JP4090720B2 - フォトマスクデータ表示装置用の面積計算装置及びフォトマスクデータの表示装置 - Google Patents
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、フォトマスクデータについて、指定領域内の図形の面積あるいは面積率を対応するマスク単位で取得するための、面積計算装置と、該面積計算装置を一体として設けているフォトマスクデータの表示装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
近年、電子機器の高機能化と軽薄短小の傾向から、ＡＳＩＣに代表される種々のＬＳｌには、ますます高集積化、高機能化が求められるようになってきた。
上記ＡＳＩＣ等のＬＳＩは、機能、論理設計、回路設計、レイアウト設計等を経て、フォトマスクパタン作製用の図形データを作製し、これを用いてフォトマスクを作製した後、フォトマスクのパタンをウエハ上に縮小投影露光等により転写して、半導体素子作製のプロセスを行うという数々の工程を経て作製されるものである。
【０００３】
このような中、ＬＳＩ産業界では、一般的に、ＬＳＩ設計工程及びフォトマスク製造工程における、ＬＳＩレイアウトデータのファイルフォーマットとし、ストリームフォーマット（Ｓｔｒｅａｍ Ｆｏｒｍａｔ）を使用しているが、更に、このストリームフォーマットからなるＬＳＩレイアウトデータをデータフォーマット変換して、描画装置用のフォトマスクデータとして、各描画装置に供されている。
描画装置用のフォトマスクデータとしては、例えば、ラスター型の電子線描画装置用ではＭＥＢＥＳフォーマット（パーキンエルマー社製描画装置用）やＥＢＭフォーマット（東芝製描画装置用）等があり、ベクター型の電子線描画装置用としては、Ｊｅｏｌフォーマット（日本電子株式会社製描画装置用）等があるが、他にも種々ある。
尚、ウエハ上の回路が所定の複数のフォトマスクを用いて投影転写され作製されることより、通常、フォトマスクデータと言う場合、１枚以上の複数のマスクを作製するためのデータを意味し、マスクデータと言う場合、マスクを１枚作製するためのデータを意味する。
【０００４】
そして、描画装置用のフォトマスクデータあるいはＬＳＩレイアウトデータをディスプレイ装置上に図形表示し、拡大、縮小表示を行いながら、フォトマスクデータの確認、パターン配置の確認や、寸法検査箇所の特定、不良発生時のデータ欠陥解析等の作業を行なうことがあるが、更に、表示された図形の占める面積や面積率を不良要因の解析に使用することがある。
従来、この面積や面積率は、バッチ型の図形処理ソフトで計算されていた。
この図形処理ソフトは、その都度対象の指定領域内の図形データの全ての図形を対象に面積計算をするものであり、指定領域が複数ある場合、その計算に時間がかかり実用レベルでないという問題があった。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
上記のように、描画装置用のフォトマスクデータあるいはＬＳＩレイアウトデータをディスプレイ装置上に図形表示しながら、表示された図形の占める面積や面積率を求める計算を行なう場合、その計算が実用レベルでないという問題があった。
本発明は、これに対応するもので、描画装置用のフォトマスクデータあるいはＬＳＩレイアウトデータをディスプレイ装置上に図形表示しながら、表示された図形の占める面積や面積率を求める計算を行なう際に、その計算時間が実用レベルで行なえる、フォトマスクデータ表示装置用の面積計算装置を提供しようとするものである。
同時にそのような面積計算装置を一体として設けているフォトマスクデータ表示装置を提供しようとするものである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
本発明のフォトマスクデータ表示装置用の面積計算装置は、フォトマスクデータについて、マスク毎に、フォトマスクデータ領域中の指定領域内の図形の面積あるいは面積率を取得するための面積計算装置であって、フォトマスクデータと、フォトマスクデータ全体にわたり、セル毎にあるいは図形群毎にその領域情報、ファイルシーク情報を持つセル・図形情報を作成し、作成されたセル・図形情報を連ねたキャッシュファイルとを記憶蓄積する記憶手段と、記憶手段のキャッシュファイルから、面積あるいは面積率を求めたい領域である指定領域と重なりを持つセルないし図形群のセル・図形情報を取得するためのセル・図形情報取得手段と、セル・図形情報をもとに、指定領域と、これに重なりをを持つセルないし図形群の領域との重なり具合を把握し、その全部が指定領域内にあるセルないし図形群の領域の面積部分は算出し、これを計算済面積とし、その一部が指定領域内にあるセルないし図形群の領域の面積部分は算出せず、これを実計算領域とし、そのセルないし図形群の領域と指定領域との重なり具合情報を実計算領域情報として得る、領域把握手段と、実計算領域情報、セル・図形情報のファイルシーク情報をもとに、実計算領域を形成するセルないし図形群の領域に対応する図形データを抽出し、実計算領域の面積を計算する実計算領域面積計算手段と、前記計算済面積と実計算領域の面積とをあわせた面積ないし該面積の指定領域の面積に占める割合である面積率を計算する面積・面積率計算手段とを備えていることを特徴とするものである。
そして、上記における記憶手段は、フォトマスクデータ表示装置のための、フォトマスクデータあるいはフォトマスクデータのキャッシュファイル等を記憶蓄積する記憶手段を兼ねることを特徴とするものである。
そしてまた、上記において、現在の指定領域、あるいは確認済みの指定領域を表示し、これに対応した現在の表示における面積ないし面積率の計算をそこから指示し、且つ、計算結果を表示するための面積ウインドウを備えた表示部を設けていることを特徴とするものであり、該表示部は、フォトマスクデータ表示装置のための表示部を兼ねることを特徴とするものである。
また、上記において、フォトマスクデータが大規模ＬＳＩ用フォトマスクデータであることを特徴とするものである。
【０００７】
尚、ここでは、フォトマスクデータは、１枚以上の複数のマスクを作製するためのデータを意味し、セルは、ストリームフォーマットデータの階層を示す１単位を意味する。
また、大規模ＬＳＩ用フォトマスクデータとは、ここでは、一般に知られるところの数百万個以上のトランジスタを搭載したロジックＬＳＩ、メモリーＬＳＩ、ＡＳＩＣのフォトマスクデータであり、そのファイルサイズもギガバイトオーダーであることを意味する。
【０００８】
本発明のフォトマスクデータ表示装置は、上記本発明のフォトマスクデータ表示装置用の面積計算装置を、一体として設けていることを特徴とするものである。
【０００９】
【作用】
本発明のフォトマスクデータ表示装置用の面積計算装置は、このような構成にすることにより、フォトマスクデータについて、指定領域内の図形の面積あるいは面積率を対応するマスク単位で取得するための、面積や面積率を求める計算を行なう際に、その計算時間が実用レベルで行なえる、フォトマスクデータ表示装置用の面積計算装置の提供を可能としている。
そして、描画装置用のフォトマスクデータあるいはＬＳＩレイアウトデータをディスプレイ装置上に図形表示しながら、表示された図形の占める面積や面積率を求める計算を行なう際に、その計算時間が実用レベルで行なえる面積計算装置の提供を可能としている。
特に、描画装置用のフォトマスクデータのファイルサイズが大規模化した場合でも、データのサイズに依存せず、処理を実用レベルの時間内で行なえるものとしている。
具体的には、フォトマスクデータと、フォトマスクデータ全体にわたり、セル毎にあるいは図形群毎にその領域情報、ファイルシーク情報を持つセル・図形情報を作成し、作成されたセル・図形情報を連ねたキャッシュファイルとを記憶蓄積する記憶手段と、記憶手段のキャッシュファイルから、面積あるいは面積率を求めたい領域である指定領域と重なりを持つセルないし図形群のセル・図形情報を取得するためのセル・図形情報取得手段と、セル・図形情報をもとに、指定領域と、これに重なりをを持つセルないし図形群の領域との重なり具合を把握し、その全部が指定領域内にあるセルないし図形群の領域の面積部分は算出し、これを計算済面積とし、その一部が指定領域内にあるセルないし図形群の領域の面積部分は算出せず、これを実計算領域とし、そのセルないし図形群の領域と指定領域との重なり具合情報を実計算領域情報として得る、領域把握手段と、実計算領域情報、セル・図形情報のファイルシーク情報をもとに、実計算領域を形成するセルないし図形群の領域に対応する図形データを抽出し、実計算領域の面積を計算する実計算領域面積計算手段と、前記計算済面積と実計算領域の面積とをあわせた面積ないし該面積の指定領域の面積に占める割合である面積率を計算する面積・面積率計算手段とを備えていることにより、これを達成している。
【００１０】
詳しくは、本発明のフォトマスクデータ表示装置用の面積計算装置によれば、キャッシュファイルのセル・図形情報をもとに、指定領域と重なりを持つセルあるいは図形群に対し、その全部が指定領域内にあるセルないし図形群の領域の面積部分は算出し、これを計算済面積とし、その一部が指定領域内にあるセルないし図形群の領域の面積部分は算出せず、これを実計算領域とし、その図形データと指定領域との重なり具合情報を実計算領域情報として得ることができ、且つ、実計算領域情報とファイルシーク情報をもとに、実計算領域を求めるのに必要な図形データのみを記憶手段のフォトマスクデータから抽出し、実計算領域を求めることができるものとしており、従来のように、指定領域を決めるたびに、対象となる全図形データについて、面積、面積率の計算を行なう必要がないものとしている。
また、現在の指定領域、あるいは確認済みの指定領域を表示し、これに対応した現在の表示における面積ないし面積率の計算をそこから指示し、且つ、計算結果を表示するための面積ウインドウを備えた表示部を設けていることにより、異なるマスクデータの同一座標の面積、面積率を容易に計算ならびに確認することを可能としている。
そして、面積ウインドウを備えた表示部が、フォトマスクデータ表示装置のための表示部を兼ねることにより、装置構成を簡略化できる。
また、本発明のフォトマスクデータ表示装置用の面積計算装置の記憶手段は、フォトマスクデータ表示装置のための、フォトマスクデータあるいはフォトマスクデータのキャッシュファイル等を記憶蓄積する記憶手段を兼ねることにより、装置構成を簡略化できる。
また、特に、描画装置用のフォトマスクデータが大規模フォトマスクデータである場合には、有効である。
【００１１】
本発明のフォトマスクデータ表示装置は、このような構成にすることにより、描画装置用のフォトマスクデータあるいはＬＳＩレイアウトデータをディスプレイ装置上に図形表示しながら、表示された図形の占める面積や面積率を求める計算を行なう際に、その計算時間が実用レベルで行なえる、フォトマスクデータ表示装置の提供を可能としている。
【００１２】
【発明の実施の形態】
本発明の実施の形態例を挙げ、図に基づいて説明する。
図１は本発明のフォトマスクデータ表示装置用の面積計算装置の実施の形態の１例の概略構成を示した図で、図２は図１に示す面積計算装置を一体的にもうけた本発明のフォトマスクデータ表示装置の実施の形態の１例の概略構成を示した図で、図３は指定領域と図形群との関係を説明するための図、図４はキャッシュファイルを説明するための図、図５はビットマップを説明するための図、図６はビットマップと省略図形の関係を説明するための図、図７は省略図形を説明するための図、図８は図形データのポジ、ネガと計算との関係を説明するための図、図９は面積計算ウインドウの図である。
図１〜図５、図７、図８において、１０は面積計算装置、１０Ａは処理部、１１は記憶手段（磁気ディスク）、１２はセル・図形情報取得手段、１３は領域把握手段、１４は実計算領域面積計算手段、１５は面積・面積率計算手段、１６は制御手段、１７は入力手段、１８、１８Ａは表示手段、２０はキャッシュファイル、２１はセル・図形情報、３０はフォトマスクデータ、３１は図形データ、４０は入力座標、５０は実計算領域情報、６１は計算済面積、６２は実計算領域面積、６３は面積・面積率、７１は図形データ取得手段、７２は図形表示制御手段、８１は図形データ・省略図形データ、８２は表示図形データ、８３はクリップ情報、３１０は指定領域、３１１〜３１６は図形群、４１１は図形群１、４１２は図形群２、４２０は図形、４３０はゾーン、Ａ（ｍ、ｎ）は分割領域、Ｍｅはメッシュ、５１１、５１２は図形、７１０、７１１は指定領域、７２０は図形領域（デジタイズ領域でもある）、７２１は図形領域、７２１ａはデジタイズ領域、７３０はデータ領域、９１０は計算実行キー、９２０は戻るキー、９３０は次へキー、９４０はクローズキー、９５１は面積率の欄、９５２は面積の欄である。
【００１３】
本発明のフォトマスクデータ表示装置用の面積計算装置の実施の形態の１例を、図１に基づいて説明する。
本例は、フォトマスクデータについて、マスク毎に、指定領域内の図形の面積あるいは面積率を取得するための、面積計算装置であり、図１に示すように、フォトマスクデータ３０と、フォトマスクデータ全体にわたり、セル毎にあるいは図形群毎にその領域情報、ファイルシーク情報を持つセル・図形情報を作成し、作成されたセル・図形情報を連ねたキャッシュファイル２０とを記憶蓄積する記憶手段１１と、記憶手段１１のキャッシュファイル２０から、面積あるいは面積率を求めたい領域である指定領域と重なりを持つセルないし図形群のセル・図形情報２１を取得するためのセル・図形情報取得手段１２と、セル・図形情報２１をもとに、指定領域と、これに重なりをを持つセルないし図形群の領域との重なり具合を把握し、その全部が指定領域内にあるセルないし図形群の領域の面積部分は算出し、これを計算済面積とし、その一部が指定領域内にあるセルないし図形群の領域の面積部分は算出せず、これを実計算領域とし、そのセルないし図形群の領域と指定領域との重なり具合情報を実計算領域情報として得る、領域把握手段１３と、実計算領域情報５０、セル・図形情報２１のファイルシーク情報をもとに、実計算領域を形成するセルないし図形群の領域に対応する図形データを抽出し、実計算領域の面積６２を計算する実計算領域面積計算手段１４と、前記計算済面積６１と実計算領域の面積６２とをあわせた面積ないし該面積の指定領域の面積に占める割合である面積率を計算する面積・面積率計算手段１５とを備えているもので、更に、面積計算の操作を実施させ、計算された結果を表示するためのウインドウを表示するための表示手段１８を設けている。
【００１４】
ここで、図１に基づき、本例のフォトマスクデータ表示装置用の面積計算装置の処理フローの１例を簡単に説明する。
先ず、電源ＯＮとし、各部を起動させた状態としておくと、例えば、図９に示すような操作ウインドウが表示手段１８に表示される。
入力手段１７により、フォトマスクデータ名とそのレイヤー名（マスク名）、計算する領域を、Ｘ，Ｙ座標系で、左下座標、右上座標指定する。
指定される左下座標、右上座標が入力座標である。
制御部１６からの指示で図９に示す表示手段１８のウインドウには、左下座標値、右上座標値が入る。
このウインドウの計算実行キー９１０をマウスクリックすることにより、制御部１６の制御のもと、以下のように、計算が行われ、左下座標値、右上座標値により指定される領域内のフォトマスクデータの図形が占める面積、該面積の指定領域との面積率を求め、結果が、図９に示すウインドウの面積率の欄９５１、面積の欄９５２に表示される。
計算は、例えば、以下のように行われる。
先ず、計算実行キー９１０がクリックされると、セル・図形情報取得手段１２は、入力座標をもとに、制御部１６の指示で、記憶手段１１のキャッシュファイル２０から、指定された面積あるいは面積率を求めたい領域である指定領域と重なりを持つ各セルあるいは各図形群のセル・図形情報２１を取得し、更に、これを領域把握手段１３へと渡す。
一方、入力座標である左下座標値、右上座標値は、制御部１６の指示のもと、領域把握手段１３へと渡される。
【００１５】
次いで、領域把握手段１３は、セル・図形情報２１と入力座標をもとに、指定された面積あるいは面積率を求めたい領域である指定領域と重なりを持つ、対象とするフォトマスクデータの各セルあるいは図形群の領域との重なり具合を把握する。
そして、その全部が指定領域内にある各セルあるいは各図形群の面積部分は算出し、これらを総和し、これを計算済面積６１とし、その一部が指定領域内にあるセルあるいは図形群の面積部分は算出せず、これを実計算領域とし、その各セルあるいは各図形群の領域と指定領域との重なり具合情報を実計算領域情報５０として得る。
次いで、実計算領域面積計算手段１４は、実計算領域情報５０、セル・図形情報２１のファイルシーク情報をもとに、実計算領域を形成する図形群の図形データ３１を記憶手段１１のフォトマスクデータ３０から抽出し、更に、実計算領域情報５０をもとに、対象となる図形データの実計算領域内の図形の面積を求め、これらの総和を求め、これを実計算領域面積６２とする。
【００１６】
例えば、指定領域３１０と各図形群３１１〜３１６が図３（ａ）のような関係にある場合、この指定領域３１０内にすべてが含まれる図形群３１１、３１２、３１４、３１５の各々の図形の占める面積の総和である、図３（ｂ）の斜線部で示す領域が計算済領域となる。
また、図形群３１３の指定領域内の部分３１３ａ内にある図形の占める面積と、図形群３１６の指定領域内の部分３１６ａ内にある図形の占める面積との面積和が実計算領域面積となる。
計算済領域は、セル・図形情報２１からそれぞれの図形群の図形の占める面積を取り出し、これらの和計算を行なうだけで、簡単に得ることができる。
ここでは、各図形群に含まれる各図形の占める面積を計算して得る必要はない。
また、ここでは、実計算領域面積を求めず、図形群と指定領域との重なり具合情報のみを求める。
【００１７】
そして、先に得られた計算済面積６１と実計算領域面積６２との和を求める面積とする。
また、求められたこの面積と指定領域との比から面積率を得る。
このようにして、目的とする面積と面積率が得られる。
【００１８】
尚、図９に示す操作ウインドウは、現在の指定領域、あるいは確認済みの指定領域を表示し、これに対応した現在の表示における面積ないし面積率の計算をそこから指示し、且つ、計算結果を表示するための面積ウインドウを備えた表示部を設けていることにより、異なるマスクデータ（レイヤデータ）指定のもと、一度計算した確認済の指定領域の座標を表示させ、計算実行キーをマウスクリックして、異なるマスクデータに対して、座標を再度入力することなく、面積、面積率を計算できる。
【００１９】
また、本例の装置の使用の仕方としては、別体のフォトマスクデータ表示装置と併行して使用あるいは、記憶手段１１、表示手段１８を別体のフォトマスクデータ表示装置と兼用し、使用する形態も挙げられる。
これらの場合、フォトマスクデータの表示をみながら面積計算領域を指定することができる。
操作ウインドウも、図９に示すものに限定はされない、例えば、入力座標を中心座標と所定幅で規定しても良い。
【００２０】
ここで、キャッシュファイルの１例を、図４〜図７をもとに説明する。
ここでは、描画装置用のフォトマスクデータのキャッシュファイルについて説明する。
キャッシュファイルは、描画装置用のフォトマスクデータ（図２の３０に相当）に対応して、所定数の図形からなる複数の図形群データに分け、分けられた複数の図形群データを連ねてまとめたもので、例えば、図形群が２個のフォトマスク上の配置である図４（ｂ）に対応するキャッシュファイルは、図４（ａ）のように表される。
ここでは、説明を分かり易くするため、図形群が２個のフォトマスク上の配置である図４（ｂ）に対応するキャッシュファイルを例に、その書式と図形群、図形との関係を簡単に説明するが、図形群は２個に限定されるものではない。
図形群１のデータ、図形群２のデータは、図４（ａ）に示すように、それぞれ、図形数、図形面積、ゾーン（図形ゾーンのこと）、描画装置用のフォトマスクデータの中のファイルシークアドレス先頭であるシーク先頭位置、描画装置用のフォトマスクデータの中のファイルシークアドレス末尾であるシーク末尾位置、図形領域を所定のメッシュで区切った場合、区切られた箇所毎に図形が存在しているか否かを表現するビットマップとを有する。
【００２１】
各図形群のシーク先頭位置、シーク末尾位置は、記憶手段１１のアドレスを示すもので、描画装置用のフォトマスクデータの図形データを取得する際の、ファイルシーク情報として用いられる。
記憶手段１１上の描画装置用のフォトマスクデータについては、図４（ｃ）に示されるように、その図形群１のデータは、記憶手段１１のアドレス（００００〜０００４）に、その図形群２のデータは、記憶手段１１のアドレス（０００５〜００１６）に格納されているので、キャッシュファイルのシーク先頭位置、シーク末尾位置をもとに、各図形群のデータを簡単に得ることができる。
尚、ビットマップは、表示装置に省略図形データを発生させる際の、省略情報として用いられるものである。
【００２２】
ビットマップは、表示装置に省略図形データを発生させる際の、省略情報として用いられるもので、図形群の領域を所定のメッシュで分割した各分割領域Ａ（ｍ、ｎ）（ｍ、ｎは整数）について、図形がある領域については、ビット１を、図形がない領域についてはビット０を割りふってマップ化したものである。
例えば、図５（ａ）に示されるように図形群が、分割領域Ａ（ｉ、ｊ）〜Ａ（ｉ＋８、ｊ＋４）に分割された場合、対応するビットマップは図５（ｂ）のようになる。
【００２３】
また、図６（ａ）、図６（ｂ）、図６（ｃ）のようにマップ化されたビットマップの場合、これらに対応して、それぞれ、例えば、図６（ａ１）、図６（ｂ１）、図６（ｃ１）のように図形を発生させる。
また、図７（ａ）のような同じ図形が、表示倍率１０００倍で複数配列される場合、図７（ｂ）のように、表示倍率１倍で１つの図形だけを表示するようにしても良い。
【００２４】
上記のような描画装置用のフォトマスクデータに対応したキャッシュファイルが作成されるが、フォトマスクデータがソースデータ（ＬＳＩレイアウトデータとも言い、通常、ストリームフォーマットデータである）の場合も、そのＬＳＩレイアウトデータのデータファイル内の、個々の図形情報の連続した並びにおいて、順に、連続する任意の数の図形情報を１つの集合として捉えて、全体を複数の集合に分け、各集合毎に、集合内の図形情報、集合領域情報、ファイルシーク情報を持たせた地図情報を作成し、これをキャッシュファイルとする。
勿論、セル毎にその領域情報、ファイルシーク情報を持たせ、これらを連ねたキャッシュファイルを作成しても良い。
【００２５】
図形データとしては、図８（ａ）に示すように、指定領域７１０に対して、デジタイズ領域がそのまま図形領域７２０として用いられるものの他、図８（ｂ）に示すように、指定領域７１１に対して、デジタイズ領域がそのまま用いられず、データ領域を反転した状態のものを図形領域として用いる場合もある。
通常、図８（ａ）の場合はポジデータ、図８（ｂ）の場合はネガデータあるいは反転データと言われ、それぞれ、図８（ａ）、図８（ｂ）の図形領域７２０、７２１の面積を求めることが、その対象となる。
このため、通常、キャッシュファイルのセル・図形情報をポジデータについてもたせておき、ポジデータ、反転データについては、それぞれ、別の方法で計算すれば良い。
尚、図８（ａ）の図形データをそのデータ領域７３０で反転したものが図８（ｂ）に示す図形データである。
【００２６】
本発明のフォトマスクデータ表示装置の実施の形態の１例を、図２に基づいて説明する。
本例は、図１に示すフォトマスクデータ表示装置用の面積計算装置を一体的に設けたフォトマスクデータ表示装置で、表示手段（ディスプレイ）１８により、フォトマスクデータの表示を行ないながら、面積あるいは面積率を取得する領域をマウス等により指定し、指定された表示領域の中の指定領域内の図形の面積あるいは面積率を取得することができるものである。
図２において太点線内が、図１に示す面積計算装置に相当する。
本例のフォトマスクデータ表示装置においては、例えば、各レイヤーデータ（マスクデータとも言う）を表示しながら、その計算する領域をマウス等で指定することができる。
以下、簡単に、その動作フローを説明する。
先ず、入力手段１７により、表示するフォトマスクデータ名、表示する領域、表示倍率情報等の入力情報を入力する。
制御部１６を介して、この入力情報は、図形データ取得手段７１へ送られると、図形データ取得手段７１は、記憶手段１１から対応する領域の図形データあるいは省略図形データ８１を得て、これを図形表示制御手段７２に渡す。
図形データ取得手段７１は、目的とするフォトマスクデータ３０に対応するキャッシュファイル２０の情報をもとにこの操作を行なう。
図形データ取得手段７１は、先ず、キャッシュファイル２０から情報を取得し、表示方法を決定するもので、省略図形で表示するか、フォトマスクデータの図形で表示するかを決定する。
そして、その決定にしたがい、キャッシュファイル２０のファイルシーク情報により検索し、描画装置用のフォトマスクデータの対応する図形データを取得したり、キャッシュファイル２０の省略情報から、省略図形データを発生させる。図形表示制御手段７２は、図形データあるいは省略図形データ８１を受け取り、対応する表示図形データ８２を作成し、これを表示手段１８Ａにて表示する。
【００２７】
次いで、図形表示された表示手段１８Ａの表示画面をみながら、更に、マウス等の入力により新たな表示領域を指定すると、その表示領域や表示倍率情報を含むクリップ情報８３は、それぞれ、図形データ取得手段７１に渡される。
そして、図形データ取得手段７１は、記憶手段１１から対応する領域の図形データあるいは省略図形データ８１を得て、これを図形表示制御手段７２に渡す
ここでも、図形データ取得手段７１は、目的とするフォトマスクデータに対応するキャッシュファイルの情報をもとにこの操作を行なう。
図形表示制御手段７２は、図形データあるいは省略図形データ８１を受け取り、対応する表示図形データ８２を作成し、これを表示手段１８Ａにて表示する
この１連のフローを必要に応じて繰り返し、目的の表示を得る。
【００２８】
このようにして、目的の表示を得た状態で、面積計算の領域をマウス等でクリックして指定すると、これを面積計算の入力座標として、面積計算装置１０が面積計算を行なう。
面積計算の領域がマウス等でクリックして指定されると、図９に示すウインドウが、入力座標が入った状態で表示装置１８Ａに表示される。
そして、計算実行キー９１０をクリックすることにより、計算が実行され、結果が面積率の欄９５１、面積の欄９５２に表示される。
尚、本例においても、キャッシュファイルとしては、先に述べた図４（ａ）に示すようなものを使用し、省略図形を発生させているとしている。
【００２９】
【発明の効果】
本発明は、上記のように、フォトマスクデータについて、指定領域内の図形の面積あるいは面積率を対応するマスク単位で取得するための、面積や面積率を求める計算を行なう際に、その計算時間が実用レベルで行なえる、フォトマスクデータ表示装置用の面積計算装置の提供を可能とした。
そして、特に、描画装置用のフォトマスクデータあるいはＬＳＩレイアウトデータをディスプレイ装置上に図形表示しながら、表示された図形の占める面積や面積率を求める計算を行なう際に、その計算時間が実用レベルで行なえる面積計算装置の提供を可能とた。
同時にそのような面積計算装置を一体として設けているフォトマスクデータ表示装置の提供を可能とした。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明のフォトマスクデータ表示装置用の面積計算装置の実施の形態の１例の概略構成を示した図である。
【図２】図１に示す面積計算装置を一体的にもうけた本発明のフォトマスクデータ表示装置の実施の形態の１例の概略構成を示した図である。
【図３】指定領域と図形群との関係を説明するための図である。
【図４】キャッシュファイルを説明するための図である。
【図５】ビットマップを説明するための図である。
【図６】ビットマップと省略図形の関係を説明するための図である。
【図７】省略図形を説明するための図である。
【図８】図形データのポジ、ネガと計算との関係を説明するための図である。
【図９】面積計算ウインドウの図である。
【符号の説明】
１０ 面積計算装置
１０Ａ 処理部
１１ 記憶手段（磁気ディスク）
１２ セル・図形情報取得手段
１３ 領域把握手段
１４ 実計算領域面積計算手段
１５ 面積・面積率計算手段
１６ 制御手段
１７ 入力手段
１８、１８Ａ 表示手段
２０ キャッシュファイル
２１ セル・図形情報
３０ フォトマスクデータ
３１ 図形データ
４０ 入力座標
５０ 実計算領域情報
６１ 計算済面積
６２ 実計算領域面積
６３ 面積・面積率
７１ 図形データ取得手段
７２ 図形表示制御手段
８１ 図形データ・省略図形データ
８２ 表示図形データ
８３ クリップ情報
３１０ 指定領域
３１１〜３１６ 図形群
４１１ 図形群１
４１２ 図形群２
４２０ 図形
４３０ ゾーン
Ａ（ｍ、ｎ） 分割領域
Ｍｅ メッシュ
５１１、５１２ 図形
７１０、７１１ 指定領域
７２０ 図形領域（デジタイズ領域でもある）
７２１ 図形領域
７２１ａ デジタイズ領域
７３０ データ領域
９１０ 計算実行キー
９２０ 戻るキー
９３０ 次へキー
９４０ クローズキー
９５１ 面積率の欄
９５２ 面積の欄
【発明の属する技術分野】
本発明は、フォトマスクデータについて、指定領域内の図形の面積あるいは面積率を対応するマスク単位で取得するための、面積計算装置と、該面積計算装置を一体として設けているフォトマスクデータの表示装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
近年、電子機器の高機能化と軽薄短小の傾向から、ＡＳＩＣに代表される種々のＬＳｌには、ますます高集積化、高機能化が求められるようになってきた。
上記ＡＳＩＣ等のＬＳＩは、機能、論理設計、回路設計、レイアウト設計等を経て、フォトマスクパタン作製用の図形データを作製し、これを用いてフォトマスクを作製した後、フォトマスクのパタンをウエハ上に縮小投影露光等により転写して、半導体素子作製のプロセスを行うという数々の工程を経て作製されるものである。
【０００３】
このような中、ＬＳＩ産業界では、一般的に、ＬＳＩ設計工程及びフォトマスク製造工程における、ＬＳＩレイアウトデータのファイルフォーマットとし、ストリームフォーマット（Ｓｔｒｅａｍ Ｆｏｒｍａｔ）を使用しているが、更に、このストリームフォーマットからなるＬＳＩレイアウトデータをデータフォーマット変換して、描画装置用のフォトマスクデータとして、各描画装置に供されている。
描画装置用のフォトマスクデータとしては、例えば、ラスター型の電子線描画装置用ではＭＥＢＥＳフォーマット（パーキンエルマー社製描画装置用）やＥＢＭフォーマット（東芝製描画装置用）等があり、ベクター型の電子線描画装置用としては、Ｊｅｏｌフォーマット（日本電子株式会社製描画装置用）等があるが、他にも種々ある。
尚、ウエハ上の回路が所定の複数のフォトマスクを用いて投影転写され作製されることより、通常、フォトマスクデータと言う場合、１枚以上の複数のマスクを作製するためのデータを意味し、マスクデータと言う場合、マスクを１枚作製するためのデータを意味する。
【０００４】
そして、描画装置用のフォトマスクデータあるいはＬＳＩレイアウトデータをディスプレイ装置上に図形表示し、拡大、縮小表示を行いながら、フォトマスクデータの確認、パターン配置の確認や、寸法検査箇所の特定、不良発生時のデータ欠陥解析等の作業を行なうことがあるが、更に、表示された図形の占める面積や面積率を不良要因の解析に使用することがある。
従来、この面積や面積率は、バッチ型の図形処理ソフトで計算されていた。
この図形処理ソフトは、その都度対象の指定領域内の図形データの全ての図形を対象に面積計算をするものであり、指定領域が複数ある場合、その計算に時間がかかり実用レベルでないという問題があった。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
上記のように、描画装置用のフォトマスクデータあるいはＬＳＩレイアウトデータをディスプレイ装置上に図形表示しながら、表示された図形の占める面積や面積率を求める計算を行なう場合、その計算が実用レベルでないという問題があった。
本発明は、これに対応するもので、描画装置用のフォトマスクデータあるいはＬＳＩレイアウトデータをディスプレイ装置上に図形表示しながら、表示された図形の占める面積や面積率を求める計算を行なう際に、その計算時間が実用レベルで行なえる、フォトマスクデータ表示装置用の面積計算装置を提供しようとするものである。
同時にそのような面積計算装置を一体として設けているフォトマスクデータ表示装置を提供しようとするものである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
本発明のフォトマスクデータ表示装置用の面積計算装置は、フォトマスクデータについて、マスク毎に、フォトマスクデータ領域中の指定領域内の図形の面積あるいは面積率を取得するための面積計算装置であって、フォトマスクデータと、フォトマスクデータ全体にわたり、セル毎にあるいは図形群毎にその領域情報、ファイルシーク情報を持つセル・図形情報を作成し、作成されたセル・図形情報を連ねたキャッシュファイルとを記憶蓄積する記憶手段と、記憶手段のキャッシュファイルから、面積あるいは面積率を求めたい領域である指定領域と重なりを持つセルないし図形群のセル・図形情報を取得するためのセル・図形情報取得手段と、セル・図形情報をもとに、指定領域と、これに重なりをを持つセルないし図形群の領域との重なり具合を把握し、その全部が指定領域内にあるセルないし図形群の領域の面積部分は算出し、これを計算済面積とし、その一部が指定領域内にあるセルないし図形群の領域の面積部分は算出せず、これを実計算領域とし、そのセルないし図形群の領域と指定領域との重なり具合情報を実計算領域情報として得る、領域把握手段と、実計算領域情報、セル・図形情報のファイルシーク情報をもとに、実計算領域を形成するセルないし図形群の領域に対応する図形データを抽出し、実計算領域の面積を計算する実計算領域面積計算手段と、前記計算済面積と実計算領域の面積とをあわせた面積ないし該面積の指定領域の面積に占める割合である面積率を計算する面積・面積率計算手段とを備えていることを特徴とするものである。
そして、上記における記憶手段は、フォトマスクデータ表示装置のための、フォトマスクデータあるいはフォトマスクデータのキャッシュファイル等を記憶蓄積する記憶手段を兼ねることを特徴とするものである。
そしてまた、上記において、現在の指定領域、あるいは確認済みの指定領域を表示し、これに対応した現在の表示における面積ないし面積率の計算をそこから指示し、且つ、計算結果を表示するための面積ウインドウを備えた表示部を設けていることを特徴とするものであり、該表示部は、フォトマスクデータ表示装置のための表示部を兼ねることを特徴とするものである。
また、上記において、フォトマスクデータが大規模ＬＳＩ用フォトマスクデータであることを特徴とするものである。
【０００７】
尚、ここでは、フォトマスクデータは、１枚以上の複数のマスクを作製するためのデータを意味し、セルは、ストリームフォーマットデータの階層を示す１単位を意味する。
また、大規模ＬＳＩ用フォトマスクデータとは、ここでは、一般に知られるところの数百万個以上のトランジスタを搭載したロジックＬＳＩ、メモリーＬＳＩ、ＡＳＩＣのフォトマスクデータであり、そのファイルサイズもギガバイトオーダーであることを意味する。
【０００８】
本発明のフォトマスクデータ表示装置は、上記本発明のフォトマスクデータ表示装置用の面積計算装置を、一体として設けていることを特徴とするものである。
【０００９】
【作用】
本発明のフォトマスクデータ表示装置用の面積計算装置は、このような構成にすることにより、フォトマスクデータについて、指定領域内の図形の面積あるいは面積率を対応するマスク単位で取得するための、面積や面積率を求める計算を行なう際に、その計算時間が実用レベルで行なえる、フォトマスクデータ表示装置用の面積計算装置の提供を可能としている。
そして、描画装置用のフォトマスクデータあるいはＬＳＩレイアウトデータをディスプレイ装置上に図形表示しながら、表示された図形の占める面積や面積率を求める計算を行なう際に、その計算時間が実用レベルで行なえる面積計算装置の提供を可能としている。
特に、描画装置用のフォトマスクデータのファイルサイズが大規模化した場合でも、データのサイズに依存せず、処理を実用レベルの時間内で行なえるものとしている。
具体的には、フォトマスクデータと、フォトマスクデータ全体にわたり、セル毎にあるいは図形群毎にその領域情報、ファイルシーク情報を持つセル・図形情報を作成し、作成されたセル・図形情報を連ねたキャッシュファイルとを記憶蓄積する記憶手段と、記憶手段のキャッシュファイルから、面積あるいは面積率を求めたい領域である指定領域と重なりを持つセルないし図形群のセル・図形情報を取得するためのセル・図形情報取得手段と、セル・図形情報をもとに、指定領域と、これに重なりをを持つセルないし図形群の領域との重なり具合を把握し、その全部が指定領域内にあるセルないし図形群の領域の面積部分は算出し、これを計算済面積とし、その一部が指定領域内にあるセルないし図形群の領域の面積部分は算出せず、これを実計算領域とし、そのセルないし図形群の領域と指定領域との重なり具合情報を実計算領域情報として得る、領域把握手段と、実計算領域情報、セル・図形情報のファイルシーク情報をもとに、実計算領域を形成するセルないし図形群の領域に対応する図形データを抽出し、実計算領域の面積を計算する実計算領域面積計算手段と、前記計算済面積と実計算領域の面積とをあわせた面積ないし該面積の指定領域の面積に占める割合である面積率を計算する面積・面積率計算手段とを備えていることにより、これを達成している。
【００１０】
詳しくは、本発明のフォトマスクデータ表示装置用の面積計算装置によれば、キャッシュファイルのセル・図形情報をもとに、指定領域と重なりを持つセルあるいは図形群に対し、その全部が指定領域内にあるセルないし図形群の領域の面積部分は算出し、これを計算済面積とし、その一部が指定領域内にあるセルないし図形群の領域の面積部分は算出せず、これを実計算領域とし、その図形データと指定領域との重なり具合情報を実計算領域情報として得ることができ、且つ、実計算領域情報とファイルシーク情報をもとに、実計算領域を求めるのに必要な図形データのみを記憶手段のフォトマスクデータから抽出し、実計算領域を求めることができるものとしており、従来のように、指定領域を決めるたびに、対象となる全図形データについて、面積、面積率の計算を行なう必要がないものとしている。
また、現在の指定領域、あるいは確認済みの指定領域を表示し、これに対応した現在の表示における面積ないし面積率の計算をそこから指示し、且つ、計算結果を表示するための面積ウインドウを備えた表示部を設けていることにより、異なるマスクデータの同一座標の面積、面積率を容易に計算ならびに確認することを可能としている。
そして、面積ウインドウを備えた表示部が、フォトマスクデータ表示装置のための表示部を兼ねることにより、装置構成を簡略化できる。
また、本発明のフォトマスクデータ表示装置用の面積計算装置の記憶手段は、フォトマスクデータ表示装置のための、フォトマスクデータあるいはフォトマスクデータのキャッシュファイル等を記憶蓄積する記憶手段を兼ねることにより、装置構成を簡略化できる。
また、特に、描画装置用のフォトマスクデータが大規模フォトマスクデータである場合には、有効である。
【００１１】
本発明のフォトマスクデータ表示装置は、このような構成にすることにより、描画装置用のフォトマスクデータあるいはＬＳＩレイアウトデータをディスプレイ装置上に図形表示しながら、表示された図形の占める面積や面積率を求める計算を行なう際に、その計算時間が実用レベルで行なえる、フォトマスクデータ表示装置の提供を可能としている。
【００１２】
【発明の実施の形態】
本発明の実施の形態例を挙げ、図に基づいて説明する。
図１は本発明のフォトマスクデータ表示装置用の面積計算装置の実施の形態の１例の概略構成を示した図で、図２は図１に示す面積計算装置を一体的にもうけた本発明のフォトマスクデータ表示装置の実施の形態の１例の概略構成を示した図で、図３は指定領域と図形群との関係を説明するための図、図４はキャッシュファイルを説明するための図、図５はビットマップを説明するための図、図６はビットマップと省略図形の関係を説明するための図、図７は省略図形を説明するための図、図８は図形データのポジ、ネガと計算との関係を説明するための図、図９は面積計算ウインドウの図である。
図１〜図５、図７、図８において、１０は面積計算装置、１０Ａは処理部、１１は記憶手段（磁気ディスク）、１２はセル・図形情報取得手段、１３は領域把握手段、１４は実計算領域面積計算手段、１５は面積・面積率計算手段、１６は制御手段、１７は入力手段、１８、１８Ａは表示手段、２０はキャッシュファイル、２１はセル・図形情報、３０はフォトマスクデータ、３１は図形データ、４０は入力座標、５０は実計算領域情報、６１は計算済面積、６２は実計算領域面積、６３は面積・面積率、７１は図形データ取得手段、７２は図形表示制御手段、８１は図形データ・省略図形データ、８２は表示図形データ、８３はクリップ情報、３１０は指定領域、３１１〜３１６は図形群、４１１は図形群１、４１２は図形群２、４２０は図形、４３０はゾーン、Ａ（ｍ、ｎ）は分割領域、Ｍｅはメッシュ、５１１、５１２は図形、７１０、７１１は指定領域、７２０は図形領域（デジタイズ領域でもある）、７２１は図形領域、７２１ａはデジタイズ領域、７３０はデータ領域、９１０は計算実行キー、９２０は戻るキー、９３０は次へキー、９４０はクローズキー、９５１は面積率の欄、９５２は面積の欄である。
【００１３】
本発明のフォトマスクデータ表示装置用の面積計算装置の実施の形態の１例を、図１に基づいて説明する。
本例は、フォトマスクデータについて、マスク毎に、指定領域内の図形の面積あるいは面積率を取得するための、面積計算装置であり、図１に示すように、フォトマスクデータ３０と、フォトマスクデータ全体にわたり、セル毎にあるいは図形群毎にその領域情報、ファイルシーク情報を持つセル・図形情報を作成し、作成されたセル・図形情報を連ねたキャッシュファイル２０とを記憶蓄積する記憶手段１１と、記憶手段１１のキャッシュファイル２０から、面積あるいは面積率を求めたい領域である指定領域と重なりを持つセルないし図形群のセル・図形情報２１を取得するためのセル・図形情報取得手段１２と、セル・図形情報２１をもとに、指定領域と、これに重なりをを持つセルないし図形群の領域との重なり具合を把握し、その全部が指定領域内にあるセルないし図形群の領域の面積部分は算出し、これを計算済面積とし、その一部が指定領域内にあるセルないし図形群の領域の面積部分は算出せず、これを実計算領域とし、そのセルないし図形群の領域と指定領域との重なり具合情報を実計算領域情報として得る、領域把握手段１３と、実計算領域情報５０、セル・図形情報２１のファイルシーク情報をもとに、実計算領域を形成するセルないし図形群の領域に対応する図形データを抽出し、実計算領域の面積６２を計算する実計算領域面積計算手段１４と、前記計算済面積６１と実計算領域の面積６２とをあわせた面積ないし該面積の指定領域の面積に占める割合である面積率を計算する面積・面積率計算手段１５とを備えているもので、更に、面積計算の操作を実施させ、計算された結果を表示するためのウインドウを表示するための表示手段１８を設けている。
【００１４】
ここで、図１に基づき、本例のフォトマスクデータ表示装置用の面積計算装置の処理フローの１例を簡単に説明する。
先ず、電源ＯＮとし、各部を起動させた状態としておくと、例えば、図９に示すような操作ウインドウが表示手段１８に表示される。
入力手段１７により、フォトマスクデータ名とそのレイヤー名（マスク名）、計算する領域を、Ｘ，Ｙ座標系で、左下座標、右上座標指定する。
指定される左下座標、右上座標が入力座標である。
制御部１６からの指示で図９に示す表示手段１８のウインドウには、左下座標値、右上座標値が入る。
このウインドウの計算実行キー９１０をマウスクリックすることにより、制御部１６の制御のもと、以下のように、計算が行われ、左下座標値、右上座標値により指定される領域内のフォトマスクデータの図形が占める面積、該面積の指定領域との面積率を求め、結果が、図９に示すウインドウの面積率の欄９５１、面積の欄９５２に表示される。
計算は、例えば、以下のように行われる。
先ず、計算実行キー９１０がクリックされると、セル・図形情報取得手段１２は、入力座標をもとに、制御部１６の指示で、記憶手段１１のキャッシュファイル２０から、指定された面積あるいは面積率を求めたい領域である指定領域と重なりを持つ各セルあるいは各図形群のセル・図形情報２１を取得し、更に、これを領域把握手段１３へと渡す。
一方、入力座標である左下座標値、右上座標値は、制御部１６の指示のもと、領域把握手段１３へと渡される。
【００１５】
次いで、領域把握手段１３は、セル・図形情報２１と入力座標をもとに、指定された面積あるいは面積率を求めたい領域である指定領域と重なりを持つ、対象とするフォトマスクデータの各セルあるいは図形群の領域との重なり具合を把握する。
そして、その全部が指定領域内にある各セルあるいは各図形群の面積部分は算出し、これらを総和し、これを計算済面積６１とし、その一部が指定領域内にあるセルあるいは図形群の面積部分は算出せず、これを実計算領域とし、その各セルあるいは各図形群の領域と指定領域との重なり具合情報を実計算領域情報５０として得る。
次いで、実計算領域面積計算手段１４は、実計算領域情報５０、セル・図形情報２１のファイルシーク情報をもとに、実計算領域を形成する図形群の図形データ３１を記憶手段１１のフォトマスクデータ３０から抽出し、更に、実計算領域情報５０をもとに、対象となる図形データの実計算領域内の図形の面積を求め、これらの総和を求め、これを実計算領域面積６２とする。
【００１６】
例えば、指定領域３１０と各図形群３１１〜３１６が図３（ａ）のような関係にある場合、この指定領域３１０内にすべてが含まれる図形群３１１、３１２、３１４、３１５の各々の図形の占める面積の総和である、図３（ｂ）の斜線部で示す領域が計算済領域となる。
また、図形群３１３の指定領域内の部分３１３ａ内にある図形の占める面積と、図形群３１６の指定領域内の部分３１６ａ内にある図形の占める面積との面積和が実計算領域面積となる。
計算済領域は、セル・図形情報２１からそれぞれの図形群の図形の占める面積を取り出し、これらの和計算を行なうだけで、簡単に得ることができる。
ここでは、各図形群に含まれる各図形の占める面積を計算して得る必要はない。
また、ここでは、実計算領域面積を求めず、図形群と指定領域との重なり具合情報のみを求める。
【００１７】
そして、先に得られた計算済面積６１と実計算領域面積６２との和を求める面積とする。
また、求められたこの面積と指定領域との比から面積率を得る。
このようにして、目的とする面積と面積率が得られる。
【００１８】
尚、図９に示す操作ウインドウは、現在の指定領域、あるいは確認済みの指定領域を表示し、これに対応した現在の表示における面積ないし面積率の計算をそこから指示し、且つ、計算結果を表示するための面積ウインドウを備えた表示部を設けていることにより、異なるマスクデータ（レイヤデータ）指定のもと、一度計算した確認済の指定領域の座標を表示させ、計算実行キーをマウスクリックして、異なるマスクデータに対して、座標を再度入力することなく、面積、面積率を計算できる。
【００１９】
また、本例の装置の使用の仕方としては、別体のフォトマスクデータ表示装置と併行して使用あるいは、記憶手段１１、表示手段１８を別体のフォトマスクデータ表示装置と兼用し、使用する形態も挙げられる。
これらの場合、フォトマスクデータの表示をみながら面積計算領域を指定することができる。
操作ウインドウも、図９に示すものに限定はされない、例えば、入力座標を中心座標と所定幅で規定しても良い。
【００２０】
ここで、キャッシュファイルの１例を、図４〜図７をもとに説明する。
ここでは、描画装置用のフォトマスクデータのキャッシュファイルについて説明する。
キャッシュファイルは、描画装置用のフォトマスクデータ（図２の３０に相当）に対応して、所定数の図形からなる複数の図形群データに分け、分けられた複数の図形群データを連ねてまとめたもので、例えば、図形群が２個のフォトマスク上の配置である図４（ｂ）に対応するキャッシュファイルは、図４（ａ）のように表される。
ここでは、説明を分かり易くするため、図形群が２個のフォトマスク上の配置である図４（ｂ）に対応するキャッシュファイルを例に、その書式と図形群、図形との関係を簡単に説明するが、図形群は２個に限定されるものではない。
図形群１のデータ、図形群２のデータは、図４（ａ）に示すように、それぞれ、図形数、図形面積、ゾーン（図形ゾーンのこと）、描画装置用のフォトマスクデータの中のファイルシークアドレス先頭であるシーク先頭位置、描画装置用のフォトマスクデータの中のファイルシークアドレス末尾であるシーク末尾位置、図形領域を所定のメッシュで区切った場合、区切られた箇所毎に図形が存在しているか否かを表現するビットマップとを有する。
【００２１】
各図形群のシーク先頭位置、シーク末尾位置は、記憶手段１１のアドレスを示すもので、描画装置用のフォトマスクデータの図形データを取得する際の、ファイルシーク情報として用いられる。
記憶手段１１上の描画装置用のフォトマスクデータについては、図４（ｃ）に示されるように、その図形群１のデータは、記憶手段１１のアドレス（００００〜０００４）に、その図形群２のデータは、記憶手段１１のアドレス（０００５〜００１６）に格納されているので、キャッシュファイルのシーク先頭位置、シーク末尾位置をもとに、各図形群のデータを簡単に得ることができる。
尚、ビットマップは、表示装置に省略図形データを発生させる際の、省略情報として用いられるものである。
【００２２】
ビットマップは、表示装置に省略図形データを発生させる際の、省略情報として用いられるもので、図形群の領域を所定のメッシュで分割した各分割領域Ａ（ｍ、ｎ）（ｍ、ｎは整数）について、図形がある領域については、ビット１を、図形がない領域についてはビット０を割りふってマップ化したものである。
例えば、図５（ａ）に示されるように図形群が、分割領域Ａ（ｉ、ｊ）〜Ａ（ｉ＋８、ｊ＋４）に分割された場合、対応するビットマップは図５（ｂ）のようになる。
【００２３】
また、図６（ａ）、図６（ｂ）、図６（ｃ）のようにマップ化されたビットマップの場合、これらに対応して、それぞれ、例えば、図６（ａ１）、図６（ｂ１）、図６（ｃ１）のように図形を発生させる。
また、図７（ａ）のような同じ図形が、表示倍率１０００倍で複数配列される場合、図７（ｂ）のように、表示倍率１倍で１つの図形だけを表示するようにしても良い。
【００２４】
上記のような描画装置用のフォトマスクデータに対応したキャッシュファイルが作成されるが、フォトマスクデータがソースデータ（ＬＳＩレイアウトデータとも言い、通常、ストリームフォーマットデータである）の場合も、そのＬＳＩレイアウトデータのデータファイル内の、個々の図形情報の連続した並びにおいて、順に、連続する任意の数の図形情報を１つの集合として捉えて、全体を複数の集合に分け、各集合毎に、集合内の図形情報、集合領域情報、ファイルシーク情報を持たせた地図情報を作成し、これをキャッシュファイルとする。
勿論、セル毎にその領域情報、ファイルシーク情報を持たせ、これらを連ねたキャッシュファイルを作成しても良い。
【００２５】
図形データとしては、図８（ａ）に示すように、指定領域７１０に対して、デジタイズ領域がそのまま図形領域７２０として用いられるものの他、図８（ｂ）に示すように、指定領域７１１に対して、デジタイズ領域がそのまま用いられず、データ領域を反転した状態のものを図形領域として用いる場合もある。
通常、図８（ａ）の場合はポジデータ、図８（ｂ）の場合はネガデータあるいは反転データと言われ、それぞれ、図８（ａ）、図８（ｂ）の図形領域７２０、７２１の面積を求めることが、その対象となる。
このため、通常、キャッシュファイルのセル・図形情報をポジデータについてもたせておき、ポジデータ、反転データについては、それぞれ、別の方法で計算すれば良い。
尚、図８（ａ）の図形データをそのデータ領域７３０で反転したものが図８（ｂ）に示す図形データである。
【００２６】
本発明のフォトマスクデータ表示装置の実施の形態の１例を、図２に基づいて説明する。
本例は、図１に示すフォトマスクデータ表示装置用の面積計算装置を一体的に設けたフォトマスクデータ表示装置で、表示手段（ディスプレイ）１８により、フォトマスクデータの表示を行ないながら、面積あるいは面積率を取得する領域をマウス等により指定し、指定された表示領域の中の指定領域内の図形の面積あるいは面積率を取得することができるものである。
図２において太点線内が、図１に示す面積計算装置に相当する。
本例のフォトマスクデータ表示装置においては、例えば、各レイヤーデータ（マスクデータとも言う）を表示しながら、その計算する領域をマウス等で指定することができる。
以下、簡単に、その動作フローを説明する。
先ず、入力手段１７により、表示するフォトマスクデータ名、表示する領域、表示倍率情報等の入力情報を入力する。
制御部１６を介して、この入力情報は、図形データ取得手段７１へ送られると、図形データ取得手段７１は、記憶手段１１から対応する領域の図形データあるいは省略図形データ８１を得て、これを図形表示制御手段７２に渡す。
図形データ取得手段７１は、目的とするフォトマスクデータ３０に対応するキャッシュファイル２０の情報をもとにこの操作を行なう。
図形データ取得手段７１は、先ず、キャッシュファイル２０から情報を取得し、表示方法を決定するもので、省略図形で表示するか、フォトマスクデータの図形で表示するかを決定する。
そして、その決定にしたがい、キャッシュファイル２０のファイルシーク情報により検索し、描画装置用のフォトマスクデータの対応する図形データを取得したり、キャッシュファイル２０の省略情報から、省略図形データを発生させる。図形表示制御手段７２は、図形データあるいは省略図形データ８１を受け取り、対応する表示図形データ８２を作成し、これを表示手段１８Ａにて表示する。
【００２７】
次いで、図形表示された表示手段１８Ａの表示画面をみながら、更に、マウス等の入力により新たな表示領域を指定すると、その表示領域や表示倍率情報を含むクリップ情報８３は、それぞれ、図形データ取得手段７１に渡される。
そして、図形データ取得手段７１は、記憶手段１１から対応する領域の図形データあるいは省略図形データ８１を得て、これを図形表示制御手段７２に渡す
ここでも、図形データ取得手段７１は、目的とするフォトマスクデータに対応するキャッシュファイルの情報をもとにこの操作を行なう。
図形表示制御手段７２は、図形データあるいは省略図形データ８１を受け取り、対応する表示図形データ８２を作成し、これを表示手段１８Ａにて表示する
この１連のフローを必要に応じて繰り返し、目的の表示を得る。
【００２８】
このようにして、目的の表示を得た状態で、面積計算の領域をマウス等でクリックして指定すると、これを面積計算の入力座標として、面積計算装置１０が面積計算を行なう。
面積計算の領域がマウス等でクリックして指定されると、図９に示すウインドウが、入力座標が入った状態で表示装置１８Ａに表示される。
そして、計算実行キー９１０をクリックすることにより、計算が実行され、結果が面積率の欄９５１、面積の欄９５２に表示される。
尚、本例においても、キャッシュファイルとしては、先に述べた図４（ａ）に示すようなものを使用し、省略図形を発生させているとしている。
【００２９】
【発明の効果】
本発明は、上記のように、フォトマスクデータについて、指定領域内の図形の面積あるいは面積率を対応するマスク単位で取得するための、面積や面積率を求める計算を行なう際に、その計算時間が実用レベルで行なえる、フォトマスクデータ表示装置用の面積計算装置の提供を可能とした。
そして、特に、描画装置用のフォトマスクデータあるいはＬＳＩレイアウトデータをディスプレイ装置上に図形表示しながら、表示された図形の占める面積や面積率を求める計算を行なう際に、その計算時間が実用レベルで行なえる面積計算装置の提供を可能とた。
同時にそのような面積計算装置を一体として設けているフォトマスクデータ表示装置の提供を可能とした。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明のフォトマスクデータ表示装置用の面積計算装置の実施の形態の１例の概略構成を示した図である。
【図２】図１に示す面積計算装置を一体的にもうけた本発明のフォトマスクデータ表示装置の実施の形態の１例の概略構成を示した図である。
【図３】指定領域と図形群との関係を説明するための図である。
【図４】キャッシュファイルを説明するための図である。
【図５】ビットマップを説明するための図である。
【図６】ビットマップと省略図形の関係を説明するための図である。
【図７】省略図形を説明するための図である。
【図８】図形データのポジ、ネガと計算との関係を説明するための図である。
【図９】面積計算ウインドウの図である。
【符号の説明】
１０ 面積計算装置
１０Ａ 処理部
１１ 記憶手段（磁気ディスク）
１２ セル・図形情報取得手段
１３ 領域把握手段
１４ 実計算領域面積計算手段
１５ 面積・面積率計算手段
１６ 制御手段
１７ 入力手段
１８、１８Ａ 表示手段
２０ キャッシュファイル
２１ セル・図形情報
３０ フォトマスクデータ
３１ 図形データ
４０ 入力座標
５０ 実計算領域情報
６１ 計算済面積
６２ 実計算領域面積
６３ 面積・面積率
７１ 図形データ取得手段
７２ 図形表示制御手段
８１ 図形データ・省略図形データ
８２ 表示図形データ
８３ クリップ情報
３１０ 指定領域
３１１〜３１６ 図形群
４１１ 図形群１
４１２ 図形群２
４２０ 図形
４３０ ゾーン
Ａ（ｍ、ｎ） 分割領域
Ｍｅ メッシュ
５１１、５１２ 図形
７１０、７１１ 指定領域
７２０ 図形領域（デジタイズ領域でもある）
７２１ 図形領域
７２１ａ デジタイズ領域
７３０ データ領域
９１０ 計算実行キー
９２０ 戻るキー
９３０ 次へキー
９４０ クローズキー
９５１ 面積率の欄
９５２ 面積の欄
Claims (6)
- フォトマスクデータについて、マスク毎に、フォトマスクデータ領域中の指定領域内の図形の面積あるいは面積率を取得するための面積計算装置であって、フォトマスクデータと、フォトマスクデータ全体にわたり、セル毎にあるいは図形群毎にその領域情報、ファイルシーク情報を持つセル・図形情報を作成し、作成されたセル・図形情報を連ねたキャッシュファイルとを記憶蓄積する記憶手段と、記憶手段のキャッシュファイルから、面積あるいは面積率を求めたい領域である指定領域と重なりを持つセルないし図形群のセル・図形情報を取得するためのセル・図形情報取得手段と、セル・図形情報をもとに、指定領域と、これに重なりをを持つセルないし図形群の領域との重なり具合を把握し、その全部が指定領域内にあるセルないし図形群の領域の面積部分は算出し、これを計算済面積とし、その一部が指定領域内にあるセルないし図形群の領域の面積部分は算出せず、これを実計算領域とし、そのセルないし図形群の領域と指定領域との重なり具合情報を実計算領域情報として得る、領域把握手段と、実計算領域情報、セル・図形情報のファイルシーク情報をもとに、実計算領域を形成するセルないし図形群の領域に対応する図形データを抽出し、実計算領域の面積を計算する実計算領域面積計算手段と、前記計算済面積と実計算領域の面積とをあわせた面積ないし該面積の指定領域の面積に占める割合である面積率を計算する面積・面積率計算手段とを備えていることを特徴とするフォトマスクデータ表示装置用の面積計算装置。
- 請求項１における記憶手段は、フォトマスクデータ表示装置のための、フォトマスクデータあるいはフォトマスクデータのキャッシュファイル等を記憶蓄積する記憶手段を兼ねることを特徴とするフォトマスクデータ表示装置用の面積計算装置。
- 請求項１ないし２において、現在の指定領域、あるいは確認済みの指定領域を表示し、これに対応した現在の表示における面積ないし面積率の計算をそこから指示し、且つ、計算結果を表示するための面積ウインドウを備えた表示部を設けていることを特徴とするフォトマスクデータ表示装置用の面積計算装置。
- 請求項３における表示部は、フォトマスクデータ表示装置のための表示部を兼ねることを特徴とするフォトマスクデータ表示装置用の面積計算装置。
- 請求項１ないし４において、フォトマスクデータが大規模ＬＳＩ用フォトマスクデータであることを特徴とするフォトマスクデータ表示装置用の面積計算装置。
- 請求項１ないし５に記載の面積計算装置を、一体として設けていることを特徴とするフォトマスクデータの表示装置。
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