JP4087243B2 - 透過電子顕微鏡用試料の作製方法 - Google Patents
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【発明の属する技術分野】
本発明は、集束イオンビーム装置を用いた透過電子顕微鏡用試料の作製方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
透過電子顕微鏡用試料の作製方法の1つに、集束イオンビーム装置(FIB)を用いたものがある。このFIBによる試料作製においては、試料素材の目的部分に対して試料素材上面側(試料素材加工面側)からイオンビームが照射されて、目的部分が薄膜試料として切り出される。
【0003】
その後、この薄膜試料を透過電子顕微鏡(TEM)で観察するために、まず、この薄膜試料を含んだ前記試料素材はFIBからピックアップシステムに移される。このピックアップシステムは、光学顕微鏡と、ガラスプローブを保持したマニュピレータを備えており、試料作製者は、光学顕微鏡下でマニュピレータを操作して、ガラスプローブ先端の溝に前記薄膜試料をはめ込む形で薄膜試料をトラップする。続いて試料作製者はマニュピレータを操作して、トラップした薄膜試料を薄膜ベースの溝にはめ込む。
【0004】
そして、この薄膜ベースは透過電子顕微鏡の試料ホルダにセットされ、その試料ホルダが透過電子顕微鏡に装着されて、前記薄膜試料の透過電子顕微鏡による観察が行われる。また、その薄膜試料のイオンビームによる再加工が必要な場合には、前記薄膜ベースはFIBの試料ホルダにセットされ、その試料ホルダがFIBに装着されて、前記薄膜試料の再加工が行われる。
【0005】
なお、FIBを用いた透過電子顕微鏡用試料の作製方法は、たとえば、下記の特許文献1などにおいて知られている。
【0006】
【特許文献1】
特開2002−150983号公報
【0007】
【発明が解決しようとする課題】
さて、上述した従来のFIBによる試料加工によれば、前記目的部分の前記加工面に対して垂直方向(深さ方向)に延びる断面を持つ薄膜試料(断面TEM用試料)を容易に得ることができる。しかしながら、前記目的部分の加工面に対して平行方向に延びる断面を持つ薄膜試料(平面TEM用試料)を得ようとしても、その薄膜加工は難しく、そのような薄膜試料を得ることは難しい。
【0008】
また、従来においては、上述したようにガラスプローブ先端と薄膜ベースに溝が形成されている。このガラスプローブ先端の溝は、ガラスプローブ上における薄膜試料の姿勢を常に一定に保つために形成されており、このように薄膜試料の姿勢が常に一定に保たれる結果、薄膜試料を薄膜ベースの溝にはめ込みやすくなる。
【0009】
しかしながら、時々、薄膜試料を薄膜ベースの溝にはめ込むのに失敗して、せっかく作製した薄膜試料を無駄にしてしまうケースもあった。また、ガラスプローブ先端と薄膜ベースに溝を加工するのは面倒な作業であり、その作業には時間もかかる。
【0010】
本発明はこのような点に鑑みて成されたもので、その目的は、所望の断面を持つ薄膜試料を容易に作製することができる透過電子顕微鏡用試料の作製方法を提供することにある。
【0011】
【課題を解決するための手段】
この目的を達成する本発明の透過電子顕微鏡用試料の作製方法は、試料素材に対して試料素材上面側からイオンビームを照射して、前記上面を含んだ試料ブロックを切り出し、前記試料ブロックの前記上面を横に向けて試料ブロックを試料台の載置面上に置き、前記試料ブロックにイオンビームを照射して、前記試料ブロックを前記載置面に対してほぼ垂直に立つ薄膜に加工する。
【0012】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態について説明する。
【0013】
さて、本発明の透過電子顕微鏡用試料の作製においては、従来同様、集束イオンビーム装置(FIB)が使用される。
【0014】
このFIBは、イオン源からのイオンビームを細く集束し、その細く集束したイオンビームを試料上で2次元的に走査する機能を有している。また、このFIBは、前記イオンビーム走査によって試料から発生した2次イオンを検出するイオン検出器を備え、そのイオン検出器の出力に基づいてイオンビーム走査領域の試料像(SIM像)をCRT画面上に表示させる機能を有している。
【0015】
さらに、このFIBでは、そのSIM像上において加工領域をマウスなどで任意に指定できるようになっており、その指定された加工領域がイオンビームによって自動的にエッチングされるように構成されている。
【0016】
以下、このようなFIBを用いた本発明の試料作製の手順を説明する。
【0017】
まず、半導体素子などの試料素材が、上述した機能をもつFIBの試料ステージ上に置かれる。そして、試料素材の加工面が集束イオンビームによって2次元的に走査され、そのイオンビーム走査によって試料素材から発生した2次イオンはイオン検出器で検出される。このイオン検出器の出力信号は画像メモリに記憶され、その画像メモリに記憶された信号が表示装置に供給されて、試料素材加工面のSIM像がCRT画面上に静止画像として表示される。図1(a)はそのSIM像を示したものである。
【0018】
試料作製者はこのSIM像を見て、TEM観察を行いたい目的部分を決める。今、その目的部分が、SIM像中央の円形部分S’に対応する試料部分Sとすると、試料作製者は、その目的部分Sを切り出すための加工領域指定をSIM像上において行う。すなわち、試料作製者は、図1(b)に示すように、2つの加工領域枠h,iを前記SIM像上に表示させて、イオンビーム加工したい領域を指定する。
【0019】
この加工領域指定が行われると、まず加工領域枠hに対応する試料素材領域が集束イオンビームによって2次元的に走査され、試料素材には縦15μm×横15μm×深さ10μm程度の凹部(h)が形成される。次に、前記加工領域枠iに対応する試料素材領域が集束イオンビームによって2次元的に走査され、試料素材には縦15μm×横15μm×深さ10μm程度の凹部(i)が形成される。なお、この加工時における集束イオンビーム電流量はSIM像取得時よりも多く設定され、また、この加工時における集束イオンビームの試料素材上での大きさもSIM像取得時より大きく設定されている。
【0020】
こうして前記目的部分Sの両側がエッチングされると、試料素材を載せている前記試料ステージが60度ほど傾斜され、前記同様にして再度SIM像が取得される。図1(c)はそのSIM像を示したものである。このSIM像から、前記凹部(h)と凹部(i)が試料素材に形成されていることが確認できる。
【0021】
次に試料作製者は、図1(d)に示すように、底部加工ラインj,サイド加工ラインk,uをSIM像(図1(c)に示したSIM像)上に表示させて、切り込み加工を行いたいラインを指定する。この加工ライン指定が行われると、まず加工ラインjに対応する試料素材部分が集束イオンビームによってライン走査され、試料素材に対して切り込み加工が行われる。次に、前記加工ラインkに対応する試料素材部分が集束イオンビームによって切り込み加工され、最後に、前記加工ラインuに対応する試料素材部分が集束イオンビームによって切り込み加工される。
【0022】
以上のような試料素材へのイオンビーム照射によって、図2(a)に示すように、前記目的部分Sを含んだ試料ブロック1が試料素材から分離して切り出される。この試料ブロック1の縦方向の長さd1は10μm程度、横方向の長さd2は10μm程度、そして厚さd3は数μm程度である。なお、図2(a)に示すように、矢印Aで指された面が試料ブロック1の前記加工面である。
【0023】
次に試料作製者は、試料ブロック1を含んだ前記試料素材をFIBから取り出して、ピックアップシステムに移す。このピックアップシステムは、光学顕微鏡と、ガラスプローブを保持したマニュピレータを備えており、試料作製者は、光学顕微鏡下でマニュピレータを操作して、ガラスプローブ先端で前記試料ブロック1をトラップする。図2(b)は、試料ブロック1がガラスプローブにトラップされた状態を示した図である。この図2(b)から分かるように、ガラスプローブ先端には従来の溝は形成されておらず、静電気によってプローブ先端に試料ブロック1がトラップされている。
【0024】
続いて試料作製者は、前記マニュピレータを操作して、図3に示すように、トラップした試料ブロック1を試料ベース(試料台)2の載置面2a上に置く。このときの試料ブロック1の置き方が重要であり、図3にも示すように、試料ブロック1の加工面が横を向くように、すなわち試料ブロック1加工面と載置面2aとが直交するように、試料ブロック1は載置面2a上に置かれる。
【0025】
なお、試料ブロック1が磁性体である場合には、あらかじめ載置面2a上に接着剤を塗布しておき、その接着剤の上に試料ブロック1を置くようにする。これは、TEMの対物レンズ磁場によってTEM観察中に試料が飛ばされないためである。
【0026】
次に試料作製者は、試料ブロック1を保持した試料ベース2をFIB試料ホルダにセットして、その試料ホルダをFIBに装着する。こうして試料ブロック1がFIB内にセットされると、試料ブロック1表面が集束イオンビームによって2次元的に走査され、試料ブロック1のSIM像が前記CRT画面上に静止画像として表示される。図4(a)はそのSIM像を示したものである。
【0027】
そして試料作製者は、前記目的部分Sに関する薄膜試料(TEM試料)を得るために、加工領域指定をその図4(a)のSIM像上において行う。すなわち試料作製者は、図4(b)に示すように、2つの加工領域枠m,nをSIM像上に表示させて、イオンビーム加工したい領域を指定する。
【0028】
この加工領域指定が行われると、まず加工領域枠mに対応する試料ブロック領域と試料ベース領域が集束イオンビームによって2次元的に走査され(図4(b)中、矢印で示すように走査される)、試料ブロック1の一部が試料ベースごとイオンエッチングされる。このイオンエッチングによって、その試料ブロック1の一部は完全に無くなる。次に、前記加工領域枠nに対応する試料ブロック領域と試料ベース領域が集束イオンビームによって2次元的に走査され(図4(b)中、矢印で示すように走査される)、試料ブロック1の一部が試料ベースごとイオンエッチングされる。このイオンエッチングによって、その試料ブロック1の一部は完全に無くなる。なお、このイオンエッチング前において、試料ブロック1表面に対してイオンエッチング保護膜が形成されているため、試料ブロックの所望部分以外のイオンエッチングは防止される。
【0029】
以上のような試料ブロック1へのイオンビーム照射によって、図5に示すような、試料ブロック1の加工面に対して平行方向に延びる断面3aをもつ薄膜試料3(平面TEM用試料3)が得られる。この薄膜試料3の厚さdは0.5〜1μm程度であり、TEM観察には適当な厚さである。
【0030】
こうして作製された薄膜試料3を保持した試料ベース2はTEM試料ホルダにセットされ、そのTEM試料ホルダはTEMに装着される。そして、薄膜試料3の断面3aにほぼ垂直に電子線が照射され、その薄膜試料3を透過した電子線による透過電子像が蛍光板上などにおいて観察される。また、その薄膜試料3のイオンビームによる再加工が必要な場合には、前記試料ベース2はFIBの試料ホルダにセットされ、その試料ホルダがFIBに装着されて、前記薄膜試料3の再加工が行われる。
【0031】
以上、図1〜図5を用いて本発明の試料作製手順について説明したが、本発明はこの例に限定されるものではない。
【0032】
たとえば、上記例では、試料ブロック1を図3に示すように試料ベース載置面2a上に置いたが、図6(a)に示すように載置面2a上に置いてもよい。このように置けば、図6(b)に示すようなSIM像(図4(a)に対応させて記載)が得られる。そして、図6(c)に示すように、前記加工領域枠m,nをそのSIM像上に表示させて加工領域指定を行えば、試料ブロック1の加工面に対して垂直方向に延びる断面をもつ薄膜試料(断面TEM用試料)が得られる。
【0033】
また、上述した試料ブロック1と同じような試料ブロック1’を前記試料素材から切り出し、図7(a)に示すように、それら2つの試料ブロック1,1’の加工面の向きが互いに90度異なるように、試料ブロック1,1’を載置面2a上に置くようにしてもよい。このように置けば、図7(b)に示すようなSIM像(図4(a)に対応させて記載)が得られる。
【0034】
その後、図7(c)に示すように、前記加工領域枠m,nを、試料ブロック1に関するSIM像上に表示させて加工領域指定を行う。さらに、前記加工領域枠m,nと同様な役割を果たす加工領域枠m’,n’を、前記試料ブロック1’に関するSIM像上に表示させて加工領域指定を行う。このような加工領域指定を行えば、加工領域枠m,n,m’,n’の順に前記同様な薄膜加工が行われ、前記目的部分Sについての断面TEM用試料と平面TEM用試料が得られる。こうして得られた試料をTEM試料ホルダに載せてTEMにセットすれば、TEM試料ホルダを前後に動かすだけで、前記目的部分Sの断面TEM像と平面TEM像を切り替えて観察することができる。
【0035】
また、上記例では、複数の加工領域枠を一度にSIM像上に表示させて加工領域指定を行い、その後でイオンビーム加工を順に行うようにしている。これに代えて、1つの加工領域枠表示による加工領域指定ごとに、1領域のイオンビーム加工を行うようにしてもよい。その際、次の加工領域指定を行う前にSIM像を新たに表示させ、そのSIM像上において次の加工領域を指定するようにしてもよい。
【0036】
以上、本発明の透過電子顕微鏡用試料の作製方法について説明した。以上の説明から明らかなように、本発明によれば、任意の断面のTEM用試料を得ることができ、平面TEM用試料および断面TEM用試料をきわめて容易に得ることができる。
【0037】
また、本発明においては、試料ブロックを試料ベースの載置面上にただ置けばよいので、試料ブロックをトラップするためのガラスプローブや試料ベースに、従来のような溝加工を行わなくてすむ。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明の試料作製手順を説明するために示した図であり、試料素材表面のSIM像を示した図である。
【図2】 本発明の試料作製手順を説明するために示した図であり、試料素材から切り出された試料ブロックを示した図である。
【図3】 本発明の試料作製手順を説明するために示した図であり、試料ベース上に置かれた試料ブロックを示した図である。
【図4】 本発明の試料作製手順を説明するために示した図であり、試料ブロックの薄膜加工を説明するために示した図である。
【図5】 本発明によって得られた薄膜試料を示した図である。
【図6】 本発明の他の例を説明するために示した図である。
【図7】 本発明の他の例を説明するために示した図である。
【符号の説明】
1…試料ブロック、2…試料ベース、2a…載置面、3…薄膜試料、A…試料ブロックの加工面、S…目的部分
Claims (4)
- 試料素材に対して試料素材上面側からイオンビームを照射して、前記上面を含んだ試料ブロックを切り出し、
前記試料ブロックの前記上面を横に向けて試料ブロックを試料台の載置面上に置き、
前記試料ブロックにイオンビームを照射して、前記試料ブロックを前記載置面に対してほぼ垂直に立つ薄膜に加工する
ことを特徴とする透過電子顕微鏡用試料の作製方法。 - 前記試料ブロックの上面に対してほぼ垂直またはほぼ平行な断面が得られるように、前記試料ブロックを薄膜加工することを特徴とする請求項1記載の透過電子顕微鏡用試料の作製方法。
- 2つの同じような試料ブロックを前記試料台上に置き、一方の試料ブロックを、その試料ブロックの上面に対してほぼ垂直な断面が得られるように薄膜加工し、他方の試料ブロックを、その試料ブロックの上面に対してほぼ平行な断面が得られるように薄膜加工することを特徴とする請求項1記載の透過電子顕微鏡用試料の作製方法。
- 前記2つの試料ブロックの上面の向きが互いにほぼ90度異なるように、それら2つの試料ブロックは前記試料台上に置かれることを特徴とする請求項3記載の透過電子顕微鏡用試料の作製方法。
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