JP2003337158A - 電気特性測定治具および電気特性測定方法 - Google Patents
電気特性測定治具および電気特性測定方法Info
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- JP2003337158A JP2003337158A JP2002145322A JP2002145322A JP2003337158A JP 2003337158 A JP2003337158 A JP 2003337158A JP 2002145322 A JP2002145322 A JP 2002145322A JP 2002145322 A JP2002145322 A JP 2002145322A JP 2003337158 A JP2003337158 A JP 2003337158A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 被測定基板に設けられている複数の電子部品
素子の特性を確実にかつ安定して測定することができる
電気特性測定治具および電気特性測定方法を提供する。 【解決手段】 電気特性測定治具１Ａ，１Ｂはそれぞ
れ、概略、ベース台２と、該ベース台２の上に配設され
たフレキシブル基板３と、該フレキシブル基板３の表面
に設けられた特性測定用電極４ａ，４ｂと、異方性導電
ゴム５と、コネクタ６とを備えている。フレキシブル基
板３は、ベース台２の凸部２１の上に特性測定用電極４
ａ，４ｂを配設し、この特性測定用電極４ａ，４ｂを突
き出すように変形されている。
素子の特性を確実にかつ安定して測定することができる
電気特性測定治具および電気特性測定方法を提供する。 【解決手段】 電気特性測定治具１Ａ，１Ｂはそれぞ
れ、概略、ベース台２と、該ベース台２の上に配設され
たフレキシブル基板３と、該フレキシブル基板３の表面
に設けられた特性測定用電極４ａ，４ｂと、異方性導電
ゴム５と、コネクタ６とを備えている。フレキシブル基
板３は、ベース台２の凸部２１の上に特性測定用電極４
ａ，４ｂを配設し、この特性測定用電極４ａ，４ｂを突
き出すように変形されている。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、電気特性測定治
具、特に被測定基板に設けられている複数の電子部品素
子の電気特性を測定するための電気特性測定治具および
電気特性測定方法に関する。
具、特に被測定基板に設けられている複数の電子部品素
子の電気特性を測定するための電気特性測定治具および
電気特性測定方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来の電気特性測定治具として、例え
ば、特開平６−２７３４６６号公報記載のものが知られ
ている。この電気特性測定治具は、図４に示すように、
それぞれ複数のパターン電極２０を表面に設けた２枚の
プリント基板１６と、２枚の異方性導電ゴム２４とを備
えている。パターン電極２０は、プリント基板１６の対
向する端縁付近から中央部に向かって配設されている。
プリント基板１６の端部付近にはスルーホール１８が設
けられ、このスルーホール１８を介してリード線２２が
パターン電極２０に電気的に接続されている。これらの
リード線２２は、チップ部品１０の電気特性を測定する
ための測定装置に接続されている。
ば、特開平６−２７３４６６号公報記載のものが知られ
ている。この電気特性測定治具は、図４に示すように、
それぞれ複数のパターン電極２０を表面に設けた２枚の
プリント基板１６と、２枚の異方性導電ゴム２４とを備
えている。パターン電極２０は、プリント基板１６の対
向する端縁付近から中央部に向かって配設されている。
プリント基板１６の端部付近にはスルーホール１８が設
けられ、このスルーホール１８を介してリード線２２が
パターン電極２０に電気的に接続されている。これらの
リード線２２は、チップ部品１０の電気特性を測定する
ための測定装置に接続されている。
【０００３】チップ部品１０の電気特性を測定する際に
は、２枚のプリント基板１６間に異方性導電ゴム２４を
挟んでチップ部品１０が配置される。プリント基板１６
のそれぞれのパターン電極２０が、チップ部品１０の側
面に設けられている外部電極１４に対応するように、チ
ップ部品１０が位置決めされる。この状態で、２枚のプ
リント基板１６の両側から圧力が加えられる。それによ
り、外部電極１４とパターン電極２０とが異方性導電ゴ
ム２４を介して電気的に接続される。そして、リード線
２２に接続された測定装置によって、チップ部品１０の
電気特性が測定される。
は、２枚のプリント基板１６間に異方性導電ゴム２４を
挟んでチップ部品１０が配置される。プリント基板１６
のそれぞれのパターン電極２０が、チップ部品１０の側
面に設けられている外部電極１４に対応するように、チ
ップ部品１０が位置決めされる。この状態で、２枚のプ
リント基板１６の両側から圧力が加えられる。それによ
り、外部電極１４とパターン電極２０とが異方性導電ゴ
ム２４を介して電気的に接続される。そして、リード線
２２に接続された測定装置によって、チップ部品１０の
電気特性が測定される。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
電気特性測定治具のプリント基板１６は、ガラスエポキ
シ樹脂などからなるリジッド基板であり、硬くて曲げら
れなかった。従って、プリント基板１６のサイズより大
きな被測定物、つまり、複数の電子部品素子が設けられ
ている被測定基板を測定する際には、プリント基板１６
に接続したリード線２２（あるいはコネクタなど）が邪
魔になり、測定できない場合があった。
電気特性測定治具のプリント基板１６は、ガラスエポキ
シ樹脂などからなるリジッド基板であり、硬くて曲げら
れなかった。従って、プリント基板１６のサイズより大
きな被測定物、つまり、複数の電子部品素子が設けられ
ている被測定基板を測定する際には、プリント基板１６
に接続したリード線２２（あるいはコネクタなど）が邪
魔になり、測定できない場合があった。
【０００５】そこで、本発明の目的は、被測定基板に設
けられている複数の電子部品素子の特性を確実にかつ安
定して測定することができる電気特性測定治具および電
気特性測定方法を提供することにある。
けられている複数の電子部品素子の特性を確実にかつ安
定して測定することができる電気特性測定治具および電
気特性測定方法を提供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段および作用】前記目的を達
成するため、本発明に係る電気特性測定治具は、複数の
電子部品素子が設けられている被測定基板を複数の区画
に分け、それぞれの区画単位で、電子部品素子の電気特
性を測定するための電気特性測定治具であって、ベース
台と、該ベース台に設けられたフレキシブル基板と、該
フレキシブル基板の表面に設けられた特性測定用電極と
を備え、フレキシブル基板は特性測定用電極を突き出す
ように変形されており、突き出された特性測定用電極は
区画単位で被測定基板に設けられている電子部品素子に
電気的に接続することを特徴とする。
成するため、本発明に係る電気特性測定治具は、複数の
電子部品素子が設けられている被測定基板を複数の区画
に分け、それぞれの区画単位で、電子部品素子の電気特
性を測定するための電気特性測定治具であって、ベース
台と、該ベース台に設けられたフレキシブル基板と、該
フレキシブル基板の表面に設けられた特性測定用電極と
を備え、フレキシブル基板は特性測定用電極を突き出す
ように変形されており、突き出された特性測定用電極は
区画単位で被測定基板に設けられている電子部品素子に
電気的に接続することを特徴とする。
【０００７】フレキシブル基板は、特性測定用電極を突
き出すように変形している。被測定基板は、例えば、一
つ又は複数の電子部品素子を有する電子部品が複数設け
られたマザー基板である。さらに、フレキシブル基板と
ベース台は別体であってもよく、ベース台に設けられた
凸部をフレキシブル基板に押し付けることにより、その
突出高さを変更することができる。
き出すように変形している。被測定基板は、例えば、一
つ又は複数の電子部品素子を有する電子部品が複数設け
られたマザー基板である。さらに、フレキシブル基板と
ベース台は別体であってもよく、ベース台に設けられた
凸部をフレキシブル基板に押し付けることにより、その
突出高さを変更することができる。
【０００８】以上の構成により、フレキシブル基板が、
特性測定用電極を突き出すように変形されているため、
フレキシブル基板と測定装置とを電気的に接続するため
のリード線やコネクタが邪魔にならず、被測定物のサイ
ズに関係なく、確実かつ安定した電気特性の測定が行わ
れる。
特性測定用電極を突き出すように変形されているため、
フレキシブル基板と測定装置とを電気的に接続するため
のリード線やコネクタが邪魔にならず、被測定物のサイ
ズに関係なく、確実かつ安定した電気特性の測定が行わ
れる。
【０００９】また、異方性導電ゴムにて、被測定基板に
設けられている電子部品素子と特性測定用電極との間を
電気的に接続することにより、極細の測定用プローブを
使用する必要がなくなる。そのため、被測定基板を傷つ
けることなく、電子部品素子の特性を測定することがで
きる。
設けられている電子部品素子と特性測定用電極との間を
電気的に接続することにより、極細の測定用プローブを
使用する必要がなくなる。そのため、被測定基板を傷つ
けることなく、電子部品素子の特性を測定することがで
きる。
【００１０】また、本発明に係る電気特性測定方法は、
複数の電子部品素子が設けられている被測定基板を複数
の区画に分け、それぞれの区画単位で、前記電子部品素
子の電気特性を測定する電気特性測定方法であって、特
性測定用電極が表面に設けられたフレキシブル基板を、
該特性測定用電極が突き出されるように変形させ、突き
出された前記特性測定用電極を区画単位で前記被測定基
板に設けられている電子部品素子に電気的に接触させ
て、電子部品素子の電気特性を測定することを特徴とす
る。以上の方法により、確実かつ安定した電気特性の測
定が行われる。
複数の電子部品素子が設けられている被測定基板を複数
の区画に分け、それぞれの区画単位で、前記電子部品素
子の電気特性を測定する電気特性測定方法であって、特
性測定用電極が表面に設けられたフレキシブル基板を、
該特性測定用電極が突き出されるように変形させ、突き
出された前記特性測定用電極を区画単位で前記被測定基
板に設けられている電子部品素子に電気的に接触させ
て、電子部品素子の電気特性を測定することを特徴とす
る。以上の方法により、確実かつ安定した電気特性の測
定が行われる。
【００１１】
【発明の実施の形態】以下、本発明に係る電気特性測定
治具および電気特性測定方法の一実施形態について添付
の図面を参照して説明する。
治具および電気特性測定方法の一実施形態について添付
の図面を参照して説明する。
【００１２】図１に示すように、マザー基板７に設けら
れている例えば、コンデンサ、インダクタ、抵抗、フィ
ルタ、遅延線といった複数の電子部品素子の電気特性を
測定するための電気特性測定治具１Ａ，１Ｂはそれぞ
れ、概略、ベース台２と、該ベース台２の上に配設され
たフレキシブル基板３と、該フレキシブル基板３の表面
に設けられた特性測定用電極４ａ，４ｂと、異方性導電
ゴム５と、コネクタ６とを備えている。
れている例えば、コンデンサ、インダクタ、抵抗、フィ
ルタ、遅延線といった複数の電子部品素子の電気特性を
測定するための電気特性測定治具１Ａ，１Ｂはそれぞ
れ、概略、ベース台２と、該ベース台２の上に配設され
たフレキシブル基板３と、該フレキシブル基板３の表面
に設けられた特性測定用電極４ａ，４ｂと、異方性導電
ゴム５と、コネクタ６とを備えている。
【００１３】ベース台２は、ウレタン樹脂などの柔らか
い材料からなる凸部２１と、ステンレスなどの金属から
なるプレート部２２とを有している。凸部２１のサイズ
は、複数の電子部品素子が設けられているマザー基板７
を複数に区切って得られる一定サイズの区間７０に合わ
される。この区間７０には、電子部品素子が一つ以上含
まれている。
い材料からなる凸部２１と、ステンレスなどの金属から
なるプレート部２２とを有している。凸部２１のサイズ
は、複数の電子部品素子が設けられているマザー基板７
を複数に区切って得られる一定サイズの区間７０に合わ
される。この区間７０には、電子部品素子が一つ以上含
まれている。
【００１４】フレキシブル基板３はベース台２および凸
部２１に固定されており、一体化されている。フレキシ
ブル基板３の突出高さＡは、所定の高さに固定されてい
る。フレキシブル基板３は、伸縮性や弾性に優れたもの
が好ましい。本実施形態では、図２に示すように、ポリ
イミドフィルムなどからなる２５μｍ（代表値）の厚さ
を有するベースフィルム３１に、厚さ２０μｍ（代表
値）の接着剤３２を介して、厚さ１８μｍ（代表値）の
銅箔３３を貼り付けた、厚さが約１００μｍのフレキシ
ブルプリント回路用銅張基板を用いた。このフレキシブ
ルプリント回路用銅張基板は、表面抵抗率が５．０×１
０13Ω、１ＭＨｚでの誘電率が３．５である。
部２１に固定されており、一体化されている。フレキシ
ブル基板３の突出高さＡは、所定の高さに固定されてい
る。フレキシブル基板３は、伸縮性や弾性に優れたもの
が好ましい。本実施形態では、図２に示すように、ポリ
イミドフィルムなどからなる２５μｍ（代表値）の厚さ
を有するベースフィルム３１に、厚さ２０μｍ（代表
値）の接着剤３２を介して、厚さ１８μｍ（代表値）の
銅箔３３を貼り付けた、厚さが約１００μｍのフレキシ
ブルプリント回路用銅張基板を用いた。このフレキシブ
ルプリント回路用銅張基板は、表面抵抗率が５．０×１
０13Ω、１ＭＨｚでの誘電率が３．５である。
【００１５】特性測定用電極４ａ，４ｂは、本実施形態
の場合、フレキシブルプリント回路用銅張基板の銅箔３
３をパターンニング（エッチング）することによって形
成される。
の場合、フレキシブルプリント回路用銅張基板の銅箔３
３をパターンニング（エッチング）することによって形
成される。
【００１６】マザー基板７の上面には、抵抗やコンデン
サやインダクタやＩＣなどのチップ型電子部品をマウン
トするためのランド７１が形成され、下面には、入出力
電極やグランド電極などのパターン電極７２が形成され
ている。従って、電気特性測定治具１Ａの特性測定用電
極４ａは、マザー基板７の上面に形成されたランド７１
の形状に合わせてパターンニングされる。同様に、電気
特性測定治具１Ｂの特性測定用電極４ｂは、マザー基板
７の下面に形成されたパターン電極７２の形状に合わせ
てパターンニングされる。
サやインダクタやＩＣなどのチップ型電子部品をマウン
トするためのランド７１が形成され、下面には、入出力
電極やグランド電極などのパターン電極７２が形成され
ている。従って、電気特性測定治具１Ａの特性測定用電
極４ａは、マザー基板７の上面に形成されたランド７１
の形状に合わせてパターンニングされる。同様に、電気
特性測定治具１Ｂの特性測定用電極４ｂは、マザー基板
７の下面に形成されたパターン電極７２の形状に合わせ
てパターンニングされる。
【００１７】特性測定用電極４ａ，４ｂを表面に形成し
たフレキシブル基板３は、それぞれベース台２に固定さ
れている。このとき、フレキシブル基板３は、ベース台
２の凸部２１の上に特性測定用電極４ａ，４ｂを配設
し、この特性測定用電極４ａ，４ｂを突き出すように変
形されている。
たフレキシブル基板３は、それぞれベース台２に固定さ
れている。このとき、フレキシブル基板３は、ベース台
２の凸部２１の上に特性測定用電極４ａ，４ｂを配設
し、この特性測定用電極４ａ，４ｂを突き出すように変
形されている。
【００１８】図示されていないが、特性測定用電極４
ａ，４ｂのそれぞれはフレキシブル基板３の端縁に向か
って引き出されており、ベース台２の端面に取り付けら
れているコネクタ６に電気的に接続されている。これら
のコネクタ６は、マザー基板７の電子部品素子の電気特
性を測定するための測定装置にリード線（図示せず）を
介して接続されている。
ａ，４ｂのそれぞれはフレキシブル基板３の端縁に向か
って引き出されており、ベース台２の端面に取り付けら
れているコネクタ６に電気的に接続されている。これら
のコネクタ６は、マザー基板７の電子部品素子の電気特
性を測定するための測定装置にリード線（図示せず）を
介して接続されている。
【００１９】異方性導電ゴム５は、特性測定用電極４
ａ，４ｂに接した状態で、フレキシブル基板３に接合し
ている。異方性導電ゴム５は、例えばシリコンゴムシー
トに、その厚み方向に延在するように金属繊維が埋め込
まれている。従って、シリコンゴムシートの厚み方向に
圧力を加えると、内部の金属繊維の先端がシリコンゴム
シート表面から露出し、金属繊維を通して、異方性導電
ゴム５はシリコンゴムシートの厚み方向にのみ導通す
る。なお、異方性導電ゴム５としては、金属繊維の両端
部が、あらかじめシリコンゴムシートの表裏面から若干
突出しているものであってもよい。
ａ，４ｂに接した状態で、フレキシブル基板３に接合し
ている。異方性導電ゴム５は、例えばシリコンゴムシー
トに、その厚み方向に延在するように金属繊維が埋め込
まれている。従って、シリコンゴムシートの厚み方向に
圧力を加えると、内部の金属繊維の先端がシリコンゴム
シート表面から露出し、金属繊維を通して、異方性導電
ゴム５はシリコンゴムシートの厚み方向にのみ導通す
る。なお、異方性導電ゴム５としては、金属繊維の両端
部が、あらかじめシリコンゴムシートの表裏面から若干
突出しているものであってもよい。
【００２０】次に、この電気特性測定治具１Ａ，１Ｂを
用いて、マザー基板７の電子部品素子の特性を測定する
方法について説明する。電気特性測定治具１Ａと１Ｂ
は、それぞれマザー基板７の表裏両側に配置される。そ
して、特性測定用電極４ａ，４ｂがそれぞれ、ランド７
１およびパターン電極７２に対応するように、マザー基
板７が位置決めされる。
用いて、マザー基板７の電子部品素子の特性を測定する
方法について説明する。電気特性測定治具１Ａと１Ｂ
は、それぞれマザー基板７の表裏両側に配置される。そ
して、特性測定用電極４ａ，４ｂがそれぞれ、ランド７
１およびパターン電極７２に対応するように、マザー基
板７が位置決めされる。
【００２１】この状態で、二つの電気特性測定治具１
Ａ，１Ｂの上下両側から圧力が加えられる。それによ
り、異方性導電ゴム５が厚み方向に導電性を有するよう
になり、ランド７１やパターン電極７２が特性測定用電
極４ａ，４ｂに電気的に接続される。そして、コネクタ
６およびリード線を介して接続されている測定装置によ
って、マザー基板７の一定サイズの区間７０内に含まれ
ている電子部品素子の電気特性が測定される。こうし
て、順次、マザー基板７の区間７０毎に電子部品素子の
電気特性を測定し、マザー基板７に設けられている全て
の電子部品素子の電気特性を測定する。
Ａ，１Ｂの上下両側から圧力が加えられる。それによ
り、異方性導電ゴム５が厚み方向に導電性を有するよう
になり、ランド７１やパターン電極７２が特性測定用電
極４ａ，４ｂに電気的に接続される。そして、コネクタ
６およびリード線を介して接続されている測定装置によ
って、マザー基板７の一定サイズの区間７０内に含まれ
ている電子部品素子の電気特性が測定される。こうし
て、順次、マザー基板７の区間７０毎に電子部品素子の
電気特性を測定し、マザー基板７に設けられている全て
の電子部品素子の電気特性を測定する。
【００２２】以上の構成からなる電気特性測定治具１
Ａ，１Ｂは、フレキシブル基板３がベース台２の凸部２
１によって特性測定用電極４ａ，４ｂを突き出すように
変形されている。従って、フレキシブル基板３と測定装
置を電気的に接続するためのコネクタ６やリード線が邪
魔にならず、被測定物のサイズに関係なく、特性を測定
することができる。この結果、マザー基板７の状態で電
子部品素子の特性を測定できるので、バッチ処理が可能
となり、量産ラインにも組み込み易い。
Ａ，１Ｂは、フレキシブル基板３がベース台２の凸部２
１によって特性測定用電極４ａ，４ｂを突き出すように
変形されている。従って、フレキシブル基板３と測定装
置を電気的に接続するためのコネクタ６やリード線が邪
魔にならず、被測定物のサイズに関係なく、特性を測定
することができる。この結果、マザー基板７の状態で電
子部品素子の特性を測定できるので、バッチ処理が可能
となり、量産ラインにも組み込み易い。
【００２３】さらに、本実施形態は、マザー基板７の表
裏両側にそれぞれ電気特性測定治具１Ａ，１Ｂを配置し
ているので、マザー基板７の区間７０内に含まれている
全てのランド７１やパターン電極７２について電気特性
の測定が一度で可能となる。
裏両側にそれぞれ電気特性測定治具１Ａ，１Ｂを配置し
ているので、マザー基板７の区間７０内に含まれている
全てのランド７１やパターン電極７２について電気特性
の測定が一度で可能となる。
【００２４】また、フレキシブル基板３上の特性測定用
電極４ａ，４ｂとコネクタ６との間に、所望の特性イン
ピーダンスを持つ線路を形成しておけば、挿入損失を小
さくできる。
電極４ａ，４ｂとコネクタ６との間に、所望の特性イン
ピーダンスを持つ線路を形成しておけば、挿入損失を小
さくできる。
【００２５】また、異方性導電ゴム５にてマザー基板７
の電子部品素子と特性測定用電極４ａ，４ｂとの間を電
気的に接続することにより、マザー基板７を傷つけるこ
となく、電子部品素子の特性を測定することができる。
の電子部品素子と特性測定用電極４ａ，４ｂとの間を電
気的に接続することにより、マザー基板７を傷つけるこ
となく、電子部品素子の特性を測定することができる。
【００２６】なお、本発明に係る電気特性測定治具およ
び電気特性測定方法は前記実施形態に限定するものでは
なく、その要旨の範囲内で種々に変更することができ
る。電気特性測定治具は、必ずしもマザー基板の表裏両
側に配置する必要はなく、いずれか一方の側にのみ配置
するものであってもよい。
び電気特性測定方法は前記実施形態に限定するものでは
なく、その要旨の範囲内で種々に変更することができ
る。電気特性測定治具は、必ずしもマザー基板の表裏両
側に配置する必要はなく、いずれか一方の側にのみ配置
するものであってもよい。
【００２７】また、図３に示すような電気特性測定治具
１Ｃであってもよい。この電気特性測定治具１Ｃのフレ
キシブル基板３は、凸部２１に押し付けられることによ
り、特性測定用電極４ｃを突き出すように変形してい
る。凸部２１の形状を変えることで、特性測定用電極４
ｃの突き出し状態を容易に変えることができる。つま
り、フレキシブル基板３に凸部２１を押し付けることに
より、その突出高さＡを変更することができる。これに
より、マザー基板に搭載されたチップ型電子部品に接触
しないように高さ調整することができる。図３におい
て、フレキシブル基板３とベース台２とは、突出高さＡ
の調整前は別体である。
１Ｃであってもよい。この電気特性測定治具１Ｃのフレ
キシブル基板３は、凸部２１に押し付けられることによ
り、特性測定用電極４ｃを突き出すように変形してい
る。凸部２１の形状を変えることで、特性測定用電極４
ｃの突き出し状態を容易に変えることができる。つま
り、フレキシブル基板３に凸部２１を押し付けることに
より、その突出高さＡを変更することができる。これに
より、マザー基板に搭載されたチップ型電子部品に接触
しないように高さ調整することができる。図３におい
て、フレキシブル基板３とベース台２とは、突出高さＡ
の調整前は別体である。
【００２８】なお、図３のフレキシブル基板３の表面に
は、特性測定用電極４ｃが異方性導電ゴム５と接する部
分以外の部分を保護するための絶縁性保護膜３１が形成
されている。絶縁性保護膜３１としては、例えばポリイ
ミドフィルムなどからなる２５μｍ（代表値）の厚さを
有するベースフィルムに、厚さ３５μｍ（代表値）の接
着剤（熱硬化性樹脂など）を付けたカバーレイ用フィル
ムが用いられる。
は、特性測定用電極４ｃが異方性導電ゴム５と接する部
分以外の部分を保護するための絶縁性保護膜３１が形成
されている。絶縁性保護膜３１としては、例えばポリイ
ミドフィルムなどからなる２５μｍ（代表値）の厚さを
有するベースフィルムに、厚さ３５μｍ（代表値）の接
着剤（熱硬化性樹脂など）を付けたカバーレイ用フィル
ムが用いられる。
【００２９】被測定基板としては、前記実施形態のよう
な一つ又は複数の電子部品素子を有する電子部品が複数
設けられたマザー基板でもよいし、複数の電子部品素子
を有する一つの電子部品であってもよい。後者の場合で
も、複数の区画に分けて区画単位でそれぞれの電子部品
素子を測定することで個別に測定可能である。
な一つ又は複数の電子部品素子を有する電子部品が複数
設けられたマザー基板でもよいし、複数の電子部品素子
を有する一つの電子部品であってもよい。後者の場合で
も、複数の区画に分けて区画単位でそれぞれの電子部品
素子を測定することで個別に測定可能である。
【００３０】
【発明の効果】以上の説明で明らかなように、本発明に
よれば、フレキシブル基板が、特性測定用電極を突き出
すように変形されているため、フレキシブル基板と測定
装置とを電気的に接続するためのリード線やコネクタが
邪魔にならず、被測定物のサイズに関係なく、確実かつ
安定した電気特性の測定が行われる。この結果、被測定
基板の状態で電子部品素子の特性を測定できるので、バ
ッチ処理が可能となり、量産ラインにも組み込み易い。
よれば、フレキシブル基板が、特性測定用電極を突き出
すように変形されているため、フレキシブル基板と測定
装置とを電気的に接続するためのリード線やコネクタが
邪魔にならず、被測定物のサイズに関係なく、確実かつ
安定した電気特性の測定が行われる。この結果、被測定
基板の状態で電子部品素子の特性を測定できるので、バ
ッチ処理が可能となり、量産ラインにも組み込み易い。
【００３１】また、異方性導電ゴムにて、被測定基板に
設けられている電子部品素子と特性測定用電極との間を
電気的に接続することにより、被測定基板を傷つけるこ
となく、電子部品素子の特性を測定することができる。
設けられている電子部品素子と特性測定用電極との間を
電気的に接続することにより、被測定基板を傷つけるこ
となく、電子部品素子の特性を測定することができる。
【図１】本発明に係る電気特性測定治具の一実施形態を
示す一部断面図。
示す一部断面図。
【図２】図１に示したフレキシブル基板の断面図。
【図３】他の実施形態を示す一部断面図。
【図４】従来例を示す斜視図。
１Ａ，１Ｂ，１Ｃ…電気特性測定治具
２…ベース台
３…フレキシブル基板
４ａ，４ｂ，４ｃ…特性測定用電極
５…異方性導電ゴム
２１…凸部
─────────────────────────────────────────────────────
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Ｆターム(参考） 2G011 AA16 AB06 AB08 AC31 AE01
AE11 AF06
2G132 AA20 AB01 AF00
Claims (6)
- 【請求項１】 複数の電子部品素子が設けられている被
測定基板を複数の区画に分け、それぞれの区画単位で、
前記電子部品素子の電気特性を測定するための電気特性
測定治具であって、 ベース台と、該ベース台に設けられたフレキシブル基板
と、該フレキシブル基板の表面に設けられた特性測定用
電極とを備え、 前記フレキシブル基板は前記特性測定用電極を突き出す
ように変形されており、突き出された前記特性測定用電
極は区画単位で前記被測定基板に設けられている電子部
品素子に電気的に接続すること、 を特徴とする電気特性測定治具。 - 【請求項２】 前記ベース台が凸部を有し、該凸部の上
に前記フレキシブル基板の特性測定用電極が配設されて
いることを特徴とする請求項１に記載の電気特性測定治
具。 - 【請求項３】 前記フレキシブル基板と前記ベース台は
別体であり、前記ベース台に設けられた凸部を前記フレ
キシブル基板に押し付けることにより、その突出高さが
変更可能であることを特徴とする請求項２に記載の電気
特性測定治具。 - 【請求項４】 前記特性測定用電極に接して配設され、
前記被測定基板に設けられている電子部品素子と前記特
性測定用電極との間を電気的に接続するための異方性導
電ゴムを備えていることを特徴とする請求項１〜請求項
３に記載の電気特性測定治具。 - 【請求項５】 前記被測定基板は、一つ又は複数の電子
部品素子を有する電子部品が複数設けられたマザー基板
であることを特徴とする請求項１〜請求項４のいずれか
に記載の電気特性測定治具。 - 【請求項６】 複数の電子部品素子が設けられている被
測定基板を複数の区画に分け、それぞれの区画単位で、
前記電子部品素子の電気特性を測定する電気特性測定方
法であって、 特性測定用電極が表面に設けられたフレキシブル基板
を、該特性測定用電極が突き出されるように変形させ、
突き出された前記特性測定用電極を区画単位で前記被測
定基板に設けられている電子部品素子に電気的に接触さ
せて、電子部品素子の電気特性を測定すること、 を特徴とする電気特性測定方法。
Priority Applications (1)
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|---|---|---|---|
| JP2002145322A JP4075456B2 (ja) | 2002-05-20 | 2002-05-20 | 電気特性測定治具および電気特性測定方法 |
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| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002145322A JP4075456B2 (ja) | 2002-05-20 | 2002-05-20 | 電気特性測定治具および電気特性測定方法 |
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| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003337158A true JP2003337158A (ja) | 2003-11-28 |
| JP4075456B2 JP4075456B2 (ja) | 2008-04-16 |
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| JP2002145322A Expired - Lifetime JP4075456B2 (ja) | 2002-05-20 | 2002-05-20 | 電気特性測定治具および電気特性測定方法 |
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|---|---|
| JP (1) | JP4075456B2 (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007085801A (ja) * | 2005-09-20 | 2007-04-05 | Epson Toyocom Corp | 高周波デバイスの測定治具 |
| CN100461981C (zh) * | 2006-04-29 | 2009-02-11 | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 | 一种基于聚合物基底的凸起电极、制作方法及应用 |
| CN111044807A (zh) * | 2018-10-15 | 2020-04-21 | 松下知识产权经营株式会社 | 特性测量装置及其方法、部件安装装置及其方法 |
| WO2022191236A1 (ja) * | 2021-03-12 | 2022-09-15 | 三菱電機株式会社 | 通電検査装置および通電検査方法 |
| JP7321979B2 (ja) | 2015-12-18 | 2023-08-07 | 株式会社レゾナック | 導電性接着剤組成物、接続構造体及び半導体発光素子搭載フレキシブル配線基板 |
-
2002
- 2002-05-20 JP JP2002145322A patent/JP4075456B2/ja not_active Expired - Lifetime
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