JP4072282B2 - 位置検出器及びその接触針 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
この発明は、接触により工作機械の工具ないし工具取付軸と被加工物との相対位置を検出する位置検出器及びその接触針に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
工作機械に取付けられた被加工物の位置を接触により検出する位置検出器は、移動可能かつ所定の安定位置に付勢して保持された接触体を備えており、本体が工作機械の工具ホルダに装着されるものと、本体が磁石等により被加工物に装着されるものとがある。
【0003】
前者の例は図2に示されており、本体1に収納されたプラスチックケース2に電池3が収納され、LED4のアノードが電池3の陽極に、カソードが本体1に接続されており、接触針5は、その円板状の基部6を絶縁体7を介して電気的に絶縁した状態でバネ8により支持杆9に押接して、本体1に装着されている。支持杆9は本体1に螺合されており、これを螺進退させることにより接触針5の位置を微調整する。接触針の基部6は電池3の陰極にリード線11で接続されている。このように構成された位置検出器は、本体1を工作機械の工具ホルダ12に装着して接触針5を被加工物13に接触させると、工作機械を通る電気回路が閉成されてLED4が点灯し、被加工物13の位置が検出される。
【0004】
後者の例は、図4に示されており、本体1の上部に電気的に絶縁された状態で下方に移動自在かつ上方にバネ8で付勢されて突出する接触板5が設けられており、この接触板5の上端は本体1の底面14と平行な平面とされ、この接触板5と本体1とはLED4と電池3とを直列接続した導線11で接続されている。このように構成された位置検出器は、その本体1を被加工物13に取付けたあと、工具15を移動させて接触板5に当接させると、工作機械を通る電気回路が閉成されてLED4が点灯し、被加工物の位置が検出される。
【0005】
以上のように、この種の位置検出器の接触体は、電気導体であること、安価であること、必要な硬さと耐摩耗性を備えていること等が要求されるので、焼き入れ性が良好で焼き入れ焼きもどしにより優れた機械的性質を発揮するベアリング鋼が多く用いられている。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】
前記のような位置検出器で被加工物の位置を検出する場合、回路が開閉されて接触体が通電状態と非通電状態とを繰り返すことになり、接触体が次第に磁気を帯びてくる。このため切削加工等で生じた切粉が接触体に付着し、位置検出時に接触体と被加工物や工具との間に介在して測定誤差を生ずる。また接触体が細長い接触針であるときは、接触針を被加工物の側方から接近させたとき磁力で接触針が引かれて僅かに傾き、これによる誤差を生ずる。
【0007】
接触体をオーステナイト系ステンレス鋼やジュラルミンなどの非磁性金属材で製造してやれば、上記問題を解決できるが、非磁性金属材は硬度が低く、被加工物や工具との繰り返し当接離隔により摩耗や変形による測定誤差を生じる。
【0008】
本発明は、耐久性があり測定誤差を生じない非磁性の接触体を得ることにより、正確な位置検出を可能にすることを課題としている。
【0009】
【課題を解決するための手段】
この出願の発明に係る位置検出器は、その接触体5の接触部がタングステンカーバイトに結合材としてニッケル約6〜16%を混入した非磁性材で形成されていることを特徴とする。上記接触体5は、電気的に絶縁された状態で移動可能かつ所定の安定位置に付勢して装着されている。接触体5は接触検出回路3、4に接続されており、接触体5が工作機械の工具15ないし工具取付軸12及び被加工物13を介して電気的に導通されたときに接触検出回路3、4が開閉されて、被加工物と工具ないし工具取付軸との相対位置が検出される。
【0010】
請求項2の発明に係る位置検出器は、接触体5が接触部である先端の球体16と当該球体を本体から離れた位置に保持する細長い柄杆17とを含む接触針であり、柄杆17が非磁性材で製作され、球体16がタングステンカーバイトに結合材としてニッケルを混入した非磁性材で製作されていることを特徴とする。
【0011】
上記球体16は、タングステンカーバイトの微粉末に4〜16%、最適には6%前後のニッケルを混入して高温で焼結し、溶融状態のものを成形したあと転動させながら研磨することにより得られる。柄杆を製作する非磁性材としてはオーステナイト系ステンレス鋼、ジュラルミン、ベリリューム銅などを例示することができる。ベリリューム銅を時効硬化処理した材料は、機械的強度が高く変形しにくい。
【0012】
この出願の発明に係る位置検出器の接触針は、タングステンカーバイトに結合材としてニッケルを混入して焼結してなる非磁性材で製作された先端の球体16と、ベリリューム銅を時効硬化処理した非磁性材で製作された細長い柄杆17とを備えている。球体16は、真円に成形したものにオーステナイト系ステンレス鋼の雄ネジ18を溶接や接着により接合し、柄杆17の先端に設けたネジ孔に螺合して固定する構造とすれば、交換可能であり、個別に供給できる。
【0013】
【作用】
接触体5を非磁性材で形成することにより、接触検出回路の開閉動作によって接触体が磁化するのを防止できる。そして接触体の接触部をタングステンカーバイト粉末に結合材としてニッケルを混入して焼結してなる非磁性材を用いることにより、接触部に高い硬度を付与することができ、接触部の摩耗や変形による位置検出精度の低下を防止できる。
【0014】
上記作用は、接触体が細長い柄杆を備えた接触針であるときに、磁力による柄杆の傾きが防止されるので、特に有効に発揮される。接触針の細長い柄杆は、外力による屈曲変形を受けやすいが、この柄杆の材料としてベリリューム銅を時効硬化処理した硬い材料を用いることにより、柄杆の屈曲変形による測定精度の低下も防止できる。また接触部を球体とすることにより、総ての方向からの正確な位置検出が可能である。
【0015】
【発明の実施の形態】
図1及び図2は本発明の第1実施例を示した図である。図2に示す位置検出器の全体構造については前述した。図1に示す接触針5は球体16と柄杆17とで形成されている。柄杆17は、ベリリューム銅を所定寸法に切削加工したあと約350度の温度で時効硬化処理をして製作されている。球体16は、タングステンカーバイトの微粉末に6%のニッケルを加えて高温下でニッケルを溶融してタングステンカーバイトと混合し、型内で球形に焼結したものの周面を研磨して真円とし、その周面の1ヶ所にSUS304の雄ネジ18を電気抵抗溶接して製作されている。
【0016】
SUS304は、基本的には非磁性であるが、加工中に磁化するので、機械加工後固溶化熱処理して非磁性に戻している。このようにして非磁性にしたSUS304などで柄杆17全体を製作することもできる。雄ネジ18は、スポット溶接などの電気抵抗溶接の他、エポキシ系等の接着剤で柄杆17に接着することもできる。接着する際は、球体の周面に放電加工で孔を設けて雄ネジをこの孔に嵌合した状態で接着するので好ましい。球体16は、雄ネジ18を柄杆17の先端に設けた軸方向の雌ネジ孔に螺合することにより、柄杆17の先端に固定される。
【0017】
柄杆17の基端は径大となっており、基端に設けた軸方向のネジ杆を絶縁体を介して本体に遊動かつ中立位置に付勢して設けられた円板の中心孔に螺合して、接触針5を本体1に電気的に絶縁された状態で装着する。
【0018】
図3及び図4は本発明の第2実施例を示したものである。この実施例の接触体は、オーステナイト系ステンレス鋼を下面中心に摺動軸を備えた円盤状に加工し、工具との接触部となる円盤上面にタングステンカーバイトに結合材としてニッケルを混入してなる非磁性材を焼結してその表面を研磨することにより製作されている。
【図面の簡単な説明】
【図1】第1実施例の接触針の斜視図
【図2】第1実施例の位置検出器及びその測定方法を示す側面図
【図3】第2実施例の接触体の斜視図
【図4】第2実施例の位置検出器及びその測定方法を示す側面図
【符号の説明】
1 本体
3 電池
4 LED
5 接触体
12 工具取付軸
13 被加工物
15 工具
16 球体
17 柄杆
18 雄ネジ
Claims (4)
- 電気的に絶縁された状態で所定の安定位置を保持する微小移動可能な接触体(5)と、当該接触体に接続された接触検出回路(3、4)とを備え、当該接触検出回路で接触体(5)と被加工物又は工具ないし工具取付軸との接触を電気的に検出する位置検出器において、接触体(5)の接触部がタングステンカーバイトにニッケルを結合材として混入してなる非磁性材で形成されていることを特徴とする、位置検出器。
- 接触体(5)が接触部である先端の球体(16)と当該球体を本体から離れた位置に保持する細長い柄杆(17)とを含む接触針であり、前記柄杆が非磁性材で製作され、前記球体がタングステンカーバイトにニッケルを結合材として混入してなる非磁性材で製作されていることを特徴とする、請求項1記載の位置検出器。
- 細長い柄杆(17)とその一端に固定された球体(16)とを備え、前記球体がタングステンカーバイトにニッケルを結合材として混入してなる非磁性材で製作され、前記柄杆がベリリューム銅を時効硬化処理した非磁性材で製作されている、位置検出器の接触針。
- タングステンカーバイトにニッケルを結合材として混入してなる非磁性材で製作された球体(16)であって、その周面に柄杆(17)の先端に螺合する雄ネジ(18)が接合されている、位置検出器の接触針の接触部材。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP10055999A JP4072282B2 (ja) | 1999-04-07 | 1999-04-07 | 位置検出器及びその接触針 |
PCT/JP2000/002220 WO2000062010A1 (en) | 1999-04-07 | 2000-04-06 | Position sensor and contact needle |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP10055999A JP4072282B2 (ja) | 1999-04-07 | 1999-04-07 | 位置検出器及びその接触針 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2000292114A JP2000292114A (ja) | 2000-10-20 |
JP4072282B2 true JP4072282B2 (ja) | 2008-04-09 |
Family
ID=14277297
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP10055999A Expired - Lifetime JP4072282B2 (ja) | 1999-04-07 | 1999-04-07 | 位置検出器及びその接触針 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4072282B2 (ja) |
WO (1) | WO2000062010A1 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2019240025A1 (ja) | 2018-06-12 | 2019-12-19 | 株式会社ミツトヨ | デジタル式マイクロメータ |
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CN103512518A (zh) * | 2012-06-15 | 2014-01-15 | 苏州工业园区高登威科技有限公司 | 热继电器双金属片检测装置 |
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2000
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WO2000062010A1 (en) | 2000-10-19 |
JP2000292114A (ja) | 2000-10-20 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20060302 |
|
A871 | Explanation of circumstances concerning accelerated examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A871 Effective date: 20071023 |
|
A975 | Report on accelerated examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971005 Effective date: 20071113 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
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A521 | Written amendment |
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TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20080115 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20080121 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110125 Year of fee payment: 3 |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110125 Year of fee payment: 3 |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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|
R157 | Certificate of patent or utility model (correction) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R157 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
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R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
RVTR | Cancellation of determination of trial for invalidation |