10,11に沿って進行した後、終端抵抗12により終端される。
【0025】
ストリップ線路30,31の一端側は、外部からマイクロ波を供給するためのコネクタ40,41に接続されている。また、その他端側は、パッド50,51と接続されている。
【0026】
ここで、第1、第2の光導波路10,11における入力部20−1,21−1の間隔とコネクタ40,41の間隔従って、パッド50,51の間隔とが異なっている。
【0027】
このために、第1、第2の光導波路10,11の入力部20−1,21−1は、これらの間隔の相違を補正するべく引き回しのストリップ線路によるディレイライン20−2を有している。
【0028】
この様な図4の形態において、パッド50,51の間隔とコネクタ40,41の配置間隔を調整するディレイライン20−2の長さDは、次のようになる。
【0029】
D=(L’+G+2Z)/2 ・・・(1)
ただし、L’:パッド間隔、G:2つの進行波電極20,21の相互作用領域における間隔である。
【0030】
図5は、図4において、上記式(1)において、Z=0とした時の構成例である。
【0031】
ここで、圧電基板1の誘電率は、セラミック基板3の誘電率に比較して大きく、誘電率の大きな領域にパッド50,51の間隔とコネクタ40,41の配置間隔を調整するディレイライン20−2を設けることは、マイクロ波が光信号との相互作用領域に到達するまでの減衰が大きいものとなり、従って光変調器の帯域劣化を引き起こす要因となる。
【0032】
本発明はかかる不都合を解決するものである。図6は、本発明の一実施の形態例であり、従来例の図4に対応して示される。図6における特徴は、中継基板であるセラミック基板3の構成にあり、セラミック基板3に形成されるストリップ線路30,31を平行に配置せずに、パッド50,51の間隔を、コネクタ40,41の配置間隔より狭くなるようにしている。他の構成は、図4に示す構成と同様である。
【0033】
図7は、図6におけるセラミック基板3の拡大図である。図7において、片側全面に金属膜を蒸着したセラミック基板を用意する。ついで、金属膜の接地導体領域300及び、ストリップ線路30,31の部分を除いて、エッチングにより除去する。これにより、ストリップ線路30,31は、コプレナ線路を形成している。
【0034】
セラミック基板3の端面におけるストリップ線路30,31の周囲はガラスによるハーメッチックシール301を施す。図7において、ストリップ線路30,31のa側の端部は、各々パッド50,51に接続され、ストリップ線路30,31のb側の端部はコネクタ40,41と接続される。
【0035】
また、セラミック基板3の両端面の他の部分302は、蝋材により筐体2に接地接続される。
【0036】
このようなセラミック基板3の構成により、本発明において、パッド50,51の間隔とコネクタ40,41の配置間隔を調整するディレイライン20−2の長さDを短くすることができる。
【0037】
図8は、本発明におけるディレイライン20−2の長さD’と、図4、図5におけるディレイライン20−2の長さDとの比較を説明する図である。図8における参照番号は、図4と対応関係にあるものについては同一の参照番号を使用している。
【0038】
図8において、破線で示したストリップ線路は、図4に対応し、実線で示したストリップラインが本発明による場合である。
【0039】
ディレイライン20−2の長さD’は、同様に上記(1)式により表されるが、パッド50,51の間隔は、コネクタ間隔よりも(L−L’)分狭くなっている。
【0040】
したがって、この(L−L’)分のディレイライン20−2の長さが短縮され、マイクロ波が光信号との相互作用領域に到達するまでの減衰を小さくすることができる。
【0041】
図9は、図5に対応する本発明の実施の形態例である。この実施の形態においても誘電率の大きい圧電基板2において、(L- L’)分のディレイライン20−2の長さが短縮され、マイクロ波が光信号との相互作用領域に到達するまでの減衰を小さくすることができる。
【0042】
ここで、実施例として現実的なコネクタ40,41のサイズを考慮すると、図4、図5に示す従来例では、L=L'=4mm程度、また、第1、第2の光導波路10,11間のギャップGは、G=0.2mm、Z=0.2mm程度である。
【0043】
図4の従来例においては、ディレイライン20−2の長さは、D=2.3mm程度である。また、図5の従来例においては、D=2.1mm程度である。
【0044】
これに対し、本発明では、L'=1.0mm程度とした場合、図6の実施例の場合、ディレイライン20−2の長さはD’=0.8mm程度、図9の実施例の場合、D’=0.6mm程度となる。
【0045】
いずれの場合も、引き回し部の電極長(ディレイライン20−2の長さ)を1.5mm程度(L−L’)分圧縮をかけることが可能となる。
【0046】
圧電基板1の入力パッド部50、51より光マイクロ波相互作用完了地点(図6のFP点)までの全電極長を20mmとした時、1.5mmの電極長圧縮により、図10に示すように、マイクロ波透過特性の改善が可能となる。
【0047】
図10において、特性インピーダンスを50Ωに設定し、横軸に入力マイクロ波の周波数を、縦軸にパッド50,51からダミーロード12までの入力マイクロ波の減衰量を示している。L’=4.0mmは図4に示す従来例の場合、L’=1.0mmは、図6に示す本発明の実施の形態の場合のマイクロ波透過特性図である。図10により本発明の適用により広帯域に渉って、マイクロ波透過特性の改善されていることが理解できる。
【0048】
【発明の効果】
図面に従い本発明の実施の形態例を説明したように、光導波路デバイスにおいて、誘電率の高い圧電基板上に設けるディレイラインを短くすることで、コネクタより光信号とマイクロ波の相互作用領域までにおけるマイクロ波の減衰を抑圧し、帯域を改善することが可能である。
【図面の簡単な説明】
【図1】デュアル・ドライブ(Dual-Drive)型光変調器の原理を示す模式図である。
【図2】図1における進行波電極20,21に入力されるマイクロ波帯の変調用信号としてV1=Q、V2=/Qの例を示す図である。
【図3】図2に示す変調用信号V1=Qと、V2=/Qの位相差に対応して出力される光変調された光信号出力を示す図である。
【図4】従来構成の光変調器の構成例である。
【図5】図4において、(1)式において、Z=0した時の構成例である。
【図6】従来例の図4に対応して示される本発明の一実施の形態例である。
【図7】図6におけるセラミック基板3の拡大図である。
【図8】本発明におけるディレイライン20−2の長さD’と、図4、図5におけるディレイライン20−2の長さDとの比較を説明する図である。
【図9】図5に対応する本発明の実施の形態例である。
【図10】本発明によるマイクロ波透過特性の改善を示す図である。
【符号の説明】
1 圧電基板
2 筺体
3 セラミック基板
10,11 光導波路
20,21 進行波電極
20−1,21−1 進行波電極の入力部
20−2 ディレイライン
30,31 ストリップライン
40,41 コネクタ
50,51 パッド
Claims (6)
- 第1の光導波路と第2の光導波路と、前記第1の光導波路を伝播する光信号と相互作用する第1の電気信号が進行する第1の電極と、前記第2の光導波路を伝播する光信号と相互作用する第2の電気信号が進行する第2の電極が形成された、電気光学効果を有する第1の基板と、
前記第1の基板上に、更に前記第1及び第2の電極のそれぞれに対応する第1及び第2の入力部が配置され、
更に、前記第1及び第2の入力部と、対応するそれぞれ前記第1の電気信号及び第2の電気信号を供給する第1及び第2の電気コネクタとを接続するストリップ線路が形成された第2の基板とを備え、
更に、前記第1の基板は、前記第1及び第2の入力部が接続され且つ前記ストリップ線路が接続される第1及び第2のパッドと、前記第1及び第2のパッドの間隔と前記第1及び第2の電気コネクタの配置間隔を調整するディレイラインを具備し、
前記第2の基板に形成されたストリップ線路の前記第1及び第2の入力部に接続される側の間隔が、前記第1及び第2の電気コネクタに接続される側の間隔よりも狭くなるように構成されている
ことを特徴とする光導波路デバイス。 - 電気光学効果を有する第1の基板と、
前記第1の基板に形成された入力部光導波路と、
前記入力部光導波路を第1の光導波路と第2の光導波路とに分岐する入力側導波路分岐部と、
前記第1の光導波路と第2の光導波路とを合波させる出力側合波部と、
前記第1の光導波路を伝播する光と相互作用し光の位相を制御する第1の電気信号が進行する第1の電極と、
前記第2の光導波路を伝播する光と相互作用し光の位相を制御する第2の電気信号が進行する第2の電極とを有し、
前記第1及び第2の電極にそれぞれ対応する第1及び第2の入力部が前記第1の基板の同一側の面に配置され、
前記第1及び第2の入力部と、対応する第1及び第2のそれぞれ前記第1の電気信号及び第2の電気信号を供給する第1及び第2の電気コネクタとを接続するストリップ線路が形成された第2の基板を備え、
更に、前記第1の基板に形成された、前記第1及び第2の入力部が接続され且つ前記ストリップ線路が接続される第1及び第2のパッドと、
前記第1の基板に形成された、前記第1及び第2のパッドの間隔と前記第1及び第2の電気コネクタの配置間隔を調整するディレイラインを具備し、
前記第2の基板に形成されたストリップ線路の前記第1及び第2の入力部に接続される側の間隔が、前記第1及び第2の電気コネクタに接続される側の間隔よりも狭くなるように構成されている
ことを特徴とする光導波路デバイス。 - 請求項1または2において、
前記第2の基板上に形成されたストリップ線路としてコプレナ線路が形成されていることを特徴とする光導波路デバイス。 - 請求項1または2において、
電気光学効果を有する第1の基板としてLiNbO3を用いたことを特徴とする光導波路デバ
イス。 - 請求項1または2において、
前記第1及び第2の電気信号は、マイクロ波帯の周波数を有し、光変調器を構成することを特徴とする光導波路デバイス。 - 電気光学効果を有する第1の基板上に形成された第1の光導波路と第2の光導波路と,
前記第1の光導波路に対応する領域に形成され,第1の電気信号が入力される第1の電極と,
前記第2の光導波路に対応する領域に形成され,第2の電気信号が入力される第2の電極と,
前記第1の基板上の前記第1及び第2の電極のそれぞれ対応する第1及び第2の入力部と,
前記第1及び第2の入力部と,前記第1と第2の電気信号をそれぞれ対応する前記第1及び第2の入力部に供給する第1及び第2の電気コネクタとを接続する,第2の基板上のストリップ線路とを有し,
更に、前記第1の基板に形成された、前記第1及び第2の入力部が接続され且つ前記ストリップ線路が接続される第1及び第2のパッドと、
前記第1の基板に形成された、前記第1及び第2のパッドの間隔と前記第1及び第2の電気コネクタの配置間隔を調整するディレイラインを具備し、
前記第1及び第2の入力部に接続される一面側のストリップ線路間の距離が前記第1及び第2の電気コネクタに接続される他面側のストリップ線路間の距離よりも狭くなるように構成されている
ことを特徴とする光導波路デバイス。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002187270A JP4107890B2 (ja) | 2002-06-27 | 2002-06-27 | 光導波路デバイス |
US10/292,494 US6961494B2 (en) | 2002-06-27 | 2002-11-13 | Optical waveguide device |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002187270A JP4107890B2 (ja) | 2002-06-27 | 2002-06-27 | 光導波路デバイス |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2004029498A JP2004029498A (ja) | 2004-01-29 |
JP2004029498A5 JP2004029498A5 (ja) | 2005-10-13 |
JP4107890B2 true JP4107890B2 (ja) | 2008-06-25 |
Family
ID=29774182
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2002187270A Expired - Fee Related JP4107890B2 (ja) | 2002-06-27 | 2002-06-27 | 光導波路デバイス |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US6961494B2 (ja) |
JP (1) | JP4107890B2 (ja) |
Families Citing this family (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4599434B2 (ja) * | 2008-07-04 | 2010-12-15 | 住友大阪セメント株式会社 | 光導波路素子モジュール |
WO2010021193A1 (ja) | 2008-08-22 | 2010-02-25 | 日本碍子株式会社 | 光変調器 |
JP5001310B2 (ja) * | 2009-02-03 | 2012-08-15 | 日本電信電話株式会社 | 光変調器 |
JP5326624B2 (ja) * | 2009-02-10 | 2013-10-30 | 富士通オプティカルコンポーネンツ株式会社 | 光変調器 |
JP4668329B2 (ja) * | 2009-03-31 | 2011-04-13 | 住友大阪セメント株式会社 | 光制御デバイス |
JP5691747B2 (ja) * | 2011-03-31 | 2015-04-01 | 住友大阪セメント株式会社 | 進行波型光変調素子 |
JP6217243B2 (ja) * | 2013-08-29 | 2017-10-25 | 富士通オプティカルコンポーネンツ株式会社 | 光モジュールおよび光送信機 |
JP6217268B2 (ja) * | 2013-09-13 | 2017-10-25 | 富士通オプティカルコンポーネンツ株式会社 | 光モジュールおよび光送信機 |
JP6447318B2 (ja) * | 2015-03-31 | 2019-01-09 | 住友大阪セメント株式会社 | 光変調器 |
Family Cites Families (24)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS61190322A (ja) | 1985-02-20 | 1986-08-25 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 光スイッチ |
JPS63316901A (ja) | 1987-06-19 | 1988-12-26 | Mitsubishi Electric Corp | 同軸コネクタ |
JPH06130338A (ja) | 1992-10-22 | 1994-05-13 | Fujitsu Ltd | 光導波路デバイス |
JPH0923108A (ja) | 1995-07-05 | 1997-01-21 | Mitsubishi Electric Corp | 線路変換器 |
JP2849369B2 (ja) | 1996-10-23 | 1999-01-20 | 住友大阪セメント株式会社 | 導波路型光デバイスの実装構造 |
US5991491A (en) | 1996-11-08 | 1999-11-23 | Nec Corporation | Optical waveguide type device for reducing microwave attenuation |
JP3279210B2 (ja) | 1997-01-29 | 2002-04-30 | ティーディーケイ株式会社 | 光変調器 |
JP3841933B2 (ja) | 1997-08-28 | 2006-11-08 | 富士通株式会社 | 光導波路モジュール |
US6192167B1 (en) * | 1998-07-24 | 2001-02-20 | Uniphase Telecommunications Products | Differential drive optical modulator |
JP2000131658A (ja) | 1998-10-28 | 2000-05-12 | Fujitsu Ltd | 光導波路デバイス |
JP4604296B2 (ja) * | 1999-02-09 | 2011-01-05 | ソニー株式会社 | 固体撮像装置及びその製造方法 |
JP2000241780A (ja) | 1999-02-23 | 2000-09-08 | Ngk Insulators Ltd | 導波路光変調器 |
US6483953B1 (en) * | 1999-05-11 | 2002-11-19 | Jds Uniphase Corporation | External optical modulation using non-co-linear compensation networks |
CN1370338A (zh) * | 1999-08-24 | 2002-09-18 | 帕拉泰克微波公司 | 电压可调共面相移器 |
CN1433527A (zh) * | 1999-12-24 | 2003-07-30 | 康宁Oti股份公司 | 有源器件的组件 |
JP2001230606A (ja) | 2000-02-15 | 2001-08-24 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | マイクロストリップ線路と、これを用いたマイクロ波装置 |
US6429959B1 (en) | 2000-11-03 | 2002-08-06 | Codeon Corporation | Low-loss electrode structures for optical modulation applications |
JP3703013B2 (ja) * | 2001-01-26 | 2005-10-05 | 日本電信電話株式会社 | 干渉計光回路及びその製造方法 |
US6584240B2 (en) | 2001-03-30 | 2003-06-24 | Fujitsu Limited | Optical modulator having ridge and associated structure on substrate |
US6580843B2 (en) | 2001-04-05 | 2003-06-17 | Fujitsu Limited | Optical device |
JP2003057616A (ja) | 2001-07-25 | 2003-02-26 | Corlux Corp | 光導波路素子、光変調器及び光通信システム |
US6711308B2 (en) * | 2001-12-26 | 2004-03-23 | Lucent Technologies Inc. | Electro-optical modulators |
JP4027109B2 (ja) | 2002-02-08 | 2007-12-26 | 富士通株式会社 | 電気光学効果により光位相を変化させる素子を搭載した光モジュール |
JP3995537B2 (ja) | 2002-06-14 | 2007-10-24 | 富士通株式会社 | 光変調器 |
-
2002
- 2002-06-27 JP JP2002187270A patent/JP4107890B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2002-11-13 US US10/292,494 patent/US6961494B2/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2004029498A (ja) | 2004-01-29 |
US20040001672A1 (en) | 2004-01-01 |
US6961494B2 (en) | 2005-11-01 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4234117B2 (ja) | 光変調器 | |
US8135242B2 (en) | Optical modulator | |
US9746741B2 (en) | Optical modulator | |
US9568751B2 (en) | Optical control device | |
EP1335238B1 (en) | Optical phase modulator with electrode arrangement having a wideband transmission response | |
JP4899730B2 (ja) | 光変調器 | |
US6580840B1 (en) | High efficiency electro-optic modulator with equalized frequency response | |
JP2007010942A (ja) | 光変調器 | |
US9523872B2 (en) | Optical device | |
JP4107890B2 (ja) | 光導波路デバイス | |
WO2016175289A1 (ja) | 光変調器 | |
JP2002544538A (ja) | 非共線補償回路網を使用する外部光変調 | |
JP2016194544A (ja) | 広帯域導波路型光素子 | |
JP4587762B2 (ja) | 光変調素子モジュール | |
JP3559170B2 (ja) | 導波路型光デバイス | |
WO2022163724A1 (ja) | 光変調器とそれを用いた光送信装置 | |
JP2919132B2 (ja) | 光変調器 | |
US11442329B2 (en) | Optical waveguide element, optical modulator, optical modulation module, and optical transmission apparatus | |
JP2007033894A (ja) | 光変調器 | |
JP2007093742A (ja) | 光変調器 | |
US20240142848A1 (en) | Optical modulator and optical transmission apparatus | |
JPH11237593A (ja) | 光変調器 | |
JP6638515B2 (ja) | 光変調器 | |
JP2008139554A (ja) | 光変調器 | |
JP2023092968A (ja) | 光変調器及び光送信装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20050601 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20050601 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20070717 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20070724 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20070925 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20071225 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20080401 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20080401 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110411 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4107890 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110411 Year of fee payment: 3 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313111 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110411 Year of fee payment: 3 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110411 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130411 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140411 Year of fee payment: 6 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |