JP2003132113A

JP2003132113A - フォトマスクデータ表示装置用の面積計算装置及びフォトマスクデータの表示装置

Info

Publication number: JP2003132113A
Application number: JP2001321281A
Authority: JP
Inventors: Seiji Yamazaki; 清司山崎; Yuji Machitani; 雄二町谷
Original assignee: Dai Nippon Printing Co Ltd
Current assignee: Dai Nippon Printing Co Ltd
Priority date: 2001-10-19
Filing date: 2001-10-19
Publication date: 2003-05-09
Anticipated expiration: 2021-10-19
Also published as: JP4090720B2

Abstract

(57)【要約】（修正有）【課題】描画装置用のフォトマスクデータあるいはＬ
ＳＩレイアウトデータを図形表示し、表示された図形の
占める面積や面積率を実用レベルで計算を行なえる、フ
ォトマスクデータ表示装置用の面積計算装置を提供す
る。【解決手段】セル・図形情報２１をもとに、計算指定
領域と、これに重なりを持つセルないし図形群の領域と
の重なり具合を把握し、その全部が指定領域内にあるセ
ルないし図形群の面積部分を算出する領域把握手段１３
と、領域把握手段からの重なり具合情報と、セル・図形
情報のファイルシーク情報をもとに、図形データを抽出
し、更に重なり具合情報をもとに、実計算領域面積６２
を計算する実計算領域面積計算手段１４と、計算済面積
と実計算領域の面積とをあわせた面積ないし該面積の指
定領域の面積に占める割合である面積率を計算する面積
・面積率計算手段１５とを備えている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、フォトマスクデー
タについて、指定領域内の図形の面積あるいは面積率を
対応するマスク単位で取得するための、面積計算装置
と、該面積計算装置を一体として設けているフォトマス
クデータの表示装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】近年、電子機器の高機能化と軽薄短小の
傾向から、ＡＳＩＣに代表される種々のＬＳｌには、ま
すます高集積化、高機能化が求められるようになってき
た。上記ＡＳＩＣ等のＬＳＩは、機能、論理設計、回路
設計、レイアウト設計等を経て、フォトマスクパタン作
製用の図形データを作製し、これを用いてフォトマスク
を作製した後、フォトマスクのパタンをウエハ上に縮小
投影露光等により転写して、半導体素子作製のプロセス
を行うという数々の工程を経て作製されるものである。

【０００３】このような中、ＬＳＩ産業界では、一般的
に、ＬＳＩ設計工程及びフォトマスク製造工程におけ
る、ＬＳＩレイアウトデータのファイルフォーマットと
し、ストリームフォーマット（ＳｔｒｅａｍＦｏｒｍ
ａｔ）を使用しているが、更に、このストリームフォー
マットからなるＬＳＩレイアウトデータをデータフォー
マット変換して、描画装置用のフォトマスクデータとし
て、各描画装置に供されている。描画装置用のフォトマ
スクデータとしては、例えば、ラスター型の電子線描画
装置用ではＭＥＢＥＳフォーマット（パーキンエルマー
社製描画装置用）やＥＢＭフォーマット（東芝製描画装
置用）等があり、ベクター型の電子線描画装置用として
は、Ｊｅｏｌフォーマット（日本電子株式会社製描画装
置用）等があるが、他にも種々ある。尚、ウエハ上の回
路が所定の複数のフォトマスクを用いて投影転写され作
製されることより、通常、フォトマスクデータと言う場
合、１枚以上の複数のマスクを作製するためのデータを
意味し、マスクデータと言う場合、マスクを１枚作製す
るためのデータを意味する。

【０００４】そして、描画装置用のフォトマスクデータ
あるいはＬＳＩレイアウトデータをディスプレイ装置上
に図形表示し、拡大、縮小表示を行いながら、フォトマ
スクデータの確認、パターン配置の確認や、寸法検査箇
所の特定、不良発生時のデータ欠陥解析等の作業を行な
うことがあるが、更に、表示された図形の占める面積や
面積率を不良要因の解析に使用することがある。従来、
この面積や面積率は、バッチ型の図形処理ソフトで計算
されていた。この図形処理ソフトは、その都度対象の指
定領域内の図形データの全ての図形を対象に面積計算を
するものであり、指定領域が複数ある場合、その計算に
時間がかかり実用レベルでないという問題があった。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】上記のように、描画装
置用のフォトマスクデータあるいはＬＳＩレイアウトデ
ータをディスプレイ装置上に図形表示しながら、表示さ
れた図形の占める面積や面積率を求める計算を行なう場
合、その計算が実用レベルでないという問題があった。
本発明は、これに対応するもので、描画装置用のフォト
マスクデータあるいはＬＳＩレイアウトデータをディス
プレイ装置上に図形表示しながら、表示された図形の占
める面積や面積率を求める計算を行なう際に、その計算
時間が実用レベルで行なえる、フォトマスクデータ表示
装置用の面積計算装置を提供しようとするものである。
同時にそのような面積計算装置を一体として設けている
フォトマスクデータ表示装置を提供しようとするもので
ある。

【０００６】

【課題を解決するための手段】本発明のフォトマスクデ
ータ表示装置用の面積計算装置は、フォトマスクデータ
について、マスク毎に、指定領域内の図形の面積あるい
は面積率を取得するための面積計算装置であって、フォ
トマスクデータと、フォトマスクデータ全体にわたり、
セル毎にあるいは図形群毎にその領域情報、ファイルシ
ーク情報を持つセル・図形情報を作成し、作成されたセ
ル・図形情報を連ねたキャッシュファイルとを記憶蓄積
する記憶手段と、記憶手段のキャッシュファイルから、
面積あるいは面積率を求めたい領域である指定領域と重
なりを持つセルないし図形群のセル・図形情報を取得す
るためのセル・図形情報取得手段と、セル・図形情報を
もとに、指定領域と、これに重なりを持つセルないし図
形群の領域との重なり具合を把握し、その全部が指定領
域内にあるセルないし図形群の領域の面積部分は算出
し、これを計算済面積とし、その一部が指定領域内にあ
るセルないし図形群の領域の面積部分は算出せず、これ
を実計算領域とし、そのセルないし図形群の領域と指定
領域との重なり具合情報を実計算領域情報として得る、
領域把握手段と、実計算領域情報、セル・図形情報のフ
ァイルシーク情報をもとに、実計算領域を形成するセル
ないし図形群の領域に対応する図形データを抽出し、実
計算領域の面積を計算する実計算領域面積計算手段と、
前記計算済面積と実計算領域の面積とをあわせた面積な
いし該面積の指定領域の面積に占める割合である面積率
を計算する面積・面積率計算手段とを備えていることを
特徴とするものである。そしてまた、上記における記憶
手段は、フォトマスクデータ表示装置のための、フォト
マスクデータあるいはフォトマスクデータのキャッシュ
ファイル等を記憶蓄積する記憶手段を兼ねることを特徴
とするものである。そしてまた、上記において、現在の
指定領域、あるいは確認済みの指定領域を表示し、これ
に対応した現在の表示における面積ないし面積率の計算
をそこから指示し、且つ、計算結果を表示するための面
積ウインドウを備えた表示部を設けていることを特徴と
するものであり、該表示部は、フォトマスクデータ表示
装置のための表示部を兼ねることを特徴とするものであ
る。また、上記において、フォトマスクデータが大規模
ＬＳＩ用フォトマスクデータであることを特徴とするも
のである。

【０００７】尚、ここでは、フォトマスクデータは、１
枚以上の複数のマスクを作製するためのデータを意味
し、セルは、ストリームフォーマットデータの階層を示
す１単位を意味する。また、大規模ＬＳＩ用フォトマス
クデータとは、ここでは、一般に知られるところの数百
万個以上のトランジスタを搭載したロジックＬＳＩ、メ
モリーＬＳＩ、ＡＳＩＣのフォトマスクデータであり、
そのファイルサイズもギガバイトオーダーであることを
意味する。

【０００８】本発明のフォトマスクデータ表示装置は、
上記本発明のフォトマスクデータ表示装置用の面積計算
装置を、一体として設けていることを特徴とするもので
ある。

【０００９】

【作用】本発明のフォトマスクデータ表示装置用の面積
計算装置は、このような構成にすることにより、フォト
マスクデータについて、指定領域内の図形の面積あるい
は面積率を対応するマスク単位で取得するための、面積
や面積率を求める計算を行なう際に、その計算時間が実
用レベルで行なえる、フォトマスクデータ表示装置用の
面積計算装置の提供を可能としている。そして、描画装
置用のフォトマスクデータあるいはＬＳＩレイアウトデ
ータをディスプレイ装置上に図形表示しながら、表示さ
れた図形の占める面積や面積率を求める計算を行なう際
に、その計算時間が実用レベルで行なえる面積計算装置
の提供を可能としている。特に、描画装置用のフォトマ
スクデータのファイルサイズが大規模化した場合でも、
データのサイズに依存せず、処理を実用レベルの時間内
で行なえるものとしている。具体的には、フォトマスク
データと、フォトマスクデータ全体にわたり、セル毎に
あるいは図形群毎にその領域情報、ファイルシーク情報
を持つセル・図形情報を作成し、作成されたセル・図形
情報を連ねたキャッシュファイルとを記憶蓄積する記憶
手段と、記憶手段のキャッシュファイルから、面積ある
いは面積率を求めたい領域である指定領域と重なりを持
つセルないし図形群のセル・図形情報を取得するための
セル・図形情報取得手段と、セル・図形情報をもとに、
指定領域と、これに重なりをを持つセルないし図形群の
領域との重なり具合を把握し、その全部が指定領域内に
あるセルないし図形群の領域の面積部分は算出し、これ
を計算済面積とし、その一部が指定領域内にあるセルな
いし図形群の領域の面積部分は算出せず、これを実計算
領域とし、そのセルないし図形群の領域と指定領域との
重なり具合情報を実計算領域情報として得る、領域把握
手段と、実計算領域情報、セル・図形情報のファイルシ
ーク情報をもとに、実計算領域を形成するセルないし図
形群の領域に対応する図形データを抽出し、実計算領域
の面積を計算する実計算領域面積計算手段と、前記計算
済面積と実計算領域の面積とをあわせた面積ないし該面
積の指定領域の面積に占める割合である面積率を計算す
る面積・面積率計算手段とを備えていることにより、こ
れを達成している。

【００１０】詳しくは、本発明のフォトマスクデータ表
示装置用の面積計算装置によれば、キャッシュファイル
のセル・図形情報をもとに、指定領域と重なりを持つセ
ルあるいは図形群に対し、その全部が指定領域内にある
セルないし図形群の領域の面積部分は算出し、これを計
算済面積とし、その一部が指定領域内にあるセルないし
図形群の領域の面積部分は算出せず、これを実計算領域
とし、その図形データと指定領域との重なり具合情報を
実計算領域情報として得ることができ、且つ、実計算領
域情報とファイルシーク情報をもとに、実計算領域を求
めるのに必要な図形データのみを記憶手段のフォトマス
クデータから抽出し、実計算領域を求めることができる
ものとしており、従来のように、指定領域を決めるたび
に、対象となる全図形データについて、面積、面積率の
計算を行なう必要がないものとしている。また、現在の
指定領域、あるいは確認済みの指定領域を表示し、これ
に対応した現在の表示における面積ないし面積率の計算
をそこから指示し、且つ、計算結果を表示するための面
積ウインドウを備えた表示部を設けていることにより、
異なるマスクデータの同一座標の面積、面積率を容易に
計算ならびに確認することを可能としている。そして、
面積ウインドウを備えた表示部が、フォトマスクデータ
表示装置のための表示部を兼ねることにより、装置構成
を簡略化できる。また、本発明のフォトマスクデータ表
示装置用の面積計算装置の記憶手段は、フォトマスクデ
ータ表示装置のための、フォトマスクデータあるいはフ
ォトマスクデータのキャッシュファイル等を記憶蓄積す
る記憶手段を兼ねることにより、装置構成を簡略化でき
る。また、特に、描画装置用のフォトマスクデータが大
規模フォトマスクデータである場合には、有効である。

【００１１】本発明のフォトマスクデータ表示装置は、
このような構成にすることにより、描画装置用のフォト
マスクデータあるいはＬＳＩレイアウトデータをディス
プレイ装置上に図形表示しながら、表示された図形の占
める面積や面積率を求める計算を行なう際に、その計算
時間が実用レベルで行なえる、フォトマスクデータ表示
装置の提供を可能としている。

【００１２】

【発明の実施の形態】本発明の実施の形態例を挙げ、図
に基づいて説明する。図１は本発明のフォトマスクデー
タ表示装置用の面積計算装置の実施の形態の１例の概略
構成を示した図で、図２は図１に示す面積計算装置を一
体的にもうけた本発明のフォトマスクデータ表示装置の
実施の形態の１例の概略構成を示した図で、図３は指定
領域と図形群との関係を説明するための図、図４はキャ
ッシュファイルを説明するための図、図５はビットマッ
プを説明するための図、図６はビットマップと省略図形
の関係を説明するための図、図７は省略図形を説明する
ための図、図８は図形データのポジ、ネガと計算との関
係を説明するための図、図９は面積計算ウインドウの図
である。図１〜図５、図７、図８において、１０は面積
計算装置、１０Ａは処理部、１１は記憶手段（磁気ディ
スク）、１２はセル・図形情報取得手段、１３は領域把
握手段、１４は実計算領域面積計算手段、１５は面積・
面積率計算手段、１６は制御手段、１７は入力手段、１
８、１８Ａは表示手段、２０はキャッシュファイル、２
１はセル・図形情報、３０はフォトマスクデータ、３１
は図形データ、４０は入力座標、５０は実計算領域情
報、６１は計算済面積、６２は実計算領域面積、６３は
面積・面積率、７１は図形データ取得手段、７２は図形
表示制御手段、８１は図形データ・省略図形データ、８
２は表示図形データ、８３はクリップ情報、３１０は指
定領域、３１１〜３１６は図形群、４１１は図形群１、
４１２は図形群２、４２０は図形、４３０はゾーン、Ａ
（ｍ、ｎ）は分割領域、Ｍｅはメッシュ、５１１、５１
２は図形、７１０、７１１は指定領域、７２０は図形領
域（デジタイズ領域でもある）、７２１は図形領域、７
２１ａはデジタイズ領域、７３０はデータ領域、９１０
は計算実行キー、９２０は戻るキー、９３０は次へキ
ー、９４０はクローズキー、９５１は面積率の欄、９５
２は面積の欄である。

【００１３】本発明のフォトマスクデータ表示装置用の
面積計算装置の実施の形態の１例を、図１に基づいて説
明する。本例は、フォトマスクデータについて、マスク
毎に、指定領域内の図形の面積あるいは面積率を取得す
るための、面積計算装置であり、図１に示すように、フ
ォトマスクデータ３０と、フォトマスクデータ全体にわ
たり、セル毎にあるいは図形群毎にその領域情報、ファ
イルシーク情報を持つセル・図形情報を作成し、作成さ
れたセル・図形情報を連ねたキャッシュファイル２０と
を記憶蓄積する記憶手段１１と、記憶手段１１のキャッ
シュファイル２０から、面積あるいは面積率を求めたい
領域である指定領域と重なりを持つセルないし図形群の
セル・図形情報２１を取得するためのセル・図形情報取
得手段１２と、セル・図形情報２１をもとに、指定領域
と、これに重なりをを持つセルないし図形群の領域との
重なり具合を把握し、その全部が指定領域内にあるセル
ないし図形群の領域の面積部分は算出し、これを計算済
面積とし、その一部が指定領域内にあるセルないし図形
群の領域の面積部分は算出せず、これを実計算領域と
し、そのセルないし図形群の領域と指定領域との重なり
具合情報を実計算領域情報として得る、領域把握手段１
３と、実計算領域情報５０、セル・図形情報２１のファ
イルシーク情報をもとに、実計算領域を形成するセルな
いし図形群の領域に対応する図形データを抽出し、実計
算領域の面積６２を計算する実計算領域面積計算手段１
４と、前記計算済面積６１と実計算領域の面積６２とを
あわせた面積ないし該面積の指定領域の面積に占める割
合である面積率を計算する面積・面積率計算手段１５と
を備えているもので、更に、面積計算の操作を実施さ
せ、計算された結果を表示するためのウインドウを表示
するための表示手段１８を設けている。

【００１４】ここで、図１に基づき、本例のフォトマス
クデータ表示装置用の面積計算装置の処理フローの１例
を簡単に説明する。先ず、電源ＯＮとし、各部を起動さ
せた状態としておくと、例えば、図９に示すような操作
ウインドウが表示手段１８に表示される。入力手段１７
により、フォトマスクデータ名とそのレイヤー名（マス
ク名）、計算する領域を、Ｘ，Ｙ座標系で、左下座標、
右上座標指定する。指定される左下座標、右上座標が入
力座標である。制御部１６からの指示で図９に示す表示
手段１８のウインドウには、左下座標値、右上座標値が
入る。このウインドウの計算実行キー９１０をマウスク
リックすることにより、制御部１６の制御のもと、以下
のように、計算が行われ、左下座標値、右上座標値によ
り指定される領域内のフォトマスクデータの図形が占め
る面積、該面積の指定領域との面積率を求め、結果が、
図９に示すウインドウの面積率の欄９５１、面積の欄９
５２に表示される。計算は、例えば、以下のように行わ
れる。先ず、計算実行キー９１０がクリックされると、
セル・図形情報取得手段１２は、入力座標をもとに、制
御部１６の指示で、記憶手段１１のキャッシュファイル
２０から、指定された面積あるいは面積率を求めたい領
域である指定領域と重なりを持つ各セルあるいは各図形
群のセル・図形情報２１を取得し、更に、これを領域把
握手段１３へと渡す。一方、入力座標である左下座標
値、右上座標値は、制御部１６の指示のもと、領域把握
手段１３へと渡される。

【００１５】次いで、領域把握手段１３は、セル・図形
情報２１と入力座標をもとに、指定された面積あるいは
面積率を求めたい領域である指定領域と重なりを持つ、
対象とするフォトマスクデータの各セルあるいは図形群
の領域との重なり具合を把握する。そして、その全部が
指定領域内にある各セルあるいは各図形群の面積部分は
算出し、これらを総和し、これを計算済面積６１とし、
その一部が指定領域内にあるセルあるいは図形群の面積
部分は算出せず、これを実計算領域とし、その各セルあ
るいは各図形群の領域と指定領域との重なり具合情報を
実計算領域情報５０として得る。次いで、実計算領域面
積計算手段１４は、実計算領域情報５０、セル・図形情
報２１のファイルシーク情報をもとに、実計算領域を形
成する図形群の図形データ３１を記憶手段１１のフォト
マスクデータ３０から抽出し、更に、実計算領域情報５
０をもとに、対象となる図形データの実計算領域内の図
形の面積を求め、これらの総和を求め、これを実計算領
域面積６２とする。

【００１６】例えば、指定領域３１０と各図形群３１１
〜３１６が図３（ａ）のような関係にある場合、この指
定領域３１０内にすべてが含まれる図形群３１１、３１
２、３１４、３１５の各々の図形の占める面積の総和で
ある、図３（ｂ）の斜線部で示す領域が計算済領域とな
る。また、図形群３１３の指定領域内の部分３１３ａ内
にある図形の占める面積と、図形群３１６の指定領域内
の部分３１６ａ内にある図形の占める面積との面積和が
実計算領域面積となる。計算済領域は、セル・図形情報
２１からそれぞれの図形群の図形の占める面積を取り出
し、これらの和計算を行なうだけで、簡単に得ることが
できる。ここでは、各図形群に含まれる各図形の占める
面積を計算して得る必要はない。また、ここでは、実計
算領域面積を求めず、図形群と指定領域との重なり具合
情報のみを求める。

【００１７】そして、先に得られた計算済面積６１と実
計算領域面積６２との和を求める面積とする。また、求
められたこの面積と指定領域との比から面積率を得る。
このようにして、目的とする面積と面積率が得られる。

【００１８】尚、図９に示す操作ウインドウは、現在の
指定領域、あるいは確認済みの指定領域を表示し、これ
に対応した現在の表示における面積ないし面積率の計算
をそこから指示し、且つ、計算結果を表示するための面
積ウインドウを備えた表示部を設けていることにより、
異なるマスクデータ（レイヤデータ）指定のもと、一度
計算した確認済の指定領域の座標を表示させ、計算実行
キーをマウスクリックして、異なるマスクデータに対し
て、座標を再度入力することなく、面積、面積率を計算
できる。

【００１９】また、本例の装置の使用の仕方としては、
別体のフォトマスクデータ表示装置と併行して使用ある
いは、記憶手段１１、表示手段１８を別体のフォトマス
クデータ表示装置と兼用し、使用する形態も挙げられ
る。これらの場合、フォトマスクデータの表示をみなが
ら面積計算領域を指定することができる。操作ウインド
ウも、図９に示すものに限定はされない、例えば、入力
座標を中心座標と所定幅で規定しても良い。

【００２０】ここで、キャッシュファイルの１例を、図
４〜図７をもとに説明する。ここでは、描画装置用のフ
ォトマスクデータのキャッシュファイルについて説明す
る。キャッシュファイルは、描画装置用のフォトマスク
データ（図２の３０に相当）に対応して、所定数の図形
からなる複数の図形群データに分け、分けられた複数の
図形群データを連ねてまとめたもので、例えば、図形群
が２個のフォトマスク上の配置である図４（ｂ）に対応
するキャッシュファイルは、図４（ａ）のように表され
る。ここでは、説明を分かり易くするため、図形群が２
個のフォトマスク上の配置である図４（ｂ）に対応する
キャッシュファイルを例に、その書式と図形群、図形と
の関係を簡単に説明するが、図形群は２個に限定される
ものではない。図形群１のデータ、図形群２のデータ
は、図４（ａ）に示すように、それぞれ、図形数、図形
面積、ゾーン（図形ゾーンのこと）、描画装置用のフォ
トマスクデータの中のファイルシークアドレス先頭であ
るシーク先頭位置、描画装置用のフォトマスクデータの
中のファイルシークアドレス末尾であるシーク末尾位
置、図形領域を所定のメッシュで区切った場合、区切ら
れた箇所毎に図形が存在しているか否かを表現するビッ
トマップとを有する。

【００２１】各図形群のシーク先頭位置、シーク末尾位
置は、記憶手段１１のアドレスを示すもので、描画装置
用のフォトマスクデータの図形データを取得する際の、
ファイルシーク情報として用いられる。記憶手段１１上
の描画装置用のフォトマスクデータについては、図４
（ｃ）に示されるように、その図形群１のデータは、記
憶手段１１のアドレス（００００〜０００４）に、その
図形群２のデータは、記憶手段１１のアドレス（０００
５〜００１６）に格納されているので、キャッシュファ
イルのシーク先頭位置、シーク末尾位置をもとに、各図
形群のデータを簡単に得ることができる。尚、ビットマ
ップは、表示装置に省略図形データを発生させる際の、
省略情報として用いられるものである。

【００２２】ビットマップは、表示装置に省略図形デー
タを発生させる際の、省略情報として用いられるもの
で、図形群の領域を所定のメッシュで分割した各分割領
域Ａ（ｍ、ｎ）（ｍ、ｎは整数）について、図形がある
領域については、ビット１を、図形がない領域について
はビット０を割りふってマップ化したものである。例え
ば、図５（ａ）に示されるように図形群が、分割領域Ａ
（ｉ、ｊ）〜Ａ（ｉ＋８、ｊ＋４）に分割された場合、
対応するビットマップは図５（ｂ）のようになる。

【００２３】また、図６（ａ）、図６（ｂ）、図６
（ｃ）のようにマップ化されたビットマップの場合、こ
れらに対応して、それぞれ、例えば、図６（ａ１）、図
６（ｂ１）、図６（ｃ１）のように図形を発生させる。
また、図７（ａ）のような同じ図形が、表示倍率１００
０倍で複数配列される場合、図７（ｂ）のように、表示
倍率１倍で１つの図形だけを表示するようにしても良
い。

【００２４】上記のような描画装置用のフォトマスクデ
ータに対応したキャッシュファイルが作成されるが、フ
ォトマスクデータがソースデータ（ＬＳＩレイアウトデ
ータとも言い、通常、ストリームフォーマットデータで
ある）の場合も、そのＬＳＩレイアウトデータのデータ
ファイル内の、個々の図形情報の連続した並びにおい
て、順に、連続する任意の数の図形情報を１つの集合と
して捉えて、全体を複数の集合に分け、各集合毎に、集
合内の図形情報、集合領域情報、ファイルシーク情報を
持たせた地図情報を作成し、これをキャッシュファイル
とする。勿論、セル毎にその領域情報、ファイルシーク
情報を持たせ、これらを連ねたキャッシュファイルを作
成しても良い。

【００２５】図形データとしては、図８（ａ）に示すよ
うに、指定領域７１０に対して、デジタイズ領域がその
まま図形領域７２０として用いられるものの他、図８
（ｂ）に示すように、指定領域７１１に対して、デジタ
イズ領域がそのまま用いられず、データ領域を反転した
状態のものを図形領域として用いる場合もある。通常、
図８（ａ）の場合はポジデータ、図８（ｂ）の場合はネ
ガデータあるいは反転データと言われ、それぞれ、図８
（ａ）、図８（ｂ）の図形領域７２０、７２１の面積を
求めることが、その対象となる。このため、通常、キャ
ッシュファイルのセル・図形情報をポジデータについて
もたせておき、ポジデータ、反転データについては、そ
れぞれ、別の方法で計算すれば良い。尚、図８（ａ）の
図形データをそのデータ領域７３０で反転したものが図
８（ｂ）に示す図形データである。

【００２６】本発明のフォトマスクデータ表示装置の実
施の形態の１例を、図２に基づいて説明する。本例は、
図１に示すフォトマスクデータ表示装置用の面積計算装
置を一体的に設けたフォトマスクデータ表示装置で、表
示手段（ディスプレイ）１８により、フォトマスクデー
タの表示を行ないながら、面積あるいは面積率を取得す
る領域をマウス等により指定し、指定された表示領域の
中の指定領域内の図形の面積あるいは面積率を取得する
ことができるものである。図２において太点線内が、図
１に示す面積計算装置に相当する。本例のフォトマスク
データ表示装置においては、例えば、各レイヤーデータ
（マスクデータとも言う）を表示しながら、その計算す
る領域をマウス等で指定することができる。以下、簡単
に、その動作フローを説明する。先ず、入力手段１７に
より、表示するフォトマスクデータ名、表示する領域、
表示倍率情報等の入力情報を入力する。制御部１６を介
して、この入力情報は、図形データ取得手段７１へ送ら
れると、図形データ取得手段７１は、記憶手段１１から
対応する領域の図形データあるいは省略図形データ８１
を得て、これを図形表示制御手段７２に渡す。図形デー
タ取得手段７１は、目的とするフォトマスクデータ３０
に対応するキャッシュファイル２０の情報をもとにこの
操作を行なう。図形データ取得手段７１は、先ず、キャ
ッシュファイル２０から情報を取得し、表示方法を決定
するもので、省略図形で表示するか、フォトマスクデー
タの図形で表示するかを決定する。そして、その決定に
したがい、キャッシュファイル２０のファイルシーク情
報により検索し、描画装置用のフォトマスクデータの対
応する図形データを取得したり、キャッシュファイル２
０の省略情報から、省略図形データを発生させる。図形
表示制御手段７２は、図形データあるいは省略図形デー
タ８１を受け取り、対応する表示図形データ８２を作成
し、これを表示手段１８Ａにて表示する。

【００２７】次いで、図形表示された表示手段１８Ａの
表示画面をみながら、更に、マウス等の入力により新た
な表示領域を指定すると、その表示領域や表示倍率情報
を含むクリップ情報８３は、それぞれ、図形データ取得
手段７１に渡される。そして、図形データ取得手段７１
は、記憶手段１１から対応する領域の図形データあるい
は省略図形データ８１を得て、これを図形表示制御手段
７２に渡すここでも、図形データ取得手段７１は、目的
とするフォトマスクデータに対応するキャッシュファイ
ルの情報をもとにこの操作を行なう。図形表示制御手段
７２は、図形データあるいは省略図形データ８１を受け
取り、対応する表示図形データ８２を作成し、これを表
示手段１８Ａにて表示するこの１連のフローを必要に応
じて繰り返し、目的の表示を得る。

【００２８】このようにして、目的の表示を得た状態
で、面積計算の領域をマウス等でクリックして指定する
と、これを面積計算の入力座標として、面積計算装置１
０が面積計算を行なう。面積計算の領域がマウス等でク
リックして指定されると、図９に示すウインドウが、入
力座標が入った状態で表示装置１８Ａに表示される。そ
して、計算実行キー９１０をクリックすることにより、
計算が実行され、結果が面積率の欄９５１、面積の欄９
５２に表示される。尚、本例においても、キャッシュフ
ァイルとしては、先に述べた図４（ａ）に示すようなも
のを使用し、省略図形を発生させているとしている。

【００２９】

【発明の効果】本発明は、上記のように、フォトマスク
データについて、指定領域内の図形の面積あるいは面積
率を対応するマスク単位で取得するための、面積や面積
率を求める計算を行なう際に、その計算時間が実用レベ
ルで行なえる、フォトマスクデータ表示装置用の面積計
算装置の提供を可能とした。そして、特に、描画装置用
のフォトマスクデータあるいはＬＳＩレイアウトデータ
をディスプレイ装置上に図形表示しながら、表示された
図形の占める面積や面積率を求める計算を行なう際に、
その計算時間が実用レベルで行なえる面積計算装置の提
供を可能とた。同時にそのような面積計算装置を一体と
して設けているフォトマスクデータ表示装置の提供を可
能とした。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明のフォトマスクデータ表示装置用の面積
計算装置の実施の形態の１例の概略構成を示した図であ
る。

【図２】図１に示す面積計算装置を一体的にもうけた本
発明のフォトマスクデータ表示装置の実施の形態の１例
の概略構成を示した図である。

【図３】指定領域と図形群との関係を説明するための図
である。

【図４】キャッシュファイルを説明するための図であ
る。

【図５】ビットマップを説明するための図である。

【図６】ビットマップと省略図形の関係を説明するため
の図である。

【図７】省略図形を説明するための図である。

【図８】図形データのポジ、ネガと計算との関係を説明
するための図である。

【図９】面積計算ウインドウの図である。

【符号の説明】

１０面積計算装置１０Ａ処理部１１記憶手段（磁気ディスク）１２セル・図形情報取得手段１３領域把握手段１４実計算領域面積計算手段１５面積・面積率計算手段１６制御手段１７入力手段１８、１８Ａ表示手段２０キャッシュファイル２１セル・図形情報３０フォトマスクデータ３１図形データ４０入力座標５０実計算領域情報６１計算済面積６２実計算領域面積６３面積・面積率７１図形データ取得手段７２図形表示制御手段８１図形データ・省略図形データ８２表示図形データ８３クリップ情報３１０指定領域３１１〜３１６図形群４１１図形群１４１２図形群２４２０図形４３０ゾーンＡ（ｍ、ｎ）分割領域Ｍｅメッシュ５１１、５１２図形７１０、７１１指定領域７２０図形領域（デジタイズ領域でもある）７２１図形領域７２１ａデジタイズ領域７３０データ領域９１０計算実行キー９２０戻るキー９３０次へキー９４０クローズキー９５１面積率の欄９５２面積の欄

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】フォトマスクデータについて、マスク毎
に、指定領域内の図形の面積あるいは面積率を取得する
ための面積計算装置であって、フォトマスクデータと、
フォトマスクデータ全体にわたり、セル毎にあるいは図
形群毎にその領域情報、ファイルシーク情報を持つセル
・図形情報を作成し、作成されたセル・図形情報を連ね
たキャッシュファイルとを記憶蓄積する記憶手段と、記
憶手段のキャッシュファイルから、面積あるいは面積率
を求めたい領域である指定領域と重なりを持つセルない
し図形群のセル・図形情報を取得するためのセル・図形
情報取得手段と、セル・図形情報をもとに、指定領域
と、これに重なりをを持つセルないし図形群の領域との
重なり具合を把握し、その全部が指定領域内にあるセル
ないし図形群の領域の面積部分は算出し、これを計算済
面積とし、その一部が指定領域内にあるセルないし図形
群の領域の面積部分は算出せず、これを実計算領域と
し、そのセルないし図形群の領域と指定領域との重なり
具合情報を実計算領域情報として得る、領域把握手段
と、実計算領域情報、セル・図形情報のファイルシーク
情報をもとに、実計算領域を形成するセルないし図形群
の領域に対応する図形データを抽出し、実計算領域の面
積を計算する実計算領域面積計算手段と、前記計算済面
積と実計算領域の面積とをあわせた面積ないし該面積の
指定領域の面積に占める割合である面積率を計算する面
積・面積率計算手段とを備えていることを特徴とするフ
ォトマスクデータ表示装置用の面積計算装置。
【請求項２】請求項１における記憶手段は、フォトマ
スクデータ表示装置のための、フォトマスクデータある
いはフォトマスクデータのキャッシュファイル等を記憶
蓄積する記憶手段を兼ねることを特徴とするフォトマス
クデータ表示装置用の面積計算装置。
【請求項３】請求項１ないし２において、現在の指定
領域、あるいは確認済みの指定領域を表示し、これに対
応した現在の表示における面積ないし面積率の計算をそ
こから指示し、且つ、計算結果を表示するための面積ウ
インドウを備えた表示部を設けていることを特徴とする
フォトマスクデータ表示装置用の面積計算装置。
【請求項４】請求項３における表示部は、フォトマス
クデータ表示装置のための表示部を兼ねることを特徴と
するフォトマスクデータ表示装置用の面積計算装置。
【請求項５】請求項１ないし４において、フォトマス
クデータが大規模ＬＳＩ用フォトマスクデータであるこ
とを特徴とするフォトマスクデータ表示装置用の面積計
算装置。
【請求項６】請求項１ないし５に記載の面積計算装置
を、一体として設けていることを特徴とするフォトマス
クデータの表示装置。