JP2003207330A - トリガプローブおよびトリガプローブの組立て方法 - Google Patents
トリガプローブおよびトリガプローブの組立て方法Info
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Abstract
トの電気接触と位置決めを、より精密確実にするととも
に、その組立作業にかかる経済性を図る。 【解決手段】このプローブは、固定子(1)と、その内
側に設けた絶縁物の案内子(6)と、スタイラス(2)
と、スタイラス支持体(20)と電気回路とを含み、ス
タイラス支持体(20)は固定子(1)に対し、ばね
(220)により保持され、スタイラス(2)は静止位
置から偏向力に対応して移動できる。電気回路は、コン
タクトエレメント(3)と、これにはんだ付け又は蝋つ
けされる剛体の接続用エレメント(4)と、導体のピン
(21)からなる。ピン(21)は、スタイラス支持体
(20)の動きに対応して、コンタクトエレメント
(3)との間の接続開閉をする。
Description
関するものであり、該トリガプローブは通常、計測機械
に利用され、プローブのスタイラスと計測すべき部品と
の間の接触を検出するのに使用されるものである。本発
明は、このようなプローブの組立て方法にも関するもの
である。
メントであり、該エレメントは、その利用に限られるも
のではなく、機械的な部品の生産ラインにおいて、例え
ば生産機械の調整や品質の検査のために広く利用されて
いる。該トリガプローブは、寸法の正確な審査、あるい
は表面や生産ロットの規格合致性の検査に使用される。
アームに固定されており、その位置は例えば容量性、誘
導性、磁気性、またはオプトエレクトロニクスなどの計
測システムを使って正確に測定されている。計測機械の
アームは、プローブのスタイラスが部品あるいは計測す
べき表面と接触するまで、定められた軌道に従って空間
において位置を変えられる。接触の際、偏向力は、スタ
イラスに押し当てられ、このように、スタイラスはその
最初の静止位置から外に出される。電気回路はこのとき
閉じているかあるいは開いており、また信号は一般的
に、一方では例えば光信号の形で利用者に、他方では計
測機械のソフトウェアに送られるが、該計測機械は、こ
のように計測システムのデータを使って、与えられた座
標系における接触点の座標を測定するものである。ソフ
トウェアは、つぎに二つの計測点間の距離を計算するこ
と、そして特定の場合においては、計測すべき物体を一
連の計測点を使って二次元または三次元で表すことを可
能にする。
表面や生産ロットの規格合致性の検査に使用される。プ
ローブは、不動のエレメントに固定されており、表面や
一連の部品は、スタイラスにそっと触れる仕方でプロー
ブの前に次々と続く。もし表面が不ぞろいであったりあ
るいは部品が規格内の寸法でないならば、プローブのス
タイラスは、スタイラスをその静止位置から外に出させ
る力を受けることになり、このように、プローブの電気
回路により発信される信号は変更されることになる。
常は、固定子、スタイラス、および電気回路である。
しており、この固定用エレメントは一般的に、プローブ
のケースに組み入れられており、プローブを例えば計測
機械の可動アームに固定することを可能にするものであ
る。
計測すべき表面または部品と接触することを目的として
いる。スタイラスは、弾性のエレメントにより、固定子
に対する静止位置において保持される。この静止位置
は、定められており、かつ再現可能である。スタイラス
は、単数または複数の自由度を固定子に対し有してい
る。計測すべき表面との接触の際、偏向力はスタイラス
にかかるが、該スタイラスは、固定子に対する単数また
は複数のそれらの自由度に応じて、その静止位置から外
に出る。力がスタイラスに押し当てられなくなると、ス
タイラスはその静止位置に戻る。
対する動きの検出に使用される。電気回路は、少なくと
も一つのスイッチを有し、該スイッチは、一定の場合に
おいてスタイラスが静止位置にあるときに閉じるかもし
くは開くの状態にあり、スタイラスがこの静止位置に対
し偏向のとき、その逆の状態であるものである。電気回
路のインピーダンスの変化は、信号の処理回路により検
出されて処理されるが、該信号の処理回路は、そのあと
で情報を利用者に、もしくは必要があれば計算ソフトウ
ェアに伝達するものであり、該計算ソフトウェアは、情
報を計測システムのデータと組合わせて処理することと
なるものである。
の間の接触を検出する精度と速さは、大部分は電気回路
のインピーダンスの変化が信号の処理回路により検出さ
れ、かつ処理される精度および速さによる。それはしか
し、プローブの各エレメントの製法の品質、それらの組
立ての精度、および、かつてのそれらの管理にもよる。
ントの位置決めと固定が、この精度においてきわめて重
要な役割を果たしていることが容易に理解できることと
なる。
球体エレメントから成り、該エレメントの固定子の支え
への配置は、時間がかかる緻密な作業であり、それゆえ
コスト高になる。
5号明細書)は、例えば一つのトリガプローブを提案し
ているが、ここにおいて、スイッチのコンタクトエレメ
ントは、接着された導電性材料の球体から成り、例えば
エポキシ樹脂を使って固定子の収納部においてなされて
いる。電気回路を補う接続用エレメントは、スイッチを
直列で接続する柔軟な導体である。この特許文献1は、
接触がどのような仕方で球体と柔軟な導体の間で確実に
なるかを明確にしていない。柔軟な導体が、組立ての前
に球体にはんだ付けまたは接着される場合には、組立て
の操作の際に球体から離れたりまたは壊れるおそれがあ
るし、また、球体と柔軟な導体の間との固定点が、作業
の終わりに正しく方向づけられていることを保証するの
は難しい。さらに、銅線の堅い金属球体へのはんだ付け
は困難で、接着はあまり頼りにならない。もし線が、単
純に接着剤に包まれて球体と接触が保たれるなら、接触
の品質は保証するのが困難であるし、また、柔軟な線
は、使っているうちに壊れたりそれらの収納部から外に
出て、このように、球体との接触を失う可能性がある。
したがって、検討される解決法がどうであろうと、それ
は作業もしくは緻密な作業の連続であり、プローブの価
格を大幅に上げるものである。
3号明細書)は、固定子において定められた奥行きの収
納部に挿入され、そしてトリガプローブのケースにより
これら収納部内に保持される球体から成るコンタクトエ
レメントを提案することによって、これらの問題を改善
しようとしている。このように構成されるスイッチは、
球体とケースの間に押し込まれるフレキシブルな接続用
エレメントにより直列に接続される。しかしながら、こ
のような実施には、いくつも重大な不都合がある。
ているが、それは球体の収納部は、球体を位置に保持す
るのに十分な程に閉じ、かつ、球体が接触されるに十分
な程に開いていなければならないからであり、この接触
は、一方ではスタイラスが静止位置にあるときにスイッ
チを閉じる導電性エレメントにより、他方では回路を補
うフレキシブルな接続用エレメントによるものである。
収納部の寸法、とりわけそれらの奥行きは、収納部への
取付けの後、球体がそのケースにおいて動けなくなるよ
うに、また、球体が十分な圧力を及ぼしてフレキシブル
な接続用エレメントとの良好な接触を確立するように、
十分に精密である必要もある。これらの理由により、こ
の特許文献2において様々な実施例に従って記述された
ようなプローブの固定子の製法は、コストがかかり緻密
である。
な作業である、というのは電気回路の全てのエレメント
が、該回路が正しく構成され機能的であるために、正確
に一直線上に並べられなければならないからである。
メントとの間の接触が単なる圧力により実現されてお
り、球体および/または接続用エレメントは、経時的に
それらの接触点で酸化する傾向をもつようになり、それ
に伴い電気回路のインピーダンスは変更され、ついにプ
ローブの良好な働きを妨げるまでになる。
ーブにおいて、コンタクトエレメントの電気接触と位置
決めを、より精密確実にするとともに、その組立作業に
かかる経済性を図ることを課題とするものである。
め、本発明では以下に記する10の手段を提案するもの
である。
子(1);スタイラス(2)を含み、該スタイラスは前
記固定子に対し、静止位置において弾性のエレメントに
より保持されるものであり、前記静止位置は反復性があ
ることができ、前記スタイラス(2)は前記静止位置か
ら偏向力に対応して移動すること、および、前記力が押
し当てられなくなると前記静止位置に戻ることができ;
電気回路が、少なくとも一つのスイッチおよび接続用エ
レメント(4)を、前記少なくとも一つのスイッチに統
合し、前記少なくとも一つのスイッチが、前記スタイラ
ス(2)が前記静止位置にあるときには閉じまたは開き
の状態にあり、また、前記スタイラス(2)が前記静止
位置に対して偏向であるときには、逆の状態にあり、前
記少なくとも一つのスイッチがコンタクトエレメント
(3)を含み、少なくとも一つの前記コンタクトエレメ
ント(3)が少なくとも一つの前記接続用エレメント
(4)に連動しているものである、前記少なくとも一つ
の接続用エレメント(4)が剛体であることを特徴とす
る、プローブを提案するものである。
少なくとも一つの前記スイッチが、二つのコンタクトエ
レメント(3)を含み、該二つのコンタクトエレメント
は、それらを他のスイッチのコンタクトエレメント
(3)に、電気的に接続するためにそれぞれ一つの剛体
の接続用エレメント(4)につながっている、プローブ
を提案するものである。
前記少なくとも一つの接続用エレメント(4)が、前記
少なくとも一つのコンタクトエレメント(3)に、金属
接合、すなわちはんだ付けもしくは蝋付けされている、
プローブを提案するものである。
前記少なくとも一つの接続用エレメント(4)および前
記少なくとも一つのコンタクトエレメント(3)が、同
じ部品の二つの部分を構成する、プローブを提案するも
のである。
前記少なくとも一つの接続用エレメント(4)が、剛体
の金属製棒から成る、プローブを提案するものである。
前記電気回路が、前記接続用エレメント(4)にはんだ
付けされた柔軟な電気の導体(5)によって補われ、完
全なものとなる、プローブを提案するものである。
前記電気回路が、前記接続用エレメント(4)に対する
圧力により印加される導電性の材料のばねにより補わ
れ、完全なものとなる、プローブを提案するものであ
る。
前記少なくとも一つの接続用エレメント(4)が、該接
続用エレメントの端のそれぞれと連動する一つのコンタ
クトエレメント(3)を含む、プローブを提案するもの
である。
であり、以下の過程を含む方法:固定子(1)に、少な
くとも一つのコンタクトエレメント(3)を、電気回路
の少なくとも一つの接続用エレメント(4)を使って配
置することを提案するものである。
少なくとも一つのコンタクトエレメント(3)の前記配
置が、取付け工具を使って行われ、該取付け工具は少な
くとも一つの接続用エレメント(4)を、少なくとも一
つのコンタクトエレメント(3)をその収納部に挿入す
ることを可能にする位置において保持するものである、
プローブの組立て方法を提案するものである。
より説明される詳細な説明を読むことにより、更に理解
されるであろう。
なエレメントの図を表している。
を表している。
面図を表している。
の断面図を表している。
図を表している。
原理に基づいて製造されたトリガプローブであり、該ス
タイラス2が外側の偏向力の作用により、与えられた座
標系の三次元において、その静止位置から向きを変える
ことができるものである。
2と、スタイラスの支持体20と、ケースの一部を成す
固定子1と、保持機構22と、案内子6と、電気回路
(図5)との主要なエレメントを有している。
体により終端される部品から成り、該球体の幾何学的中
心の位置は完全に反復性がある。
支えることを目的としている。スタイラス2は、スタイ
ラス支持体にねじ留めされており、したがって、応用例
に応じてまたは損傷の場合には容易に替えることができ
る。スタイラス支持体20は、同様に軸の周りに幾何学
的に製造されており、そしてスタイラス2がスタイラス
支持体20にねじ留めされているとき、二つの部分の軸
は一直線上にある。スタイラス支持体20は導電性材料
のピン21を三つ含んでおり、それらのピンは間で互い
に絶縁されている。ピン21は、スタイラス支持体20
の軸に垂直な穴に固定されており、また、その円周上に
規則的な間隔で並べられる。第一の実施例において、ス
タイラス支持体20は絶縁材料で製造されており、ピン
21の間での互いの絶縁を導いている。第二の実施例に
おいて、スタイラス支持体20は、例えばアルミニウム
のような導電性の材料で製造され、各ピン21は、スタ
イラス支持体20の陽極酸化処理により、または、各ピ
ンの固定の前あるいはその時に絶縁材料を付加すること
により絶縁される。
て固定されているが、それにより、プローブを、例えば
計測機械の可動アームに固定することが可能となってい
る。このように、固定子1の位置は、固定用エレメント
に、広義では例えば計測機械の可動アームに、相対的に
固定されている。固定子1は六つの収納部を含み、該収
納部は、それぞれが一つずつのコンタクトエレメント3
を受けることを目的としている。スタイラスのもっとも
小さい運きを迅速に検出するために、これらの収納部
は、スタイラス2の球体23のできるだけ近くに位置し
ており、したがって、距離dを小さくする。製造の精度
の理由から、固定子1は、好ましくはアルミニウムで製
造されており、それに加え、コンタクトエレメント間に
良好な電気の絶縁を保証するために陽極酸化処理されて
いる。
該ばねは一方の側でわずかに応力を受けてふた222を
押し、もう一方は、スタイラス支持体20の中心を押す
円錐体221で終端されており、このことにより、スタ
イラス支持体の中心の心出しをし、その静止位置に保持
することを可能にしている。ばね220の応力は、ねじ
224を使って調整することができるが、このねじはふ
た63に対するふた222の位置を変更することを可能
にするものである。
は本来円筒形であり、スタイラス支持体20および保持
機構22を収めることを可能にするが、該保持機構は、
スタイラス2をその静止位置に保持するのに役立つもの
である。三つの切欠部61は、案内子6の周囲において
分配されるが、それはスタイラス支持体20のピン21
を収め、また、スタイラス2への偏向力の押し当ての際
のピンの運きを導くためである。各切欠部61の各側に
は、穴60があり、この穴は、接続用エレメント4の収
納部のために準備されたものである。
列で取付けられた六つの接触点を含む。これらの六つの
接触点は、三つのスイッチとして見ることができ、それ
は図5において表されている通りであり、Boysの結
合の原理として、知られている。それぞれが二つのコン
タクトエレメント3および一つの接触器を含み、該接触
器は、本発明の推奨実施例において、スタイラス支持体
20のピン21のうちの一つにより具体化されるもので
ある。スイッチは、図5の概要に従って、剛体の接続用
エレメント4および柔軟な導体5により、その間で互い
につながっている。スイッチのコンタクトエレメント3
は、金属製の球体である。各コンタクトエレメント3
は、接続用エレメント4にはんだ付けされるが、該接続
用エレメントは、剛体の、また場合によってコンタクト
エレメント3の近くでわずかにL字型に曲げられる金属
製の棒で形成されるものである。コンタクトエレメント
3への接続用エレメント4のはんだ付けは、好ましくは
蝋付け、すなわち火炎で溶解する溶接棒を使ってなされ
るが、その溶解点は、組み立てるべきエレメントの溶解
点より低いものである。コンタクトエレメント3および
接続用エレメント4は、ただ一度の作業で加工された部
品の二つの部分であることもできる。
剤、例えばエポキシ樹脂がコンタクトエレメントの収納
部12のそれぞれに置かれる。コンタクトエレメントに
はんだ付けされた接続用エレメントは、図示されていな
い取付け工具に保持されるが、該取付け工具は、案内子
6の製造に類似した製造のものである。取付け工具は、
案内子6の穴60と同じ仕方で置かれる円筒形の収納部
を含む。接続用エレメント4は、これらの収納部に挿入
されて保持され、このようにコンタクトエレメントの位
置が決定する。取付け工具は、つぎに固定子の中に差し
込むことで、各コンタクトエレメントをその収納部に導
き、そしてそこに接着剤が完全に乾くまで保持するよう
にする。取付け工具は、このように剛体の接続用エレメ
ント4のおかげで、六つのコンタクトエレメントを同時
に接着する際の案内および保持を可能にする。球体の位
置は、このように正確に収納部によって定義される。仮
のピンは、最終的なピン21に類似しており、接着の
間、利用することができる。
られる。スタイラス支持体20は、案内子6に挿入され
るが、スタイラス支持体20の位置は、切欠部61にお
けるピン21の配置により決定されている。案内子はつ
ぎに、取付け用部品の所定の位置に置かれるが、接続用
エレメント4は、したがって穴60の中に挿入されてい
る。電気回路は、柔軟な導体5の、接続用エレメント4
の端へのはんだ付けにより補われているが、該エレメン
トの端は、図5の概略図によるとコンタクトエレメント
3の反対側にある。つぎに、保持機構22は、スタイラ
ス支持体20にねじを押し当て、案内子6のふたを閉め
ることにより取付けられる。ばね220の応力は、ねじ
224により調整される。最後に、組立ては、ケース1
0の最上部のねじ留めにより仕上がる。
の各ピン21は、それぞれは二つのコンタクトエレメン
ト3と接触しており、該二つのコンタクトエレメントは
中でピンが移動することができる切欠部61を一部ふさ
いでおり、この切欠部ごとに各スイッチが閉じられるこ
とになり、したがって電気回路は閉じられる。
スタイラスはその静止位置から外れ、このことにより、
スタイラス支持体20の三つのピン21の少なくとも一
つが、切欠部61の中で移動するという結果がもたらさ
れ、該切欠部は、該ピンにとって案内の役目を果たし、
また対応するコンタクトエレメント3から離れるもので
ある、このように、少なくとも一つのスイッチが開かれ
る。電気回路はそのとき開かれており、信号処理回路7
により検出され処理される。
いとき、スタイラスは保持機構22の作用によりその静
止位置に戻り、このように全てのスイッチが元のように
閉じられる。電気回路は、改めて閉じられる。
図示されていないフレキシブルな導体に替えられるが、
該フレキシブルな導体は、接続用エレメントの端に対し
て圧力により印加され、また、ケース10の最上部によ
り位置に保持されるものである。
イッチ間の接続は、ただ一つの剛体の接続用エレメント
により確実になっており、該剛体の接続用エレメント
は、両端のそれぞれに、つながれるスイッチのうちの一
つのためのコンタクトエレメントを持っている。該実施
例は、柔軟な導体5のはんだ付けを避け、したがって組
立てに必要な作業の数が減らされる。
タクトエレメント3の位置決めおよび固定は、接続用エ
レメント4が剛性であることでより大いに容易になって
いるが、該接続用エレメントは、適合した取付け工具
が、コンタクトエレメントを固定子1のそれらの収納部
に容易に置くことを可能にするものであって、これは、
これらの収納部が固定子1の奥のその位置により容易に
手が届かない場合でも同様である。
を開閉するピン21は別にして、その間で互いにはんだ
付けしている。したがって、電気回路の品質の悪化をま
ねく接触点での酸化のおそれは取り除かれ、このことに
より、このようなプローブの寿命は長くなる。
ーブを説明している。しかしながら当業者は、本発明の
原理が、二次元または一次元のトリガプローブにも適用
することができることを理解するだろう。
ーブは電気回路を持っているが、そのスイッチは、電気
的に並列に取付けられ、またスタイラスが静止位置にあ
るとき全て開いているものである。スタイラスが偏向力
の作用によりその静止位置から外れているとき、スイッ
チの少なくとも一つは閉じ、このように電気回路のイン
ピーダンスが変えられる。
ーブおよびリガプローブの組立て方法を提案するが、電
気回路を構成する剛体の特定の接続用エレメントが、ス
イッチのコンタクトエレメントと直接連動し、これらの
コンタクトエレメントの位置決めに関与するという理由
で、その組立てを大いに容易にするものである。組立て
の際、コンタクトエレメントは接続用エレメントを使っ
て取付け工具において保持され、このようにそれらの位
置決めとそれらの固定がただ一度の作業で可能にする。
本発明により提案されるプローブは、コンタクトエレメ
ントが接続用エレメントに、はんだ付けされることで、
接触点での酸化の問題も避けている。
主要な要素の図を表している。
る。
ている。
表している。
要を表している。
エレメント 4.接続用エレメント 5.導体 6.案内子 7.信号処理回路 10.ケース 11.固定用エレメント 20.
スタイラス支持体 21.ピン 22.保持機構 23.球体 60.穴、開口部 61.切欠部 63.
ふた 220.ばね 221.円錐体 222.ふた
224.ねじ
Claims (10)
- 【請求項1】固定子とスタイラスと電気回路とを含み、
該スタイラスは前記固定子に対し、静止位置において弾
性のエレメントにより保持されるものであり、前記静止
位置は反復性があることができ、前記スタイラスは前記
静止位置から偏向力に対応して移動すること、および、
前記力が押し当てられなくなると前記静止位置に戻るこ
とができ、 前記電気回路が、スイッチおよび接続用エレメントを、
前記スイッチに統合し、前記スイッチが、前記スタイラ
スが前記静止位置にあるときには閉じまたは開きの状態
にあり、また、前記スタイラスが前記静止位置に対して
偏向であるときには、逆の状態にあり、前記スイッチが
コンタクトエレメントを含み、前記コンタクトエレメン
トが前記接続用エレメントに連動しているものであり、 前記接続用エレメントが剛体であることを特徴とする、
トリガプローブ。 - 【請求項2】前記スイッチが、二つのコンタクトエレメ
ントを含み、該二つのコンタクトエレメントは、それら
を他のスイッチのコンタクトエレメントに、電気的に接
続するためにそれぞれ一つの剛体の接続用エレメントに
つながっている、請求項1に記載のトリガプローブ。 - 【請求項3】前記接続用エレメントが、前記コンタクト
エレメントに金属接合されている、請求項1に記載のト
リガプローブ。 - 【請求項4】前記接続用エレメントおよび前記コンタク
トエレメントが、同じ部品の二つの部分を構成する、請
求項2に記載のトリガプローブ。 - 【請求項5】前記接続用エレメントが、剛体の金属製棒
から成る、請求項2に記載のトリガプローブ。 - 【請求項6】前記電気回路が、前記接続用エレメントに
はんだ付けされた柔軟な電気の導体によって補われ、完
全なものとなる、請求項5に記載のトリガプローブ。 - 【請求項7】前記電気回路が、前記接続用エレメントに
対する圧力により印加される導電性の材料のばねにより
補われ、完全なものとなる、請求項5に記載のトリガプ
ローブ。 - 【請求項8】前記接続用エレメントが、該接続用エレメ
ントの端のそれぞれと連動するコンタクトエレメントを
含む、請求項1に記載のトリガプローブ。 - 【請求項9】固定子にコンタクトエレメントを、電気回
路の接続用エレメントを使って配置することの過程を含
むトリガプローブの組立て方法方法。 - 【請求項10】コンタクトエレメントの前記配置が、取
付け工具を使って行われ、該取付け工具は接続用エレメ
ントを、コンタクトエレメントをその収納部に挿入する
ことを可能にする位置において保持するものである、請
求項9に記載のトリガプローブの組立て方法。
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ITBO20020628A1 (it) * | 2002-10-07 | 2004-04-08 | Marposs Spa | Sonda di tastaggio |
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EP1610087B1 (fr) * | 2004-06-22 | 2010-01-20 | Tesa SA | Palpeur avec déclencheur |
DE602004010639T2 (de) * | 2004-07-12 | 2008-12-04 | Tesa Sa | Taster zur Messung in drei Dimensionen |
DE102005015890B4 (de) * | 2005-02-24 | 2007-05-03 | Wolfgang Madlener | Tastfühler |
JP4933775B2 (ja) * | 2005-12-02 | 2012-05-16 | 独立行政法人理化学研究所 | 微小表面形状測定プローブ |
US20070231205A1 (en) * | 2006-03-31 | 2007-10-04 | David Lloyd Williams | FlUIDIC CASSETTE DETECTION MECHANISM |
US7640674B2 (en) * | 2008-05-05 | 2010-01-05 | Hexagon Metrology, Inc. | Systems and methods for calibrating a portable coordinate measurement machine |
US8082673B2 (en) | 2009-11-06 | 2011-12-27 | Hexagon Metrology Ab | Systems and methods for control and calibration of a CMM |
EP2629048B1 (fr) | 2012-02-20 | 2018-10-24 | Tesa Sa | Palpeur |
CN103257373B (zh) * | 2013-04-22 | 2015-11-18 | 宁波天龙电子股份有限公司 | 一种自动检测零件是否漏装装置 |
CN106996995A (zh) * | 2016-01-22 | 2017-08-01 | 国网智能电网研究院 | 一种柔性探针 |
US9835433B1 (en) | 2017-05-09 | 2017-12-05 | Tesa Sa | Touch trigger probe |
KR101991360B1 (ko) * | 2017-09-21 | 2019-06-21 | 대영산전(주) | 선반의 공구 영점 세팅용 터치 프로브 |
EP3460384A1 (en) | 2017-09-26 | 2019-03-27 | Renishaw PLC | Measurement probe |
CN108871170B (zh) * | 2018-06-29 | 2021-03-02 | 深圳清华大学研究院 | 触发式测头预紧力的配置方法及三坐标测量机 |
CN111426261B (zh) * | 2020-04-22 | 2021-11-23 | 湖南工学院 | 一种检测特殊扣外螺纹几何形状的系统与方法 |
CN111504170B (zh) * | 2020-04-26 | 2021-08-31 | 湖南工学院 | 一种快速精密检测变槽宽内螺纹厚度的装置及其使用方法 |
US11644299B2 (en) * | 2020-12-31 | 2023-05-09 | Mitutoyo Corporation | Inductive position sensor signal gain control for coordinate measuring machine probe |
Family Cites Families (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
GB1445977A (en) * | 1972-09-21 | 1976-08-11 | Rolls Royce | Probes |
SE406228B (sv) * | 1977-09-20 | 1979-01-29 | Johansson Ab C E | Legesgivare avsedd for kontrollmetning av ytor |
DE3325287C2 (de) * | 1983-07-13 | 1985-07-25 | Fried. Krupp Gmbh, 4300 Essen | Anordnung zum Registrieren eines Kontaktes zwischen einem Meßtaster und einem Objekt |
DE3325258A1 (de) | 1983-07-13 | 1985-01-24 | Konrad 8401 Untersanding Hendlmeier | Vorrichtung zum gesteuerten ausbringen von granulatfoermigen materialien |
GB8610087D0 (en) * | 1986-04-24 | 1986-05-29 | Renishaw Plc | Probe |
DE3623614A1 (de) * | 1986-07-12 | 1988-01-14 | Zeiss Carl Fa | Koordinatenmessgeraet mit einem tastkopf vom schaltenden typ |
CH672370A5 (ja) * | 1987-09-15 | 1989-11-15 | Tesa Sa | |
DE69120658T2 (de) * | 1990-11-24 | 1996-10-31 | Renishaw Plc | Tastsonde |
DE69617148T3 (de) * | 1995-09-25 | 2005-11-10 | Mitutoyo Corp., Kawasaki | Fühlerprobe |
DE19547977A1 (de) * | 1995-12-21 | 1997-06-26 | Zeiss Carl Fa | Tastsystem für Koordinatenmeßgeräte |
GB9618599D0 (en) * | 1996-09-06 | 1996-10-16 | Irwin Houston Donald | An improved sensor |
-
2001
- 2001-11-30 EP EP01811164A patent/EP1316778B1/fr not_active Expired - Lifetime
- 2001-11-30 DE DE60129570T patent/DE60129570T2/de not_active Expired - Lifetime
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