JP4101911B2 - 真空フランジ及び真空容器 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、真空フランジ及びこの真空フランジを備えた真空容器に係わり、特に、スパッタリング装置、エッチング装置、アッシング装置等の各種の真空処理装置に使用される真空フランジ及び真空容器に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来、半導体製造工程、液晶表示パネル製造工程、或いはディスク製造工程等の各種の製造工程において、シリコンウエハ、液晶表示基板、光ディスクやミニディスク等の被処理基板の真空処理を行うために各種の真空処理装置が使用されている。
【0003】
真空処理装置には、例えば、被処理基板の表面を成膜処理するためのスパッタリング装置、被処理基板表面の薄膜をエッチングするためのエッチング装置、被処理基板表面のフォトレジストを除去するためのアッシング装置等がある。
【0004】
これらの真空処理装置は真空下において被処理基板を処理するための装置であるから、内部を真空排気可能な真空容器を備えており、この真空容器の内部には通常、処理室、ロードロック室、或いは搬送室等が形成されている。
【0005】
また、真空処理装置の真空容器は、通常、その内部のメンテナンスを実施できるようにするために容器壁の一部が、取り外し可能な真空フランジによって構成されている。そして、複数の処理室を備えた比較的大型の真空処理装置の場合には、その真空フランジには比較的大型のものが使用される。
【0006】
ところが、大型の真空フランジの全体をアルミ板等で形成するとその重量が大きくなりすぎて、取り外しや持ち運びに極めて不便であるという問題がある。
【0007】
そこで、真空処理装置の真空容器用の真空フランジをアルミハニカム板によって構成して軽量化を図り、人間の手で真空フランジを扱えるようにする場合がある。
【0008】
また、真空処理装置の真空容器の内部には基板搬送装置等が設置されているが、この基板搬送装置やその他の内部機器が正しく動作しているか否かを確認したり、或いは被処理基板の処理が正しく行われているかを確認したりするために真空フランジにのぞき窓を設ける場合がある。さらに、真空容器の内部に電線、信号線等を引き込むために、ハーメチックシール等のために真空フランジに引き込み用窓を設ける場合もある。
【0009】
図4は、真空処理装置の真空容器用の従来の真空フランジの一例を示しており、真空フランジののぞき窓の部分を拡大して示した縦断面図である。この従来の真空フランジ70は、アルミハニカム板71とのぞき窓装置72とを備えている。
【0010】
アルミハニカム板71は、一対のアルミ板73、74によってハニカムコア75をサンドイッチ状に挟み込み、各アルミ板73、74とハニカムコア75とを真空ろう付け法によって接合して形成されている。なお、ハニカムコア75はアルミ箔材料によって構成されており、非常に軽量である。
【0011】
アルミハニカム板71にはのぞき窓用開口部76が形成されており、のぞき窓用開口部76の周囲にはアルミリング77が取り付けられ、このアルミリング77はその略全体が一対のアルミ板73、74によって挟み込まれている。アルミリング77と各アルミ板73、74との間は真空ろう付け法によって接合されている。
【0012】
のぞき窓装置72は、のぞき窓用開口部76よりも大きな外径よりなるリング状枠部材78を備え、このリング状枠部材78の内部には円形ガラス板79が填め込まれている。リング状枠部材78の内周壁の下部にはリング状受け部80が突設されており、このリング状受け部80にはガラス板用Oリング81を間に挟んで円形ガラス板79が載置されている。この円形ガラス板79は止め輪82によってリング状枠部材78の内部に固定されると共に、リング状受け部80に押圧されている。
【0013】
また、リング状枠部材78と上側のアルミ板73との間には枠部材用Oリング83が設けられており、図示を省略したボルトによってリング状枠部材78がアルミハニカム板71のアルミリング77の部分に締め付け固定されている。
【0014】
そして、上記構成よりなる従来の真空フランジにおいては、ガラス板用Oリング81及び枠部材用Oリング83によって気密性が確保されている。また、アルミ板73、74、ハニカムコア75、及びアルミリング77の各部材同士の接合部は真空ろう付け法によって接合されているので、これらの部材の接合面が真空空間中に露出している場合であっても、接合部分から真空漏洩やガス放出が生じるようなことはない。
【0015】
【発明が解決しようとする課題】
ところが、アルミ板73、74、ハニカムコア75、及びアルミリング77の各部材同士の接合に真空ろう付け法を使用すると製造コストが高くなってしまうという問題があり、その製造コストは接着剤を使用するいわゆる接着法を採用した場合の製造コストの2倍以上にも及んでいた。
【0016】
製造コストを下げるためには真空ろう付け法に替えて接着法を採用すればよいが、接着法によってアルミ板73、74、ハニカムコア75、及びアルミリング77の各部材同士を接合した場合には、各部材の接合面が真空空間中に露出していると、接合に用いた接着剤が気化してガスが放出され、真空が害されるという問題がある。
【0017】
本発明は、上述した問題点に鑑みてなされたものであって、接着法によって製造されたアルミハニカム板を使用することができると共に、のぞき窓や引き込み用窓等を形成することができる真空フランジ及び真空容器を提供することを目的とする。
【0018】
【課題を解決するための手段】
請求項1記載の発明による真空フランジは、一対のアルミ板によってハニカムコアを挟み込み、前記各アルミ板と前記ハニカムコアとを接着剤によって接合して形成されたアルミハニカム板と、前記アルミハニカム板に形成された開口部と、前記開口部の周囲に取り付けられたリング部材と、前記開口部に装着された窓装置と、を備え、前記窓装置は、前記開口部に挿通された筒状本体部と、前記筒状本体部の真空側の端部に形成された鍔状部と、前記鍔状部と前記アルミハニカム板とによって挟み込まれたOリングと、前記筒状本体部の内側に気密に設けられた窓部材と、前記筒状本体部の大気側の端部の外周面に形成された雄ネジ部と、前記雄ネジ部に螺着され、前記鍔状部と協働して前記リング部材を両面から締め付けるナット部材と、を備えていることを特徴とする。
【0019】
請求項2記載の発明による真空容器は、請求項1記載の真空フランジによって容器壁の一部が構成されていることを特徴とする。
【0020】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の一実施形態による真空フランジ及びこの真空フランジを備えた真空容器について図1乃至図3を参照して説明する。
【0021】
まず初めに、本実施形態による真空フランジ及び真空容器を備えた真空処理装置の全体構成について図1を参照して説明する。
【0022】
図1は真空処理装置の平断面図であり、平面形状がほぼ八角形の真空容器10の内側には、内部を真空排気可能な真空搬送室3が形成されている。この真空搬送室3の一辺には、真空搬送室3の内部に被処理基板Dを搬入し又は搬出するためのロードロック室1が形成され、残りの7辺には7個の真空処理室2A、2B…2Gが等角度間隔で配置形成されている。
【0023】
そして、これらの真空処理室2A、2B…2Gの内部で、被処理基板Dに対してスパッタリング、エッチング、ベーキング、或いはアッシング等の真空処理が施される。なお、被処理基板Dは、シリコンウエハ、コンパクトディスク(CD)、ミニディスク(MD)等である。
【0024】
ロードロック室1及び真空処理室2A、2B…2Gの真空搬送室3に面する側には、被処理基板Dを出し入れするための同形同大の開口部1a、2aがそれぞれ形成されている。また、各真空処理室2には、真空ポンプであるターボ分子ポンプ(図示せず)が接続されて内部を真空排気できると共に、所定の真空処理を行うための加工装置14A、14B…14Gが設置されている。
【0025】
真空搬送室3の底部には、環状の回転テーブル15が回転可能に配置され、この回転テーブル15の外周には大歯車18が形成されている。この大歯車18には駆動小歯車19が噛み合っている。
【0026】
回転テーブル15の上面には8台のバルブ機構25が回転テーブル15の円周方向に沿って配設されており、これらのバルブ機構25はロードロック室1と7個の真空処理室2A、2B…2Gに対応するように配置されている。各バルブ機構25は、ロードロック室1及び真空処理室2A、2B…2Gのそれぞれの開口部1a、2aを閉塞可能なバルブ円板よりなる可動蓋26と、この可動蓋26を開閉駆動するバルブ開閉機構27とを備えている。
【0027】
各可動蓋26は、ロードロック室1及び真空処理室2A、2B…2Gの各開口部1a、2aを閉塞したときにロードロック室1及び真空処理室2A、2B…2Gの内部に面する内面26aを有し、この内面26aには、被処理基板Dを回転保持するための4個の基板ホルダー28が回転(自転)可能に設けられている。
【0028】
また、ロードロック室1の搬入側には、被処理基板Dをロードロック室1内に搬入するための搬送装置29が設けられており、この搬送装置29によってロードロック室1の内部に4枚一組で被処理基板Dが搬入され又は搬出される。
【0029】
図2は、内部に真空搬送室3が形成された真空容器10の概略構成を示した縦断面図であり、この真空容器10は、上面が開放した容器本体30と、この容器本体30の上面を閉鎖する真空フランジ40とを備えている。
【0030】
容器本体30の底部中央には排気口31が形成されており、この排気口31の下部には真空搬送室3の内部を真空排気するための真空ポンプ60が設けられている。
【0031】
また、排気口31の周縁から上方に向かって筒状部32が突設され、この筒状部32の頂部から上方に向かって複数のスタッド33が立設され、これらのスタッド33によって荷重受け板34が固定支持されている。
【0032】
真空フランジ40は、円盤状のアルミハニカム板41と複数ののぞき窓装置(窓装置)42とを備えている。真空フランジ40のアルミハニカム板41と容器本体30との間の気密性はフランジ用Oリング35によって確保されている。
【0033】
また、アルミハニカム板41の中央部は荷重受け板34によって下方から支持されている。ここで、真空フランジ40は径が大きくなるほど大気圧を多く受けることになるので、荷重受け板34がない場合には、真空フランジ40の大径化に伴ってアルミハニカム板41の板厚を厚くして大気圧に耐え得るようにする必要がある。
【0034】
これに対して本実施形態においては、荷重受け板34によってアルミハニカム板41を下方から支えるようにしたので、大型の真空フランジ40の場合でもアルミハニカム板41の板厚を比較的薄くすることができる。
【0035】
図3は、真空フランジ40ののぞき窓の部分を拡大して示した縦断面図である。図3から分かるように、アルミハニカム板41は、一対のアルミ板43、44によってハニカムコア45をサンドイッチ状に挟み込み、各アルミ板43、44とハニカムコア45とを接着剤を用いた接着法によって接合して形成されている。なお、ハニカムコア45はアルミ箔材料によって構成されており、非常に軽量である。
【0036】
アルミハニカム板41にはのぞき窓用開口部46が形成されており、のぞき窓用開口部46の周囲にはアルミリング(リング状部材)47が取り付けられ、このアルミリング47はその略全体が一対のアルミ板43、44によって挟み込まれている。アルミリング47と各アルミ板43、44との間は接着剤を用いた接着法によって接合されている。
【0037】
のぞき窓装置42は、のぞき窓用開口部46に挿通された筒状本体部48を備え、この筒状本体部48の一端、すなわち真空側の端部には鍔状部49が形成されている。この鍔状部49と下側のアルミ板44とによって筒状本体部用Oリング50が挟み込まれており、この筒状本体部用Oリング50によって鍔状部49とアルミ板44との間の気密性が確保されている。
【0038】
筒状本体部48の内周壁の中央部にはリング状受け部51が突設されており、このリング状受け部51には、ガラス板用Oリング52を間に挟んで、透明な窓部材である円形ガラス板53が載置されている。この円形ガラス板53は止め輪54によって筒状本体部48の内側に固定されると共に、リング状受け部51に押圧されており、ガラス板用Oリング52によって円形ガラス板53とリング状受け部51との間の気密性が確保されている。
【0039】
筒状本体部48の他端、すなわち大気側の端部の外周面には雄ネジ部55が形成されており、この雄ネジ部55にはワッシャ56が挿通されると共にナット部材57が螺着されている。そして、このナット部材57は鍔状部49と協働してアルミ板43、44及びアルミリング47を両面から締め付けている。
【0040】
以上述べたように本実施形態によれば、筒状本体部48の真空側端部に形成された鍔状部49を筒状本体部用Oリング50と共にアルミハニカム板41の下側のアルミ板44に圧接して気密性を確保することができるので、アルミ板43、44、ハニカムコア45、及びアルミリング47の各部材の接合部が真空空間中に露出することがなく、このため、各部材を接着剤を用いた接着法によって接合した場合でも接着剤が気化して真空中にガスが放出されるようなことがない。
【0041】
したがって、のぞき窓を有する真空フランジ40を、接着法によって製造されたアルミハニカム板41を用いて構成することが可能であり、真空フランジ40及び真空容器10の製造コストの低減を図ることができる。
【0042】
また、本実施形態によれば、アルミハニカム板41の中央部を荷重受け板34によって下方から支えるようにしたので、アルミハニカム板41の板厚を比較的薄くすることが可能であり、ひいては真空フランジ40の軽量化を図ることができる。
【0043】
なお、上記実施形態ではのぞき窓を有する真空フランジ及び真空容器について説明したが、例えば、上記実施形態における円形ガラス板53をハーメチックシールを構成するための板状部材に替えることによって、真空容器の内部に電線、信号線等を引き込むための引き込み用窓を形成することも可能である。
【0044】
【発明の効果】
以上述べたように本発明によれば、筒状本体部の一端に形成された鍔状部をOリングと共にアルミハニカム板に圧接して気密性を確保することができるので、アルミ板、ハニカムコア、及びリング部材の各部材の接合部が真空空間中に露出することがなく、このため、各部材を接着剤を用いた接着法によって接合した場合でも接着剤が気化して真空中にガスが放出されるようなことがない。
【0045】
したがって、のぞき窓や引き込み用窓等を有する真空フランジを、接着法によって製造されたアルミハニカム板を用いて構成することが可能であり、真空フランジ及び真空容器の製造コストの低減を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施形態による真空フランジ及び真空容器を備えた真空処理装置の全体構成を示した平断面図。
【図2】図1に示した真空処理装置の真空容器の概略構成を示した縦断面図。
【図3】図2に示した真空容器の真空フランジののぞき窓の部分を拡大して示した縦断面図。
【図4】従来の真空フランジののぞき窓の部分を拡大して示した縦断面図。
【符号の説明】
10 真空容器
41 アルミハニカム板
42 のぞき窓装置(窓装置)
43、44 アルミ板
45 ハニカムコア
46 のぞき窓用開口部
47 アルミリング(リング部材)
48 筒状本体部
49 鍔状部
50 筒状本体部用Oリング
53 円形ガラス板(窓部材)
55 雄ネジ部
57 ナット部材
Claims (2)
- 一対のアルミ板によってハニカムコアを挟み込み、前記各アルミ板と前記ハニカムコアとを接着剤によって接合して形成されたアルミハニカム板と、前記アルミハニカム板に形成された開口部と、前記開口部の周囲に取り付けられたリング部材と、前記開口部に装着された窓装置と、を備え、
前記窓装置は、前記開口部に挿通された筒状本体部と、前記筒状本体部の真空側の端部に形成された鍔状部と、前記鍔状部と前記アルミハニカム板とによって挟み込まれたOリングと、前記筒状本体部の内側に気密に設けられた窓部材と、前記筒状本体部の大気側の端部の外周面に形成された雄ネジ部と、前記雄ネジ部に螺着され、前記鍔状部と協働して前記リング部材を両面から締め付けるナット部材と、を備えていることを特徴とする真空フランジ。 - 請求項1記載の真空フランジによって容器壁の一部が構成されていることを特徴とする真空容器。
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