JP4060524B2 - 光情報記録媒体製造方法及び光情報記録媒体製造装置 - Google Patents
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、光情報記録媒体製造方法及び光情報記録媒体製造装置に関し、詳細には、光情報記録媒体を変形等を生じさせることなく、各処理工程を保持・搬送する光情報記録媒体製造方法及び光情報記録媒体製造装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
光情報記録媒体の生産おいては、一般的に、ディスク基板を基に種々の工程を経て処理が行われ、最終的な光情報記録媒体が完成する。これら種々の工程処理の代表的なものとしては、スパッタ成膜工程、ハードコート工程、オーバーコート工程、接着剤塗布工程、貼り合わせ工程及び印刷工程等が挙げられ、作製する光情報記録媒体のメディアの種類によって、各種工程の組み合わせが様々変化するが、基本的に、これらの工程間、あるいは、工程内でのディスク基板の搬送は、必要不可欠なものである。
【０００３】
一般的な光情報記録媒体の生産工程における工程間でのディスク基板の搬送方法としては、例えば、ディスク基板の中心部を吸着パッドにより固定する方法、ディスク中心部を保持するテーブルにより水平保持する方法、あるいは、ディスク基板外周部をリング状部材により水平保持する方法等が用いられるが、これらのディスク基板の搬送方法は、基本的に、中心保持あるいは外周保持により自重でディスク基板自体が曲がらないことを前提としている。
【０００４】
しかしながら、メディア記録密度の高密度化に伴ってディスク基板の薄肉化が進み、上記中心保持あるいは外周保持により自重でディスク基板自体が曲がらないという前提条件が崩れ、上記中心保持あるいは外周保持の搬送方法では、容易にはディスク基板の単独での搬送を行うことが困難となってきている。特に、近年使用されるようになってきた１００μｍ前後のディスクシートなどは、上記方法では単体での搬送は不可能である。
【０００５】
一方、スピンコートや貼り合わせ等の工程処理等のようにディスク基板を全面保持に近い形で保持することが要求される場合には、例えば、図１３及び図１３のＡ−Ａ矢視断面図である図１４に示すように、ディスク基板保持構造体２００の上にディスク基板２０１を載せて保持する場合に、ディスク基板保持構造体２００の表面に、複数の真空吸着孔２０２を形成し、真空吸着孔２０２を通してディスク基板２０１を真空吸着して保持する方法が採られている。
【０００６】
この方法によれば、真空吸着現象を利用しているため、ディスク基板２０１を確実に保持することができるが、その反面、真空吸着孔２０２の近傍でディスク基板２０１が局所的に歪む等の不具合が発生するおそれがあり、特に、薄肉のディスク基板２０１において問題となる。また、この現象は、ハードコート材あるいはオーバーコート材等のスピンコート工程、あるいは、貼り合わせ工程における接着剤塗布などにおいては、塗布材の塗布むらにつながる可能性が高く、薄肉のディスク基板２０１において特に問題となる。これらの塗布むらは、作製される光ディスクのメディア信号特性にノイズとして重畳し、ジッター特性の劣化やトラッキングはずれによる異常動作等の種々の不具合を引き起こす原因となる。
【０００７】
そこで、従来、光記録媒体または光記録媒体用基板を真空吸着保持する多孔質体を備えた吸着パッドを有することを特徴とする光記録媒体または光記録媒体用基板の搬送トレーが提案されている（特開平９−２９３２７６号公報参照）。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記公報記載の技術にあっては、ディスク全面をほぼ均一な保持力で保持することができ、真空吸着孔を設けて吸着する場合に当該真空吸着孔の近傍でディスク基板が局所的に歪む等の不具合が発生するという問題を解決することはできるが、ディスク基板を保持している際に、常に真空排気設備とディスク基板保持体を排気管でつないで吸着部を真空排気する必要があり、装置構成が煩雑で大型化するという問題がある。また、上記公報記載の搬送トレーは、スパッタ成膜の工程内でのディスク基板の搬送には適用することができず、光情報記録媒体の生産工程におけるディスク基板の搬送方法としての汎用性がなく、スパッタ工程、ハードコート工程、オーバーコート工程、貼り合わせ工程等の光情報記録媒体の生産工程内及び各工程間において、ディスク基板の厚みに関わらず、汎用的かつ効率的な同等のディスク基板搬送が可能で、かつ、極めて簡易的にディスク基板を均一な保持力により保持することのできるディスク基板の保持方法が要望されている。
【０００９】
そこで、本発明は、光情報記録媒体を変形等を生じさせることなく、各処理工程を保持・搬送する光情報記録媒体製造方法及び光情報記録媒体製造装置を提供することを目的とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
請求項１記載の発明は、ディスク基板を少なくともスパッタリング装置、スピンコート装置、貼り合わせ装置の各装置間を搬送して処理を行い光情報記録媒体を製造する光情報記録媒体製造方法において、真空装置内に前記ディスク基板を導入して該ディスク基板と保持構造体と接触させた後、前記真空装置内を真空排気して、前記保持構造体と前記ディスク基板を真空吸着させる工程と、前記ディスク基板を前記保持構造体に吸着固定させた状態で前記真空装置から出して前記各装置間の前記搬送を行う工程と、前記吸着固定された状態の前記ディスク基板と前記保持構造体を真空装置内に導入し、かつ該真空装置内を真空排気して前記ディスク基板と前記保持構造体とを引き離すことにより分離させた後、前記真空装置内を大気開放して、当該ディスク基板を搬出する工程とを備えることにより、１００μｍ以下等の薄肉のディスク基板であっても極めて容易に取り扱えるとともに、ディスク基板と保持構造体の面間に働く真空吸着力でディスク基板を保持構造体に保持固定して、一般的な真空吸着、特に薄肉板において大きな問題となる吸着部でのディスク基板の局所的な変形やこの変形に起因した種々の不具合を回避しつつ、ディスク基板の保持構造体へ吸着面を保護して、各種スピンコートを用いた塗布工程等におけるディスク基板の当該吸着面へのミストの付着や他部材との接触によるディスク基板の当該吸着面への傷の発生等を回避し、かつ極めて簡単かつ容易に保持構造体へのディスク基板の保持力を維持し、光情報記録媒体を高精度かつ効率的に製造することができる。
【００１１】
請求項２記載の発明は、ディスク基板を少なくともスパッタリング装置、スピンコート装置、貼り合わせ装置の各装置間を搬送して処理を行い光情報記録媒体を製造する光情報記録媒体製造装置において、真空装置内に前記ディスク基板を導入し前記ディスク基板と保持構造体と接触させた後、前記真空装置内を真空排気して、前記保持構造体と前記ディスク基板を真空吸着させる手段と、前記ディスク基板を前記保持構造体に吸着固定させた状態で前記真空装置から出して前記各装置間の前記搬送を行う手段と、前記吸着固定された状態の前記ディスク基板と前記保持構造体を真空装置内に導入し、かつ該真空装置内を真空排気して前記ディスク基板と前記保持構造体とを引き離すことにより分離させた後、前記真空装置内を大気開放して、当該ディスク基板を搬出する手段とを備えたことにより、１００μｍ以下等の薄肉のディスク基板であっても極めて容易に取り扱えるとともに、ディスク基板と保持構造体の面間に働く真空吸着力でディスク基板を保持構造体に保持固定して、一般的な真空吸着、特に薄肉板において大きな問題となる吸着部でのディスク基板の局所的な変形やこの変形に起因した種々の不具合を回避しつつ、ディスク基板の保持構造体へ吸着面を保護して、各種スピンコートを用いた塗布工程等におけるディスク基板の当該吸着面へのミストの付着や他部材との接触によるディスク基板の当該吸着面への傷の発生等を回避し、かつ極めて簡単かつ容易に保持構造体へのディスク基板の保持力を維持し、光情報記録媒体を高精度かつ効率的に製造することができる。
【００１２】
請求項３記載の発明は、請求項２記載の光情報記録媒体製造装置において、保持構造体は、平面部が保持するディスク基板の形状及び大きさと略同じ形状及び大きさに形成されていることにより、薄肉のディスク基板であっても保持構造体と真空吸着した状態を一体とし、厚肉のディスク基板と同様に汎用的に取り扱えるようにして、光情報記録媒体を高精度かつより一層効率的に製造することができる。
【００１３】
請求項４記載の発明は、請求項２または請求項３記載の光情報記録媒体製造装置において、保持構造体は、平面部のうち少なくともディスク基板の情報記録領域と相対向する領域に潤滑処理が施されていることにより、ディスク基板と保持構造体が接触することによるディスク基板への傷等のダメージを未然に防止し、光情報記録媒体をより一層高精度かつ効率的に製造することができる。
【００１４】
請求項５記載の発明は、請求項４記載の光情報記録媒体製造装置において、保持構造体は、平面部のうち少なくともディスク基板の情報記録領域と相対向する領域に、フッ化黒鉛またはフッ素樹脂等の撥水性粉末を用いた複合メッキ処理、あるいは、フルオロアルキル基を有するクロロシラン系化学吸着剤を用いた撥水処理で潤滑処理が施されていることにより、ディスク基板と保持構造体が接触することによるディスク基板への傷等のダメージを未然に防止し、光情報記録媒体をより一層高精度かつ効率的に製造することができる。
【００１５】
請求項６記載の発明は、請求項２または請求項３記載の光情報記録媒体製造装置において、保持構造体は、平面部のうち少なくともディスク基板の情報記録領域と相対向する領域が、ＰＴＦＥまたはポリアセタール等の潤滑性を有する材料で形成されていることにより、ディスク基板と保持構造体が接触することによるディスク基板への傷等のダメージを未然に防止し、光情報記録媒体をより一層高精度かつ効率的に製造することができる。
【００１６】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の好適な実施の形態を添付図面に基づいて詳細に説明する。なお、以下に述べる実施の形態は、本発明の好適な実施の形態であるから、技術的に好ましい種々の限定が付されているが、本発明の範囲は、以下の説明において特に本発明を限定する旨の記載がない限り、これらの態様に限られるものではない。
【００１７】
図１〜図９は、本発明に係る光情報記録媒体製造方法、光情報記録媒体製造装置及び光情報記録媒体の一実施の形態を説明するための図である。
【００１８】
図１は、本発明の光情報記録媒体製造方法、光情報記録媒体製造装置及び光情報記録媒体の実施の形態を説明するための光情報記録媒体製造装置に用いられる保持構造体２及びディスク基板３の平面図、図２は、図１の保持構造体２及びディスク基板３のＡ−Ａ矢視断面図である。
【００１９】
図１及び図２において、光情報記録媒体製造装置１は、保持構造体２を有し、保持構造体２の上面に製造対象のディスク基板３が載置される。
【００２０】
保持構造体２は、その外観形状がディスク基板３の形状に相似する形状、例えば、円盤形状に形成されているとともに、ディスク基板３よりも多少大きめの形状に形成されており、保持構造体２のディスク基板３の載置される上面は、平面形状に形成されているとともに、ディスク基板３の裏面、すなわち、保持構造体２と対向する側の面の形状、例えば、ディスク基板３の裏面に形成されているスタックリング等の突起部形状との干渉を防止する形状に形成されている。
【００２１】
保持構造体２は、例えば、Ｃｕの母材にＮｉ電界メッキを施した後、ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）分散Ｎｉ複合メッキを全面に施したものである。
【００２２】
光情報記録媒体製造装置１は、後述するように、この保持構造体２上に載置されたディスク基板３を保持構造体２の上面とディスク基板３の裏面との間に働く自己的な真空吸着力でディスク基板３を保持・固定させて、保持構造体２とともにディスク基板３を搬送するとともに、スパッタリング、スピンコート、貼り合わせ等の光情報記録媒体生産工程に流して、製造工程処理を行う。
【００２３】
ディスク基板３を各保持構造体２に固定一体化して搬送することで、薄肉のディスク基板３をも極めて容易かつ安定して取り扱うことができる。
【００２４】
この場合、保持構造体２は、保持構造体２の上面とディスク基板３の裏面という面間に働く真空吸着力を利用してディスク基板３を一体として保持・固定するので、一般的な真空吸着において、特に、薄肉のディスク基板において大きな問題となる吸着部でのディスク基板３の局所的な変形やこれに起因した接着剤等の塗布材の塗布むら、ジッター特性の劣化等の種々の不具合を回避することができ、また、この保持力を維持するに際しては、従来のような真空排気装置との煩雑な接続を必要とすることなく、極めて簡素な構成でディスク基板３を保持する力を維持することができる。例えば、保持構造体２の平面部の形状及び大きさを、ディスク基板３と相似形に形成しているるので、ディスク基板３が薄肉であっても、保持構造体２と真空吸着した状態を一体として、ディスク基板３が厚肉である場合と同様に、汎用的に取り扱うことができる。
【００２５】
さらに、保持構造体２の上面とディスク基板３の裏面という面間に働く真空吸着力を利用してディスク基板３を一体として保持・固定するので、保持構造体２がディスク基板３の吸着面を保護することができ、各種スピンコートを用いた塗布工程等におけるミストの付着や他部材との接触による傷等を防止することができる。
【００２６】
なお、保持構造体２は、その大きさ及び形状を、図３に示すように、ディスク基板３の形状及び大きさと同じ形状及び大きさにしてもよく、このようにすると、ディスク基板３を保持構造体２により一層簡単かつ精度良く位置合わせして、ディスク基板３と保持構造体２を真空吸着した状態で一体として、ディスク基板３が厚肉である場合と同様に、より一層汎用的にかつ容易に取り扱うことができる。
【００２７】
そして、上記保持構造体２とディスク基板３との間に自己的な真空吸着力を与える方法としては、例えば、以下の２つを用いることができるが、以下の方法に限定されるものではない。
【００２８】
まず、第一の方法は、保持構造体２とディスク基板３を位置決めした状態で加圧プレスして、保持構造体２とディスク基板３との間に自己的な真空吸着力を与える方法である。
【００２９】
第二の方法は、本発明の実施の形態である図４〜図６に示す真空装置１０を用いて保持構造体２とディスク基板３との間に自己的な真空吸着力を与える方法である。すなわち、まず、図４に示すように、保持構造体２とディスク基板３を位置決めし、この位置決めした保持構造体２とディスク基板３を、図５に示すように、一緒に、真空装置１０内に導入する。位置決めした保持構造体２とディスク基板３を真空装置１０内に導入すると、真空装置１０の真空排気を行い、保持構造体２とディスク基板３を真空吸着させた後、真空装置１０内を大気解放させて、図６に示すように、ディスク基板３の真空吸着された保持構造体２を真空装置１０から取り出す。
【００３０】
上記いずれの方法においても、ディスク基板３と保持構造体２間に、簡便に十分な真空吸着力を発揮させることができる。
【００３１】
なお、第二の方法において、真空装置１０の真空室の容積は、保持構造体２とディスク基板３全体を包合できる範囲で極力小さくする。このようにすると、真空装置１０の真空排気及び大気解放に関わる時間を短縮することができ、タクト面で有効である。また、図４〜図６では、真空装置１０を真空にする真空ポンプ等の設備に関しては、省略したが、基本的には保持構造体２とディスク基板３を一緒にして、真空排気→大気解放の工程を実現することのできるものであれば、どのような機構のものであってもよく、何ら限定されものではない。
【００３２】
さらに、上記２つの方法において、保持構造体２とディスク基板３の位置決め方法は、保持構造体２の形状及びディスク基板３の厚さ等に応じて、種々の方法を用いることができ、何ら限定されるものではない。
【００３３】
また、保持構造体２に真空吸着させたディスク基板３は、所望の工程終了後、あるいは、搬送終了後に保持構造体２から剥離させる必要がある。この剥離方法としては、例えば、図７〜図９に示すように、保持構造体２上に真空吸着・固定されたディスク基板３の上面には、図７に示すように、製造工程で貼り合わせ基板４が貼り合わせられ、この貼り合わせ基板４が貼り合わせられたディスク基板３を真空吸着・固定する保持構造体２を、図８に示すように、真空装置２０内に導入する。この真空装置２０は、上記貼り合わせ工程で使用した真空装置１０と同じものであってもよい。貼り合わせ基板４が貼り合わせられたディスク基板３を真空吸着・固定する保持構造体２を真空装置２０内に導入すると、真空装置２０内を真空排気して、図８に示すように、ディスク基板３と保持構造体２との間の真空吸着力を解除し、ディスク基板３と保持構造体２を引き離した後、図９に示すように、大気中に開放して、真空装置２０から取り出す。
【００３４】
このようにすると、剥離時に、ディスク基板３を変形させたり、傷つけたりすることなく、簡単かつ容易にディスク基板３を保持構造体２から剥離することができる。
【００３５】
なお、本実施の形態では、保持構造体２上のディスク基板３に貼り合わせ基板４を単体で貼り合わせた場合について説明したが、貼り合わせ基板４の裏面にディスク保持用の構造体が配置されている場合等であっても同様に適用することができ、メディアの構成等については、上記説明の内容に限定されるものではない。
【００３６】
また、保持構造体２の上面のうち、少なくともディスク基板３の情報記録領域と相対する領域に、潤滑処理を施してもよい。このようにすると、ディスク基板３と保持構造体２が接触することによるディスク基板３への傷等のダメージを回避することができる。
【００３７】
この場合、潤滑処理としては、フッ化黒鉛（ＣＦ）ｎやフッ素樹脂（ＰＴＦＥ、ＰＦＡ、ＦＥＰ）の撥水性粉末を用いた複合メッキ、あるいは、フルオロアルキル基を有するクロロシラン系化学吸着剤を用いた処理等の撥水処理を用いることができ、潤滑処理は、上記処理方法に限るものではなく、保持構造体２の表面の少なくとも所望の部位に潤滑性を付与できる処理であればよい。
【００３８】
また、保持構造体２の上面のうち、少なくともディスク基板３の情報記録領域と相対する領域をＰＴＦＥ、ポリアセタールに代表される潤滑性をもった材料で構成してもよく、この場合も、同様の効果を得ることができる。
〈実施例１〉
本実施例は、上記実施の形態を、射出成形により成形した０．６ｍｍ厚のディスク基板を用いた光情報記録媒体の生産に適用したものであり、図１０に示す生産システム１００を用いて光情報記録媒体の生産を行った。
【００３９】
図１０において、生産システム１００は、２つの射出成形機１０１、１０２、スパッタ装置１０３、オーバーコート装置１０４、貼り合わせ装置１０５、ハードコート装置１０６、初期化装置１０７、ディスク基板搬送路１０８、ディスク基板真空吸着処理用真空装置１１０、ディスク基板真空吸着解除用真空装置１１１、ディスク基板搬送用保持構造体回収機１１２及びディスク基板搬送用保持構造体供給機１１３等を備えている。この生産システム１００を使用して、射出成形機１０１により作製した０．６ｍｍ厚のディスク基板（外周φ１２０ｍｍ、中心穴φ１５ｍｍ）を、ディスク基板真空吸着処理用真空装置１１０により、ディスク基板搬送用保持構造体供給機１１３から供給される保持構造体と位置決めした後、真空吸着させ、その後、保持構造体とともにディスク基板を、順次スパッタ装置１０３、オーバーコート装置１０４に搬送して、スパッタ成膜及びオーバーコートを行った。
【００４０】
一方、射出成形機１０２でディスク基板と同形状の貼り合わせ基板を作製して、ディスク基板と同様に、保持構造体上にディスク基板真空吸着処理用真空装置１１０により真空吸着させた。この貼り合わせ基板を保持構造体ごと貼り合わせ装置１０５に供給し、上記ディスク基板と貼り合わせを行った。
【００４１】
ディスク基板と貼り合わせ基板を貼り合わせた後、当該貼り合わせたディスク基板と貼り合わせ基板を２つの保持構造体で挟んだ状態で、ディスク基板真空吸着解除用真空装置１１１に搬送し、２つの保持構造体をディスク基板真空吸着解除用真空装置１１１で剥離した。剥離した保持構造体をディスク基板搬送用保持構造体回収機１１２で回収し、ディスク基板搬送用保持構造体供給機１１３に搬送して再利用した。貼り合わせしたディスク基板と貼り合わせ基板を、順次、ハードコート装置１０６及び初期化装置１０７に搬送し、ハードコート工程処理及び初期化工程処理を順次行った後、印刷等の工程を経て商品化された光情報記録媒体に仕上げた。
【００４２】
なお、生産システム１００において、ディスク基板真空吸着処理用真空装置１１０は、少なくとも、ディスク基板と保持構造体の搬送及び位置決め機能と、真空排気及びベント機能を備えたものとし、ディスク基板と保持構造体を接触させて真空排気→大気解放の手順でディスク基板を保持構造体に自己的に真空吸着保持させる方式のものとした。貼り合わせ基板についても、同じディスク基板真空吸着処理用真空装置１１０を用いて、ディスク基板の場合と同様に、保持構造体に真空吸着保持させた。
【００４３】
また、保持構造体としては、Ｃｕの母材にＮｉ電解メッキ後にＰＴＦＥ分散Ｎｉ複合メッキを全面に施したものを用い、ディスク基板と略同形状（外周φ１２０ｍｍ、中心穴φ１５ｍｍ、厚さ０．６ｍｍ）のものとした。
【００４４】
さらに、ディスク基板の裏面（保持構造体側の面）や貼り合わせ基板の裏面（保持構造体側の面）の突起部（例えば、スタックリング）と干渉するような部分には、あらかじめ逃げの部分を付けておいた。
【００４５】
また、ディスク基板真空吸着解除用真空装置１１１には、少なくとも真空排気とベント機能及び真空中で２つの保持構造体とディスク基板または保持構造体と貼り合わせ基板の接着品を分離・搬出する機能を持たせ、ディスク基板真空吸着解除用真空装置１１１は、真空排気→保持構造体分離→大気解放の手順でディスク基板接着品または貼り合わせ基板接着品から保持構造体を分離させる方式のものとした。
【００４６】
さらに、ディスク基板と保持構造体との貼り合わせ及び貼り合わせ基板と保持構造体との貼り合わせは、ラジカルＵＶによる接着方法を用いたが、ディスク基板や貼り合わせ基板を適切に保持構造体に貼り合わせられる工法であれば、どのような方法であってもよい。
【００４７】
上記実施例の生産工程において、保持構造体上にディスク基板を真空吸着保持させて搬送することにより、ディスク基板として、薄肉な０．６ｍｍ基板を用いた場合にも、１．２ｍｍの厚肉の基板と同等以上の搬送性を確保することができた。また、上記実施例により、ディスク基板と保持構造体を真空吸着した形状が１．２ｍｍのＣＤ基板と同じにすることができたため、一部の生産設備に関しては、何ら変更を加えることなく、ＣＤ用の設備を使用することができた。
【００４８】
また、搬送動作においては、主に保持構造体側で保持する形を取り、極力ディスク基板と他部材との接触を回避することができた。このことから、ディスク基板の傷、汚れ等を防止することができ、特に、オーバーコートにおいては、保持構造体によるカバー効果により、ディスク基板裏面へのオーバーコート材の回り込みを完全に防ぐことができた。
【００４９】
さらに、ディスク基板と貼り合わせ基板の貼り合わせにおいては、保持構造体のガイド効果等により、ディスク基板と貼り合わせ基板を精度よく、安定、かつ変形無く貼り合わせることができた。
〈実施例２〉
本実施例は、上記実施の形態を、射出成形により成形した１．１ｍｍ厚のディスク基板と０．１ｍｍ厚のディスクシートを貼り合わせた光情報記録媒体の生産に適用したものであり、図１１に示す生産システム１２０を用いて光情報記録媒体の生産を行った。
【００５０】
なお、本実施例の説明において、上記実施例１と同様の構成部分には、同一の符号を付して、その詳細な説明を省略する。また、グルーブ及び機能層等は、１．１ｍｍ厚ディスク基板側に形成するものとする。
【００５１】
図１１において、生産システム１２０は、上記実施例１と同様の射出成形機１０１、スパッタ装置１０３、オーバーコート装置１０４、貼り合わせ装置１０５、ハードコート装置１０６、初期化装置１０７、ディスク基板搬送路１０８、ディスク基板真空吸着処理用真空装置１１０、ディスク基板真空吸着解除用真空装置１１１、ディスク基板搬送用保持構造体回収機１１２及びディスク基板搬送用保持構造体供給機１１３等を備えているとともに、ディスクシート供給機１２１を備えている。
【００５２】
まず、この生産システム１２０を使用して、射出成形機１０１により１．１ｍｍ厚のディスク基板（外周φ１２０ｍｍ、中心穴φ１５ｍｍ）を作製し、スパッタ成膜及びオーバーコートを行った一方、ディスクシート供給機１２１から供給したディスクシート（外周φ１２０ｍｍ、中心穴φ１５ｍｍ、厚さ０．１ｍｍ）を、ディスク基板搬送用保持構造体供給機１１３から供給される保持構造体上にディスク基板真空吸着処理用真空装置１１０により位置決めして真空吸着させた。ディスクシートを保持構造体ごと貼り合わせ装置１０５に供給し、上記スパッタ成膜及びオーバーコートを行ったディスク基板と貼り合わせた。
【００５３】
このディスク基板とディスクシートの貼り合わせを行った後、保持構造体／ディスクシート／ディスク基板の構成となっている構造体を、ディスク基板真空吸着解除用真空装置１１１に搬送し、ディスク基板真空吸着解除用真空装置１１１により保持構造体をディスクシートから剥離した。この剥離した保持構造体をディスク基板搬送用保持構造体回収機１１２により回収し、ディスク基板搬送用保持構造体供給機１１３に搬送して再利用した。そして、貼り合わせしたディスク基板とディスクシートを、ハードコート装置１０６及び初期化装置１０７に搬送し、ハードコート工程処理及び初期化工程処理を順次行った後、印刷等の工程を経て商品化された光情報記録媒体に仕上げた。
【００５４】
なお、上記生産システム１２０において、ディスク基板真空吸着処理用真空装置１１０は、少なくともディスクシートと保持構造体の搬送及び位置決め機能と、真空排気及びベント機能を備えたものとし、ディスクシートと保持構造体を接触させて真空排気→大気解放の手順によりディスクシートを保持構造体に自己的に真空吸着保持させる方式のものとした。
【００５５】
また、保持構造体としては、Ｃｕの母材にＮｉ電解メッキ後にＰＴＦＥ分散Ｎｉ複合メッキを全面に施したものを用い、ディスク基板と略同形状（外周φ１２０ｍｍ、中心穴φ１５ｍｍ、厚さ１．１ｍｍ）のものとした。
【００５６】
さらに、ディスク基板真空吸着解除用真空装置１１１は、少なくとも、真空排気及びベント機能と、真空中で保持構造体とディスク基板／ディスクシート接着品を分離・搬出する機能を備えたものとし、真空排気→保持構造体分離→大気解放の手順によりディスク基板／ディスクシート接着品から保持構造体を分離させる方式のものとした。
【００５７】
また、ディスクシートと保持構造体との貼り合わせには、ラジカルＵＶによる接着方法を用いたが、ディスクシートと保持構造体とを貼り合わせられる工法であれば、何ら限定されるものではない。例えば、ディスクシートにあらかじめ接着剤が付与してあるものを用いたシート貼り合わせ方式を用いてもよい。
【００５８】
上記実施例の生産工程において、保持構造体上にディスクシートを真空吸着保持させて搬送することにより、単体としては搬送不可能な極薄肉０．１ｍｍのディスクシートを用いた場合にも、１．２ｍｍの厚肉基板と同等以上の搬送性を確保することができた。
【００５９】
また、搬送動作においては、主に保持構造体側で保持する形を取り、極力ディスクシートと他部材との接触を回避することができた。このことから、ディスクシートの傷、汚れ等を防止することができ、特に、オーバーコートにおいては、保持構造体によるカバー効果により、ディスクシート裏面へのオーバーコート材の回り込みを完全に防ぐことができた。
【００６０】
また、ディスクシートと保持構造体との貼り合わせにおいては、保持構造体のガイド効果等により、ディスク基板とディスクシートを精度よく、安定、かつ変形無く貼り合わせることができた。
〈実施例３〉
本実施例は、上記実施の形態を、射出成形により成形した１．１ｍｍ厚のディスク基板と０．１ｍｍ厚のディスクシートを貼り合わせた光情報記録媒体の生産に適用したものであり、図１２に示す生産システム１３０を用いて光情報記録媒体の生産を行った。
【００６１】
なお、本実施例の説明において、上記実施例１と同様の構成部分には、同一の符号を付して、その詳細な説明を省略する。また、グルーブ及び機能層等は、０．１ｍｍ厚ディスクシート側に形成するものとする。
【００６２】
図１２において、生産システム１３０は、上記実施例１と同様の射出成形機１０１、スパッタ装置１０３、オーバーコート装置１０４、貼り合わせ装置１０５、ハードコート装置１０６、初期化装置１０７、ディスク基板搬送路１０８、ディスク基板真空吸着処理用真空装置１１０、ディスク基板真空吸着解除用真空装置１１１、ディスク基板搬送用保持構造体回収機１１２及びディスク基板搬送用保持構造体供給機１１３等を備えているとともに、ディスクシート供給機１３１を備えている。
【００６３】
まず、生産システム１３０を使用して、ディスクシート供給機１３１から供給したディスクシート（外周φ１２０ｍｍ、中心穴φ１５ｍｍ、厚さ０．１ｍｍ）を、ディスク基板搬送用保持構造体供給機１１３から供給される保持構造体上にディスク基板真空吸着処理用真空装置１１０により位置決めして真空吸着させた。ディスクシートを保持構造体ごとスパッタ装置１０３及びオーバーコート装置１０４に順次搬送して、スパッタ成膜及びオーバーコートを行った後、貼り合わせ装置１０５に搬送した。
【００６４】
一方、射出成形機１０１で１．１ｍｍ厚の貼り合わせ基板（外周φ１２０ｍｍ、中心穴φ１５ｍｍ）を作製し、貼り合わせ装置１０５に搬送して、上記ディスクシートと貼り合わせを行った。
【００６５】
この貼り合わせ基板とディスクシートの貼り合わせを行った後、保持構造体／ディスクシート／貼り合わせ基板の構成となっている構造体を、ディスク基板真空吸着解除用真空装置１１１に搬送し、ディスク基板真空吸着解除用真空装置１１１により保持構造体をディスクシートから剥離した。この剥離した保持構造体をディスク基板搬送用保持構造体回収機１１２により回収し、ディスク基板搬送用保持構造体供給機１１３に搬送して再利用した。そして、貼り合わせしたディスクシートと貼り合わせ基板を、ハードコート装置１０６及び初期化装置１０７に搬送し、ハードコート工程処理及び初期化工程処理を順次行った後、印刷等の工程を経て商品化された光情報記録媒体に仕上げた。
【００６６】
なお、上記生産システム１３０において、ディスク基板真空吸着処理用真空装置１１０は、少なくともディスクシートと保持構造体の搬送及び位置決め機能と、真空排気及びベント機能を備えたものとし、ディスクシートと保持構造体を接触させて真空排気→大気解放の手順によりディスクシートを保持構造体に自己的に真空吸着保持させる方式のものとした。
【００６７】
また、保持構造体としては、Ｃｕの母材にＮｉ電解メッキ後にＰＴＦＥ分散Ｎｉ複合メッキを全面に施したものを用い、ディスク基板と略同形状（外周φ１２０ｍｍ、中心穴φ１５ｍｍ、厚さ１．１ｍｍ）のものとした。
【００６８】
さらに、ディスク基板真空吸着解除用真空装置１１１は、少なくとも、真空排気及びベント機能と、真空中で保持構造体とディスク基板／ディスクシート接着品を分離・搬出する機能を備えたものとし、真空排気→保持構造体分離→大気解放の手順によりディスク基板／ディスクシート接着品から保持構造体を分離させる方式のものとした。
【００６９】
また、ディスクシートと保持構造体との貼り合わせには、ラジカルＵＶによる接着方法を用いたが、ディスクシートと保持構造体とを貼り合わせられる工法であれば、何ら限定されるものではない。例えば、ディスクシートにあらかじめ接着剤が付与してあるものを用いたシート貼り合わせ方式を用いてもよい。
【００７０】
上記実施例の生産工程において、保持構造体上にディスクシートを真空吸着保持させて搬送することにより、単体としては搬送不可能な極薄肉０．１ｍｍのディスクシートを用いた場合にも、１．２ｍｍの厚肉基板と同等以上の搬送性を確保することができた。
【００７１】
また、ディスクシート／保持構造体を真空吸着した形状を、１．２ｍｍのＣＤ基板と同様のものとすることができ、一部の生産設備に関しては、何ら変更を加えることなくＣＤ用の設備が使用することができ、安価なものとすることができた。
【００７２】
さらに、搬送動作においては、主に保持構造体側で保持する形を取り、極力ディスクシートと他部材との接触を回避することができた。このことから、ディスクシートの傷、汚れ等を防止することができ、特に、オーバーコートにおいては、保持構造体によるカバー効果により、ディスクシート裏面へのオーバーコート材の回り込みを完全に防ぐことができた。
【００７３】
また、ディスクシートと保持構造体との貼り合わせにおいては、保持構造体のガイド効果等により、ディスク基板とディスクシートを精度よく、安定、かつ変形無く貼り合わせることができた。
【００７４】
以上、本発明者によってなされた発明を好適な実施の形態に基づき具体的に説明したが、本発明は上記のものに限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能であることはいうまでもない。
【００７５】
【発明の効果】
本発明によれば、１００μｍ以下等の薄肉のディスク基板であっても極めて容易に取り扱うことができるとともに、ディスク基板と保持構造体の面間に働く真空吸着力でディスク基板を保持構造体に保持固定して、一般的な真空吸着、特に薄肉板において大きな問題となる吸着部でのディスク基板の局所的な変形やこの変形に起因した種々の不具合を回避しつつ、ディスク基板の保持構造体へ吸着面を保護して、各種スピンコートを用いた塗布工程等におけるディスク基板の当該吸着面へのミストの付着や他部材との接触によるディスク基板の当該吸着面への傷の発生等を回避することができ、かつ極めて簡単かつ容易に保持構造体へのディスク基板の保持力を維持することができ、光情報記録媒体を高精度かつ効率的に製造することができる。
【００７６】
また、薄肉のディスク基板であっても保持構造体と真空吸着した状態を一体として、厚肉のディスク基板と同様に汎用的に取り扱うことができ、光情報記録媒体を高精度かつより一層効率的に製造することができる。
【００７７】
また、ディスク基板と保持構造体が接触することによるディスク基板への傷等のダメージを未然に防止することができ、光情報記録媒体をより一層高精度かつ効率的に製造することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の光情報記録媒体製造方法、光情報記録媒体製造装置及び光情報記録媒体の一実施の形態を説明するための光情報記録媒体製造装置に用いられるディスク基板を載置した状態の保持構造体の平面図
【図２】図１のディスク基板を載置した状態の保持構造体のＡ−Ａ矢視断面図
【図３】図１の保持構造体の他の例のディスク基板を載置した状態の正面断面図
【図４】図１の保持構造体にディスク基板を真空吸着させるために保持構造体上にディスク基板を位置決めしている状態の正面断面図
【図５】図４の位置決めしたディスク基板を保持構造体上に真空装置内で真空吸着させている状態の正面断面図
【図６】図５の真空吸着処理でディスク基板を真空吸着された保持構造体の正面断面図
【図７】図６の保持構造体上に真空吸着されたディスク基板に製造工程で貼り合わせ基板が貼り合わされた状態の正面断面図
【図８】図７の保持構造体から貼り合わせ基板の貼り合わされたディスク基板を真空装置内で剥離している状態の正面断面図
【図９】図８の真空装置で貼り合わせ基板の貼り合わされたディスク基板が保持構造体から剥離された状態の正面断面図
【図１０】実施例１の生産システムのブロック構成図
【図１１】実施例２の生産システムのブロック構成図
【図１２】実施例３の生産システムのブロック構成図
【図１３】従来のディスク基板を載置した状態のディスク基板保持構造体の平面図
【図１４】図１３のディスク基板を載置した状態の保持構造体のＡ−Ａ矢視断面図
【符号の説明】
１ 光情報記録媒体製造装置
２ 保持構造体
３ ディスク基板
１０、２０ 真空装置
１００ 生産システム
１０１、１０２ 射出成形機
１０３ スパッタ装置
１０４ オーバーコート装置
１０５ 貼り合わせ装置
１０６ ハードコート装置
１０７ 初期化装置
１０８ ディスク基板搬送路
１１０ ディスク基板真空吸着処理用真空装置
１１１ ディスク基板真空吸着解除用真空装置
１１２ ディスク基板搬送用保持構造体回収機
１１３ ディスク基板搬送用保持構造体供給機
１２０ 生産システム
１２１ ディスクシート供給機
１３０ 生産システム
１３１ ディスクシート供給機
【発明の属する技術分野】
本発明は、光情報記録媒体製造方法及び光情報記録媒体製造装置に関し、詳細には、光情報記録媒体を変形等を生じさせることなく、各処理工程を保持・搬送する光情報記録媒体製造方法及び光情報記録媒体製造装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
光情報記録媒体の生産おいては、一般的に、ディスク基板を基に種々の工程を経て処理が行われ、最終的な光情報記録媒体が完成する。これら種々の工程処理の代表的なものとしては、スパッタ成膜工程、ハードコート工程、オーバーコート工程、接着剤塗布工程、貼り合わせ工程及び印刷工程等が挙げられ、作製する光情報記録媒体のメディアの種類によって、各種工程の組み合わせが様々変化するが、基本的に、これらの工程間、あるいは、工程内でのディスク基板の搬送は、必要不可欠なものである。
【０００３】
一般的な光情報記録媒体の生産工程における工程間でのディスク基板の搬送方法としては、例えば、ディスク基板の中心部を吸着パッドにより固定する方法、ディスク中心部を保持するテーブルにより水平保持する方法、あるいは、ディスク基板外周部をリング状部材により水平保持する方法等が用いられるが、これらのディスク基板の搬送方法は、基本的に、中心保持あるいは外周保持により自重でディスク基板自体が曲がらないことを前提としている。
【０００４】
しかしながら、メディア記録密度の高密度化に伴ってディスク基板の薄肉化が進み、上記中心保持あるいは外周保持により自重でディスク基板自体が曲がらないという前提条件が崩れ、上記中心保持あるいは外周保持の搬送方法では、容易にはディスク基板の単独での搬送を行うことが困難となってきている。特に、近年使用されるようになってきた１００μｍ前後のディスクシートなどは、上記方法では単体での搬送は不可能である。
【０００５】
一方、スピンコートや貼り合わせ等の工程処理等のようにディスク基板を全面保持に近い形で保持することが要求される場合には、例えば、図１３及び図１３のＡ−Ａ矢視断面図である図１４に示すように、ディスク基板保持構造体２００の上にディスク基板２０１を載せて保持する場合に、ディスク基板保持構造体２００の表面に、複数の真空吸着孔２０２を形成し、真空吸着孔２０２を通してディスク基板２０１を真空吸着して保持する方法が採られている。
【０００６】
この方法によれば、真空吸着現象を利用しているため、ディスク基板２０１を確実に保持することができるが、その反面、真空吸着孔２０２の近傍でディスク基板２０１が局所的に歪む等の不具合が発生するおそれがあり、特に、薄肉のディスク基板２０１において問題となる。また、この現象は、ハードコート材あるいはオーバーコート材等のスピンコート工程、あるいは、貼り合わせ工程における接着剤塗布などにおいては、塗布材の塗布むらにつながる可能性が高く、薄肉のディスク基板２０１において特に問題となる。これらの塗布むらは、作製される光ディスクのメディア信号特性にノイズとして重畳し、ジッター特性の劣化やトラッキングはずれによる異常動作等の種々の不具合を引き起こす原因となる。
【０００７】
そこで、従来、光記録媒体または光記録媒体用基板を真空吸着保持する多孔質体を備えた吸着パッドを有することを特徴とする光記録媒体または光記録媒体用基板の搬送トレーが提案されている（特開平９−２９３２７６号公報参照）。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記公報記載の技術にあっては、ディスク全面をほぼ均一な保持力で保持することができ、真空吸着孔を設けて吸着する場合に当該真空吸着孔の近傍でディスク基板が局所的に歪む等の不具合が発生するという問題を解決することはできるが、ディスク基板を保持している際に、常に真空排気設備とディスク基板保持体を排気管でつないで吸着部を真空排気する必要があり、装置構成が煩雑で大型化するという問題がある。また、上記公報記載の搬送トレーは、スパッタ成膜の工程内でのディスク基板の搬送には適用することができず、光情報記録媒体の生産工程におけるディスク基板の搬送方法としての汎用性がなく、スパッタ工程、ハードコート工程、オーバーコート工程、貼り合わせ工程等の光情報記録媒体の生産工程内及び各工程間において、ディスク基板の厚みに関わらず、汎用的かつ効率的な同等のディスク基板搬送が可能で、かつ、極めて簡易的にディスク基板を均一な保持力により保持することのできるディスク基板の保持方法が要望されている。
【０００９】
そこで、本発明は、光情報記録媒体を変形等を生じさせることなく、各処理工程を保持・搬送する光情報記録媒体製造方法及び光情報記録媒体製造装置を提供することを目的とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
請求項１記載の発明は、ディスク基板を少なくともスパッタリング装置、スピンコート装置、貼り合わせ装置の各装置間を搬送して処理を行い光情報記録媒体を製造する光情報記録媒体製造方法において、真空装置内に前記ディスク基板を導入して該ディスク基板と保持構造体と接触させた後、前記真空装置内を真空排気して、前記保持構造体と前記ディスク基板を真空吸着させる工程と、前記ディスク基板を前記保持構造体に吸着固定させた状態で前記真空装置から出して前記各装置間の前記搬送を行う工程と、前記吸着固定された状態の前記ディスク基板と前記保持構造体を真空装置内に導入し、かつ該真空装置内を真空排気して前記ディスク基板と前記保持構造体とを引き離すことにより分離させた後、前記真空装置内を大気開放して、当該ディスク基板を搬出する工程とを備えることにより、１００μｍ以下等の薄肉のディスク基板であっても極めて容易に取り扱えるとともに、ディスク基板と保持構造体の面間に働く真空吸着力でディスク基板を保持構造体に保持固定して、一般的な真空吸着、特に薄肉板において大きな問題となる吸着部でのディスク基板の局所的な変形やこの変形に起因した種々の不具合を回避しつつ、ディスク基板の保持構造体へ吸着面を保護して、各種スピンコートを用いた塗布工程等におけるディスク基板の当該吸着面へのミストの付着や他部材との接触によるディスク基板の当該吸着面への傷の発生等を回避し、かつ極めて簡単かつ容易に保持構造体へのディスク基板の保持力を維持し、光情報記録媒体を高精度かつ効率的に製造することができる。
【００１１】
請求項２記載の発明は、ディスク基板を少なくともスパッタリング装置、スピンコート装置、貼り合わせ装置の各装置間を搬送して処理を行い光情報記録媒体を製造する光情報記録媒体製造装置において、真空装置内に前記ディスク基板を導入し前記ディスク基板と保持構造体と接触させた後、前記真空装置内を真空排気して、前記保持構造体と前記ディスク基板を真空吸着させる手段と、前記ディスク基板を前記保持構造体に吸着固定させた状態で前記真空装置から出して前記各装置間の前記搬送を行う手段と、前記吸着固定された状態の前記ディスク基板と前記保持構造体を真空装置内に導入し、かつ該真空装置内を真空排気して前記ディスク基板と前記保持構造体とを引き離すことにより分離させた後、前記真空装置内を大気開放して、当該ディスク基板を搬出する手段とを備えたことにより、１００μｍ以下等の薄肉のディスク基板であっても極めて容易に取り扱えるとともに、ディスク基板と保持構造体の面間に働く真空吸着力でディスク基板を保持構造体に保持固定して、一般的な真空吸着、特に薄肉板において大きな問題となる吸着部でのディスク基板の局所的な変形やこの変形に起因した種々の不具合を回避しつつ、ディスク基板の保持構造体へ吸着面を保護して、各種スピンコートを用いた塗布工程等におけるディスク基板の当該吸着面へのミストの付着や他部材との接触によるディスク基板の当該吸着面への傷の発生等を回避し、かつ極めて簡単かつ容易に保持構造体へのディスク基板の保持力を維持し、光情報記録媒体を高精度かつ効率的に製造することができる。
【００１２】
請求項３記載の発明は、請求項２記載の光情報記録媒体製造装置において、保持構造体は、平面部が保持するディスク基板の形状及び大きさと略同じ形状及び大きさに形成されていることにより、薄肉のディスク基板であっても保持構造体と真空吸着した状態を一体とし、厚肉のディスク基板と同様に汎用的に取り扱えるようにして、光情報記録媒体を高精度かつより一層効率的に製造することができる。
【００１３】
請求項４記載の発明は、請求項２または請求項３記載の光情報記録媒体製造装置において、保持構造体は、平面部のうち少なくともディスク基板の情報記録領域と相対向する領域に潤滑処理が施されていることにより、ディスク基板と保持構造体が接触することによるディスク基板への傷等のダメージを未然に防止し、光情報記録媒体をより一層高精度かつ効率的に製造することができる。
【００１４】
請求項５記載の発明は、請求項４記載の光情報記録媒体製造装置において、保持構造体は、平面部のうち少なくともディスク基板の情報記録領域と相対向する領域に、フッ化黒鉛またはフッ素樹脂等の撥水性粉末を用いた複合メッキ処理、あるいは、フルオロアルキル基を有するクロロシラン系化学吸着剤を用いた撥水処理で潤滑処理が施されていることにより、ディスク基板と保持構造体が接触することによるディスク基板への傷等のダメージを未然に防止し、光情報記録媒体をより一層高精度かつ効率的に製造することができる。
【００１５】
請求項６記載の発明は、請求項２または請求項３記載の光情報記録媒体製造装置において、保持構造体は、平面部のうち少なくともディスク基板の情報記録領域と相対向する領域が、ＰＴＦＥまたはポリアセタール等の潤滑性を有する材料で形成されていることにより、ディスク基板と保持構造体が接触することによるディスク基板への傷等のダメージを未然に防止し、光情報記録媒体をより一層高精度かつ効率的に製造することができる。
【００１６】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の好適な実施の形態を添付図面に基づいて詳細に説明する。なお、以下に述べる実施の形態は、本発明の好適な実施の形態であるから、技術的に好ましい種々の限定が付されているが、本発明の範囲は、以下の説明において特に本発明を限定する旨の記載がない限り、これらの態様に限られるものではない。
【００１７】
図１〜図９は、本発明に係る光情報記録媒体製造方法、光情報記録媒体製造装置及び光情報記録媒体の一実施の形態を説明するための図である。
【００１８】
図１は、本発明の光情報記録媒体製造方法、光情報記録媒体製造装置及び光情報記録媒体の実施の形態を説明するための光情報記録媒体製造装置に用いられる保持構造体２及びディスク基板３の平面図、図２は、図１の保持構造体２及びディスク基板３のＡ−Ａ矢視断面図である。
【００１９】
図１及び図２において、光情報記録媒体製造装置１は、保持構造体２を有し、保持構造体２の上面に製造対象のディスク基板３が載置される。
【００２０】
保持構造体２は、その外観形状がディスク基板３の形状に相似する形状、例えば、円盤形状に形成されているとともに、ディスク基板３よりも多少大きめの形状に形成されており、保持構造体２のディスク基板３の載置される上面は、平面形状に形成されているとともに、ディスク基板３の裏面、すなわち、保持構造体２と対向する側の面の形状、例えば、ディスク基板３の裏面に形成されているスタックリング等の突起部形状との干渉を防止する形状に形成されている。
【００２１】
保持構造体２は、例えば、Ｃｕの母材にＮｉ電界メッキを施した後、ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）分散Ｎｉ複合メッキを全面に施したものである。
【００２２】
光情報記録媒体製造装置１は、後述するように、この保持構造体２上に載置されたディスク基板３を保持構造体２の上面とディスク基板３の裏面との間に働く自己的な真空吸着力でディスク基板３を保持・固定させて、保持構造体２とともにディスク基板３を搬送するとともに、スパッタリング、スピンコート、貼り合わせ等の光情報記録媒体生産工程に流して、製造工程処理を行う。
【００２３】
ディスク基板３を各保持構造体２に固定一体化して搬送することで、薄肉のディスク基板３をも極めて容易かつ安定して取り扱うことができる。
【００２４】
この場合、保持構造体２は、保持構造体２の上面とディスク基板３の裏面という面間に働く真空吸着力を利用してディスク基板３を一体として保持・固定するので、一般的な真空吸着において、特に、薄肉のディスク基板において大きな問題となる吸着部でのディスク基板３の局所的な変形やこれに起因した接着剤等の塗布材の塗布むら、ジッター特性の劣化等の種々の不具合を回避することができ、また、この保持力を維持するに際しては、従来のような真空排気装置との煩雑な接続を必要とすることなく、極めて簡素な構成でディスク基板３を保持する力を維持することができる。例えば、保持構造体２の平面部の形状及び大きさを、ディスク基板３と相似形に形成しているるので、ディスク基板３が薄肉であっても、保持構造体２と真空吸着した状態を一体として、ディスク基板３が厚肉である場合と同様に、汎用的に取り扱うことができる。
【００２５】
さらに、保持構造体２の上面とディスク基板３の裏面という面間に働く真空吸着力を利用してディスク基板３を一体として保持・固定するので、保持構造体２がディスク基板３の吸着面を保護することができ、各種スピンコートを用いた塗布工程等におけるミストの付着や他部材との接触による傷等を防止することができる。
【００２６】
なお、保持構造体２は、その大きさ及び形状を、図３に示すように、ディスク基板３の形状及び大きさと同じ形状及び大きさにしてもよく、このようにすると、ディスク基板３を保持構造体２により一層簡単かつ精度良く位置合わせして、ディスク基板３と保持構造体２を真空吸着した状態で一体として、ディスク基板３が厚肉である場合と同様に、より一層汎用的にかつ容易に取り扱うことができる。
【００２７】
そして、上記保持構造体２とディスク基板３との間に自己的な真空吸着力を与える方法としては、例えば、以下の２つを用いることができるが、以下の方法に限定されるものではない。
【００２８】
まず、第一の方法は、保持構造体２とディスク基板３を位置決めした状態で加圧プレスして、保持構造体２とディスク基板３との間に自己的な真空吸着力を与える方法である。
【００２９】
第二の方法は、本発明の実施の形態である図４〜図６に示す真空装置１０を用いて保持構造体２とディスク基板３との間に自己的な真空吸着力を与える方法である。すなわち、まず、図４に示すように、保持構造体２とディスク基板３を位置決めし、この位置決めした保持構造体２とディスク基板３を、図５に示すように、一緒に、真空装置１０内に導入する。位置決めした保持構造体２とディスク基板３を真空装置１０内に導入すると、真空装置１０の真空排気を行い、保持構造体２とディスク基板３を真空吸着させた後、真空装置１０内を大気解放させて、図６に示すように、ディスク基板３の真空吸着された保持構造体２を真空装置１０から取り出す。
【００３０】
上記いずれの方法においても、ディスク基板３と保持構造体２間に、簡便に十分な真空吸着力を発揮させることができる。
【００３１】
なお、第二の方法において、真空装置１０の真空室の容積は、保持構造体２とディスク基板３全体を包合できる範囲で極力小さくする。このようにすると、真空装置１０の真空排気及び大気解放に関わる時間を短縮することができ、タクト面で有効である。また、図４〜図６では、真空装置１０を真空にする真空ポンプ等の設備に関しては、省略したが、基本的には保持構造体２とディスク基板３を一緒にして、真空排気→大気解放の工程を実現することのできるものであれば、どのような機構のものであってもよく、何ら限定されものではない。
【００３２】
さらに、上記２つの方法において、保持構造体２とディスク基板３の位置決め方法は、保持構造体２の形状及びディスク基板３の厚さ等に応じて、種々の方法を用いることができ、何ら限定されるものではない。
【００３３】
また、保持構造体２に真空吸着させたディスク基板３は、所望の工程終了後、あるいは、搬送終了後に保持構造体２から剥離させる必要がある。この剥離方法としては、例えば、図７〜図９に示すように、保持構造体２上に真空吸着・固定されたディスク基板３の上面には、図７に示すように、製造工程で貼り合わせ基板４が貼り合わせられ、この貼り合わせ基板４が貼り合わせられたディスク基板３を真空吸着・固定する保持構造体２を、図８に示すように、真空装置２０内に導入する。この真空装置２０は、上記貼り合わせ工程で使用した真空装置１０と同じものであってもよい。貼り合わせ基板４が貼り合わせられたディスク基板３を真空吸着・固定する保持構造体２を真空装置２０内に導入すると、真空装置２０内を真空排気して、図８に示すように、ディスク基板３と保持構造体２との間の真空吸着力を解除し、ディスク基板３と保持構造体２を引き離した後、図９に示すように、大気中に開放して、真空装置２０から取り出す。
【００３４】
このようにすると、剥離時に、ディスク基板３を変形させたり、傷つけたりすることなく、簡単かつ容易にディスク基板３を保持構造体２から剥離することができる。
【００３５】
なお、本実施の形態では、保持構造体２上のディスク基板３に貼り合わせ基板４を単体で貼り合わせた場合について説明したが、貼り合わせ基板４の裏面にディスク保持用の構造体が配置されている場合等であっても同様に適用することができ、メディアの構成等については、上記説明の内容に限定されるものではない。
【００３６】
また、保持構造体２の上面のうち、少なくともディスク基板３の情報記録領域と相対する領域に、潤滑処理を施してもよい。このようにすると、ディスク基板３と保持構造体２が接触することによるディスク基板３への傷等のダメージを回避することができる。
【００３７】
この場合、潤滑処理としては、フッ化黒鉛（ＣＦ）ｎやフッ素樹脂（ＰＴＦＥ、ＰＦＡ、ＦＥＰ）の撥水性粉末を用いた複合メッキ、あるいは、フルオロアルキル基を有するクロロシラン系化学吸着剤を用いた処理等の撥水処理を用いることができ、潤滑処理は、上記処理方法に限るものではなく、保持構造体２の表面の少なくとも所望の部位に潤滑性を付与できる処理であればよい。
【００３８】
また、保持構造体２の上面のうち、少なくともディスク基板３の情報記録領域と相対する領域をＰＴＦＥ、ポリアセタールに代表される潤滑性をもった材料で構成してもよく、この場合も、同様の効果を得ることができる。
〈実施例１〉
本実施例は、上記実施の形態を、射出成形により成形した０．６ｍｍ厚のディスク基板を用いた光情報記録媒体の生産に適用したものであり、図１０に示す生産システム１００を用いて光情報記録媒体の生産を行った。
【００３９】
図１０において、生産システム１００は、２つの射出成形機１０１、１０２、スパッタ装置１０３、オーバーコート装置１０４、貼り合わせ装置１０５、ハードコート装置１０６、初期化装置１０７、ディスク基板搬送路１０８、ディスク基板真空吸着処理用真空装置１１０、ディスク基板真空吸着解除用真空装置１１１、ディスク基板搬送用保持構造体回収機１１２及びディスク基板搬送用保持構造体供給機１１３等を備えている。この生産システム１００を使用して、射出成形機１０１により作製した０．６ｍｍ厚のディスク基板（外周φ１２０ｍｍ、中心穴φ１５ｍｍ）を、ディスク基板真空吸着処理用真空装置１１０により、ディスク基板搬送用保持構造体供給機１１３から供給される保持構造体と位置決めした後、真空吸着させ、その後、保持構造体とともにディスク基板を、順次スパッタ装置１０３、オーバーコート装置１０４に搬送して、スパッタ成膜及びオーバーコートを行った。
【００４０】
一方、射出成形機１０２でディスク基板と同形状の貼り合わせ基板を作製して、ディスク基板と同様に、保持構造体上にディスク基板真空吸着処理用真空装置１１０により真空吸着させた。この貼り合わせ基板を保持構造体ごと貼り合わせ装置１０５に供給し、上記ディスク基板と貼り合わせを行った。
【００４１】
ディスク基板と貼り合わせ基板を貼り合わせた後、当該貼り合わせたディスク基板と貼り合わせ基板を２つの保持構造体で挟んだ状態で、ディスク基板真空吸着解除用真空装置１１１に搬送し、２つの保持構造体をディスク基板真空吸着解除用真空装置１１１で剥離した。剥離した保持構造体をディスク基板搬送用保持構造体回収機１１２で回収し、ディスク基板搬送用保持構造体供給機１１３に搬送して再利用した。貼り合わせしたディスク基板と貼り合わせ基板を、順次、ハードコート装置１０６及び初期化装置１０７に搬送し、ハードコート工程処理及び初期化工程処理を順次行った後、印刷等の工程を経て商品化された光情報記録媒体に仕上げた。
【００４２】
なお、生産システム１００において、ディスク基板真空吸着処理用真空装置１１０は、少なくとも、ディスク基板と保持構造体の搬送及び位置決め機能と、真空排気及びベント機能を備えたものとし、ディスク基板と保持構造体を接触させて真空排気→大気解放の手順でディスク基板を保持構造体に自己的に真空吸着保持させる方式のものとした。貼り合わせ基板についても、同じディスク基板真空吸着処理用真空装置１１０を用いて、ディスク基板の場合と同様に、保持構造体に真空吸着保持させた。
【００４３】
また、保持構造体としては、Ｃｕの母材にＮｉ電解メッキ後にＰＴＦＥ分散Ｎｉ複合メッキを全面に施したものを用い、ディスク基板と略同形状（外周φ１２０ｍｍ、中心穴φ１５ｍｍ、厚さ０．６ｍｍ）のものとした。
【００４４】
さらに、ディスク基板の裏面（保持構造体側の面）や貼り合わせ基板の裏面（保持構造体側の面）の突起部（例えば、スタックリング）と干渉するような部分には、あらかじめ逃げの部分を付けておいた。
【００４５】
また、ディスク基板真空吸着解除用真空装置１１１には、少なくとも真空排気とベント機能及び真空中で２つの保持構造体とディスク基板または保持構造体と貼り合わせ基板の接着品を分離・搬出する機能を持たせ、ディスク基板真空吸着解除用真空装置１１１は、真空排気→保持構造体分離→大気解放の手順でディスク基板接着品または貼り合わせ基板接着品から保持構造体を分離させる方式のものとした。
【００４６】
さらに、ディスク基板と保持構造体との貼り合わせ及び貼り合わせ基板と保持構造体との貼り合わせは、ラジカルＵＶによる接着方法を用いたが、ディスク基板や貼り合わせ基板を適切に保持構造体に貼り合わせられる工法であれば、どのような方法であってもよい。
【００４７】
上記実施例の生産工程において、保持構造体上にディスク基板を真空吸着保持させて搬送することにより、ディスク基板として、薄肉な０．６ｍｍ基板を用いた場合にも、１．２ｍｍの厚肉の基板と同等以上の搬送性を確保することができた。また、上記実施例により、ディスク基板と保持構造体を真空吸着した形状が１．２ｍｍのＣＤ基板と同じにすることができたため、一部の生産設備に関しては、何ら変更を加えることなく、ＣＤ用の設備を使用することができた。
【００４８】
また、搬送動作においては、主に保持構造体側で保持する形を取り、極力ディスク基板と他部材との接触を回避することができた。このことから、ディスク基板の傷、汚れ等を防止することができ、特に、オーバーコートにおいては、保持構造体によるカバー効果により、ディスク基板裏面へのオーバーコート材の回り込みを完全に防ぐことができた。
【００４９】
さらに、ディスク基板と貼り合わせ基板の貼り合わせにおいては、保持構造体のガイド効果等により、ディスク基板と貼り合わせ基板を精度よく、安定、かつ変形無く貼り合わせることができた。
〈実施例２〉
本実施例は、上記実施の形態を、射出成形により成形した１．１ｍｍ厚のディスク基板と０．１ｍｍ厚のディスクシートを貼り合わせた光情報記録媒体の生産に適用したものであり、図１１に示す生産システム１２０を用いて光情報記録媒体の生産を行った。
【００５０】
なお、本実施例の説明において、上記実施例１と同様の構成部分には、同一の符号を付して、その詳細な説明を省略する。また、グルーブ及び機能層等は、１．１ｍｍ厚ディスク基板側に形成するものとする。
【００５１】
図１１において、生産システム１２０は、上記実施例１と同様の射出成形機１０１、スパッタ装置１０３、オーバーコート装置１０４、貼り合わせ装置１０５、ハードコート装置１０６、初期化装置１０７、ディスク基板搬送路１０８、ディスク基板真空吸着処理用真空装置１１０、ディスク基板真空吸着解除用真空装置１１１、ディスク基板搬送用保持構造体回収機１１２及びディスク基板搬送用保持構造体供給機１１３等を備えているとともに、ディスクシート供給機１２１を備えている。
【００５２】
まず、この生産システム１２０を使用して、射出成形機１０１により１．１ｍｍ厚のディスク基板（外周φ１２０ｍｍ、中心穴φ１５ｍｍ）を作製し、スパッタ成膜及びオーバーコートを行った一方、ディスクシート供給機１２１から供給したディスクシート（外周φ１２０ｍｍ、中心穴φ１５ｍｍ、厚さ０．１ｍｍ）を、ディスク基板搬送用保持構造体供給機１１３から供給される保持構造体上にディスク基板真空吸着処理用真空装置１１０により位置決めして真空吸着させた。ディスクシートを保持構造体ごと貼り合わせ装置１０５に供給し、上記スパッタ成膜及びオーバーコートを行ったディスク基板と貼り合わせた。
【００５３】
このディスク基板とディスクシートの貼り合わせを行った後、保持構造体／ディスクシート／ディスク基板の構成となっている構造体を、ディスク基板真空吸着解除用真空装置１１１に搬送し、ディスク基板真空吸着解除用真空装置１１１により保持構造体をディスクシートから剥離した。この剥離した保持構造体をディスク基板搬送用保持構造体回収機１１２により回収し、ディスク基板搬送用保持構造体供給機１１３に搬送して再利用した。そして、貼り合わせしたディスク基板とディスクシートを、ハードコート装置１０６及び初期化装置１０７に搬送し、ハードコート工程処理及び初期化工程処理を順次行った後、印刷等の工程を経て商品化された光情報記録媒体に仕上げた。
【００５４】
なお、上記生産システム１２０において、ディスク基板真空吸着処理用真空装置１１０は、少なくともディスクシートと保持構造体の搬送及び位置決め機能と、真空排気及びベント機能を備えたものとし、ディスクシートと保持構造体を接触させて真空排気→大気解放の手順によりディスクシートを保持構造体に自己的に真空吸着保持させる方式のものとした。
【００５５】
また、保持構造体としては、Ｃｕの母材にＮｉ電解メッキ後にＰＴＦＥ分散Ｎｉ複合メッキを全面に施したものを用い、ディスク基板と略同形状（外周φ１２０ｍｍ、中心穴φ１５ｍｍ、厚さ１．１ｍｍ）のものとした。
【００５６】
さらに、ディスク基板真空吸着解除用真空装置１１１は、少なくとも、真空排気及びベント機能と、真空中で保持構造体とディスク基板／ディスクシート接着品を分離・搬出する機能を備えたものとし、真空排気→保持構造体分離→大気解放の手順によりディスク基板／ディスクシート接着品から保持構造体を分離させる方式のものとした。
【００５７】
また、ディスクシートと保持構造体との貼り合わせには、ラジカルＵＶによる接着方法を用いたが、ディスクシートと保持構造体とを貼り合わせられる工法であれば、何ら限定されるものではない。例えば、ディスクシートにあらかじめ接着剤が付与してあるものを用いたシート貼り合わせ方式を用いてもよい。
【００５８】
上記実施例の生産工程において、保持構造体上にディスクシートを真空吸着保持させて搬送することにより、単体としては搬送不可能な極薄肉０．１ｍｍのディスクシートを用いた場合にも、１．２ｍｍの厚肉基板と同等以上の搬送性を確保することができた。
【００５９】
また、搬送動作においては、主に保持構造体側で保持する形を取り、極力ディスクシートと他部材との接触を回避することができた。このことから、ディスクシートの傷、汚れ等を防止することができ、特に、オーバーコートにおいては、保持構造体によるカバー効果により、ディスクシート裏面へのオーバーコート材の回り込みを完全に防ぐことができた。
【００６０】
また、ディスクシートと保持構造体との貼り合わせにおいては、保持構造体のガイド効果等により、ディスク基板とディスクシートを精度よく、安定、かつ変形無く貼り合わせることができた。
〈実施例３〉
本実施例は、上記実施の形態を、射出成形により成形した１．１ｍｍ厚のディスク基板と０．１ｍｍ厚のディスクシートを貼り合わせた光情報記録媒体の生産に適用したものであり、図１２に示す生産システム１３０を用いて光情報記録媒体の生産を行った。
【００６１】
なお、本実施例の説明において、上記実施例１と同様の構成部分には、同一の符号を付して、その詳細な説明を省略する。また、グルーブ及び機能層等は、０．１ｍｍ厚ディスクシート側に形成するものとする。
【００６２】
図１２において、生産システム１３０は、上記実施例１と同様の射出成形機１０１、スパッタ装置１０３、オーバーコート装置１０４、貼り合わせ装置１０５、ハードコート装置１０６、初期化装置１０７、ディスク基板搬送路１０８、ディスク基板真空吸着処理用真空装置１１０、ディスク基板真空吸着解除用真空装置１１１、ディスク基板搬送用保持構造体回収機１１２及びディスク基板搬送用保持構造体供給機１１３等を備えているとともに、ディスクシート供給機１３１を備えている。
【００６３】
まず、生産システム１３０を使用して、ディスクシート供給機１３１から供給したディスクシート（外周φ１２０ｍｍ、中心穴φ１５ｍｍ、厚さ０．１ｍｍ）を、ディスク基板搬送用保持構造体供給機１１３から供給される保持構造体上にディスク基板真空吸着処理用真空装置１１０により位置決めして真空吸着させた。ディスクシートを保持構造体ごとスパッタ装置１０３及びオーバーコート装置１０４に順次搬送して、スパッタ成膜及びオーバーコートを行った後、貼り合わせ装置１０５に搬送した。
【００６４】
一方、射出成形機１０１で１．１ｍｍ厚の貼り合わせ基板（外周φ１２０ｍｍ、中心穴φ１５ｍｍ）を作製し、貼り合わせ装置１０５に搬送して、上記ディスクシートと貼り合わせを行った。
【００６５】
この貼り合わせ基板とディスクシートの貼り合わせを行った後、保持構造体／ディスクシート／貼り合わせ基板の構成となっている構造体を、ディスク基板真空吸着解除用真空装置１１１に搬送し、ディスク基板真空吸着解除用真空装置１１１により保持構造体をディスクシートから剥離した。この剥離した保持構造体をディスク基板搬送用保持構造体回収機１１２により回収し、ディスク基板搬送用保持構造体供給機１１３に搬送して再利用した。そして、貼り合わせしたディスクシートと貼り合わせ基板を、ハードコート装置１０６及び初期化装置１０７に搬送し、ハードコート工程処理及び初期化工程処理を順次行った後、印刷等の工程を経て商品化された光情報記録媒体に仕上げた。
【００６６】
なお、上記生産システム１３０において、ディスク基板真空吸着処理用真空装置１１０は、少なくともディスクシートと保持構造体の搬送及び位置決め機能と、真空排気及びベント機能を備えたものとし、ディスクシートと保持構造体を接触させて真空排気→大気解放の手順によりディスクシートを保持構造体に自己的に真空吸着保持させる方式のものとした。
【００６７】
また、保持構造体としては、Ｃｕの母材にＮｉ電解メッキ後にＰＴＦＥ分散Ｎｉ複合メッキを全面に施したものを用い、ディスク基板と略同形状（外周φ１２０ｍｍ、中心穴φ１５ｍｍ、厚さ１．１ｍｍ）のものとした。
【００６８】
さらに、ディスク基板真空吸着解除用真空装置１１１は、少なくとも、真空排気及びベント機能と、真空中で保持構造体とディスク基板／ディスクシート接着品を分離・搬出する機能を備えたものとし、真空排気→保持構造体分離→大気解放の手順によりディスク基板／ディスクシート接着品から保持構造体を分離させる方式のものとした。
【００６９】
また、ディスクシートと保持構造体との貼り合わせには、ラジカルＵＶによる接着方法を用いたが、ディスクシートと保持構造体とを貼り合わせられる工法であれば、何ら限定されるものではない。例えば、ディスクシートにあらかじめ接着剤が付与してあるものを用いたシート貼り合わせ方式を用いてもよい。
【００７０】
上記実施例の生産工程において、保持構造体上にディスクシートを真空吸着保持させて搬送することにより、単体としては搬送不可能な極薄肉０．１ｍｍのディスクシートを用いた場合にも、１．２ｍｍの厚肉基板と同等以上の搬送性を確保することができた。
【００７１】
また、ディスクシート／保持構造体を真空吸着した形状を、１．２ｍｍのＣＤ基板と同様のものとすることができ、一部の生産設備に関しては、何ら変更を加えることなくＣＤ用の設備が使用することができ、安価なものとすることができた。
【００７２】
さらに、搬送動作においては、主に保持構造体側で保持する形を取り、極力ディスクシートと他部材との接触を回避することができた。このことから、ディスクシートの傷、汚れ等を防止することができ、特に、オーバーコートにおいては、保持構造体によるカバー効果により、ディスクシート裏面へのオーバーコート材の回り込みを完全に防ぐことができた。
【００７３】
また、ディスクシートと保持構造体との貼り合わせにおいては、保持構造体のガイド効果等により、ディスク基板とディスクシートを精度よく、安定、かつ変形無く貼り合わせることができた。
【００７４】
以上、本発明者によってなされた発明を好適な実施の形態に基づき具体的に説明したが、本発明は上記のものに限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能であることはいうまでもない。
【００７５】
【発明の効果】
本発明によれば、１００μｍ以下等の薄肉のディスク基板であっても極めて容易に取り扱うことができるとともに、ディスク基板と保持構造体の面間に働く真空吸着力でディスク基板を保持構造体に保持固定して、一般的な真空吸着、特に薄肉板において大きな問題となる吸着部でのディスク基板の局所的な変形やこの変形に起因した種々の不具合を回避しつつ、ディスク基板の保持構造体へ吸着面を保護して、各種スピンコートを用いた塗布工程等におけるディスク基板の当該吸着面へのミストの付着や他部材との接触によるディスク基板の当該吸着面への傷の発生等を回避することができ、かつ極めて簡単かつ容易に保持構造体へのディスク基板の保持力を維持することができ、光情報記録媒体を高精度かつ効率的に製造することができる。
【００７６】
また、薄肉のディスク基板であっても保持構造体と真空吸着した状態を一体として、厚肉のディスク基板と同様に汎用的に取り扱うことができ、光情報記録媒体を高精度かつより一層効率的に製造することができる。
【００７７】
また、ディスク基板と保持構造体が接触することによるディスク基板への傷等のダメージを未然に防止することができ、光情報記録媒体をより一層高精度かつ効率的に製造することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の光情報記録媒体製造方法、光情報記録媒体製造装置及び光情報記録媒体の一実施の形態を説明するための光情報記録媒体製造装置に用いられるディスク基板を載置した状態の保持構造体の平面図
【図２】図１のディスク基板を載置した状態の保持構造体のＡ−Ａ矢視断面図
【図３】図１の保持構造体の他の例のディスク基板を載置した状態の正面断面図
【図４】図１の保持構造体にディスク基板を真空吸着させるために保持構造体上にディスク基板を位置決めしている状態の正面断面図
【図５】図４の位置決めしたディスク基板を保持構造体上に真空装置内で真空吸着させている状態の正面断面図
【図６】図５の真空吸着処理でディスク基板を真空吸着された保持構造体の正面断面図
【図７】図６の保持構造体上に真空吸着されたディスク基板に製造工程で貼り合わせ基板が貼り合わされた状態の正面断面図
【図８】図７の保持構造体から貼り合わせ基板の貼り合わされたディスク基板を真空装置内で剥離している状態の正面断面図
【図９】図８の真空装置で貼り合わせ基板の貼り合わされたディスク基板が保持構造体から剥離された状態の正面断面図
【図１０】実施例１の生産システムのブロック構成図
【図１１】実施例２の生産システムのブロック構成図
【図１２】実施例３の生産システムのブロック構成図
【図１３】従来のディスク基板を載置した状態のディスク基板保持構造体の平面図
【図１４】図１３のディスク基板を載置した状態の保持構造体のＡ−Ａ矢視断面図
【符号の説明】
１ 光情報記録媒体製造装置
２ 保持構造体
３ ディスク基板
１０、２０ 真空装置
１００ 生産システム
１０１、１０２ 射出成形機
１０３ スパッタ装置
１０４ オーバーコート装置
１０５ 貼り合わせ装置
１０６ ハードコート装置
１０７ 初期化装置
１０８ ディスク基板搬送路
１１０ ディスク基板真空吸着処理用真空装置
１１１ ディスク基板真空吸着解除用真空装置
１１２ ディスク基板搬送用保持構造体回収機
１１３ ディスク基板搬送用保持構造体供給機
１２０ 生産システム
１２１ ディスクシート供給機
１３０ 生産システム
１３１ ディスクシート供給機
Claims (6)
- ディスク基板を少なくともスパッタリング装置、スピンコート装置、貼り合わせ装置の各装置間を搬送して処理を行い光情報記録媒体を製造する光情報記録媒体製造方法において、真空装置内に前記ディスク基板を導入して該ディスク基板と保持構造体と接触させた後、前記真空装置内を真空排気して、前記保持構造体と前記ディスク基板を真空吸着させる工程と、前記ディスク基板を前記保持構造体に吸着固定させた状態で前記真空装置から出して前記各装置間の前記搬送を行う工程と、前記吸着固定された状態の前記ディスク基板と前記保持構造体を真空装置内に導入し、かつ該真空装置内を真空排気して前記ディスク基板と前記保持構造体とを引き離すことにより分離させた後、前記真空装置内を大気開放して、当該ディスク基板を搬出する工程とを備えることを特徴とする光情報記録媒体製造方法。
- ディスク基板を少なくともスパッタリング装置、スピンコート装置、貼り合わせ装置の各装置間を搬送して処理を行い光情報記録媒体を製造する光情報記録媒体製造装置において、真空装置内に前記ディスク基板を導入し前記ディスク基板と保持構造体と接触させた後、前記真空装置内を真空排気して、前記保持構造体と前記ディスク基板を真空吸着させる手段と、前記ディスク基板を前記保持構造体に吸着固定させた状態で前記真空装置から出して前記各装置間の前記搬送を行う手段と、前記吸着固定された状態の前記ディスク基板と前記保持構造体を真空装置内に導入し、かつ該真空装置内を真空排気して前記ディスク基板と前記保持構造体とを引き離すことにより分離させた後、前記真空装置内を大気開放して、当該ディスク基板を搬出する手段とを備えたことを特徴とする光情報記録媒体製造装置。
- 前記保持構造体は、平面部が前記ディスク基板の形状及び大きさと略同じ形状及び大きさに形成されていることを特徴とする請求項２記載の光情報記録媒体製造装置。
- 前記保持構造体は、平面部のうち少なくとも前記ディスク基板の情報記録領域と相対向する領域に潤滑処理が施されていることを特徴とする請求項２または請求項３記載の光情報記録媒体製造装置。
- 前記保持構造体は、平面部のうち少なくとも前記ディスク基板の情報記録領域と相対向する領域に、フッ化黒鉛またはフッ素樹脂等の撥水性粉末を用いた複合メッキ処理、あるいは、フルオロアルキル基を有するクロロシラン系化学吸着剤を用いた撥水処理で前記潤滑処理が施されていることを特徴とする請求項４記載の光情報記録媒体製造装置。
- 前記保持構造体は、平面部のうち少なくとも前記ディスク基板の情報記録領域と相対向する領域が、ＰＴＦＥまたはポリアセタール等の潤滑性を有する材料で形成されていることを特徴とする請求項２または請求項３記載の光情報記録媒体製造装置。
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