JP4088724B2 - 光送信器用パッケージ・アセンブリおよびその製造方法 - Google Patents
光送信器用パッケージ・アセンブリおよびその製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4088724B2 JP4088724B2 JP16497797A JP16497797A JP4088724B2 JP 4088724 B2 JP4088724 B2 JP 4088724B2 JP 16497797 A JP16497797 A JP 16497797A JP 16497797 A JP16497797 A JP 16497797A JP 4088724 B2 JP4088724 B2 JP 4088724B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- package
- lead frame
- positioning flange
- package assembly
- optical transmitter
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10H—INORGANIC LIGHT-EMITTING SEMICONDUCTOR DEVICES HAVING POTENTIAL BARRIERS
- H10H20/00—Individual inorganic light-emitting semiconductor devices having potential barriers, e.g. light-emitting diodes [LED]
- H10H20/80—Constructional details
- H10H20/85—Packages
- H10H20/857—Interconnections, e.g. lead-frames, bond wires or solder balls
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S5/00—Semiconductor lasers
- H01S5/02—Structural details or components not essential to laser action
- H01S5/022—Mountings; Housings
- H01S5/023—Mount members, e.g. sub-mount members
- H01S5/0232—Lead-frames
-
- H10W90/00—
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S5/00—Semiconductor lasers
- H01S5/02—Structural details or components not essential to laser action
- H01S5/022—Mountings; Housings
- H01S5/02218—Material of the housings; Filling of the housings
- H01S5/02234—Resin-filled housings; the housings being made of resin
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10H—INORGANIC LIGHT-EMITTING SEMICONDUCTOR DEVICES HAVING POTENTIAL BARRIERS
- H10H20/00—Individual inorganic light-emitting semiconductor devices having potential barriers, e.g. light-emitting diodes [LED]
- H10H20/80—Constructional details
- H10H20/85—Packages
- H10H20/855—Optical field-shaping means, e.g. lenses
-
- H10W90/756—
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Semiconductor Lasers (AREA)
- Structures Or Materials For Encapsulating Or Coating Semiconductor Devices Or Solid State Devices (AREA)
- Led Device Packages (AREA)
- Optical Couplings Of Light Guides (AREA)
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、一般的に光学素子に関し、更に特定すれば光送信器用パッケージ・アセンブリに関するものである。
【0002】
【従来の技術】
レーザ・ダイオードは、コンパクトディスク・プレーヤおよびドライバ,バーコードリーダ,ならびにその他の同様の識別およびデータ記憶技術など、広範囲のエレクトロニクス関連用途で用いられている。これらのレーザ・ダイオードは通常、上面に透明レンズを有する特別なメタル・キャン(metal can) に取り付けられた端面発光型レーザ(side-emitting laser) である。これらの用途には、例えば公知のTO−18,46,56メタル・キャンなど、業界標準のメタル・キャンがいくつかある。
【0003】
端面発光型レーザはかなりの熱を発生し、過熱した場合には劣化するので、動作中の十分に熱を放散するため上記のようなメタル・キャンを用いる必要がある。典型的に、このメタル・キャンはヘッダに取り付けられ、レーダー・ダイがこのヘッダの上に垂直に起立する柱に取り付けられ、またレンズはこのメタル・キャンの上面に別個に取り付けられる。結果的に得られるパッケージは密封されていないことが多い。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
上記のメタル・キャンは、取り付けが特殊なヘッダおよびメタル・キャンが必要であるため製造コストが高いことを含めて、いくつかの欠点がある。更に、端面発光型レーザの検査は半導体ウエハからのシンギュレーション(singulation) に先だってに行うことができない。このため製造歩留りが低下する。その上、この従来のメタル・キャン・パッケージでは、光学最終製品の製造段階でレーザ・ダイオードとパッケージの臨界光学アラインメント(critical optical alignment)が必要であり、このときレンズを内蔵する光チューブなどの別の光学素子にメタル・キャンを組み合わせなければならない。製造過程のこの時点でのアラインメントは、裕度が10ミクロンと小さいので非常に重大である。この臨界光学アラインメントと小さな裕度の結果として、歩留りのロスが大きくなる。したがって、製造コストの低減および歩留りの改善を図り、しかも光学的用途の最終製品の製造過程の遅い時点での臨界光学アラインメントを必要としない改良されたレーザー・ダイオード用パッケージ・アセンブリが要望されている。
【0005】
【課題を解決するための手段】
本発明によるパッケージ・アセンブリは、位置決めフランジを含むリードフレーム,リードフレームに取り付けられたレーザ・ダイオードなどの光送信器,およびパッケージを有する。パッケージは、リードフレームの位置決めフランジがパッケージの外に配置されるように、光送信器とリードフレームの一部とを収納する。位置決めフランジを参照基準として用いて、製造段階で、光送信器の相対的高さおよび横方向位置を整合する。また光学最終製品において他の素子にパッケージ・アセンブリを取り付けるとき、パッケージ・アセンブリを他の標準光学素子に組み合わせる際に、位置決めフランジを参照基準として用いる。
【0006】
【発明の実施の形態】
図1は、本発明によるパッケージ・アセンブリの製造に用いるリードフレーム10の平面図を示すものである。リードフレーム10は、信号リード12,14、およびフラッグ18と一体化された接地リード16を有する。以下に論ずるように、フラッグ18は、後に半導体レーザ・ダイまたはその他の同様の光学素子を取り付ける際に用いる。またリードフレーム10はオプションとしてキー20を有し、これは最終パッケージ・アセンブリ(後の図面に示す)を適用可能な光学製品において別の素子に組み合わせるのに有用である。
【0007】
図2は、リードフレーム10、およびそれに取り付けられたいくつかの素子の概略平面図である。レーザ・ダイオードのような光送信器22は、好ましくは垂直空洞面発光型レーザであり、例えば、導電性エポキシを使ってフラッグ18に取り付けられる。光受信器24も同様にフラッグ18に取り付けられ、これをオプションとして用いて光送信器22からの光出力のフィードバック制御を与えることができる。また送信器22および受信器24は、例えば、ワイヤ・ボンド26によってリード12,14に電気的に接続されて、さらに同様にフラッグ18および接地リード16との電気的接続を共有することができる。
【0008】
図2に点線で示すパッケージ境界28は、のちに送信器22および受信器24を封入するために形成されるパッケージの位置を示す。本発明では、パッケージ境界28がフラッグ18の外縁を囲み、パッケージ境界28の外に延在する位置決めフランジ30を規定することに注意されたい。後に論ずるように、最終製品の最終アセンブリの遅い段階での臨界光学アラインメントを不要とするために(従来のメタル・キャン・パッケージでは必要であった)、位置決めフランジ30を製造過程でアラインメントと参照の基準として用いる。キー20を位置決めフランジ30の周囲に配置することを注記しておく。
【0009】
図3は、図2に示したリードフレーム10および素子を用いて形成された、パッケージ・アセンブリ31の簡略断面図である。図2について先に論じたように、素子を取り付けた後、送信器22および受信器24を囲むようにパッケージ32を形成する。パッケージ32の周囲は、図2のパッケージ境界28に対応することに注意されたい。図3に示すように、、送信器22の高さを位置決めフランジ30の上にこれに対して調整する必要に応じて、例えば、従来のリードフレーム打ち抜き法によって、高架プラットフォーム39を形成する。しかしながら、用途によっては、かかる高架プラットフォームを用いる必要がない場合もあることを注記しておく。例えば、送信器22および受信器24は、従来の標準メタル・キャン・パッケージのパッケージ・アセンブリ31との交換機能が所望とされない、または必要でないような光学最終製品の用途における使用では、高い位置とする必要はない。
【0010】
パッケージ32は、例えば、透過性のある即ち透明なプラスチック成形材料で形成する。かかるプラスチック・パッケージを用いる場合、送信器22は垂直空洞面発光型レーザであることが有利であり好ましい。このタイプのレーザはかなり低い電力動作し、また従来のメタル・キャン・パッケージの端面発光型レーザでは必要とされた特殊なヒート・シンクは不要なためである。
【0011】
光学素子34は、例えばホログラムまたはレンズ(フレネル・レンズ,カルミネート・レンズ(culminating lens)またはコリメート・レンズなど)であり、パッケージ32に取り付けられる。ホログラムはホログラフィ・フィルムによって提供することができる。ホログラフィ・フィルムを形成するには、従来の手法により、例えば、ポロリイミド系材料の上に形成し、ガラス板に接着して、次いでこれを透明接着剤を用いてパッケージ32の上面に取り付ける。あるいは、機械的保護が必要でなければ、ホログラフィ・フィルムを直接パッケージ32に接着するように形成してもよい。光学素子34がレンズである場合は、このレンズを直接プラスチック・パッケージ32の上面に成形することができる。
【0012】
上記のようなプラスチック・パッケージを用いる場合、反射性または不透明の被膜をオプションとしてプラスチック・パッケージ32の表面に堆積すれば、周辺光による性能劣化を回避することができる。また、従来のメタル・キャン・パッケージに対するプラスチック・パッケージの一つの利点は、優れた密封信頼性を達成できることである。
【0013】
上述の具体的な実施例は、成形プラスチック・パッケージを有するものとして説明したが、異なる材料および/または形状の使用を含む、別のタイプのパッケージも本発明で使用可能であることを、当業者は認めよう。例えば、予め成形済みのプラスチック・パッケージを用いることもできる。かかる他のパッケージを用いる場合、ここで説明したように、パッケージ・アセンブリ31自体の製造段階および最終製品との組立段階で、アラインメントの参照基準として位置決めフランジ30を使用できることを、当業者は理解できよう。
【0014】
図3に示すように、位置決めフランジ30は表面36および縁部38を有する。上述のように、位置決めフランジ30は、パッケージ・アセンブリ31の製造段階でアラインメントおよび参照の基準として用いることができる。特に、リードフレーム10の位置決めフランジ30上の送信器22の高さ(すなわちリードフレーム10に対し実質的に垂直の方向の位置)は、参照として位置決めフランジ30を用いて決められる。例えば、表面36を製造段階でかかる参照として用いることができ、また精密ダイ取り付けおよびリードフレーム打ち抜き技術を使って、例えば、約0.5ミクロンの裕度内に位置決めフランジ30の上に送信器22を配置することができる。
【0015】
また、送信器22の横方向位置(すなわちリードフレーム10に対し実質的に平行な位置)は、例えば、位置決めフランジ30の端部38およびキー20に対する組立の間に同様に決定する。さらに、光学素子34は送信装置22に光学的に結合および整合され、またこのアラインメントは参照基準として位置決めフランジ30を使って決定することが好ましい。
【0016】
したがって、参照基準として位置決めフランジ30を用いて光学素子34および送信装置22を取り付けることによって、従来のメタル・キャン・パッケージにおけるよりも早い製造段階で、これらの素子の臨界光学アラインメントを達成できる。製造後、位置決めフランジ30を取り付け参照として用いて、パッケージ・アセンブリ31を別の標準的な光素子に取り付けるだけで済む。フランジ30をそのように用いることで、パッケージ・アセンブリ31,送信器22,光学素子34およびパッケージ・アセンブリ31に組み合わせるその他の最終製品光学素子の光学系の間で、良好なアラインメントが達成される。
【0017】
図4はパッケージ・アセンブリ31の平面図である。図4に示すように、リード12,14,16はパッケージ32の外へ延在し、ほぼ平行である。このリード構成の利点は、所与の数のパッケージに必要なリードフレーム領域を大幅に縮小する、交互配置リードフレーム構造(interdigitated leadframe design) において使用できることである。しかしながら、例えば、リードがパッケージ32の円周から均一に離間される、他のリードフレーム構成も使用可能である。
【0018】
図5は、本発明の別の実施例によるパッケージ・アセンブリ41の簡略化断面図である。共通の素子には共通の参照番号を用いる。この特定実施例では、従来のかしめ技術(staking techniques)により、ステーク(stake) 42を用いて受け台(pedestal)40をリードフレーム10に取り付ける。受け台40を高架プラットフォーム39(図3参照)の代わりに用いて、リードフレーム10上の送信器22の高さを調整する。
【0019】
本発明によるパッケージ・アセンブリ31は、現在レーザ・ダイオードに用いられている業界標準のTO−18,46,56との互換性を保つように、容易に設計することができる。しかしながら、上述のように、パッケージ・アセンブリ31は、光学最終製品の他の光学素子との組み合わせの過程で、位置決めフランジ30を用いた新しい方法でアラインメントを達成する。このため製造コストの低減が図られる。また、垂直空洞面発光型レーザを用いる場合、各レーザ・ダイの試験を半導体ウエハ・レベルで実施できるので、さらに製造コストが低減する。これに対して従来のメタル・キャン・パッケージでは、このような他の光学素子に組み合わせる時点で臨界光学アラインメントが必要であった。
【0020】
以上、光送信器のための新しいパッケージ・アセンブリについて説明してきたことが認められよう。このパッケージ・アセンブリは、パッケージ・アセンブリの製造段階で位置決めフランジに対する臨界光学アラインメントを可能にすることによって、製造コストの低減を図る。これにより、最終的な光学最終製品の組立において他の光学素子にパッケージ・アセンブリを組み合わせる時点での臨界光学アラインメントが不要となる。更に、面発光型レーザおよびプラスチック・パッケージを用いると、レーザ・ダイオード上のパッケージに直接レンズなどの光学素子を組み込むことができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】図3のパッケージ・アセンブリに用いるリードフレームの平面図。
【図2】図3のパッケージ・アセンブリ内の光学素子の相対的な横方向位置を示した概略平面図。
【図3】本発明によるパッケージ・アセンブリの簡略断面図。
【図4】図3のパッケージ・アセンブリの平面図。
【図5】別の実施例によるパッケージ・アセンブリの簡略断面図。
【符号の説明】
10 リードフレーム
12,14 信号リード
16 接地リード
18 フラッグ
20 キー
22 光送信器
24 光受信器
26 ワイヤ・ボンド
30 位置決めフランジ
32 パッケージ
34 光学素子
39 高架プラットフォーム
40 受け台
41 パッケージ・アセンブリ
Claims (18)
- リードフレームと、
前記リードフレーム上に位置する光送信器と、
前記リードフレーム上に位置し前記光送信器を囲むパッケージと、を含み、
前記リードフレームは、位置決めフランジを有し、
前記位置決めフランジは、前記パッケージの外に位置し、
前記位置決めフランジにキーが形成され、
前記パッケージ上に光学素子が成形されており、
前記パッケージの外周形状は円周状であり、
前記位置決めフランジの外周形状は円周状である、パッケージ・アセンブリ。 - リードフレームと、
前記リードフレーム上に位置する光送信器と、
前記リードフレーム上に位置し前記光送信器を密封するパッケージと、を含み、
前記リードフレームは、位置決めフランジを有し、
前記位置決めフランジは、前記パッケージの外に位置し、
前記位置決めフランジにキーが形成され、
前記パッケージ上に光学素子が成形されており、
前記パッケージの外周形状は円周状であり、
前記位置決めフランジの外周形状は円周状である、パッケージ・アセンブリ。 - リードフレームと、
前記リードフレーム上に位置する光送信器と、
前記リードフレーム上に位置し前記光送信器を囲むパッケージと、
前記パッケージ上に位置する光学素子と、を含み、
前記リードフレームは、位置決めフランジを有し、
前記位置決めフランジは、前記パッケージの外に位置し、
前記位置決めフランジにキーが形成されており、
前記パッケージの外周形状は円周状であり、
前記位置決めフランジの外周形状は円周状である、パッケージ・アセンブリ。 - リードフレームと、
前記リードフレーム上に位置する光送信器と、
前記リードフレーム上に位置し前記光送信器を密封するパッケージと、
前記パッケージ上に位置する光学素子と、を含み、
前記リードフレームは、位置決めフランジを有し、
前記位置決めフランジは、前記パッケージの外に位置し、
前記位置決めフランジにキーが形成されており、
前記パッケージの外周形状は円周状であり、
前記位置決めフランジの外周形状は円周状である、パッケージ・アセンブリ。 - 請求項1乃至4のいずれかにおいて、
前記位置決めフランジの端部は、前記パッケージの外周から均一に離間されている、パッケージ・アセンブリ。 - 請求項1乃至5のいずれかにおいて、
前記リードフレームは第1リードを含み、
前記第1リードは、前記光送信器と第1ワイヤにより電気的に接続されている、パッケージ・アセンブリ。 - 請求項1乃至6のいずれかにおいて、
前記リードフレームは接地リードを含む、パッケージ・アセンブリ。 - 請求項1乃至7のいずれかにおいて、
前記リードフレームに取り付けられた光受信器を含む、パッケージ・アセンブリ。 - 請求項8において、
前記リードフレームは第2リードを含み、
前記第2リードは、前記光受信器と第2ワイヤにより電気的に接続されている、パッケージ・アセンブリ。 - 請求項1乃至9のいずれかにおいて、
前記光送信器は、垂直空洞面発光型レーザを含む、パッケージ・アセンブリ。 - 請求項1乃至10のいずれかにおいて、
前記パッケージは、透過性のあるプラスチック成形材料を含む、パッケージ・アセンブリ。 - 請求項1乃至11のいずれかにおいて、
前記光学素子はレンズである、パッケージ・アセンブリ。 - 請求項1乃至12のいずれかにおいて、
前記パッケージの表面に反射性の被膜が形成されている、パッケージ・アセンブリ。 - 請求項1乃至12のいずれかにおいて、
前記パッケージの表面に不透明の被膜が形成されている、パッケージ・アセンブリ。 - 請求項1乃至14のいずれかにおいて、
前記光送信器と前記リードフレームとの間に受け台が配置され、
前記受け台はステークを有し、かつ、前記ステークにより前記リードフレームに取り付けられている、パッケージ・アセンブリ。 - 請求項1乃至7のいずれかにおいて、
前記キーは、前記位置決めフランジに形成された切欠き部である、パッケージ・アセンブリ。 - リードフレーム上に光送信器を取り付ける第1工程と、
前記リードフレーム上に前記光送信器を囲むパッケージを形成する第2工程と、
前記パッケージ上に光学素子を成形する第3工程と、を含み、
前記第2工程において、前記リードフレームにおける前記パッケージの外に延在する領域である位置決めフランジにキーが形成され、
前記第3工程において、前記光学素子のアライメントが前記位置決めフランジを用いてなされる、パッケージ・アセンブリの製造方法。 - リードフレーム上に光送信器を取り付ける第1工程と、
前記リードフレーム上に前記光送信器を囲むパッケージを形成する第2工程と、
前記パッケージ上に光学素子を取り付ける第3工程と、を含み、
前記第2工程において、前記リードフレームにおける前記パッケージの外に延在する領域である位置決めフランジにキーが形成され、
前記第3工程において、前記光学素子のアライメントが前記位置決めフランジを用いてなされる、パッケージ・アセンブリの製造方法。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| US671864 | 1996-06-28 | ||
| US08/671,864 US5808325A (en) | 1996-06-28 | 1996-06-28 | Optical transmitter package assembly including lead frame having exposed flange with key |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1065079A JPH1065079A (ja) | 1998-03-06 |
| JP4088724B2 true JP4088724B2 (ja) | 2008-05-21 |
Family
ID=24696178
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16497797A Expired - Lifetime JP4088724B2 (ja) | 1996-06-28 | 1997-06-05 | 光送信器用パッケージ・アセンブリおよびその製造方法 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (2) | US5808325A (ja) |
| JP (1) | JP4088724B2 (ja) |
Families Citing this family (21)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| SG60102A1 (en) * | 1996-08-13 | 1999-02-22 | Sony Corp | Lead frame semiconductor package having the same and method for manufacturing the same |
| JP3012816B2 (ja) * | 1996-10-22 | 2000-02-28 | 松下電子工業株式会社 | 樹脂封止型半導体装置およびその製造方法 |
| US6020632A (en) * | 1997-02-26 | 2000-02-01 | Motorola, Inc. | Electronic component including an adjustable cap |
| US6051848A (en) * | 1998-03-02 | 2000-04-18 | Motorola, Inc. | Optical device packages containing an optical transmitter die |
| US6335548B1 (en) * | 1999-03-15 | 2002-01-01 | Gentex Corporation | Semiconductor radiation emitter package |
| US6670207B1 (en) * | 1999-03-15 | 2003-12-30 | Gentex Corporation | Radiation emitter device having an integral micro-groove lens |
| US6588949B1 (en) | 1998-12-30 | 2003-07-08 | Honeywell Inc. | Method and apparatus for hermetically sealing photonic devices |
| US6792178B1 (en) | 2000-01-12 | 2004-09-14 | Finisar Corporation | Fiber optic header with integrated power monitor |
| JP4074419B2 (ja) * | 2000-03-14 | 2008-04-09 | シャープ株式会社 | 半導体レーザ装置のワイヤボンディング方法 |
| US6674774B1 (en) * | 2000-05-10 | 2004-01-06 | Infineon Technologies North America Corp. | Chopped laser driver for low noise applications |
| JP3735033B2 (ja) * | 2000-12-07 | 2006-01-11 | シャープ株式会社 | 半導体レーザ装置 |
| US6833566B2 (en) * | 2001-03-28 | 2004-12-21 | Toyoda Gosei Co., Ltd. | Light emitting diode with heat sink |
| JP3875126B2 (ja) * | 2002-03-22 | 2007-01-31 | シャープ株式会社 | 半導体装置及びその製造方法 |
| US20050047115A1 (en) * | 2002-09-17 | 2005-03-03 | Hsi-Huang Lin | Method for making a lamp string |
| JP2004281887A (ja) * | 2003-03-18 | 2004-10-07 | Himeji Toshiba Ep Corp | リードフレーム及びそれを用いた電子部品 |
| JP2005203553A (ja) * | 2004-01-15 | 2005-07-28 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 光送受信モジュールおよび光送受信装置 |
| US7136568B2 (en) * | 2004-04-30 | 2006-11-14 | Finisar Corporation | Method and assembly for aligning optical components |
| US8265487B2 (en) * | 2009-07-29 | 2012-09-11 | Avago Technologies Fiber Ip (Singapore) Pte. Ltd. | Half-duplex, single-fiber (S-F) optical transceiver module and method |
| US10234545B2 (en) * | 2010-12-01 | 2019-03-19 | Microsoft Technology Licensing, Llc | Light source module |
| US9515032B1 (en) * | 2015-08-13 | 2016-12-06 | Win Semiconductors Corp. | High-frequency package |
| US10257932B2 (en) | 2016-02-16 | 2019-04-09 | Microsoft Technology Licensing, Llc. | Laser diode chip on printed circuit board |
Family Cites Families (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3805347A (en) * | 1969-12-29 | 1974-04-23 | Gen Electric | Solid state lamp construction |
| US4768070A (en) * | 1986-03-20 | 1988-08-30 | Hitachi, Ltd | Optoelectronics device |
| JPH0691296B2 (ja) * | 1987-03-31 | 1994-11-14 | 三菱電機株式会社 | 半導体レ−ザの組立方法 |
| JPH01137655A (ja) * | 1987-11-25 | 1989-05-30 | Hitachi Ltd | 光デバイス |
| EP0450560B1 (en) * | 1990-04-03 | 1998-07-22 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | An optical device |
| JPH0523563U (ja) * | 1991-07-17 | 1993-03-26 | ソニー株式会社 | 半導体レーザ装置 |
| DE4311530A1 (de) * | 1992-10-02 | 1994-04-07 | Telefunken Microelectron | Optoelektronisches Bauelement mit engem Öffnungswinkel |
| JPH06237016A (ja) * | 1993-02-09 | 1994-08-23 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 光ファイバモジュールおよびその製造方法 |
| JPH07335980A (ja) * | 1994-06-07 | 1995-12-22 | Fuji Electric Co Ltd | 半導体レーザ装置 |
| US5692084A (en) * | 1996-06-11 | 1997-11-25 | The Whitaker Corporation | Package for an optoelectronic device |
-
1996
- 1996-06-28 US US08/671,864 patent/US5808325A/en not_active Expired - Lifetime
-
1997
- 1997-06-05 JP JP16497797A patent/JP4088724B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
1998
- 1998-06-17 US US09/099,022 patent/US6171877B1/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH1065079A (ja) | 1998-03-06 |
| US6171877B1 (en) | 2001-01-09 |
| US5808325A (en) | 1998-09-15 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP4088724B2 (ja) | 光送信器用パッケージ・アセンブリおよびその製造方法 | |
| US7846752B2 (en) | High power LED housing and fabrication method thereof | |
| KR100484388B1 (ko) | 광전자반도체소자의제조방법 | |
| US6762868B2 (en) | Electro-optical package with drop-in aperture | |
| US6833942B2 (en) | MEMS enclosure | |
| US9054279B2 (en) | Optoelectronic component disposed in a recess of a housing and electrical componenet disposed in the housing | |
| US4877756A (en) | Method of packaging a semiconductor laser and photosensitive semiconductor device | |
| US7078804B2 (en) | Micro-electro-mechanical system (MEMS) package with side sealing member and method of manufacturing the same | |
| US7030471B2 (en) | Semiconductor package containing an integrated-circuit chip supported by electrical connection leads | |
| US6693364B2 (en) | Optical integrated circuit element package and process for making the same | |
| JP2501004B2 (ja) | カプセル封止方法 | |
| US5414293A (en) | Encapsulated light emitting diodes | |
| US6829266B2 (en) | Optical semiconductor device increasing productivity and method of fabricating the same | |
| US7068694B2 (en) | Mold type semiconductor laser | |
| JPH10242590A (ja) | 電気部品および製造方法 | |
| JP3869575B2 (ja) | 半導体レーザ | |
| US7342215B2 (en) | Digital camera module package fabrication method | |
| US6901092B2 (en) | Package structure for a hybrid optical module and method of producing the same | |
| JPH1022576A (ja) | 半導体レーザ装置 | |
| JP3876580B2 (ja) | チップ型半導体レーザ装置 | |
| US20070057149A1 (en) | Image sensor chip package fabrication method | |
| JPH1084122A (ja) | 受光装置 | |
| JP3201014B2 (ja) | 半導体装置 | |
| JPH07170019A (ja) | 半導体レーザ装置 | |
| JP2501811Y2 (ja) | 光半導体装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20040514 |
|
| RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422 Effective date: 20040514 |
|
| A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A711 Effective date: 20051004 |
|
| RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20051220 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20070725 |
|
| A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20070925 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20071024 |
|
| A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20071217 |
|
| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20080130 |
|
| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20080212 |
|
| R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110307 Year of fee payment: 3 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120307 Year of fee payment: 4 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120307 Year of fee payment: 4 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130307 Year of fee payment: 5 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140307 Year of fee payment: 6 |
|
| S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
| R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |