JP4075456B2 - 電気特性測定治具および電気特性測定方法 - Google Patents
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、電気特性測定治具、特に被測定基板に設けられている複数の電子部品素子の電気特性を測定するための電気特性測定治具および電気特性測定方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来の電気特性測定治具として、例えば、特開平６−２７３４６６号公報記載のものが知られている。この電気特性測定治具は、図４に示すように、それぞれ複数のパターン電極２０を表面に設けた２枚のプリント基板１６と、２枚の異方性導電ゴム２４とを備えている。パターン電極２０は、プリント基板１６の対向する端縁付近から中央部に向かって配設されている。プリント基板１６の端部付近にはスルーホール１８が設けられ、このスルーホール１８を介してリード線２２がパターン電極２０に電気的に接続されている。これらのリード線２２は、チップ部品１０の電気特性を測定するための測定装置に接続されている。
【０００３】
チップ部品１０の電気特性を測定する際には、２枚のプリント基板１６間に異方性導電ゴム２４を挟んでチップ部品１０が配置される。プリント基板１６のそれぞれのパターン電極２０が、チップ部品１０の側面に設けられている外部電極１４に対応するように、チップ部品１０が位置決めされる。この状態で、２枚のプリント基板１６の両側から圧力が加えられる。それにより、外部電極１４とパターン電極２０とが異方性導電ゴム２４を介して電気的に接続される。そして、リード線２２に接続された測定装置によって、チップ部品１０の電気特性が測定される。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、従来の電気特性測定治具のプリント基板１６は、ガラスエポキシ樹脂などからなるリジッド基板であり、硬くて曲げられなかった。従って、プリント基板１６のサイズより大きな被測定物、つまり、複数の電子部品素子が設けられている被測定基板を測定する際には、プリント基板１６に接続したリード線２２（あるいはコネクタなど）が邪魔になり、測定できない場合があった。
【０００５】
そこで、本発明の目的は、被測定基板に設けられている複数の電子部品素子の特性を確実にかつ安定して測定することができる電気特性測定治具および電気特性測定方法を提供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段および作用】
前記目的を達成するため、本発明に係る電気特性測定治具は、
一方主面にチップ型電子部品をマウントするためのランドが形成され、他方主面に電子部品素子の入出力電極を含むパターン電極が形成されている被測定基板の一方主面および他方主面を複数の区画に分け、それぞれの区画単位で電気特性を測定するための電気特性測定治具であって、
ベース台と、該ベース台に設けられたフレキシブル基板と、該フレキシブル基板の表面に設けられた特性測定用電極とを備え、
前記特性測定用電極は前記被測定基板の一方主面および他方主面に互いに対向して一対のフレキシブル基板のそれぞれに設けられ、一方主面に対向する特性測定用電極は前記ランドの形状に合わせてパターンニングされ、他方主面に対向する特性測定用電極は前記パターン電極の形状に合わせてパターンニングされており、
前記一対のフレキシブル基板は１区画分の前記被測定基板のランドおよびパターン電極に接続される前記特性測定用電極を突き出すように変形されており、突き出された前記特性測定用電極は１区画単位で前記被測定基板に設けられているランドおよびパターン電極に電気的に接続すること、
を特徴とする。
【０００７】
フレキシブル基板は、特性測定用電極を突き出すように変形している。被測定基板は、例えば、一方主面にチップ型電子部品をマウントするためのランドが形成され、他方主面に電子部品素子の入出力電極を含むパターン電極が形成されているマザー基板である。さらに、フレキシブル基板とベース台は別体であってもよく、ベース台に設けられた凸部をフレキシブル基板に押し付けることにより、その突出高さを変更することができる。
【０００８】
以上の構成により、フレキシブル基板が、特性測定用電極を突き出すように変形されているため、フレキシブル基板と測定装置とを電気的に接続するためのリード線やコネクタが邪魔にならず、被測定物のサイズに関係なく、確実かつ安定した電気特性の測定が行われる。
【０００９】
また、異方性導電ゴムにて、被測定基板に設けられているランドやパターン電極と特性測定用電極との間を電気的に接続することにより、極細の測定用プローブを使用する必要がなくなる。そのため、被測定基板を傷つけることなく、電気特性を測定することができる。
【００１０】
また、本発明に係る電気特性測定方法は、
一方主面にチップ型電子部品をマウントするためのランドが形成され、他方主面に電子部品素子の入出力電極を含むパターン電極が形成されている被測定基板の一方主面および他方主面を複数の区画に分け、それぞれの区画単位で電気特性を測定する電気特性測定方法であって、
一対のフレキシブル基板のそれぞれの表面には前記被測定基板の一方主面および他方主面に互いに対向して設けられた特性測定用電極が設けられており、一方主面に対向する特性測定用電極は前記ランドの形状に合わせてパターンニングされ、他方主面に対向する特性測定用電極は前記パターン電極の形状に合わせてパターンニングされており、
前記一対のフレキシブル基板を、前記特性測定用電極が突き出されるように変形させ、該フレキシブル基板と前記被測定基板とを相対的に移動させることにより、突き出された前記特性測定用電極を１区画単位で前記被測定基板に設けられているランドおよびパターン電極に電気的に接触させて、１区画ずつ順次電気特性を測定すること、
を特徴とする。
【００１１】
【発明の実施の形態】
以下、本発明に係る電気特性測定治具および電気特性測定方法の一実施形態について添付の図面を参照して説明する。
【００１２】
図１に示すように、マザー基板７に設けられている例えば、コンデンサ、インダクタ、抵抗、フィルタ、遅延線といった複数の電子部品素子の電気特性を測定するための電気特性測定治具１Ａ，１Ｂはそれぞれ、概略、ベース台２と、該ベース台２の上に配設されたフレキシブル基板３と、該フレキシブル基板３の表面に設けられた特性測定用電極４ａ，４ｂと、異方性導電ゴム５と、コネクタ６とを備えている。
【００１３】
ベース台２は、ウレタン樹脂などの柔らかい材料からなる凸部２１と、ステンレスなどの金属からなるプレート部２２とを有している。凸部２１のサイズは、複数の電子部品素子が設けられているマザー基板７を複数に区切って得られる一定サイズの区間７０に合わされる。この区間７０には、電子部品素子が一つ以上含まれている。
【００１４】
フレキシブル基板３はベース台２および凸部２１に固定されており、一体化されている。フレキシブル基板３の突出高さＡは、所定の高さに固定されている。フレキシブル基板３は、伸縮性や弾性に優れたものが好ましい。本実施形態では、図２に示すように、ポリイミドフィルムなどからなる２５μｍ（代表値）の厚さを有するベースフィルム３１に、厚さ２０μｍ（代表値）の接着剤３２を介して、厚さ１８μｍ（代表値）の銅箔３３を貼り付けた、厚さが約１００μｍのフレキシブルプリント回路用銅張基板を用いた。このフレキシブルプリント回路用銅張基板は、表面抵抗率が５．０×１０13Ω、１ＭＨｚでの誘電率が３．５である。
【００１５】
特性測定用電極４ａ，４ｂは、本実施形態の場合、フレキシブルプリント回路用銅張基板の銅箔３３をパターンニング（エッチング）することによって形成される。
【００１６】
マザー基板７の上面には、抵抗やコンデンサやインダクタやＩＣなどのチップ型電子部品をマウントするためのランド７１が形成され、下面には、入出力電極やグランド電極などのパターン電極７２が形成されている。従って、電気特性測定治具１Ａの特性測定用電極４ａは、マザー基板７の上面に形成されたランド７１の形状に合わせてパターンニングされる。同様に、電気特性測定治具１Ｂの特性測定用電極４ｂは、マザー基板７の下面に形成されたパターン電極７２の形状に合わせてパターンニングされる。
【００１７】
特性測定用電極４ａ，４ｂを表面に形成したフレキシブル基板３は、それぞれベース台２に固定されている。このとき、フレキシブル基板３は、ベース台２の凸部２１の上に特性測定用電極４ａ，４ｂを配設し、この特性測定用電極４ａ，４ｂを突き出すように変形されている。
【００１８】
図示されていないが、特性測定用電極４ａ，４ｂのそれぞれはフレキシブル基板３の端縁に向かって引き出されており、ベース台２の端面に取り付けられているコネクタ６に電気的に接続されている。これらのコネクタ６は、マザー基板７の電子部品素子の電気特性を測定するための測定装置にリード線（図示せず）を介して接続されている。
【００１９】
異方性導電ゴム５は、特性測定用電極４ａ，４ｂに接した状態で、フレキシブル基板３に接合している。異方性導電ゴム５は、例えばシリコンゴムシートに、その厚み方向に延在するように金属繊維が埋め込まれている。従って、シリコンゴムシートの厚み方向に圧力を加えると、内部の金属繊維の先端がシリコンゴムシート表面から露出し、金属繊維を通して、異方性導電ゴム５はシリコンゴムシートの厚み方向にのみ導通する。なお、異方性導電ゴム５としては、金属繊維の両端部が、あらかじめシリコンゴムシートの表裏面から若干突出しているものであってもよい。
【００２０】
次に、この電気特性測定治具１Ａ，１Ｂを用いて、マザー基板７の電子部品素子の特性を測定する方法について説明する。電気特性測定治具１Ａと１Ｂは、それぞれマザー基板７の表裏両側に配置される。そして、特性測定用電極４ａ，４ｂがそれぞれ、ランド７１およびパターン電極７２に対応するように、マザー基板７が位置決めされる。
【００２１】
この状態で、二つの電気特性測定治具１Ａ，１Ｂの上下両側から圧力が加えられる。それにより、異方性導電ゴム５が厚み方向に導電性を有するようになり、ランド７１やパターン電極７２が特性測定用電極４ａ，４ｂに電気的に接続される。そして、コネクタ６およびリード線を介して接続されている測定装置によって、マザー基板７の一定サイズの区間７０内に含まれている電子部品素子の電気特性が測定される。こうして、順次、マザー基板７の区間７０毎に電子部品素子の電気特性を測定し、マザー基板７に設けられている全ての電子部品素子の電気特性を測定する。
【００２２】
以上の構成からなる電気特性測定治具１Ａ，１Ｂは、フレキシブル基板３がベース台２の凸部２１によって特性測定用電極４ａ，４ｂを突き出すように変形されている。従って、フレキシブル基板３と測定装置を電気的に接続するためのコネクタ６やリード線が邪魔にならず、被測定物のサイズに関係なく、特性を測定することができる。この結果、マザー基板７の状態で電子部品素子の特性を測定できるので、バッチ処理が可能となり、量産ラインにも組み込み易い。
【００２３】
さらに、本実施形態は、マザー基板７の表裏両側にそれぞれ電気特性測定治具１Ａ，１Ｂを配置しているので、マザー基板７の区間７０内に含まれている全てのランド７１やパターン電極７２について電気特性の測定が一度で可能となる。
【００２４】
また、フレキシブル基板３上の特性測定用電極４ａ，４ｂとコネクタ６との間に、所望の特性インピーダンスを持つ線路を形成しておけば、挿入損失を小さくできる。
【００２５】
また、異方性導電ゴム５にてマザー基板７の電子部品素子と特性測定用電極４ａ，４ｂとの間を電気的に接続することにより、マザー基板７を傷つけることなく、電子部品素子の特性を測定することができる。
【００２６】
なお、本発明に係る電気特性測定治具および電気特性測定方法は前記実施形態に限定するものではなく、その要旨の範囲内で種々に変更することができる。電気特性測定治具は、必ずしもマザー基板の表裏両側に配置する必要はなく、いずれか一方の側にのみ配置するものであってもよい。
【００２７】
また、図３に示すような電気特性測定治具１Ｃであってもよい。この電気特性測定治具１Ｃのフレキシブル基板３は、凸部２１に押し付けられることにより、特性測定用電極４ｃを突き出すように変形している。凸部２１の形状を変えることで、特性測定用電極４ｃの突き出し状態を容易に変えることができる。つまり、フレキシブル基板３に凸部２１を押し付けることにより、その突出高さＡを変更することができる。これにより、マザー基板に搭載されたチップ型電子部品に接触しないように高さ調整することができる。図３において、フレキシブル基板３とベース台２とは、突出高さＡの調整前は別体である。
【００２８】
なお、図３のフレキシブル基板３の表面には、特性測定用電極４ｃが異方性導電ゴム５と接する部分以外の部分を保護するための絶縁性保護膜３１が形成されている。絶縁性保護膜３１としては、例えばポリイミドフィルムなどからなる２５μｍ（代表値）の厚さを有するベースフィルムに、厚さ３５μｍ（代表値）の接着剤（熱硬化性樹脂など）を付けたカバーレイ用フィルムが用いられる。
【００２９】
被測定基板としては、前記実施形態のような一つ又は複数の電子部品素子を有する電子部品が複数設けられたマザー基板でもよいし、複数の電子部品素子を有する一つの電子部品であってもよい。後者の場合でも、複数の区画に分けて区画単位でそれぞれの電子部品素子を測定することで個別に測定可能である。
【００３０】
【発明の効果】
以上の説明で明らかなように、本発明によれば、フレキシブル基板が、特性測定用電極を突き出すように変形されているため、フレキシブル基板と測定装置とを電気的に接続するためのリード線やコネクタが邪魔にならず、被測定物のサイズに関係なく、確実かつ安定した電気特性の測定が行われる。この結果、被測定基板の状態で電子部品素子の特性を測定できるので、バッチ処理が可能となり、量産ラインにも組み込み易い。
【００３１】
また、異方性導電ゴムにて、被測定基板に設けられているランドおよびパターン電極と特性測定用電極との間を電気的に接続することにより、被測定基板を傷つけることなく、電子部品素子の特性を測定することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る電気特性測定治具の一実施形態を示す一部断面図。
【図２】図１に示したフレキシブル基板の断面図。
【図３】他の実施形態を示す一部断面図。
【図４】従来例を示す斜視図。
【符号の説明】
１Ａ，１Ｂ，１Ｃ…電気特性測定治具
２…ベース台
３…フレキシブル基板
４ａ，４ｂ，４ｃ…特性測定用電極
５…異方性導電ゴム
２１…凸部
【発明の属する技術分野】
本発明は、電気特性測定治具、特に被測定基板に設けられている複数の電子部品素子の電気特性を測定するための電気特性測定治具および電気特性測定方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来の電気特性測定治具として、例えば、特開平６−２７３４６６号公報記載のものが知られている。この電気特性測定治具は、図４に示すように、それぞれ複数のパターン電極２０を表面に設けた２枚のプリント基板１６と、２枚の異方性導電ゴム２４とを備えている。パターン電極２０は、プリント基板１６の対向する端縁付近から中央部に向かって配設されている。プリント基板１６の端部付近にはスルーホール１８が設けられ、このスルーホール１８を介してリード線２２がパターン電極２０に電気的に接続されている。これらのリード線２２は、チップ部品１０の電気特性を測定するための測定装置に接続されている。
【０００３】
チップ部品１０の電気特性を測定する際には、２枚のプリント基板１６間に異方性導電ゴム２４を挟んでチップ部品１０が配置される。プリント基板１６のそれぞれのパターン電極２０が、チップ部品１０の側面に設けられている外部電極１４に対応するように、チップ部品１０が位置決めされる。この状態で、２枚のプリント基板１６の両側から圧力が加えられる。それにより、外部電極１４とパターン電極２０とが異方性導電ゴム２４を介して電気的に接続される。そして、リード線２２に接続された測定装置によって、チップ部品１０の電気特性が測定される。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、従来の電気特性測定治具のプリント基板１６は、ガラスエポキシ樹脂などからなるリジッド基板であり、硬くて曲げられなかった。従って、プリント基板１６のサイズより大きな被測定物、つまり、複数の電子部品素子が設けられている被測定基板を測定する際には、プリント基板１６に接続したリード線２２（あるいはコネクタなど）が邪魔になり、測定できない場合があった。
【０００５】
そこで、本発明の目的は、被測定基板に設けられている複数の電子部品素子の特性を確実にかつ安定して測定することができる電気特性測定治具および電気特性測定方法を提供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段および作用】
前記目的を達成するため、本発明に係る電気特性測定治具は、
一方主面にチップ型電子部品をマウントするためのランドが形成され、他方主面に電子部品素子の入出力電極を含むパターン電極が形成されている被測定基板の一方主面および他方主面を複数の区画に分け、それぞれの区画単位で電気特性を測定するための電気特性測定治具であって、
ベース台と、該ベース台に設けられたフレキシブル基板と、該フレキシブル基板の表面に設けられた特性測定用電極とを備え、
前記特性測定用電極は前記被測定基板の一方主面および他方主面に互いに対向して一対のフレキシブル基板のそれぞれに設けられ、一方主面に対向する特性測定用電極は前記ランドの形状に合わせてパターンニングされ、他方主面に対向する特性測定用電極は前記パターン電極の形状に合わせてパターンニングされており、
前記一対のフレキシブル基板は１区画分の前記被測定基板のランドおよびパターン電極に接続される前記特性測定用電極を突き出すように変形されており、突き出された前記特性測定用電極は１区画単位で前記被測定基板に設けられているランドおよびパターン電極に電気的に接続すること、
を特徴とする。
【０００７】
フレキシブル基板は、特性測定用電極を突き出すように変形している。被測定基板は、例えば、一方主面にチップ型電子部品をマウントするためのランドが形成され、他方主面に電子部品素子の入出力電極を含むパターン電極が形成されているマザー基板である。さらに、フレキシブル基板とベース台は別体であってもよく、ベース台に設けられた凸部をフレキシブル基板に押し付けることにより、その突出高さを変更することができる。
【０００８】
以上の構成により、フレキシブル基板が、特性測定用電極を突き出すように変形されているため、フレキシブル基板と測定装置とを電気的に接続するためのリード線やコネクタが邪魔にならず、被測定物のサイズに関係なく、確実かつ安定した電気特性の測定が行われる。
【０００９】
また、異方性導電ゴムにて、被測定基板に設けられているランドやパターン電極と特性測定用電極との間を電気的に接続することにより、極細の測定用プローブを使用する必要がなくなる。そのため、被測定基板を傷つけることなく、電気特性を測定することができる。
【００１０】
また、本発明に係る電気特性測定方法は、
一方主面にチップ型電子部品をマウントするためのランドが形成され、他方主面に電子部品素子の入出力電極を含むパターン電極が形成されている被測定基板の一方主面および他方主面を複数の区画に分け、それぞれの区画単位で電気特性を測定する電気特性測定方法であって、
一対のフレキシブル基板のそれぞれの表面には前記被測定基板の一方主面および他方主面に互いに対向して設けられた特性測定用電極が設けられており、一方主面に対向する特性測定用電極は前記ランドの形状に合わせてパターンニングされ、他方主面に対向する特性測定用電極は前記パターン電極の形状に合わせてパターンニングされており、
前記一対のフレキシブル基板を、前記特性測定用電極が突き出されるように変形させ、該フレキシブル基板と前記被測定基板とを相対的に移動させることにより、突き出された前記特性測定用電極を１区画単位で前記被測定基板に設けられているランドおよびパターン電極に電気的に接触させて、１区画ずつ順次電気特性を測定すること、
を特徴とする。
【００１１】
【発明の実施の形態】
以下、本発明に係る電気特性測定治具および電気特性測定方法の一実施形態について添付の図面を参照して説明する。
【００１２】
図１に示すように、マザー基板７に設けられている例えば、コンデンサ、インダクタ、抵抗、フィルタ、遅延線といった複数の電子部品素子の電気特性を測定するための電気特性測定治具１Ａ，１Ｂはそれぞれ、概略、ベース台２と、該ベース台２の上に配設されたフレキシブル基板３と、該フレキシブル基板３の表面に設けられた特性測定用電極４ａ，４ｂと、異方性導電ゴム５と、コネクタ６とを備えている。
【００１３】
ベース台２は、ウレタン樹脂などの柔らかい材料からなる凸部２１と、ステンレスなどの金属からなるプレート部２２とを有している。凸部２１のサイズは、複数の電子部品素子が設けられているマザー基板７を複数に区切って得られる一定サイズの区間７０に合わされる。この区間７０には、電子部品素子が一つ以上含まれている。
【００１４】
フレキシブル基板３はベース台２および凸部２１に固定されており、一体化されている。フレキシブル基板３の突出高さＡは、所定の高さに固定されている。フレキシブル基板３は、伸縮性や弾性に優れたものが好ましい。本実施形態では、図２に示すように、ポリイミドフィルムなどからなる２５μｍ（代表値）の厚さを有するベースフィルム３１に、厚さ２０μｍ（代表値）の接着剤３２を介して、厚さ１８μｍ（代表値）の銅箔３３を貼り付けた、厚さが約１００μｍのフレキシブルプリント回路用銅張基板を用いた。このフレキシブルプリント回路用銅張基板は、表面抵抗率が５．０×１０13Ω、１ＭＨｚでの誘電率が３．５である。
【００１５】
特性測定用電極４ａ，４ｂは、本実施形態の場合、フレキシブルプリント回路用銅張基板の銅箔３３をパターンニング（エッチング）することによって形成される。
【００１６】
マザー基板７の上面には、抵抗やコンデンサやインダクタやＩＣなどのチップ型電子部品をマウントするためのランド７１が形成され、下面には、入出力電極やグランド電極などのパターン電極７２が形成されている。従って、電気特性測定治具１Ａの特性測定用電極４ａは、マザー基板７の上面に形成されたランド７１の形状に合わせてパターンニングされる。同様に、電気特性測定治具１Ｂの特性測定用電極４ｂは、マザー基板７の下面に形成されたパターン電極７２の形状に合わせてパターンニングされる。
【００１７】
特性測定用電極４ａ，４ｂを表面に形成したフレキシブル基板３は、それぞれベース台２に固定されている。このとき、フレキシブル基板３は、ベース台２の凸部２１の上に特性測定用電極４ａ，４ｂを配設し、この特性測定用電極４ａ，４ｂを突き出すように変形されている。
【００１８】
図示されていないが、特性測定用電極４ａ，４ｂのそれぞれはフレキシブル基板３の端縁に向かって引き出されており、ベース台２の端面に取り付けられているコネクタ６に電気的に接続されている。これらのコネクタ６は、マザー基板７の電子部品素子の電気特性を測定するための測定装置にリード線（図示せず）を介して接続されている。
【００１９】
異方性導電ゴム５は、特性測定用電極４ａ，４ｂに接した状態で、フレキシブル基板３に接合している。異方性導電ゴム５は、例えばシリコンゴムシートに、その厚み方向に延在するように金属繊維が埋め込まれている。従って、シリコンゴムシートの厚み方向に圧力を加えると、内部の金属繊維の先端がシリコンゴムシート表面から露出し、金属繊維を通して、異方性導電ゴム５はシリコンゴムシートの厚み方向にのみ導通する。なお、異方性導電ゴム５としては、金属繊維の両端部が、あらかじめシリコンゴムシートの表裏面から若干突出しているものであってもよい。
【００２０】
次に、この電気特性測定治具１Ａ，１Ｂを用いて、マザー基板７の電子部品素子の特性を測定する方法について説明する。電気特性測定治具１Ａと１Ｂは、それぞれマザー基板７の表裏両側に配置される。そして、特性測定用電極４ａ，４ｂがそれぞれ、ランド７１およびパターン電極７２に対応するように、マザー基板７が位置決めされる。
【００２１】
この状態で、二つの電気特性測定治具１Ａ，１Ｂの上下両側から圧力が加えられる。それにより、異方性導電ゴム５が厚み方向に導電性を有するようになり、ランド７１やパターン電極７２が特性測定用電極４ａ，４ｂに電気的に接続される。そして、コネクタ６およびリード線を介して接続されている測定装置によって、マザー基板７の一定サイズの区間７０内に含まれている電子部品素子の電気特性が測定される。こうして、順次、マザー基板７の区間７０毎に電子部品素子の電気特性を測定し、マザー基板７に設けられている全ての電子部品素子の電気特性を測定する。
【００２２】
以上の構成からなる電気特性測定治具１Ａ，１Ｂは、フレキシブル基板３がベース台２の凸部２１によって特性測定用電極４ａ，４ｂを突き出すように変形されている。従って、フレキシブル基板３と測定装置を電気的に接続するためのコネクタ６やリード線が邪魔にならず、被測定物のサイズに関係なく、特性を測定することができる。この結果、マザー基板７の状態で電子部品素子の特性を測定できるので、バッチ処理が可能となり、量産ラインにも組み込み易い。
【００２３】
さらに、本実施形態は、マザー基板７の表裏両側にそれぞれ電気特性測定治具１Ａ，１Ｂを配置しているので、マザー基板７の区間７０内に含まれている全てのランド７１やパターン電極７２について電気特性の測定が一度で可能となる。
【００２４】
また、フレキシブル基板３上の特性測定用電極４ａ，４ｂとコネクタ６との間に、所望の特性インピーダンスを持つ線路を形成しておけば、挿入損失を小さくできる。
【００２５】
また、異方性導電ゴム５にてマザー基板７の電子部品素子と特性測定用電極４ａ，４ｂとの間を電気的に接続することにより、マザー基板７を傷つけることなく、電子部品素子の特性を測定することができる。
【００２６】
なお、本発明に係る電気特性測定治具および電気特性測定方法は前記実施形態に限定するものではなく、その要旨の範囲内で種々に変更することができる。電気特性測定治具は、必ずしもマザー基板の表裏両側に配置する必要はなく、いずれか一方の側にのみ配置するものであってもよい。
【００２７】
また、図３に示すような電気特性測定治具１Ｃであってもよい。この電気特性測定治具１Ｃのフレキシブル基板３は、凸部２１に押し付けられることにより、特性測定用電極４ｃを突き出すように変形している。凸部２１の形状を変えることで、特性測定用電極４ｃの突き出し状態を容易に変えることができる。つまり、フレキシブル基板３に凸部２１を押し付けることにより、その突出高さＡを変更することができる。これにより、マザー基板に搭載されたチップ型電子部品に接触しないように高さ調整することができる。図３において、フレキシブル基板３とベース台２とは、突出高さＡの調整前は別体である。
【００２８】
なお、図３のフレキシブル基板３の表面には、特性測定用電極４ｃが異方性導電ゴム５と接する部分以外の部分を保護するための絶縁性保護膜３１が形成されている。絶縁性保護膜３１としては、例えばポリイミドフィルムなどからなる２５μｍ（代表値）の厚さを有するベースフィルムに、厚さ３５μｍ（代表値）の接着剤（熱硬化性樹脂など）を付けたカバーレイ用フィルムが用いられる。
【００２９】
被測定基板としては、前記実施形態のような一つ又は複数の電子部品素子を有する電子部品が複数設けられたマザー基板でもよいし、複数の電子部品素子を有する一つの電子部品であってもよい。後者の場合でも、複数の区画に分けて区画単位でそれぞれの電子部品素子を測定することで個別に測定可能である。
【００３０】
【発明の効果】
以上の説明で明らかなように、本発明によれば、フレキシブル基板が、特性測定用電極を突き出すように変形されているため、フレキシブル基板と測定装置とを電気的に接続するためのリード線やコネクタが邪魔にならず、被測定物のサイズに関係なく、確実かつ安定した電気特性の測定が行われる。この結果、被測定基板の状態で電子部品素子の特性を測定できるので、バッチ処理が可能となり、量産ラインにも組み込み易い。
【００３１】
また、異方性導電ゴムにて、被測定基板に設けられているランドおよびパターン電極と特性測定用電極との間を電気的に接続することにより、被測定基板を傷つけることなく、電子部品素子の特性を測定することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る電気特性測定治具の一実施形態を示す一部断面図。
【図２】図１に示したフレキシブル基板の断面図。
【図３】他の実施形態を示す一部断面図。
【図４】従来例を示す斜視図。
【符号の説明】
１Ａ，１Ｂ，１Ｃ…電気特性測定治具
２…ベース台
３…フレキシブル基板
４ａ，４ｂ，４ｃ…特性測定用電極
５…異方性導電ゴム
２１…凸部
Claims (6)
- 一方主面にチップ型電子部品をマウントするためのランドが形成され、他方主面に電子部品素子の入出力電極を含むパターン電極が形成されている被測定基板の一方主面および他方主面を複数の区画に分け、それぞれの区画単位で電気特性を測定するための電気特性測定治具であって、
ベース台と、該ベース台に設けられたフレキシブル基板と、該フレキシブル基板の表面に設けられた特性測定用電極とを備え、
前記特性測定用電極は前記被測定基板の一方主面および他方主面に互いに対向して一対のフレキシブル基板のそれぞれに設けられ、一方主面に対向する特性測定用電極は前記ランドの形状に合わせてパターンニングされ、他方主面に対向する特性測定用電極は前記パターン電極の形状に合わせてパターンニングされており、
前記一対のフレキシブル基板は１区画分の前記被測定基板のランドおよびパターン電極に接続される前記特性測定用電極を突き出すように変形されており、突き出された前記特性測定用電極は１区画単位で前記被測定基板に設けられているランドおよびパターン電極に電気的に接続すること、
を特徴とする電気特性測定治具 - 前記ベース台が凸部を有し、該凸部の上に前記フレキシブル基板の特性測定用電極が配設されていることを特徴とする請求項１に記載の電気特性測定治具。
- 前記フレキシブル基板と前記ベース台は別体であり、前記ベース台に設けられた凸部を前記フレキシブル基板に押し付けることにより、その突出高さが変更可能であることを特徴とする請求項２に記載の電気特性測定治具。
- 前記特性測定用電極に接して配設され、前記被測定基板に設けられているランドおよびパターン電極と前記特性測定用電極との間を電気的に接続するための異方性導電ゴムを備えていることを特徴とする請求項１〜請求項３に記載の電気特性測定治具。
- 前記被測定基板は、一つ又は複数のランドおよびパターン電極が複数組設けられたマザー基板であることを特徴とする請求項１〜請求項４のいずれかに記載の電気特性測定治具。
- 一方主面にチップ型電子部品をマウントするためのランドが形成され、他方主面に電子部品素子の入出力電極を含むパターン電極が形成されている被測定基板の一方主面および他方主面を複数の区画に分け、それぞれの区画単位で電気特性を測定する電気特性測定方法であって、
一対のフレキシブル基板のそれぞれの表面には前記被測定基板の一方主面および他方主面に互いに対向して設けられた特性測定用電極が設けられており、一方主面に対向する特性測定用電極は前記ランドの形状に合わせてパターンニングされ、他方主面に対向する特性測定用電極は前記パターン電極の形状に合わせてパターンニングされており、
前記一対のフレキシブル基板を、前記特性測定用電極が突き出されるように変形させ、該フレキシブル基板と前記被測定基板とを相対的に移動させることにより、突き出された前記特性測定用電極を１区画単位で前記被測定基板に設けられているランドおよびパターン電極に電気的に接触させて、１区画ずつ順次電気特性を測定すること、
を特徴とする電気特性測定方法。
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